JP4810154B2 - 微小電気機械素子の駆動方法、微小電気機械素子アレイ及び画像形成装置 - Google Patents
微小電気機械素子の駆動方法、微小電気機械素子アレイ及び画像形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4810154B2 JP4810154B2 JP2005219236A JP2005219236A JP4810154B2 JP 4810154 B2 JP4810154 B2 JP 4810154B2 JP 2005219236 A JP2005219236 A JP 2005219236A JP 2005219236 A JP2005219236 A JP 2005219236A JP 4810154 B2 JP4810154 B2 JP 4810154B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable
- movable part
- elastic
- movable portion
- electro mechanical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
- G09G3/3433—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices
- G09G3/346—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices based on modulation of the reflection angle, e.g. micromirrors
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
- G09G3/3433—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices
- G09G3/3473—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using light modulating elements actuated by an electric field and being other than liquid crystal devices and electrochromic devices based on light coupled out of a light guide, e.g. due to scattering, by contracting the light guide with external means
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2310/00—Command of the display device
- G09G2310/02—Addressing, scanning or driving the display screen or processing steps related thereto
- G09G2310/0243—Details of the generation of driving signals
- G09G2310/0251—Precharge or discharge of pixel before applying new pixel voltage
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2320/00—Control of display operating conditions
- G09G2320/02—Improving the quality of display appearance
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2330/00—Aspects of power supply; Aspects of display protection and defect management
- G09G2330/02—Details of power systems and of start or stop of display operation
- G09G2330/021—Power management, e.g. power saving
Description
前記可動部を一方の定位点に変位させて前記弾性部に弾性エネルギを蓄えた後、前記駆動源からの物理作用力を制止すると共に前記弾性部に蓄えられた弾性エネルギを解放することで前記弾性部に先の弾性エネルギとは逆の極性の弾性エネルギを再度蓄えながら前記可動部を他方の定位点に変位させる際、
前記駆動源は、前記弾性エネルギを解放した後、前記可動部が慣性力をなくす地点から前記変位先に到達するまでの間、前記可動部の動作に対する減衰を補うための予備物理作用力を前記可動部に与え、前記可動部が前記変位先に到達した後に、前記予備物理作用力より強い前記物理作用力を前記可動部に与えることを特徴とする微小電気機械素子の駆動方法。
また、このような微小電気機械素子の駆動方法によれば、可動部の動作に対する減衰を補うための予備物理作用力を与えるようにしたので、可動部の変位に減衰が伴い、蓄えられた弾性エネルギだけでは他方の定位点まで変位させることができない場合でも、予備物理作用力を与えて確実に変位させることができ、信頼性の高い微小電気機械素子が得られる。
前記微小電気機械素子を、上記(1)〜(4)のいずれかに記載の微小電気機械素子の駆動方法に基づいて駆動する制御部を具備したことを特徴とする微小電気機械素子アレイ。
<第1実施形態>
図2は微小電気機械素子の動作過程を示す概念図、図3は図2に示す動作過程のタイミングチャート図である。
