JP2006113287A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents
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Abstract
【課題】高NAで、蛍光観察に適したアポクロマート顕微鏡対物レンズを提供する。
【解決手段】物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズL12とからなる接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、少なくとも一つの接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、全体として負の屈折力を有する第3レンズ群G3とからなる顕微鏡対物レンズである。メニスカスレンズL12が、組成物の主成分として、Zr、Y、Gd、Ta、Nb、La、Hfのうち少なくともいずれかの成分を含み、d線の屈折率が1.8以上である光学結晶材料を用いて構成され、且つ、次の条件式を満足する。
1.8<nd(L2)<2.4
但し、nd(L2)は、メニスカスレンズl12のd線の屈折率である。
【選択図】 図1
【解決手段】物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズL12とからなる接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、少なくとも一つの接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、全体として負の屈折力を有する第3レンズ群G3とからなる顕微鏡対物レンズである。メニスカスレンズL12が、組成物の主成分として、Zr、Y、Gd、Ta、Nb、La、Hfのうち少なくともいずれかの成分を含み、d線の屈折率が1.8以上である光学結晶材料を用いて構成され、且つ、次の条件式を満足する。
1.8<nd(L2)<2.4
但し、nd(L2)は、メニスカスレンズl12のd線の屈折率である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、顕微鏡対物レンズに開し、特に、高開口数を有し、アポクロマートの性能を持ち、紫外域での透過率が良く自家蛍光の少ない蛍光用液浸系顕微鏡対物レンズに関するものである。
近年、高屈折率の光学材料が開発され、光学機器に用いられるようになってきた。
そして、従来、高屈折率の光学材料を顕微鏡システムに応用した例として、次の特許文献1〜4において顕微鏡対物レンズが提案されている。
特開2002−148519号公報
特開2003−15046号公報
特開2003−337285号公報
特開2004−61589号公報
そして、従来、高屈折率の光学材料を顕微鏡システムに応用した例として、次の特許文献1〜4において顕微鏡対物レンズが提案されている。
特許文献1に記載されている対物レンズは、倍率が60倍でNAが1.4の対物レンズや、倍率が100倍でNAが1.4の対物レンズであり、高屈折率の光学ガラス(d線の屈折率:nd=2.02204、d線におけるアッベ数:νd=29.06)が用いられている。
また、特許文献2に記載されている対物レンズは、倍率が59.6倍でNAが1.4の対物レンズや、倍率が55.9倍でNAが1.4の対物レンズであり、高屈折率の光学ガラス(d線の屈折率:nd=2.02204、d線におけるアッベ数:νd=29.06)が用いられている。
また、特許文献3に記載されている対物レンズは、倍率が60倍でNAが1.4の対物レンズであり、高屈析率のチタン酸ストロンチウム結晶(SrTiO3)(d線の屈折率:nd=2.40782、d線におけるアッベ数:νd=58.90)が用いられている。
また、特許文献4に記載されている対物レンズは、倍率が100倍でNAが1.4の対物レンズであり、高屈折率の光学ガラス(d線の屈折率:nd=2.00330、d線におけるアッベ数:νd=28.27)が用いられている。
そして、これら特許文献1〜4に記載されている対物レンズでは、標本に近いレンズ群中のレンズに高屈折率の光学材料を用いることにより、高NAでありながら、非点収差やコマ収差を良好に補正している。
また、特許文献2に記載されている対物レンズは、倍率が59.6倍でNAが1.4の対物レンズや、倍率が55.9倍でNAが1.4の対物レンズであり、高屈折率の光学ガラス(d線の屈折率:nd=2.02204、d線におけるアッベ数:νd=29.06)が用いられている。
また、特許文献3に記載されている対物レンズは、倍率が60倍でNAが1.4の対物レンズであり、高屈析率のチタン酸ストロンチウム結晶(SrTiO3)(d線の屈折率:nd=2.40782、d線におけるアッベ数:νd=58.90)が用いられている。
また、特許文献4に記載されている対物レンズは、倍率が100倍でNAが1.4の対物レンズであり、高屈折率の光学ガラス(d線の屈折率:nd=2.00330、d線におけるアッベ数:νd=28.27)が用いられている。
そして、これら特許文献1〜4に記載されている対物レンズでは、標本に近いレンズ群中のレンズに高屈折率の光学材料を用いることにより、高NAでありながら、非点収差やコマ収差を良好に補正している。
しかし、特許文献1、2、4の対物レンズに用いられている高屈折率の光学ガラスは、紫外域での透過率が良くないため、紫外域の励起波長を用いる蛍光観察に不適である。しかも、これらの光学ガラスは、自家蛍光が多いため、そもそも蛍光観察に不適である。
従来例3に用いられている高屈折率の結晶は、チタンを含むため、自家蛍光が多く、蛍光観察に不適である。
従来例3に用いられている高屈折率の結晶は、チタンを含むため、自家蛍光が多く、蛍光観察に不適である。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、高NAで、蛍光観察に適したアポクロマート顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明による顕微鏡対物レンズは、組成物の主成分として、Zr(ジルコニア)、Y(イットリウム)、Gd(ガドリニウム)、Ta(タンタル)、Nb(ニオブ)、La(ランタン)、Hf(ハフニウム)のうち少なくともいずれかの成分を含み、d線の屈折率が1.8以上である光学結晶材料を、構成するレンズのうち少なくとも一つのレンズに用いたことを特徴としている。
また、本発明の顕微鏡対物レンズにおいては、前記光学結晶材料の組成物が、ジルコニア(ZrO2)、イットリウム安定化ジルコニア(YSZ)、ガドリニウムガリウムガーネット(GGG)、YAG(Y3Al5O12)のいずれかであることが好ましい。
