JP2006126130A - 磁歪式トルクセンサ - Google Patents
磁歪式トルクセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006126130A JP2006126130A JP2004318003A JP2004318003A JP2006126130A JP 2006126130 A JP2006126130 A JP 2006126130A JP 2004318003 A JP2004318003 A JP 2004318003A JP 2004318003 A JP2004318003 A JP 2004318003A JP 2006126130 A JP2006126130 A JP 2006126130A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- flexible substrate
- magnetostrictive
- torque sensor
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Power Steering Mechanism (AREA)
Abstract
【解決手段】磁歪回転軸1と、この回転軸の外周とrの間隔を有しながら同心状に緊密に対向配置される半円筒状で高透磁率及び低導電率を有する磁心3,3と、半円筒状磁心3,3の内面に装着されるフレキシブル基板コイル9とを備え、フレキシブル基板コイル9は、フレキシブル基板の一方の面に、コイルが順時計回りに形成された部分と反時計回りに形成された部分とを交互に有し、順時計回りに形成された部分と反時計回りに形成された部分との接続をフレキシブル基板の他方の面を介して行う。
【選択図】 図1
Description
(全体構成)
図1(a)、(b)に、本発明の磁歪式トルクセンサの一実施形態を示す。この磁歪トルクセンサは、磁歪特性を有する、例えば、Ni、Fe−Al合金、Fe−Co合金などの磁歪回転軸1と、磁歪回転軸1の軸Oに垂直な面において磁歪回転軸1と同心状に緊密に対向配置される2つの半円筒状磁心3,3と、半円筒状磁心3,3の内面に装着され、磁歪回転軸1の軸Oに対して+45°傾いたコイル2と−45°傾いたコイル4が形成されたフレキシブル基板コイル9と、から構成される。磁歪回転軸1は従来と同様であるので説明を省略する。また、半円筒状磁心3も従来と同様、高透磁率及び低導電率を有する材料(好ましくは、透磁率μ>100以上、電気導電率1×104〜1×105 S/m)が用いられる。
次に、図2を参照して、2つの半円筒状磁心3,3の内面に装着されるフレキシブル基板コイル9について更に説明する。
図2(a)に示すように、フレキシブル基板コイル9は2つの半円筒状磁心3,3の内面に装着されるが、フレキシブル基板コイル9の幅W、即ち、半円筒状磁心3の幅Wは次の式で設定される。
W=πD/2N(N=1,2,3・・・)
ここで、Dは半円筒状磁心3の内径である。
H=πD/2
フレキシブル基板コイル9の電流コイル幅Lは
L=W/2=πD/4N(N=1,2,3・・・)
とされる。
次に、図3を参照しつつ、このフレキシブル基板コイル9のコイル配線方法について説明する。
図3(a)に、N=1、フレキシブル基板のH(長さ)=W(幅)=πD/2、L(電流コイル幅)=πD/4である時のコイルの配線方法を示す。
同様に、第3コイル23と第4コイル24の接続ビアDとEにおいても、表面の銅層16aから裏面の銅層16bまで貫通するライン(貫通孔)が形成されており、接続ビアDとEの接続は、裏面の銅層16bで行われる。
更に、配線の両端ビアAとFには、取り出し用パッドを形成して、+45°コイルとする。
同様に、第3コイル28と第4コイル29の接続ビアJとKにおいても、裏面の銅層16bから表面の銅層16aまで貫通するライン(貫通孔)が形成され、接続ビアJとKの接続ラインは、表面の銅層16aで接続される。
更に、配線の両端ビアGとLには、取り出し用パッドを形成して、−45°コイルとする。
次に、図3(b)に、N=2、フレキシブル基板のH(長さ)=πD/2、W(幅)=πD/4、L(電流コイル幅)=πD/8である時のコイルの配線方法を示す。
±45°コイルの配線及び接続方法は図3(a)と同様である。
このようにして形成したフレキシブル基板コイル9a又は9bを半円筒状磁心3の内面に装着して、2つの半円筒状磁心3,3を磁歪回転軸1に対向緊密に接合して磁歪式トルクセンサを構成する。このような磁歪式トルクセンサの動作原理及び応用システムは特願2003−407262号と同じであるので、説明は省略する。
(1)フレキシブル基板コイル9a又は9bの表と裏両面にコイルを形成し、コイルの形成面と反対側の面で接続しているので、従来のフレキシブル基板を用いた形成方法と異なり、フレキシブル基板に沿って折り曲げる必要がない。このため、折り曲げる部分の断線の恐れが無い。
(2)フレキシブル基板コイル9a又は9bの表と裏両面に多ターン数にコイルを形成しても検出コイルの厚みを薄くできる。このため、半円筒状磁心3に装着して磁歪回転軸1と接合しても磁歪回転軸1と接触する危険性が少なく、コイルの磨耗、断線の可能性も小さくなる。
(3)多ターン数コイルをフレキシブル基板コイル9a又は9bに形成できるので、磁歪式トルクセンサの感度を高くすることができる。
(4)フレキシブル基板コイル9a又は9bを用いてコイルを形成しているので、半円筒状磁心3に簡易に装着することができる。また、従来のようにコイルを配置するための溝を半円筒状磁心3に形成する必要がなく、加工費等が不要であり生産価格を低減することができる。
2 +45°コイル
3 半円筒状磁心
4 −45°コイル
5 溝
7 フレキシブル基板
8 コイル用エナメル線
9a,9b フレキシブル基板コイル
11 回転軸
12 コイル
13 磁歪膜
14 磁心
15,20 フレキシブル基板
16a,b 銅層
17 中間層
18a,b 銅層
19 中間層
21 第1コイル
22 第2コイル
23 第3コイル
24 第4コイル
26 第1コイル
27 第2コイル
28 第3コイル
29 第4コイル
Claims (4)
- 中心軸の周りに回転する磁歪特性を有する回転軸と、前記回転軸の外周と所定の間隔を有しながら同心状に緊密に対向配置される半円筒状で高透磁率及び低導電率を有する磁心と、前記半円筒状磁心の内面に装着されるフレキシブル基板コイルとを備え、
前記フレキシブル基板コイルは、フレキシブル基板の一方の面に、前記中心軸に対して+45°傾いたコイルが形成されると共に、前記フレキシブル基板の他方の面には前記中心軸に対して−45°傾いたコイルが形成され、
前記フレキシブル基板の一方の面には、コイルが順時計回りに形成された部分と反時計回りに形成された部分とを交互に有し、前記順時計回りに形成された部分と前記反時計回りに形成された部分との接続が前記フレキシブル基板の他方の面を介して行われ、
前記フレキシブル基板の他方の面には、コイルが順時計回りに形成された部分と反時計回りに形成された部分とを交互に有し、前記順時計回りに形成された部分と前記反時計回りに形成された部分との接続が前記フレキシブル基板の一方の面を介して行われることを特徴とする磁歪式トルクセンサ。 - 前記接続される箇所には、コイルの配線部分が形成されていないことを特徴とする請求項1記載の磁歪式トルクセンサ。