駆動源から電圧が印加されていない状態Iにおいて、可動部27は第1アドレス電極35a及び第2アドレス電極35bから等距離(平衡状態)にあり、ヒンジ29,29の持つ弾性エネルギは0である。ここで、後述する適宜の手段により外部から可動部27に力を加え(矢印A方向)、ヒンジ29,29を弾性力に抗して反時計方向に捩じって可動部27を左に傾けると(状態II)、ヒンジ29,29には捩り角度に比例した量の弾性エネルギが蓄積される。そして、状態IIIにおいて、可動部27と第1アドレス電極35aとの間に、ヒンジ29,29に蓄積された弾性エネルギよりも大きな静電気力を発生する電位差V1を与えることにより、可動部27は左に傾いた状態で保持される。
図4は微小電気機械素子の作動初期において可動部を一方の定位点に変位させる動作過程を示す概念図であり、(a)は平衡状態、(b)は揺動開始状態、(c)は揺動が大きくなった状態、(d)は一方の定位点に変位した状態の概念図、図5は図4に示す動作過程のタイミングチャート図、図6は可動部の動作に対する減衰がない場合の可動部に作用する変位量と駆動電圧の相関を表した説明図である。
図2及び図3に示す状態Iから状態IIへ強制的に可動部27を変位させてヒンジ29,29に弾性エネルギを蓄積する過程は、第1アドレス電極35a及び第2アドレス電極35bに交互に電圧を印加して可動部27に静電気力を作用させることにより行うことができる。即ち、図5に示すように、第1アドレス電極35aと可動電極28との間に電圧V1を短時間印加した後、第2アドレス電極35bと可動電極28との間に電圧V2を短時間印加することを一定の周波数fで繰り返し行う。
図6は可動部の変位量と駆動電圧との関係を示す。図6に示すように、状態III(図2参照)においては、第1アドレス電極35aと可動電極28との間に駆動電圧(電位差)V1が印加されており、可動部27は静電気力によって一方の定位点Y1に左傾状態で保持されている。ここで、駆動電圧V1を除去すると可動部27はヒンジ29,29に蓄積されていた弾性エネルギの作用により時計方向に回転を始める(図2の状態IV参照)。
図7は可動部の動作に対する減衰がある場合の可動部に作用する変位量と駆動電圧の相関を表した説明図、図8は図7における駆動方法が改善された可動部に作用する変位量と駆動電圧の相関を表した説明図である。なお、図7及び図8に示すタイミングチャートは、可動部の変位量に対する減衰がある以外は、図6に示すタイミングチャートと同様であるので、同一部分には同一の符号を付与して説明を簡略化又は省力する。
<第1変形例>
<第2変形例>
<第2実施形態>
図14は微小電気機械素子の作動状態を示し、(a)は可動部が一方の定位点に変位した状態を示す断面図、(b)は可動部が他方の定位点に変位した状態を示す断面図である。
コイル68に駆動電流iを流すと、可動部67はフレミングの左手の法則に従ってヒンジ69,69を中心として回転変位する。例えば、図14(a)に示すように、コイル68に矢印H方向に駆動電流を流すと、可動部67は矢印J方向に回転変位し、矢印K方向に駆動電流iを流すと、可動部67は矢印L方向に回転変位する(図14(b)参照)。この回転変位によって、ヒンジ69,69には、可動部67の回転角度に応じた大きさの弾性エネルギが蓄積される。
図15は可動部の動作に対する減衰がない場合の可動部に作用する変位量と駆動電流の相関を表した説明図である。
図15に示す状態IIIにおいては、コイル68に矢印H方向に駆動電流i1が供給されており、可動部67はフレミングの左手の法則に従って発生する電磁力によって一方の定位点Y1に左傾状態で保持されている。ここで、駆動電流i1の供給を停止すると、可動部67はヒンジ69,69に蓄積されていた弾性エネルギの作用により時計方向(図14(b)の矢印L方向)に回転変位を始める(状態IV)。
図16は可動部の動作に対する減衰がある場合の可動部に作用する変位量と駆動電流の相関を表した説明図、図17は図16における駆動方法が改善された可動部に作用する変位量と駆動電流の相関を表した説明図である。なお、図16及び図17は、可動部の変位量に対する減衰がある以外は、図15と同様であるので、同一部分には同一の符号を付与して説明を簡略化又は省略する。
図17に示すように、状態IIIにおいて駆動電流i1の供給を停止すると、可動部67は時計方向に回転し(状態IV)、時刻tdにおいて慣性力がなくなる点Xに達する。この時刻tdでコイル68に矢印K方向に小さな駆動電流i21を供給して減衰分を補うことにより、可動部67は弱い電磁力によってゆっくりと回転変位し、時刻teにおいて他方の定位点Y2に達する。このときの電磁力は力が弱いので、可動部67は停止部材にゆっくりと接触して振動が発生することはない。ここで、コイル68に矢印K方向の駆動電流i2を供給して可動部67を右傾状態で保持する(状態V)。
このように構成された露光装置600において、画像信号が変調信号光源信号発生器87に入力すると、画像信号に応じた変調信号が微小電気機械素子アレイ500に出力される。これにより、微小電気機械素子アレイ500の各反射膜が、画像信号に応じて傾動される。レーザ光源89からレーザ光が微小電気機械素子アレイ500に入射すると、例えば左傾した反射膜による反射光のみがオン信号として結像レンズ系80を通って露光対象物81に入射し、露光対象物81表面の照射された各ドット位置が露光され、左傾しない反射膜に対応するドット位置は非露光となる。
図20は微小電気機械素子の電圧印加例を示す説明図、図21は図20に示す動作過程のタイミングチャート図である。