また、本発明の顕微鏡対物レンズにおいては、前記光学結晶材料がペロブスカイト型結晶構造を持つことが好ましい。
また、本発明の顕微鏡対物レンズにおいては、前記光学結晶材料が単結晶構造を持ち、常光線屈折率と異常光線屈折率との差の絶対値が0.001以下であることが好ましい。
また、本発明の顕微鏡対物レンズにおいては、前記光学結晶材料が多結晶構造を持ち、粒界の大きさが20nm以下であることが好ましい。
また、本発明による顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとからなる接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有する第2レンズ群と、全体として負の屈折力を有する第3レンズ群とからなる顕微鏡対物レンズであって、前記メニスカスレンズが、前記光学結晶材料のいずれかを用いて構成され、且つ、次の条件式(1)を満足することが好ましい。
1.8<nd(L2)<2.4 …(1)
但し、nd(L2)は、前記メニスカスレンズのd線の屈折率である。
1.8<nd(L2)<2.4 …(1)
但し、nd(L2)は、前記メニスカスレンズのd線の屈折率である。
また、本発明による顕微鏡対物レンズは、前記第3レンズ群中に含まれる正レンズが、前記光学結晶材料のいずれかを用いて構成され、且つ、次の条件式(2)を満足することが好ましい。
20<νd(G3p)<40 …(2)
但し、νd(G3p)は、前記第3レンズ群中に含まれる正レンズのd線におけるアッべ数である。
20<νd(G3p)<40 …(2)
但し、νd(G3p)は、前記第3レンズ群中に含まれる正レンズのd線におけるアッべ数である。
本発明によれば、高開口数を有し、アポクロマートの性能を持ち、紫外域での透過率が良く自家蛍光の少ない蛍光用液浸系顕微鏡対物レンズを提供することができる。
実施例の説明に先立ち、本発明の作用効果について説明する。
本発明の目的を達成するためには、次の特性を持つ光学材料をレンズに用いることが望まれる。
(a)屁折率が高い。
(b)研磨加工に耐える高耐性である。更に、オイルや水に対して高耐性であることが望ましい。
(c)紫外域〜赤外域までの透過率が高い。
(d)自家蛍光について好ましくない成分を含まず、自家蛍光が小さい。
(e)異方性が小さい。
(f)Pb(鉛)を含まない環境対応材料である。
本発明の目的を達成するためには、次の特性を持つ光学材料をレンズに用いることが望まれる。
(a)屁折率が高い。
(b)研磨加工に耐える高耐性である。更に、オイルや水に対して高耐性であることが望ましい。
(c)紫外域〜赤外域までの透過率が高い。
(d)自家蛍光について好ましくない成分を含まず、自家蛍光が小さい。
(e)異方性が小さい。
(f)Pb(鉛)を含まない環境対応材料である。
即ち、高NAで、蛍光観察に適したアポクロマート顕微鏡対物レンズを実現するためには、まず、高耐性、且つ高屈折率の光学材料を用いる必要がある。しかるに、本件出願人は、高耐性、且つ高屈折率の組成物として、Gd(ガドリニウム)、Ta(タンタル)、La(ランタン)、Y(イットリウム)などの透明な希土類元素や、Zr(ジルコニア)、Hf(ハフニウム)、Nb(ニオブ)などの希土類元素に近い性質を示す元素を主成分とする光学結晶材料を用いるのが良いことを発見した。
入手し易さや汎用性からみると、具体的な光学材料としては.ダイアモンド、ジルコニア(ZrO2)、イットリウム安定化ジルコニア(YSZ)、ガドリニウムガリウムガーネット(GGG)などがある。
ダイアモンドは、屈折率が2.4程度と高く、耐性も非常に良い。
ジルコニアやイットリウム安定化ジルコニアは、屈折率が2.2程度と高く、且つ耐性が良く、比較的加工し易い。
ガドリニウムガリウムガーネットは、屈折率が2.0程度と高く、且つ耐性が良く、比較的加工し易い。
また、YAG結晶(Y3Al5O12)は、屈折率が1.83程度と高く、且つ耐性が良く、比較的加工し易い。
これら屈折率が1.8を上回る組成物を用いれば、高NAで、蛍光観察に適した顕微鏡対物レンズを得ることができる。
この他にも、高屈折率・高耐性が得られる物質としては、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)がある。
入手し易さや汎用性からみると、具体的な光学材料としては.ダイアモンド、ジルコニア(ZrO2)、イットリウム安定化ジルコニア(YSZ)、ガドリニウムガリウムガーネット(GGG)などがある。
ダイアモンドは、屈折率が2.4程度と高く、耐性も非常に良い。
ジルコニアやイットリウム安定化ジルコニアは、屈折率が2.2程度と高く、且つ耐性が良く、比較的加工し易い。
ガドリニウムガリウムガーネットは、屈折率が2.0程度と高く、且つ耐性が良く、比較的加工し易い。
また、YAG結晶(Y3Al5O12)は、屈折率が1.83程度と高く、且つ耐性が良く、比較的加工し易い。
これら屈折率が1.8を上回る組成物を用いれば、高NAで、蛍光観察に適した顕微鏡対物レンズを得ることができる。
この他にも、高屈折率・高耐性が得られる物質としては、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)がある。
また、本発明の顕微鏡対物レンズでは、光学結晶材料として、ペロブスカイト型結晶構造を持つものを用いるのが好ましい。
ペロブスカイト構造(ABX3の組成式を有する立方晶系の結晶構造)を持つ化合物は、結晶構造が安定しているため、高耐性を期待できる。ペロブスカイト構造の化合物としての側としては、BaTiO3があるが、TiのサイトにTaが入ると耐性が向上する。例えば、特開2002−187767号公報に記載されているBa(Mg,Ta)O3やBa(Zn,Ta)O3のような化合物は、屈折率が1.9を上回り、且つ耐性もよい。
ペロブスカイト構造をもつ化合物では、ガラスと比較して、アルカリ元素やアルカリ土類元素の成分が溶出し難く、レンズの曇りや浸食等の不具合が生じ難くなる。
ペロブスカイト構造(ABX3の組成式を有する立方晶系の結晶構造)を持つ化合物は、結晶構造が安定しているため、高耐性を期待できる。ペロブスカイト構造の化合物としての側としては、BaTiO3があるが、TiのサイトにTaが入ると耐性が向上する。例えば、特開2002−187767号公報に記載されているBa(Mg,Ta)O3やBa(Zn,Ta)O3のような化合物は、屈折率が1.9を上回り、且つ耐性もよい。
ペロブスカイト構造をもつ化合物では、ガラスと比較して、アルカリ元素やアルカリ土類元素の成分が溶出し難く、レンズの曇りや浸食等の不具合が生じ難くなる。