- 前記フレキシブル基板として、中間層を介しその両側に銅層を形成した基板を用いることを特徴とする請求項1記載の磁歪式トルクセンサ。
- 前記中心軸に対して+45°傾いたコイルが前記フレキシブル基板の一方の面に多ターン数形成される一方、前記中心軸に対して−45°傾いたコイルが前記フレキシブル基板の他方の面に多ターン数形成されることを特徴とする請求項1記載の磁歪式トルクセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004318003A JP2006126130A (ja) | 2004-11-01 | 2004-11-01 | 磁歪式トルクセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004318003A JP2006126130A (ja) | 2004-11-01 | 2004-11-01 | 磁歪式トルクセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006126130A true JP2006126130A (ja) | 2006-05-18 |
Family
ID=36721002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004318003A Pending JP2006126130A (ja) | 2004-11-01 | 2004-11-01 | 磁歪式トルクセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006126130A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008089305A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Hitachi Cable Ltd | 基板コイル型磁歪トルクセンサ |
CN103529131A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-22 | 国家电网公司 | 一种可调节磁致伸缩导波传感器 |
JP2016200552A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 日立金属株式会社 | トルクセンサ |
JP2018040665A (ja) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | 日立金属株式会社 | トルクセンサ用コイル及びトルクセンサ |
JP6483778B1 (ja) * | 2017-10-11 | 2019-03-13 | シナノケンシ株式会社 | 磁歪式トルク検出センサ |
JP2020148758A (ja) * | 2019-03-06 | 2020-09-17 | シナノケンシ株式会社 | 磁歪式トルク検出センサ |
US10983019B2 (en) | 2019-01-10 | 2021-04-20 | Ka Group Ag | Magnetoelastic type torque sensor with temperature dependent error compensation |
US11486776B2 (en) | 2016-12-12 | 2022-11-01 | Kongsberg Inc. | Dual-band magnetoelastic torque sensor |
US11821763B2 (en) | 2016-05-17 | 2023-11-21 | Kongsberg Inc. | System, method and object for high accuracy magnetic position sensing |
US12025521B2 (en) | 2021-10-15 | 2024-07-02 | Brp Megatech Industries Inc. | Magnetoelastic torque sensor with local measurement of ambient magnetic field |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59105304A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-18 | Fujikura Ltd | プリントコイル |
JPS6224601A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-02 | Daizaburo Iwasaki | コイル部材 |
JPH06201493A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-19 | Omron Corp | 磁歪式応力センサ |
JPH06217482A (ja) * | 1993-12-01 | 1994-08-05 | Sony Corp | 回路パターン形成方法 |
JPH06273247A (ja) * | 1993-03-24 | 1994-09-30 | Omron Corp | 磁歪式応力センサ |
JPH07190866A (ja) * | 1993-10-29 | 1995-07-28 | Omron Corp | 磁歪式トルクセンサ及び測定装置ならびにそれらを用いた切削工具用状態監視装置 |
JPH08114516A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-05-07 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 磁歪式トルクセンサ |
JPH0933488A (ja) * | 1995-07-20 | 1997-02-07 | Daido Steel Co Ltd | 渦流探傷用プローブおよびその製造法 |
JPH10289816A (ja) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Omron Corp | プリント型積層コイル及びその製造方法 |
-
2004
- 2004-11-01 JP JP2004318003A patent/JP2006126130A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59105304A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-18 | Fujikura Ltd | プリントコイル |
JPS6224601A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-02 | Daizaburo Iwasaki | コイル部材 |
JPH06201493A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-19 | Omron Corp | 磁歪式応力センサ |