図20に示すように、可動部47にはバイアス電圧Vb=19Vを印加して、固定電極膜35a,35bにアドレス電圧Va1,Va2を共に0Vを印加する。そして、状態IIIにおいて、可動部47が固定電極膜35a側に傾斜している場合、可動部27と固定電極膜35aとの間の電圧差DV=19Vとなり、可動部27が保持される。この左側に傾倒した状態から、右側に傾倒した状態に変化させる場合、可動部27のバイアス電圧Vbを0Vにする。すると、可動部27はヒンジの弾性力によって固定電極膜35b側に傾き、その状態で可動部27にバイアス電圧Vbを19V印加する。これにより、可動部27は右側に傾倒した状態に保持される。
なお、可動部を支持するヒンジの弾性力が強くなると、所望の変位をさせるまでの時間を短縮できる。具体的には、図22に示すように、ヒンジの弾性力が2倍になると、変位完了までの時間が1/√2倍にまで短縮されることが分かっている。
28 可動電極(駆動源)
29 ヒンジ(弾性部)
35a 第1アドレス電極(駆動源)
35b 第2アドレス電極(駆動源)
47 可動部
57 可動部
67 可動部
69 ヒンジ(弾性部)
73 駆動電圧制御回路(制御部)
80 結像レンズ系(投影光学系)
81 露光対象物(画像形成面)
89 レーザ光源(光源)
100 微小電気機械素子
200 微小電気機械素子
300 微小電気機械素子
400 微小電気機械素子
500 微小電気機械素子アレイ
600 露光装置(画像形成装置)
Y1 一方の定位点
Y2 他方の定位点
Claims (6)
- 弾性変形により弾性エネルギを蓄える弾性部と、該弾性部に支持された可動部と、前記可動部を保持するための物理作用力を加える駆動源とを備え、前記可動部の変位先となる複数の定位点のうち、いずれかの定位点へ前記可動部を変位させる微小電気機械素子の駆動方法であって、
前記可動部を一方の定位点に変位させて前記弾性部に弾性エネルギを蓄えた後、前記駆動源からの物理作用力を制止すると共に前記弾性部に蓄えられた弾性エネルギを解放することで前記弾性部に先の弾性エネルギとは逆の極性の弾性エネルギを再度蓄えながら前記可動部を他方の定位点に変位させる際、
前記駆動源は、前記弾性エネルギを解放した後、前記可動部が慣性力をなくす地点から前記変位先に到達するまでの間、前記可動部の動作に対する減衰を補うための予備物理作用力を前記可動部に与え、前記可動部が前記変位先に到達した後に、前記予備物理作用力より強い前記物理作用力を前記可動部に与えることを特徴とする微小電気機械素子の駆動方法。 - 前記可動部を前記いずれかの定位点に移動させるに際して、
前記可動部を一方の定位点に変位させて前記弾性部に弾性エネルギを蓄える段階と、
前記弾性部に蓄えられた弾性エネルギを前記駆動源の物理作用力により保持する段階と、
前記弾性エネルギを解放して前記可動部を変位させる段階と、
前記弾性部に再度蓄えられた弾性エネルギを前記駆動源の物理作用力により保持する段階と、を含むことを特徴とする請求項1記載の微小電気機械素子の駆動方法。 - 前記物理作用力が静電気力であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の微小電気機械素子の駆動方法。
- 前記物理作用力が電磁力であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の微小電気機械素子の駆動方法。
- 弾性変形により弾性エネルギを蓄える弾性部と、該弾性部に支持された可動部と、前記可動部を保持するための物理作用力を加える駆動源とを備えた微小電気機械素子を、それぞれ複数配置してなる微小電気機械素子アレイであって、
前記微小電気機械素子を、請求項1〜請求項4のいずれか1項記載の微小電気機械素子の駆動方法に基づいて駆動する制御部を具備したことを特徴とする微小電気機械素子アレイ。 - 光源と、
請求項5記載の微小電気機械素子アレイと、
前記光源からの光を前記微小電気機械素子アレイに照射する光学系と、
該光学系から出射される光を画像形成面に投影する投影光学系とを備えたことを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005219236A JP4810154B2 (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 微小電気機械素子の駆動方法、微小電気機械素子アレイ及び画像形成装置 |
US11/494,511 US7414774B2 (en) | 2005-07-28 | 2006-07-28 | Method of driving small electromechanical element and small electromechanical element array |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005219236A JP4810154B2 (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 微小電気機械素子の駆動方法、微小電気機械素子アレイ及び画像形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007034054A JP2007034054A (ja) | 2007-02-08 |
JP4810154B2 true JP4810154B2 (ja) | 2011-11-09 |
Family
ID=37693991
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005219236A Expired - Fee Related JP4810154B2 (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 微小電気機械素子の駆動方法、微小電気機械素子アレイ及び画像形成装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7414774B2 (ja) |