また、本発明の顕微鏡対物レンズでは、光学結晶材料が単結晶構造を持ち、常光線屈折率と異常光線屈折率の差の絶対値が0.001以下であるのが好ましい。
単結晶構造を持つ光学結晶材料に開し、2003年9月時点でのカタログ『機能材料研究部、“屈折率異方性の小さい高屈折率圧電材料、−軸性単結晶”、透過率スペクトル、屈折率の波長依存性、諸物性、(株)村田製作所』において、単結晶構造を有する圧電材料の光学特性が開示されていた。具体的な光学特性を図6〜図8に示す。これによれば、単結晶材料の屈折率は波長600nm〜1600nmにおいて2.18〜2.10程度あり、頼光線の屈折率noと異常光線の屈折率neはほとんど重なっていることがわかる。
単結晶構造を持つ光学結晶材料に開し、2003年9月時点でのカタログ『機能材料研究部、“屈折率異方性の小さい高屈折率圧電材料、−軸性単結晶”、透過率スペクトル、屈折率の波長依存性、諸物性、(株)村田製作所』において、単結晶構造を有する圧電材料の光学特性が開示されていた。具体的な光学特性を図6〜図8に示す。これによれば、単結晶材料の屈折率は波長600nm〜1600nmにおいて2.18〜2.10程度あり、頼光線の屈折率noと異常光線の屈折率neはほとんど重なっていることがわかる。
単結晶構造には、粒界がない。このため、単結晶の光学結晶材料をレンズ全体、またはレンズの表面として用いたときにその部分で散乱が起こらないので好ましい。しかしその反面、単結晶構造には、一般に異方性があり、特に、常光繚屈折率と異常光線屈折率との差の絶対値が大きいとレンズとして使用した場合に結像性能が悪化するという問題がある。
しかるに、本件出願人は、上記カタログに記載の材料のように、屈折率が1.8以上あり、かつ、常光線屈折率と異常光線屈折率との差の絶対値が小さい光学結晶材料を本発明の組成物として用いることを着想するに至った。
本発明のように常光線屈折率と異常光線屈折率との差の絶対値が0.001以下の単結晶構造を持つ光学結晶材料を用いれば、結像性能への影響を許容できるレベルに抑えることができる。
本発明のように常光線屈折率と異常光線屈折率との差の絶対値が0.001以下の単結晶構造を持つ光学結晶材料を用いれば、結像性能への影響を許容できるレベルに抑えることができる。
また、本発明の顕微鏡対物レンズでは、他の構成としては、光学結晶材料が多結晶構造を持ち、粒界の大きさが20nm以下であるのが好ましい。
多結晶構造を持つ光学結晶材料に関し、インターネット検索情報『材料統括部 マテリアル商品課、“投光性セラミックス”、光学特性(直線透過率)、光学特性(屈折率)、その他諸物性値、[online]、(株)村田製作所、[2002年6月11日検索]、インターネット<http://www.murata.co.jp/products/Japanese/ninfo/articles/nr01e1.html>』において、多結晶構造を有する透光性セラミックスの光学特性が開示されていた。
具体的な光学特性を図9〜図11に示す。これによれば、多結晶材料の屈折率は波長500nm〜1500nmにおいて2.11〜2.04程度あることがわかる。
多結晶構造を持つ光学結晶材料に関し、インターネット検索情報『材料統括部 マテリアル商品課、“投光性セラミックス”、光学特性(直線透過率)、光学特性(屈折率)、その他諸物性値、[online]、(株)村田製作所、[2002年6月11日検索]、インターネット<http://www.murata.co.jp/products/Japanese/ninfo/articles/nr01e1.html>』において、多結晶構造を有する透光性セラミックスの光学特性が開示されていた。
具体的な光学特性を図9〜図11に示す。これによれば、多結晶材料の屈折率は波長500nm〜1500nmにおいて2.11〜2.04程度あることがわかる。
多結晶構造には、異方性がない。このため、多結晶構造を持つ光学結晶材料は、結晶軸を考慮することなくレンズとして使用することができる。しかしその反面、多結晶構造には、粒界があるため散乱が起こり易く、レンズとして使用した際に結像性能が悪化するという問題がある。
しかるに、本発明のように粒界の大きさが20nm以下の多結晶構造を持つ光学結晶材料を用いれば、レンズの結像性能へ及ぼす影響を許容できるレベルに抑えることができる。
また、本発明の液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとからなる接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有する第2レンズ群と、全体として負の屈折力を有する第3レンズ群とからなる顕微鏡対物レンズであって、前記メニスカスレンズが、いずれかの前記光学結晶材料を用いて構成され、且つ、次の条件式(1)を満足するように構成するのが好ましい。
1.8<nd(L2)<2.4 …(1)
但し、nd(L2)は前記メニスカスレンズのd線の屈折率である。
1.8<nd(L2)<2.4 …(1)
但し、nd(L2)は前記メニスカスレンズのd線の屈折率である。
即ち、本発明の液浸系顕微鏡対物レンズでは、第1レンズ群が、強い正の屈折力を持ち、物体からの発散光を収束させる作用を持つようにする。第1レンズ群の最も物体側の接合レンズは、平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズで構成する。この接合レンズは、接合面の負の屈折力によりペッツバール和を補正する。
そして、本発明では、前記メニスカスレンズに高屈折率の光学材料を用いる。このようにすれば、接合面に強いペッツバール和の補正作用を持たせることができる。更に、前記メニスカスレンズの像例の曲率を緩くすることが可能となり、該メニスカスレンズの像例の凸面で発生する収差を低減することができる。
そして、本発明では、前記メニスカスレンズに高屈折率の光学材料を用いる。このようにすれば、接合面に強いペッツバール和の補正作用を持たせることができる。更に、前記メニスカスレンズの像例の曲率を緩くすることが可能となり、該メニスカスレンズの像例の凸面で発生する収差を低減することができる。
また、通常、高開口数の対物レンズでは、像側の後群にガウス構成のレンズ群を配置し、前群で補正しきれなかったペッツバール和を補正することが行われる。しかし、後群のガウス群に強い負の屈折力を持たせると、サジタルコマが増加する場合が多かった。
本発明のように、前記メニスカスレンズに高屈折率の光学材料を用いれば、第1レンズ群の最も物体側の接合レンズに、従来よりも強いペッツバール和の補正作用を持たせることが可能となり、後群のガウス群で発生するサジタルコマを低減させることが可能となる。
そして、前記メニスカスレンズに前記光学結晶材料のいずれかを用いれば、紫外域〜赤外域での透過率が高く、且つ、自家蛍光を少なくすることができる。すなわち、蛍光観察に最適な構成とすることができる。
本発明のように、前記メニスカスレンズに高屈折率の光学材料を用いれば、第1レンズ群の最も物体側の接合レンズに、従来よりも強いペッツバール和の補正作用を持たせることが可能となり、後群のガウス群で発生するサジタルコマを低減させることが可能となる。
そして、前記メニスカスレンズに前記光学結晶材料のいずれかを用いれば、紫外域〜赤外域での透過率が高く、且つ、自家蛍光を少なくすることができる。すなわち、蛍光観察に最適な構成とすることができる。
なお、前記メニスカスレンズは、次の条件式(1)を満足することが好ましい。
1.8<nd(L2)<2.4 …(1)
但し、nd(L2)は前記メニスカスレンズのd線の屈折率である。
条件式(1)の下限値1.8を下回ると、ペッツバール和を良好に補正しきれない。一方、条件式(1)の上限値2.4を上回ると、前記メニスカスレンズでの色収差の発生量が大きくなり好ましくない。
更に、次の条件式(1-1)を満足すると、更にバランスの取れた収差補正が可能となるので、なお好ましい。
2.1<nd(L2)<2.3 …(1-1)
1.8<nd(L2)<2.4 …(1)
但し、nd(L2)は前記メニスカスレンズのd線の屈折率である。
条件式(1)の下限値1.8を下回ると、ペッツバール和を良好に補正しきれない。一方、条件式(1)の上限値2.4を上回ると、前記メニスカスレンズでの色収差の発生量が大きくなり好ましくない。
更に、次の条件式(1-1)を満足すると、更にバランスの取れた収差補正が可能となるので、なお好ましい。
2.1<nd(L2)<2.3 …(1-1)
また、上記本発明の顕微鏡対物レンズでは、第2レンズ群が、正の屈折力を持ち、第1レンズ群と相まって、物体からの発散光を収束光にする作用を持つようにする。また、第2レンズ群が、少なくとも一つの接合レンズを含み、球面収差や軸上色収差を良好に補正するようにする。
また、上記本発明の顕微鏡対物レンズでは、第3レンズ群が、負の屈折力を持ち、第1レンズ群〜第2レンズ群で補正しきれなかった諸収差を補正する作用を持つようにする。第1レンズ群〜第2レンズ群で補正しきれなかったぺッツバール和を補正するためには、像側に凹面を向けた負レンズ成分を少なくとも一つ持つことが好ましい。
また、第3レンズ群中に含まれる正レンズが、前記光学結晶材料のいずれかを用いて構成され、且つ、次の条件式(2)を満足することが好ましい。
20<νd(G3p)<40 …(2)
但し、νd(G3p)は、前記第3レンズ群中に含まれる正レンズのd線におけるアッべ数である。
像側に配置された第3レンズ群には、倍率の色収差の補正作用を持たせることができる。しかるに、本発明のように、第3レンズ群に含まれる正レンズに、アッベ数の小さい(色分散の大きい)材料を用い、且つ、上記条件式(2)を満足すれば、倍率の色収差を良好に補正できる。
なお、条件式(2)の下限値20を下回ると、倍率の色収差が補正過剰となる。一方、条件式(2)の上限値40を上回ると、倍率の色収差が補正不足となる。
通常、アッベ数の小さい光学ガラスは、紫外域の透過率が悪く、自家蛍光が大きいという特徴を持っている。本発明のように、第3レンズ群の正レンズに前記光学結晶材料を用いれば、透過率や自家蛍光の良好な構成にすることができる。
また、第3レンズ群中に含まれる正レンズが、前記光学結晶材料のいずれかを用いて構成され、且つ、次の条件式(2)を満足することが好ましい。
20<νd(G3p)<40 …(2)
但し、νd(G3p)は、前記第3レンズ群中に含まれる正レンズのd線におけるアッべ数である。
像側に配置された第3レンズ群には、倍率の色収差の補正作用を持たせることができる。しかるに、本発明のように、第3レンズ群に含まれる正レンズに、アッベ数の小さい(色分散の大きい)材料を用い、且つ、上記条件式(2)を満足すれば、倍率の色収差を良好に補正できる。
なお、条件式(2)の下限値20を下回ると、倍率の色収差が補正過剰となる。一方、条件式(2)の上限値40を上回ると、倍率の色収差が補正不足となる。
通常、アッベ数の小さい光学ガラスは、紫外域の透過率が悪く、自家蛍光が大きいという特徴を持っている。本発明のように、第3レンズ群の正レンズに前記光学結晶材料を用いれば、透過率や自家蛍光の良好な構成にすることができる。
次に、本発明の顕微鏡対物レンズの実施例を図面を用いて説明する。
図1は本発明の実施例1にかかる顕微鏡対物レンズの概略構成を示す光軸に沿う断面図である。
実施例1の顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3とで構成されている。なお、図1中、CGはカバーガラスである。
第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向け像側に凸面を向けた平凸レンズL11と像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12とからなる接合レンズと、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とで構成され、全体として正の屈折力を有している。
第2レンズ群G2は、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL21と両凸レンズL22とからなる2枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL23と両凸レンズL24とからなる2枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL25と両凸レンズL26とからなる2枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL27と両凸レンズL28と両凹レンズL29とからなる3枚接合レンズとで構成され、全体として正の屈折力を有している。
第3レンズ群G3は、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL32とからなる接合レンズと、両凹レンズL33と両凸レンズL34とからなる接合レンズとで構成され、全体として負の屈折力を有している。
ここで、正メニスカスレンズL12は、本発明の条件式(1)中のメニスカスレンズL2に相当し、Taを主成分とする単結晶構造を持つ光学結晶材料(d線での屈折率nd=2.18655、アッベ数νd=23.9)で構成されている。
また、両凸レンズL34は、本発明の条件式(2)中の正レンズG3pに相当し、光学結晶材料として、Taを主成分とする単結晶構造を持つ光学結晶材料(d線での屈折率nd=2.18655、アッベ数νd=23.9)で構成されている。
実施例1の顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3とで構成されている。なお、図1中、CGはカバーガラスである。
第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向け像側に凸面を向けた平凸レンズL11と像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12とからなる接合レンズと、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13とで構成され、全体として正の屈折力を有している。
第2レンズ群G2は、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL21と両凸レンズL22とからなる2枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL23と両凸レンズL24とからなる2枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL25と両凸レンズL26とからなる2枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL27と両凸レンズL28と両凹レンズL29とからなる3枚接合レンズとで構成され、全体として正の屈折力を有している。
第3レンズ群G3は、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL31と像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL32とからなる接合レンズと、両凹レンズL33と両凸レンズL34とからなる接合レンズとで構成され、全体として負の屈折力を有している。
ここで、正メニスカスレンズL12は、本発明の条件式(1)中のメニスカスレンズL2に相当し、Taを主成分とする単結晶構造を持つ光学結晶材料(d線での屈折率nd=2.18655、アッベ数νd=23.9)で構成されている。
また、両凸レンズL34は、本発明の条件式(2)中の正レンズG3pに相当し、光学結晶材料として、Taを主成分とする単結晶構造を持つ光学結晶材料(d線での屈折率nd=2.18655、アッベ数νd=23.9)で構成されている。
次に、実施例1の顕微鏡対物レンズを構成する光学部材のレンズデータを示す。但し、レンズデータ中、r1、r2、・・・は各レンズ面の曲率半径、d1、d2、・・・は各レンズ面間の間隔、nd1、nd2、・・・は各レンズのd線の屈折率、νd1、νd2、・・・は各レンズのd線におけるアッべ数である。また、fは焦点距離、βは倍率、NAは開口数、WDは作動距離である。なお、これらの記号は、実施例1と後述する実施例2において共通である。
数値データ1
f=3
β=60×
NA=1.4
視野数=26.5
WD=0.15
r1=∞ d1=0.3633 nd1=1.51633 νd1=64.14
r2=-2.0188 d2=3.3420 nd2=2.18655 νd2=23.9 (L2)
r3=-4.8753 d3=0.1000
r4=-6.4194 d4=3.6600 nd4=1.56907 νd4=71.30
r5=-5.1298 d5=0.1000
r6=97.4128 d6=1.0000 nd6=1.61336 νd6=44.49
r7=18.3970 d7=8.9277 nd7=1.56907 νd7=71.30
r8=-16.7448 d8=0.1500
r9=44.4354 d9=1.0000 nd9=1.61336 νd9=44.49
r10=17.0739 d10=8.2957 nd10=1.43875 νd10=94.93
r11=-28.6298 d11=0.1500
r12=50.3921 d12=1.1000 nd12=1.61336 νd12=44.49
r13=13.6823 d13=8.7294 nd13=1.43875 νd13=94.93
r14=-28.9116 d14=0.1000
r15=21.0139 d15=1.6000 nd15=1.61336 νd15=44.49
r16=10.9287 d16=7.0305 nd16=1.43875 νd16=94.93
r17=-35.7988 d17=1.0000 nd17=1.55836 νd17=54.01
r18=47.3722 d18=0.1500
r19=10.1137 d19=5.6296 nd19=1.56907 νd19=71.30
r20=81.3605 d20=5.2845 nd20=1.80440 νd20=39.59
r21=5.2134 d21=3.4394
r22=-6.2384 d22=0.9820 nd22=1.88300 νd22=40.76
r23=21.3598 d23=2.5256 nd23=2.18655 νd23=23.9 (G3p)
r24=-12.3697
条件式パラメータ値
(1) nd(L2)=2.1865
(2) νd(G3p)=23.9
実施例1の正メニスカスレンズL12及び両凸レンズL34に使用する光学結晶材料以外の、各光学部材に用いる光学ガラスは、紫外域での透過率が優れ、自家蛍光の少ない光学ガラスである。したがって、この実施例1は、蛍光観察に最適な対物レンズとなっている。
数値データ1
f=3
β=60×
NA=1.4
視野数=26.5
WD=0.15
r1=∞ d1=0.3633 nd1=1.51633 νd1=64.14
r2=-2.0188 d2=3.3420 nd2=2.18655 νd2=23.9 (L2)
r3=-4.8753 d3=0.1000
r4=-6.4194 d4=3.6600 nd4=1.56907 νd4=71.30
r5=-5.1298 d5=0.1000
r6=97.4128 d6=1.0000 nd6=1.61336 νd6=44.49
r7=18.3970 d7=8.9277 nd7=1.56907 νd7=71.30
r8=-16.7448 d8=0.1500
r9=44.4354 d9=1.0000 nd9=1.61336 νd9=44.49
r10=17.0739 d10=8.2957 nd10=1.43875 νd10=94.93
r11=-28.6298 d11=0.1500
r12=50.3921 d12=1.1000 nd12=1.61336 νd12=44.49
r13=13.6823 d13=8.7294 nd13=1.43875 νd13=94.93
r14=-28.9116 d14=0.1000
r15=21.0139 d15=1.6000 nd15=1.61336 νd15=44.49
r16=10.9287 d16=7.0305 nd16=1.43875 νd16=94.93
r17=-35.7988 d17=1.0000 nd17=1.55836 νd17=54.01
r18=47.3722 d18=0.1500
r19=10.1137 d19=5.6296 nd19=1.56907 νd19=71.30
r20=81.3605 d20=5.2845 nd20=1.80440 νd20=39.59
r21=5.2134 d21=3.4394
r22=-6.2384 d22=0.9820 nd22=1.88300 νd22=40.76
r23=21.3598 d23=2.5256 nd23=2.18655 νd23=23.9 (G3p)
r24=-12.3697
条件式パラメータ値
(1) nd(L2)=2.1865
(2) νd(G3p)=23.9
実施例1の正メニスカスレンズL12及び両凸レンズL34に使用する光学結晶材料以外の、各光学部材に用いる光学ガラスは、紫外域での透過率が優れ、自家蛍光の少ない光学ガラスである。したがって、この実施例1は、蛍光観察に最適な対物レンズとなっている。
図2は本発明の実施例2にかかる顕微鏡対物レンズの概略構成を示す光軸に沿う断面図である。
実施例2の顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3とで構成されている。なお、図2中、CGはカバーガラスである。
第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向け像側に凸面を向けた平凸レンズL11と像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12とからなる接合レンズと、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL14とで構成され、全体として正の屈折力を有している。
第2レンズ群G2は、両凸レンズL21’と両凹レンズL22’と両凸レンズL23’とからなる3枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL24’と両凸レンズL25’とからなる2枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL26’と両凸レンズL27’とからなる2枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL28’と両凸レンズL29’と両凹レンズL210とからなる3枚接合レンズとで構成され、全体として正の屈折力を有している。
第3レンズ群G3は、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL31’と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL32’と両凹レンズL33とからなる接合レンズとで構成され、全体として負の屈折力を有している。
正メニスカスレンズL12は、本発明の条件式(1)中のメニスカスレンズL2に相当し、Taを主成分とする単結晶構造を持つ光学結晶材料(d線での屈折率nd=2.18655、アッベ数νd=23.9)で構成されている。
正メニスカスレンズL32’は、本発明の条件式(2)中の正レンズG3pに相当し、Taを主成分とする単結晶構造を持つ光学結晶材料(d線での屈折率nd=2.18655、アッベ数νd=23.9)で構成されている。
実施例2の顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3とで構成されている。なお、図2中、CGはカバーガラスである。
第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向け像側に凸面を向けた平凸レンズL11と像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL12とからなる接合レンズと、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL13と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL14とで構成され、全体として正の屈折力を有している。
第2レンズ群G2は、両凸レンズL21’と両凹レンズL22’と両凸レンズL23’とからなる3枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL24’と両凸レンズL25’とからなる2枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL26’と両凸レンズL27’とからなる2枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL28’と両凸レンズL29’と両凹レンズL210とからなる3枚接合レンズとで構成され、全体として正の屈折力を有している。
第3レンズ群G3は、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズL31’と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL32’と両凹レンズL33とからなる接合レンズとで構成され、全体として負の屈折力を有している。
正メニスカスレンズL12は、本発明の条件式(1)中のメニスカスレンズL2に相当し、Taを主成分とする単結晶構造を持つ光学結晶材料(d線での屈折率nd=2.18655、アッベ数νd=23.9)で構成されている。
正メニスカスレンズL32’は、本発明の条件式(2)中の正レンズG3pに相当し、Taを主成分とする単結晶構造を持つ光学結晶材料(d線での屈折率nd=2.18655、アッベ数νd=23.9)で構成されている。
次に、実施例2の顕微鏡対物レンズを構成する光学部材のレンズデータを示す。
数値データ2
f=3
β=60×
NA=1.4
視野数=26.5
WD=0.13
r1=∞ d1=0.4500 nd1=1.51823 νd1=58.90
r2=-1.5804 d2=3.0933 nd2=2.18655 νd2=23.9 (L2)
