JP2006108696A - リソグラフィ装置、クリーニング・システム、及びリソグラフィ装置の部品から、その場で汚染物を取り除くクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置が開示される。装置は、リソグラフィ装置内の部品をその場でクリーニングするためのクリーニング・システムを含む。クリーニング・システムは、クリーニングすべき部品上の所定の位置の隣接部に、クリーニング環境を提供するように構成される。システムはまた、所定の位置に存在する汚染物のタイプには実質的に無関係に、前記クリーニング環境を提供するように構成される。
【選択図】図1
Description
C 標的部分
CS クリーニング・システム
CO コンデンサ
IF1 位置センサ
IF2 位置センサ
IL 照明システム(イルミネータ)
IN インテグレータ
M1 マスク・アライメント・マーク
M2 マスク・アライメント・マーク
MA パターン形成デバイス(マスク)
MT 支持構造(マスク・テーブル)
P1 基板アライメント・マーク
P2 基板アライメント・マーク
PM 第1のポジショナ
PS 投影システム
PW 第2のポジショナ
SO 照射源
W 基板
WT 基板テーブル(ウェハ・テーブル)
Claims (40)
- 放射ビームを調整するための照明システムと、
放射ビームにその断面でパターンを与えるように構成されたパターン形成デバイスを支持するための支持構造と、
基板を支持するための基板テーブルと、
前記基板の標的部分に、前記パターン形成された放射ビームを投影するための投影システムと、
リソグラフィ装置内の部品をその場でクリーニングするためのクリーニング・システムであって、クリーニングすべき部品上の所定の位置の隣接部にクリーニング環境を提供するように構成され、さらに、前記所定の位置に存在する、汚染物のタイプには実質的に無関係に、前記クリーニング環境を提供するように構成されるクリーニング・システムとを含むリソグラフィ装置。 - 前記クリーニング・システムが、局所的にプラズマを提供するためのプラズマ・システムを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記プラズマ・システムが衝撃波を提供するように構成された、請求項2に記載の装置。
- 前記プラズマ・システムが、クリーニングすべき部品上の前記所定の位置の隣接部に、レーザ・ビームを合焦するように構成された、請求項3に記載の装置。
- 前記クリーニング・システムが、前記所定の位置の隣接部に、クリーニングすべき前記部品を加熱するための加熱システムを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記加熱システムが、クリーニングすべき前記部品により吸収されうる波長を有する、ビームを提供するように構成された、請求項5に記載の装置。
- 前記レーザが、約0.1ミリ秒より長いパルスを有するビームを提供するように構成され、かつ約15ナノ秒より短いパルスを有するビームを提供するように構成された、請求項6に記載の装置。
- 前記レーザが、赤外線波長を有するビームを提供するように構成された、請求項6に記載の装置。
- 前記赤外線波長が1064nmである、請求項8に記載の装置。
- 前記クリーニング・システムが、局所的に雪の粒子を提供するためのスノー・システムを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記クリーニング・システムが、前記雪の粒子の噴流を提供するように構成された、請求項10に記載の装置。
- 前記雪の粒子が、炭酸ガス及び/又はアルゴンから形成された、請求項10に記載の装置。
- クリーニングすべき前記部品が、基板テーブルを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記装置は、前記基板テーブルの両面がクリーニングされるように構成された、請求項13に記載の装置。
- クリーニングすべき前記部品が、少なくとも1つの光学部品を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記光学部品がミラーを含む、請求項15に記載の装置。
- 前記所定の位置の前記近接部が、アライメント・マーカ及び/又はクリーニングすべき前記部品の、周囲の少なくとも一部を形成する場所を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記クリーニング・システムが、前記クリーニング環境を周期的に提供するように構成された、請求項17に記載の装置。
- リソグラフィ装置内の部品を、その場でクリーニングするためのクリーニング・システムであって、前記部品上の所定の位置の隣接部に、クリーニング環境を提供するように構成され、さらに、汚染物のタイプには実質的に無関係に、前記クリーニング環境を提供するように構成されたクリーニング・システム。
- 前記所定の位置の前記近接部が、アライメント・マーカの下及び/又は周囲の場所を含む、請求項19に記載のクリーニング・システム。
- 前記クリーニング・システムが、前記クリーニング環境を周期的に提供するように構成された、請求項19に記載のクリーニング・システム。
- リソグラフィ装置内の部品から汚染物をその場で取り除くためのクリーニング方法であって、
前記部品の所定の位置の隣接部に、取り除かれる汚染物のタイプに無関係なクリーニング環境を生成するステップと、
前記部品からその場で前記汚染物を取り除くステップとを含むクリーニング方法。 - 前記所定の位置の前記近接部に、局所的にプラズマを提供するステップを含む、請求項22に記載のクリーニング方法。
- プラズマの衝撃波を提供するステップを含む、請求項23に記載のクリーニング方法。
- 前記所定の位置の隣接部にレーザ・ビームを合焦するステップを含む、請求項24に記載のクリーニング方法。
- 前記所定の位置の前記近接部内の前記部品を加熱するステップを含む、請求項22に記載のクリーニング方法。
- 前記部品により吸収されうる波長を有するレーザ・ビームを提供するステップを含む、請求項26に記載のクリーニング方法。
- 前記レーザ・ビームを0.1ミリ秒より長い間、パルスするステップを含む、請求項27に記載のクリーニング方法。
- 前記レーザ・ビームが赤外線波長を有する、請求項27に記載のクリーニング方法。
- 前記赤外線波長が1064nmである、請求項29に記載のクリーニング方法。
- 前記所定の位置の前記近接部に、局所的に雪の粒子を生成するステップを含む、請求項22に記載のクリーニング方法。
- 前記雪の粒子の噴流を生成するステップを含む、請求項31に記載のクリーニング方法。
- 前記雪の粒子が、炭酸ガス及び/又はアルゴンから形成された、請求項31に記載の装置。
- 前記部品が、基板テーブルを含む、請求項22に記載のクリーニング方法。
- 前記基板テーブルの両面をクリーニングするステップを含む、請求項34に記載のクリーニング方法。
- 前記部品が、少なくとも1つの光学部品を含む、請求項22に記載のクリーニング方法。
- 前記光学部品がミラーを含む、請求項36に記載のクリーニング方法。
- 前記所定の位置の前記近接部が、アライメント・マーカの下及び/又は周囲の場所を含む、請求項22に記載のクリーニング方法。
- 前記クリーニング環境を周期的に生成するステップを含む、請求項22に記載のクリーニング方法。
- リソグラフィ装置内の部品から汚染物をその場で取り除くためのクリーニング方法であって、
前記部品上の前記汚染物を検出するステップと、
前記部品上の、クリーニングすべき所定の位置を識別するステップと、
前記所定の位置の近接部内にあるクリーニング環境を提供するように構成されたクリーニング・システムで前記所定の位置をその場でクリーニングするステップであって、前記システムがさらに、汚染物のタイプには実質的に無関係に、前記クリーニング環境を提供するように構成されるステップとを含むクリーニング方法。
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