JP (1) | JP4810154B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7956319B2 (en) * | 2003-11-01 | 2011-06-07 | Silicon Quest Kabushiki-Kaisha | Deformable mirror device with oscillating states for providing smaller controllable adjustment of light intensity |
JP4966562B2 (ja) * | 2006-02-28 | 2012-07-04 | 富士フイルム株式会社 | 微小電気機械式素子、微小電気機械式素子アレイ、光変調素子、微小電気機械式光変調素子、微小電気機械式光変調素子アレイ、及びこれらを用いた画像形成装置 |
US7907325B2 (en) * | 2007-02-26 | 2011-03-15 | Silicon Quest Kabushiki-Kaisha | Control methods for micromirror devices implemented with a single address electrode |
US7876492B2 (en) * | 2007-11-16 | 2011-01-25 | Silicon Quest Kabushiki-Kaisha | Spatial light modulator and mirror array device |
JP5310529B2 (ja) * | 2009-12-22 | 2013-10-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 板状部材の揺動装置 |
JP2019109374A (ja) * | 2017-12-19 | 2019-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 光モジュール、分光測定装置、分光測定方法及び電子機器 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5835336A (en) * | 1996-02-29 | 1998-11-10 | Texas Instruments Incorporated | Complemetary reset scheme for micromechanical devices |
US5715337A (en) * | 1996-09-19 | 1998-02-03 | The Mirco Optical Corporation | Compact display system |
JP2000206426A (ja) * | 1999-01-18 | 2000-07-28 | Seiko Epson Corp | 空間光変調素子 |
US6825968B2 (en) * | 2002-10-11 | 2004-11-30 | Exajoule, Llc | Micromirror systems with electrodes configured for sequential mirror attraction |
US7304782B2 (en) * | 2004-03-24 | 2007-12-04 | Fujifilm Corporation | Driving method of spatial light modulator array, spatial light modulator array, and image forming apparatus |
US7180646B2 (en) * | 2004-03-31 | 2007-02-20 | Intel Corporation | High efficiency micro-display system |
US7095545B2 (en) * | 2004-04-02 | 2006-08-22 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microelectromechanical device with reset electrode |
US6963434B1 (en) * | 2004-04-30 | 2005-11-08 | Asml Holding N.V. | System and method for calculating aerial image of a spatial light modulator |
JP2006337858A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Fujifilm Holdings Corp | 光変調素子アレイ |
JP4484778B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2010-06-16 | 富士フイルム株式会社 | 微小薄膜可動素子および微小薄膜可動素子アレイ並びに微小薄膜可動素子の駆動方法 |
JP2007033787A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Fujifilm Corp | 微小薄膜可動素子および微小薄膜可動素子アレイ並びに微小薄膜可動素子アレイの駆動方法 |
US7428092B2 (en) * | 2005-11-30 | 2008-09-23 | Spatial Photonics, Inc. | Fast-response micro-mechanical devices |
-
2005