r3=-6.6252 d3=0.1500
r4=-7.6350 d4=3.8000 nd4=1.77250 νd4=49.60
r5=-5.0669 d5=0.1000
r6=-77.0513 d6=3.1621 nd6=1.61800 νd6=63.33
r7=-14.0325 d7=0.1500
r8=167.3174 d8=4.3836 nd8=1.49700 νd8=81.54
r9=-14.8331 d9=1.1000 nd9=1.61336 νd9=44.49
r10=27.3137 d10=7.0317 nd10=1.43875 νd10=94.93
r11=-17.8134 d11=0.1500
r12=254.9422 d12=1.1000 nd12=1.61336 νd12=44.49
r13=20.4873 d13=6.4651 nd13=1.43875 νd13=94.93
r14=-32.4085 d14=0.1500
r15=46.3925 d15=1.6000 nd15=1.61336 νd15=44.49
r16=16.7120 d16=6.7206 nd16=1.43875 νd16=94.93
r17=-41.7522 d17=0.1500
r18=20.5008 d18=1.7000 nd18=1.61336 νd18=44.49
r19=11.5006 d19=7.6454 nd19=1.43875 νd19=94.93
r20=-30.8131 d20=1.1000 nd20=1.65160 νd20=58.55
r21=78.1547 d21=1.0000
r22=13.3976 d22=6.6603 nd22=1.75500 νd22=52.32
r23=8.6618 d23=3.0000
r24=-319.4061 d24=2.3649 nd24=2.18655 νd24=23.9 (G3p)
r25=-10.3912 d25=2.3000 nd25=1.75500 νd25=52.32
r26=9.6230
条件式パラメータ値
(1) nd(L2)=2.18655
(2) νd(G3p)=23.9
実施例2の正メニスカスレンズL12及び両凸レンズL32’に使用する光学結晶材料以外の、各光学部材に用いる光学ガラスは、紫外域での透過率が優れ、自家蛍光の少ない光学ガラスである。したがって、この実施例2は、蛍光観察に最適な対物レンズとなっている。
数値データ2
f=3
β=60×
NA=1.4
視野数=26.5
WD=0.13
r1=∞ d1=0.4500 nd1=1.51823 νd1=58.90
r2=-1.5804 d2=3.0933 nd2=2.18655 νd2=23.9 (L2)
r3=-6.6252 d3=0.1500
r4=-7.6350 d4=3.8000 nd4=1.77250 νd4=49.60
r5=-5.0669 d5=0.1000
r6=-77.0513 d6=3.1621 nd6=1.61800 νd6=63.33
r7=-14.0325 d7=0.1500
r8=167.3174 d8=4.3836 nd8=1.49700 νd8=81.54
r9=-14.8331 d9=1.1000 nd9=1.61336 νd9=44.49
r10=27.3137 d10=7.0317 nd10=1.43875 νd10=94.93
r11=-17.8134 d11=0.1500
r12=254.9422 d12=1.1000 nd12=1.61336 νd12=44.49
r13=20.4873 d13=6.4651 nd13=1.43875 νd13=94.93
r14=-32.4085 d14=0.1500
r15=46.3925 d15=1.6000 nd15=1.61336 νd15=44.49
r16=16.7120 d16=6.7206 nd16=1.43875 νd16=94.93
r17=-41.7522 d17=0.1500
r18=20.5008 d18=1.7000 nd18=1.61336 νd18=44.49
r19=11.5006 d19=7.6454 nd19=1.43875 νd19=94.93
r20=-30.8131 d20=1.1000 nd20=1.65160 νd20=58.55
r21=78.1547 d21=1.0000
r22=13.3976 d22=6.6603 nd22=1.75500 νd22=52.32
r23=8.6618 d23=3.0000
r24=-319.4061 d24=2.3649 nd24=2.18655 νd24=23.9 (G3p)
r25=-10.3912 d25=2.3000 nd25=1.75500 νd25=52.32
r26=9.6230
条件式パラメータ値
(1) nd(L2)=2.18655
(2) νd(G3p)=23.9
実施例2の正メニスカスレンズL12及び両凸レンズL32’に使用する光学結晶材料以外の、各光学部材に用いる光学ガラスは、紫外域での透過率が優れ、自家蛍光の少ない光学ガラスである。したがって、この実施例2は、蛍光観察に最適な対物レンズとなっている。
なお、実施例1、2におけるカバーガラスCGは、厚さが0.17mm、d線の屈折率が1.521、d線に対するアッベ数が56.02のものを用いている。
また、実施例1、2にて用いられるオイルは、d線の屈折率が1.51548、d線に対するアッベ数が43.1である。
また、実施例1、2にかかる対物レンズは、いずれも対物レンズからの射出光が平行光束となる無限遠捕正型の対物レンズであり、対物レンズ自身では結像しない。そこで、実施例1、2にかかる対物レンズは、像側に、例えば、図5に示すような構成の結像レンズ(焦点距離180mm)と組み合わせて使用される。
なお、図5に示す結像レンズは、物体側から順に、両凸レンズL41と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL42とからなる接合レンズと、両凸レンズL43と両凹レンズL44とからなる接合レンズとで構成されている。
また、実施例1、2にて用いられるオイルは、d線の屈折率が1.51548、d線に対するアッベ数が43.1である。
また、実施例1、2にかかる対物レンズは、いずれも対物レンズからの射出光が平行光束となる無限遠捕正型の対物レンズであり、対物レンズ自身では結像しない。そこで、実施例1、2にかかる対物レンズは、像側に、例えば、図5に示すような構成の結像レンズ(焦点距離180mm)と組み合わせて使用される。
