JP2006125873A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006125873A5 JP2006125873A5 JP2004311145A JP2004311145A JP2006125873A5 JP 2006125873 A5 JP2006125873 A5 JP 2006125873A5 JP 2004311145 A JP2004311145 A JP 2004311145A JP 2004311145 A JP2004311145 A JP 2004311145A JP 2006125873 A5 JP2006125873 A5 JP 2006125873A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force sensor
- axis force
- sachi
- resistance element
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004311145A JP4680566B2 (ja) | 2004-10-26 | 2004-10-26 | 多軸力センサチップとこれを用いた多軸力センサ |
| US11/256,982 US7458281B2 (en) | 2004-10-26 | 2005-10-25 | Multi-axis force sensor chip and multi-axis force sensor using same |
| DE602005021589T DE602005021589D1 (de) | 2004-10-26 | 2005-10-26 | Mehrachsiger Drucksensor-Chip und mehrachsiger Drucksensor damit |
| EP05023438A EP1653208B1 (en) | 2004-10-26 | 2005-10-26 | Multi-axis force sensor chip and multi-axis force sensor using same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004311145A JP4680566B2 (ja) | 2004-10-26 | 2004-10-26 | 多軸力センサチップとこれを用いた多軸力センサ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006125873A JP2006125873A (ja) | 2006-05-18 |
| JP2006125873A5 true JP2006125873A5 (enExample) | 2008-10-30 |
| JP4680566B2 JP4680566B2 (ja) | 2011-05-11 |
Family
ID=35588931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004311145A Expired - Fee Related JP4680566B2 (ja) | 2004-10-26 | 2004-10-26 | 多軸力センサチップとこれを用いた多軸力センサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7458281B2 (enExample) |
| EP (1) | EP1653208B1 (enExample) |
| JP (1) | JP4680566B2 (enExample) |
| DE (1) | DE602005021589D1 (enExample) |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006220574A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Hitachi Ltd | 回転体力学量測定装置および回転体力学量計測システム |
| JP4203051B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2008-12-24 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
| JP5303101B2 (ja) | 2006-05-02 | 2013-10-02 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ用チップ |
| JP4850578B2 (ja) * | 2006-05-19 | 2012-01-11 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体記憶装置及びリフレッシュ周期制御方法 |
| JP5007083B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2012-08-22 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ用チップ |
| JP5243704B2 (ja) * | 2006-08-24 | 2013-07-24 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
| JP4210296B2 (ja) | 2006-08-24 | 2009-01-14 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサの製造方法 |
| JP2008058110A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Honda Motor Co Ltd | 力覚センサ用チップおよび力覚センサ |
| JP4958501B2 (ja) * | 2006-08-30 | 2012-06-20 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ用チップ及び外力伝達機構 |
| JP5174343B2 (ja) | 2006-12-12 | 2013-04-03 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ用チップ |
| JP4909104B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2012-04-04 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
| JP5604035B2 (ja) * | 2008-07-18 | 2014-10-08 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサユニット |
| JP5243988B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2013-07-24 | 本田技研工業株式会社 | 多軸力覚センサおよび加速度センサ |
| JP5225883B2 (ja) * | 2009-02-12 | 2013-07-03 | トレックス・セミコンダクター株式会社 | 加速度センサー |
| JP5572001B2 (ja) * | 2010-04-23 | 2014-08-13 | 本田技研工業株式会社 | 物理量センサ |
| USD671433S1 (en) * | 2011-05-23 | 2012-11-27 | Gilad Yaron | Strain gage design |
| USD673064S1 (en) * | 2011-05-26 | 2012-12-25 | Tedea Huntleigh International Ltd. | Strain gage design |
| USD673065S1 (en) * | 2011-05-26 | 2012-12-25 | Tedea Huntleigh International Ltd. | Strain gage |
| USD673063S1 (en) * | 2011-05-26 | 2012-12-25 | Tedea Huntleigh International Ltd. | Strain gage |
| JP5935333B2 (ja) * | 2012-01-13 | 2016-06-15 | 株式会社デンソー | 半導体センサ |
| IT201700071798A1 (it) * | 2017-06-27 | 2018-12-27 | St Microelectronics Srl | Sensore di forza multiassiale, metodo di fabbricazione del sensore di forza multiassiale, e metodo di funzionamento del sensore di forza multiassiale |
| EP3974794B1 (en) * | 2017-09-20 | 2024-07-24 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Surface stress sensor with protrusions or recesses pattern |