- 2005-07-28 JP JP2005219236A patent/JP4810154B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-07-28 US US11/494,511 patent/US7414774B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007034054A (ja) | 2007-02-08 |
US20070024952A1 (en) | 2007-02-01 |
US7414774B2 (en) | 2008-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006343590A (ja) | 微小電気機械素子アレイ装置及びその駆動方法 | |
US7468829B2 (en) | Microelectromechanical modulation device and microelectromechanical modulation device array, and image forming apparatus | |
JP3552601B2 (ja) | 光偏向子及びこれを用いた表示装置 | |
EP1773596B1 (en) | Multilaser bi-directional printer with an oscillating scanning mirror | |
US7436575B2 (en) | Small thin film movable element, small thin film movable element array and method of driving small thin film movable element array | |
US7646134B2 (en) | Small thin film-movable element, small thin film-movable element array and image forming apparatus | |
JP4810154B2 (ja) | 微小電気機械素子の駆動方法、微小電気機械素子アレイ及び画像形成装置 | |
JP4639104B2 (ja) | 光変調素子アレイの駆動方法及び光変調素子アレイ並びに画像形成装置 | |
JP4966562B2 (ja) | 微小電気機械式素子、微小電気機械式素子アレイ、光変調素子、微小電気機械式光変調素子、微小電気機械式光変調素子アレイ、及びこれらを用いた画像形成装置 | |
JP2007065698A (ja) | デジタルマイクロミラーリセット方法 | |
JP2008295174A (ja) | 揺動装置、同装置を用いた光走査装置、映像表示装置、及び揺動装置の制御方法 | |
JP4484778B2 (ja) | 微小薄膜可動素子および微小薄膜可動素子アレイ並びに微小薄膜可動素子の駆動方法 | |
JP2007192902A (ja) | 微小電気機械素子の駆動方法及び微小電気機械素子アレイの駆動方法、微小電気機械素子及び微小電気機械素子アレイ、並びに画像形成装置 | |
JP2014235260A (ja) | 光走査装置 | |
JP4392410B2 (ja) | 電磁力駆動スキャニングマイクロミラー及びこれを使用した光スキャニング装置 | |
JP4695956B2 (ja) | 微小電気機械式変調素子及び微小電気機械式変調素子アレイ並びに画像形成装置 | |
JP2006346817A (ja) | 微小電気機械素子アレイ装置及びその駆動方法 | |
JP2005309414A (ja) | 光変調素子アレイの駆動方法及び光変調素子アレイ並びに画像形成装置 | |
JP2007199101A (ja) | 微小電気機械素子アレイ装置及び画像形成装置 | |
JP2007017769A (ja) | 光通信用微小薄膜可動素子及び微小薄膜可動素子アレイ | |
JP4720723B2 (ja) | 光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置 | |
JP2006323001A (ja) | 揺動体装置、およびそれを用いた光偏向器 | |
US20050078345A1 (en) | Scanning device with improved magnetic drive | |
JP2007074826A (ja) | 微小電気機械素子及び微小電気機械素子アレイ | |
JP2007078819A (ja) | 光スキャナ素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061127 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071109 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071116 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071126 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110315 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110516 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110720 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110726 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110822 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140826 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |