JP2016206226A - 制御装置および制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一態様による制御装置は、弾性部材により支持された反射体の傾斜角を制御する制御装置であって、前記反射体との間に静電容量が形成されるように前記反射体を挟んで対向配置された一対の電極と、前記一対の電極の何れかを通じて前記静電容量を充電することにより前記反射体と前記一対の電極の何れかとの間にクーロン力を発生させ、前記クーロン力の作用を受けて前記反射体の位置が変化する過程で前記クーロン力を一時的に抑制するように前記一対の電極間の電圧を制御する制御部と、を備える。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施形態による制御装置100の全体構成例を模式的に示す図である。制御装置100は、反射ユニットRUに反射体として備えられたマイクロミラーMの傾斜角を制御する制御装置であり、電極TA1〜TA4,TB1〜TB4、駆動部DR1〜DR4、充電制御部CC、スイッチSW1〜SW4を備えている。マイクロミラーMは、反射ユニットRUのフレーム部H2(図2)に取り付けられた弾性部B1,B2により揺動可能に支持されている。
図2は、本発明の実施形態による制御装置100の制御対象であるマイクロミラーMを備えた反射ユニットRUの分解図である。反射ユニットRUは、電極TB1〜TB4が配置されたベース部P、フレーム部H1、マイクロミラーM、弾性部B1〜B4、電極TA1〜TA4が配置されたフレーム部H2を備え、MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術により実現されている。ただし、反射ユニットRUは、MEMS技術によらず、任意の形態で実現され得る。
なお、本実施形態では、電極TA1〜TA4、TB1〜TB4のそれぞれとマイクロミラーMとの間に形成される各静電容量は互いに等しいものとするが、各静電容量は互いに異なっていてもよい。
図4は、本発明の実施形態による制御装置100の動作を説明するための図であり、(a)は、クーロン力を用いてマイクロミラーを傾斜させる動作を説明するための図であり、(b)は、マイクロミラーを傾斜させる過程でマイクロミラーに作用するクーロン力を抑制させる動作を説明するための図である。
なお、説明の簡略化のため、マイクロミラーMが傾斜したことにより距離Lが変化しても、静電容量CA3,CB3,CA2,CB2の各容量値は殆ど変化しないものとする。即ち、マイクロミラーMの傾斜角θは、静電容量CA3,CB3,CA2,CB2の各容量値に影響を与えない範囲で制御されるものとする。ただし、距離Lに応じて静電容量CA3,CB3,CA2,CB2の各容量値が変化するものとしても、クーロン力FA3,FB2を抑制することにより、マイクロミラーMの傾斜角θのオーバーシュートを抑制することができる。
駆動部DR1〜DR4によりマイクロミラーMの傾斜を制御することにより、マイクロミラーMによる反射面の向きを多次元的に精度よくかつ安定的に制御することができる。
図1および図3に示す例では、マイクロミラーMに作用するクーロン力を相殺するためにスイッチSW1〜SWを用いたが、駆動部DR1〜DR4から出力される電圧を、相互に同じ電圧に設定することにより、同様の効果を得ることができる。例えば、図3の例において、スイッチSW2,SW3を閉状態に制御するタイミングで、駆動部DR2,DR3のそれぞれから、一定の電圧を出力することにより、電極TA2,TA3,TB2,TB3のそれぞれに同一電圧が印加される。
この変形例によっても、マイクロミラーMに作用するクーロン力が相殺され、傾斜角θのオーバーシュートが抑制される。ただし、傾斜角θのオーバーシュートが抑制されることを限度に、駆動部DR2,DR3のそれぞれから出力される電圧は、相互に異なる電圧であってもよい。
(1)本実施形態によれば、マイクロミラーMが揺動する過程で、見かけ上、マイクロミラーMに作用するクーロン力を一時的に消失または減少させるので、マイクロミラーMに作用する復元力FRによりマイクロミラーMの変位量d(距離L)の増加が抑制される。このため、マイクロミラーMの傾斜角θのオーバーシュートを抑制することができる。従って、マイクロミラーMの揺動を安定化させることができる。
例えば、上述の実施形態では、例えばスイッチSW3により電極TA3と電極TB3とを短絡し、スイッチSW2により電極TA2と電極TB2とを短絡するものとしたが、電極TA3と電極TA2とを短絡し、電極TB3と電極TA2とを短絡することにより、クーロン力を抑制してもよい。
また、上述の実施形態では、駆動部DR1〜DR4のそれぞれが固定の電圧Voを出力するものとしたが、マイクロミラーMの傾斜角θのオーバーシュートを抑制するように、電圧Voの電圧値を変化させてもよい。
Claims (6)
- 弾性部材により支持された反射体の傾斜角を制御する制御装置であって、
前記反射体との間に静電容量が形成されるように前記反射体を挟んで対向配置された一対の電極と、
前記一対の電極の何れかを通じて前記静電容量を充電することにより前記反射体と前記一対の電極の何れかとの間にクーロン力を発生させ、前記クーロン力の作用を受けて前記反射体の位置が変化する過程で前記クーロン力を一時的に抑制するように前記一対の電極間の電圧を制御する充電制御部と、
を備えた制御装置。 - 前記一対の電極間に接続されたスイッチを更に備え、
前記充電制御部は、前記反射体の位置が変化する過程で、前記スイッチを一時的に閉状態に制御することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。 - 前記充電制御部は、前記反射体の位置が変化する過程で、前記一対の電極間の電位差を前記静電容量の充電電圧よりも一時的に小さくすることを特徴とする請求項1に記載の制御装置。
- 前記反射体は、複数のコーナー部を有する多角形の形状を有し、前記複数のコーナー部のそれぞれに前記一対の電極が配置されたことを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の制御装置。
- 前記充電制御部は、前記反射体の複数のコーナー部のうち、前記反射体の重心を挟んで相互に対向する二つのコーナー部に相互に反対方向のクーロン力が作用するように、前記二つのコーナー部のそれぞれに配置された前記一対の電極の電圧を制御することを特徴とする請求項4に記載の制御装置。
- 弾性部材により支持された反射体の傾斜角を制御する制御方法であって、
前記反射体との間に静電容量が形成されるように前記反射体を挟んで対向配置された一対の電極の何れかを通じて前記静電容量を充電することにより前記反射体と前記一対の電極の何れかとの間にクーロン力を発生させる段階と、
前記クーロン力の作用を受けて前記反射体の位置が変化する過程で前記クーロン力を一時的に抑制するように前記一対の電極間の電圧を制御する段階と、
を含む制御方法。
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JP2015083205A JP2016206226A (ja) | 2015-04-15 | 2015-04-15 | 制御装置および制御方法 |
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