なお、図5に示す結像レンズは、物体側から順に、両凸レンズL41と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL42とからなる接合レンズと、両凸レンズL43と両凹レンズL44とからなる接合レンズとで構成されている。
次に、図5に示す結像レンズを構成する光学部材のレンズデータを次に示す。但し、レンズデータ中、r1、r2、・・・は各レンズ面の曲率半径、d1、d2、・・・は各レンズ面間の間隔、nd1、nd2、・・・は各レンズのd線の屈折率、νd1、νd2、・・・は各レンズのd線におけるアッべ数である。
数値データ3
r1=68.7541 d1=7.7321 nd1=1.48749 νd1=70.23
r2=-37.5679 d2=3.4742 nd2=1.80610 νd2=40.92
r3=-102.8477 d3=0.6973
r4=84.3099 d4=6.0238 nd4=1.83400 νd4=37.16
r5=-50.7100 d5=3.0298 nd5=1.64450 νd5=40.82
r6=40.6619
数値データ3
r1=68.7541 d1=7.7321 nd1=1.48749 νd1=70.23
r2=-37.5679 d2=3.4742 nd2=1.80610 νd2=40.92
r3=-102.8477 d3=0.6973
r4=84.3099 d4=6.0238 nd4=1.83400 νd4=37.16
r5=-50.7100 d5=3.0298 nd5=1.64450 νd5=40.82
r6=40.6619
なお、この場合、実施例1、2の対物レンズと上記結像レンズとの間の間隔は、50mm〜170mmの間の何れの位置でもよい。
実施例1、2の顕微鏡対物レンズにおいて、上記結像レンズとの間の間隔を120mmとした場合の収差図をそれぞれ図3、4に示す。ただし、これらの収差図において、(a)は球面収差、(b)は正弦条件違反量、(c)は非点収差、(d)は歪曲収差を示している。
実施例1、2の顕微鏡対物レンズにおいて、上記結像レンズとの間の間隔を120mmとした場合の収差図をそれぞれ図3、4に示す。ただし、これらの収差図において、(a)は球面収差、(b)は正弦条件違反量、(c)は非点収差、(d)は歪曲収差を示している。
本発明の対物レンズは、蛍光観察等に用いるもので、高開口数を有し、アポクロマートの性能を持ち、紫外域での透過率が良く自家蛍光が少ない。したがって、細胞、蛋白質、DNA等の蛍光観察に適している。
CG カバーガラス
G1 第1レンズ群
G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群
L11 物体側に平面を向け像側に凸面を向けた平凸レンズ
L12、L13、L32’ 像側に凸面を向けた正メニスカスレンズ
L21、L23、L24’、L25、L26’、L27、L28’、L31’、L32、L42 像側に凹面を向けた負メニスカスレンズ
L21’、L22、l23’、L24、L25’、L26、L27’、L28、L29’、L34、L41、L43 両凸レンズ
L22’、L29、L210、L33、L44 両凹レンズ
L31 物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズ
G1 第1レンズ群
G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群
L11 物体側に平面を向け像側に凸面を向けた平凸レンズ
L12、L13、L32’ 像側に凸面を向けた正メニスカスレンズ
L21、L23、L24’、L25、L26’、L27、L28’、L31’、L32、L42 像側に凹面を向けた負メニスカスレンズ
L21’、L22、l23’、L24、L25’、L26、L27’、L28、L29’、L34、L41、L43 両凸レンズ
L22’、L29、L210、L33、L44 両凹レンズ
L31 物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズ
Claims (7)
- 組成物の主成分として、Zr、Y、Gd、Ta、Nb、La、Hfのうち少なくともいずれかの成分を含み、d線の屈折率が1.8以上である光学結晶材料を、構成するレンズのうち少なくとも一つのレンズに用いたことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
- 前記光学結晶材料の組成物が、ジルコニア(ZrO2)、イットリウム安定化ジルコニア(YSZ)、ガドリニウムガリウムガーネット(GGG)、YAG(Y3Al5O12)のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡対物レンズ。
- 前記光学結晶材料がぺロブスカイト型結晶構造を持つことを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微鏡対物レンズ。
- 前記光学結晶材料が単結晶構造を持ち、常光線屈折率と異常光線屈折率との差の絶対値が0.001以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の顕微鏡対物レンズ。
- 前記光学結晶材料が多結晶構造を持ち、粒界の大きさが20nm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の顕微鏡対物レンズ。
- 物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとからなる接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズを含み、全体として正の屈折力を有する第2レンズ群と、全体として負の屈折力を有する第3レンズ群とからなる顕微鏡対物レンズであって、
前記メニスカスレンズが、請求項1〜5のいずれかに記載の光学結晶材料を用いて構成され、且つ、次の条件式を満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
1.8<nd(L2)<2.4
但し、nd(L2)は前記メニスカスレンズのd線の屈折率である。 - 前記第3レンズ群中に含まれる正レンズが、請求項1〜5のいずれかに記載の光学結晶材料を用いて構成され、且つ、次の条件式を満足することを特徴とする請求項6に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
20<νd(G3p)<40
但し、νd(G3p)は、前記第3レンズ群中に含まれる正レンズのd線におけるアッベ数である。
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