| JP6843726B2 (ja) * | 2017-10-17 | 2021-03-17 | キヤノン株式会社 | 力覚センサ及びロボット |
| JP6673979B2 (ja) | 2018-05-28 | 2020-04-01 | ファナック株式会社 | 変位検出方式の力センサ |
| JP2019215273A (ja) * | 2018-06-13 | 2019-12-19 | 株式会社Soken | 荷重センサ |
| CN111141440B (zh) * | 2019-12-25 | 2021-09-24 | 陕西电器研究所 | 一种用于补偿六维力传感器的方法 |
| CN112611489A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-06 | 陕西电器研究所 | 一种基于薄膜溅射的抗过载扭矩传感器 |
| JP2022142117A (ja) * | 2021-03-16 | 2022-09-30 | ミネベアミツミ株式会社 | センサチップ、力覚センサ装置 |
| JP2022142118A (ja) * | 2021-03-16 | 2022-09-30 | ミネベアミツミ株式会社 | センサチップ、力覚センサ装置 |
| JP7706979B2 (ja) * | 2021-08-03 | 2025-07-14 | ニデックコンポーネンツ株式会社 | センサ |
| CN113820062B (zh) * | 2021-09-30 | 2022-07-12 | 浙江大学 | 六维力传感器的温度补偿方法 |
| CN117053958A (zh) * | 2022-05-06 | 2023-11-14 | 精量电子(深圳)有限公司 | 力传感器 |
| CN117090562B (zh) * | 2023-09-07 | 2024-05-14 | 大庆石油管理局有限公司 | 一种塔架式抽油机的异常监测系统及其组件的制造方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4295117A (en) * | 1980-09-11 | 1981-10-13 | General Motors Corporation | Pressure sensor assembly |
| JPS5780532A (en) * | 1980-11-07 | 1982-05-20 | Hitachi Ltd | Semiconductor load converter |
| JPS57169643A (en) * | 1981-04-13 | 1982-10-19 | Yamato Scale Co Ltd | Load cell for multiple components of force |
| DE3852271T2 (de) * | 1987-04-24 | 1995-07-06 | Enplas Lab Inc | Kraft- und momentendetektor unter verwendung eines widerstandes. |
| JP2746298B2 (ja) | 1987-09-03 | 1998-05-06 | 株式会社リコー | 二成分以上の力検出装置 |
| US5095762A (en) * | 1988-07-14 | 1992-03-17 | University Of Hawaii | Multidimensional force sensor |
| DE3918909A1 (de) | 1989-06-09 | 1990-12-13 | Teves Gmbh Alfred | Hauptzylinder, insbesondere fuer eine blockiergeschuetzte, hydraulische bremsanlage, mit einer einrichtung zur bestimmung der lage des hauptkolbens |
| US5981883A (en) * | 1992-07-08 | 1999-11-09 | Lci Technology Group, N.V. | Systems for imaging written information |
| TW425478B (en) * | 1997-09-26 | 2001-03-11 | Hokuriku Elect Ind | Acceleration sensor and 3-axis acceleration sensor |
| US6823744B2 (en) * | 2002-01-11 | 2004-11-30 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Six-axis force sensor |
| JP4011345B2 (ja) | 2002-01-11 | 2007-11-21 | 本田技研工業株式会社 | 多軸力センサチップ |
| JP4192084B2 (ja) * | 2003-06-17 | 2008-12-03 | ニッタ株式会社 | 多軸センサ |
| JP2005106679A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Nitta Ind Corp | 多軸センサユニットおよびこれを利用した多軸センサ |
-
2004
- 2004-10-26 JP JP2004311145A patent/JP4680566B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-10-25 US US11/256,982 patent/US7458281B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2005-10-26 DE DE602005021589T patent/DE602005021589D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2005-10-26 EP EP05023438A patent/EP1653208B1/en not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2006125873A5 (enExample) | ||
| CN102602875B (zh) | 具有折叠扭力弹簧的mems传感器 | |
| TWI245902B (en) | Microstructure angular velocity sensor device | |
| JP2007010379A5 (enExample) | ||
| CN102046513A (zh) | 降低了对封装应力的敏感性的半导体器件 | |
| Deng et al. | Microstructure‐based interfacial tuning mechanism of capacitive pressure sensors for electronic skin | |
| JP2018096757A (ja) | 起歪体およびその起歪体を備えた力覚センサ | |
| Mahmood et al. | Design, fabrication and characterization of flexible MEMS accelerometer using multi-Level UV-LIGA | |
| JP2008058106A (ja) | 力覚センサ用チップ | |
| JPH04148833A (ja) | 力・加速度・磁気の検出装置 | |
| JP2021183986A (ja) | 多軸触覚センサ | |
| US20090183571A1 (en) | Acceleration sensor | |
| JP5174343B2 (ja) | 力覚センサ用チップ | |
| JP2008039646A (ja) | 力覚センサ用チップ | |
| JP6663104B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の制御方法 | |
| US20160216165A1 (en) | Mems piton-tube capacitive force sensor | |
| CN108604138B (zh) | 压力传感装置及具有该压力传感装置的电子设备 | |
| JP2010190636A5 (enExample) | ||
| JP2010169575A (ja) | 慣性センサ | |
| US7642628B2 (en) | MEMS packaging with improved reaction to temperature changes | |
| CN107271720A (zh) | 低轴间耦合度的八梁三轴加速度传感器 | |
| Huang et al. | Develop and implement a novel tactile sensor array with stretchable and flexible grid-like spring | |
| CN204302309U (zh) | 一种双轴电容式微机械加速度计 | |
| CN104760923A (zh) | Mems传感器 | |
| JP5723739B2 (ja) | Memsセンサ |