JPH06273247A (ja) * | 1993-03-24 | 1994-09-30 | Omron Corp | 磁歪式応力センサ |
JPH07190866A (ja) * | 1993-10-29 | 1995-07-28 | Omron Corp | 磁歪式トルクセンサ及び測定装置ならびにそれらを用いた切削工具用状態監視装置 |
JPH06217482A (ja) * | 1993-12-01 | 1994-08-05 | Sony Corp | 回路パターン形成方法 |
JPH08114516A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-05-07 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 磁歪式トルクセンサ |
JPH0933488A (ja) * | 1995-07-20 | 1997-02-07 | Daido Steel Co Ltd | 渦流探傷用プローブおよびその製造法 |
JPH10289816A (ja) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Omron Corp | プリント型積層コイル及びその製造方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008089305A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Hitachi Cable Ltd | 基板コイル型磁歪トルクセンサ |
CN103529131A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-22 | 国家电网公司 | 一种可调节磁致伸缩导波传感器 |
JP2016200552A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 日立金属株式会社 | トルクセンサ |
US11821763B2 (en) | 2016-05-17 | 2023-11-21 | Kongsberg Inc. | System, method and object for high accuracy magnetic position sensing |
JP2018040665A (ja) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | 日立金属株式会社 | トルクセンサ用コイル及びトルクセンサ |
US11486776B2 (en) | 2016-12-12 | 2022-11-01 | Kongsberg Inc. | Dual-band magnetoelastic torque sensor |
JP6483778B1 (ja) * | 2017-10-11 | 2019-03-13 | シナノケンシ株式会社 | 磁歪式トルク検出センサ |
JP2019070616A (ja) * | 2017-10-11 | 2019-05-09 | シナノケンシ株式会社 | 磁歪式トルク検出センサ |
US10983019B2 (en) | 2019-01-10 | 2021-04-20 | Ka Group Ag | Magnetoelastic type torque sensor with temperature dependent error compensation |
JP2020148758A (ja) * | 2019-03-06 | 2020-09-17 | シナノケンシ株式会社 | 磁歪式トルク検出センサ |
US12025521B2 (en) | 2021-10-15 | 2024-07-02 | Brp Megatech Industries Inc. | Magnetoelastic torque sensor with local measurement of ambient magnetic field |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6376028B2 (ja) | トルクセンサ | |
JP4674533B2 (ja) | 交流電流検出用コイル | |
EP2390676B1 (en) | Electromagnetic coil structure having a flat conductive track, magnetic core and magneto electronic angle sensor | |
JPH04222447A (ja) | 平坦な巻線を有するレゾルバー | |
WO2004047252A1 (ja) | ブラシレスモータのステータ、及び、これを備えたブラシレスモータ、並びにコイル構造 | |
JP2006201033A (ja) | トルク検出装置 | |
JP2005164531A (ja) | 磁歪式トルクセンサ | |
JP2006126130A (ja) | 磁歪式トルクセンサ | |
CN101814354A (zh) | 具有缠绕磁芯的磁回路器件及其制造方法 | |
JP2019140762A (ja) | モータコイル基板 | |
JP4888015B2 (ja) | 基板コイル型磁歪トルクセンサ | |
JP4269330B2 (ja) | シートコイル形レゾルバ | |
US6759786B2 (en) | Stator of a brushless direct current motor and a method for making it | |
JP2019221009A (ja) | モータコイル基板 | |
JP4654367B2 (ja) | レゾルバ | |
JP5290899B2 (ja) | 電流センサおよび電流センサの製造方法 | |
JP2017026373A (ja) | トルクセンサ | |
JPH06273247A (ja) | 磁歪式応力センサ | |
JP4092321B2 (ja) | 励磁用コイル | |
JP2007040790A (ja) | トルク検出装置 | |
WO2021070480A1 (ja) | 非接触給電装置 | |
JP2008039409A (ja) | 浮力型磁気方位検知素子 | |
JP4521506B2 (ja) | 平面型レゾルバ | |
JPH11146588A (ja) | 検出コイル付モータコイルユニット | |
KR20210121404A (ko) | 변위 센서 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20070131 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20100324 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20100413 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100602 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100907 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |