JP2006108344A - はんだ印刷用マスクおよびはんだバンプの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、半導体パッケージや回路部品を回路基板上に実装してなる電子機器の製造において、回路基板上にはんだペーストを充填する際、ばらつきが小さく、かつ短タクトのはんだペーストの充填方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】所望の形状をした貫通孔3を有する高耐熱性材料の板体1の片面に、前記貫通孔3と同一位置に貫通孔4を有する弾性材料からなる膜2を形成してはんだ印刷用マスク5を構成する。
【選択図】図1
【解決手段】所望の形状をした貫通孔3を有する高耐熱性材料の板体1の片面に、前記貫通孔3と同一位置に貫通孔4を有する弾性材料からなる膜2を形成してはんだ印刷用マスク5を構成する。
【選択図】図1
Description
本発明は半導体パッケージや回路部品を回路基板上に実装してなる電子機器の製造時に関係するはんだ印刷用マスクおよびはんだバンプの形成方法に関するものである。
近年電子機器には、携帯機器等に代表される高機能化、小型化の要求が高まっている。それらの機器に使用される部品実装方法においては、半導体パッケージを用いるものや、半導体ベアチップのアクティブ素子面を基板表面側に向けて直接接合させた、いわゆるフリップチップ実装を用いるものがあるが、電子機器の高機能化、小型化に伴い、どちらも多ピン、狭ピッチ化が進行し、より高精度な実装が必要になってきている。
以下、半導体パッケージを回路基板に実装する際の電子機器の製造工程を、図を用いて説明する。
図5(a)に示すように、回路基板20の表面には、はんだバンプ形成用パッド21とソルダレジスト22があらかじめ形成されている。まず、図5(b)に示すように、回路基板20のはんだバンプを形成する側の面の、ソルダレジスト22の表面に少量のフラックス23を塗布する。
次に、図5(c)に示すように、回路基板20とはんだバンプ形成用治具25とはんだバンプ形成用パッド21とはんだバンプ形成用貫通孔24とが重なるように位置合わせして押し付け、回路基板20とはんだバンプ形成用治具25との間がなるべく狭くなるようにした。この状態で回路基板20およびはんだバンプ形成用治具25を乾燥機に入れ、120℃で15分加熱して乾燥させた後、乾燥機から取り出して常温に戻した。これにより、回路基板20の表面には、はんだバンプ形成用治具25が固定された。
次に、図5(d)に示すように、はんだペースト27をメタルマスク29上に供給し、はんだバンプ形成用治具25を貼り付けた回路基板20上にはんだペースト27を印刷した。これにより、はんだバンプ形成用治具25のはんだバンプ形成用貫通孔24とメタルマスク29の貫通孔30にはんだペースト27が充填され、この後、メタルマスク29を回路基板20から取り外した。はんだペースト27の充填が完了したときの状態を図5(e)に示す。
次に、図5(f)に示すように、はんだペースト27が充填されたはんだバンプ形成用治具25および回路基板20を、窒素リフロー装置に入れて、ピーク温度240℃として加熱し、はんだペースト27を溶融させて、はんだバンプ28とした。
次に、図5(g)に示すように、溶融されたはんだが凝固した後、はんだバンプ形成用治具25が固定された回路基板20をリフロー装置から取り出し、超音波洗浄した。これにより、はんだバンプ28が形成された回路基板20からはんだバンプ形成用治具25が剥離した。さらに、回路基板20とはんだバンプ形成用治具25とを別々に5分間超音波洗浄し、フラックス残さを除去した。
以上のように、はんだバンプ形成用治具と回路基板とをフラックスにより密着させた状態でリフローすることにより、はんだペーストの充填量のばらつきを小さくすることができる。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2001−44231号公報
しかしながら、前記従来の構成では、はんだバンプ形成用治具25を回路基板20上に固定するためにフラックスを使用し、熱硬化させるための時間が必要であるとともに、リフロー後にはんだバンプ形成用治具25を回路基板20上から剥離させるために超音波洗浄を用いる等、極めて工数が多いという課題を有していた。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、回路基板上にはんだペーストを充填する際、短タクトかつ、ばらつきの小さいはんだペーストの充填方法を提供することを目的とするものである。
前記従来の課題を解決するために、本発明のはんだ印刷用マスクは、所望の形状をした貫通孔を有する高耐熱性材料の板体片面に、前記板体に配設した前記貫通孔と同一位置に貫通孔を有する弾性材料からなる膜を設けたものである。
本発明の印刷用マスクは、はんだペーストを充填する回路基板の表面との密着性が良好となり、はんだペーストを回路基板の表面に印刷用マスクを用いて充填する際、はんだペーストの充填量のばらつきが極めて小さくなるとともに、短タクトで充填できる。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1におけるはんだ印刷用マスクおよびその印刷方法について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の実施の形態1におけるはんだ印刷用マスクおよびその印刷方法について図面を参照しながら説明する。
図1は、実施の形態1におけるはんだ印刷用マスクの断面図、図2は同実施の形態におけるはんだ印刷用マスクを説明する模式図であり、(a−1),(a−2)は高耐熱性材料の板体の平面図および断面図、(b−1),(b−2)は弾性材料の膜の平面図および断面図、(c)高耐熱性材料の板体と弾性材料の膜を貼り合わせた断面図を示す。図3は同実施の形態におけるはんだバンプの形成方法を説明する模式図であり、(a)はんだ印刷用マスクと回路基板とを位置合わせする工程の断面図、(b)はんだ印刷用マスクと回路基板とを位置合わせが完了した時の断面図、(c)はんだ印刷用マスクを介して、回路基板にはんだペーストを印刷する工程の断面図、(d)回路基板へのはんだペーストの充填が完了した時の断面図、(e)はんだ印刷用マスクを回路基板から取り外した時の断面図、(f)回路基板に印刷したはんだペーストを溶融した後の断面図を示す。
まず、本実施の形態1に係る印刷用マスクについて説明する。図1に示すように、本実施の形態1に係る印刷用マスクは、はんだペースト印刷用の貫通孔3を有する高耐熱性材料の板体1とはんだペースト印刷用の貫通孔4を有する弾性材料の膜2の2つの積層体から構成されている。図2(a−1),(a−2)に示すように、板体1はSUS材料を用いて、一辺が6mm、厚みは100μmの正方形のものを使用した。後に回路基板に、はんだペーストを充填する位置に、はんだペースト印刷用の貫通孔3が設けられている。このときの貫通孔3は、0.5mmピッチで縦横11列ずつ設け、合計121個とした。ここでの貫通孔3の形状は、直径0.3mmの円形としたが、はんだペーストが充填できれば、楕円形でも四角形でも構わない。
次に、図2(b−1),(b−2)に示す、板体1と同一の外形寸法を有する弾性材料の膜2を用いて、回路基板に接する側の印刷マスクを作製した。膜2の厚みは20μmとし、弾性により回路基板のパターンの厚みを吸収できる厚みとした。
膜2の厚みについては、回路基板のパターン等の凹凸を吸収するため、10μm以上が望ましく、また、厚すぎるとはんだペースト印刷用の貫通孔4の形状が安定しないため、印刷後のはんだペーストの形状の精度が悪化することから、100μm以下が望ましい。膜2は、シリコン系のゴムで形成し、後に回路基板にはんだペーストを充填する際に、シリコンゴムと回路基板とが隙間なく密着するようにした。これにより、印刷後にはんだペーストがにじむことなく、所望の形状に回路基板に印刷される。
次に、図2(c)に示すように、膜2のはんだペースト印刷用の貫通孔4がない領域に熱硬化系のエポキシ樹脂6を塗布し、板体1のはんだペースト印刷用の貫通孔3と膜2のはんだペースト印刷用の貫通孔4とを位置合わせし、密着させた後、硬化炉へ入れ、150℃20分加熱し、熱硬化系のエポキシ樹脂6を硬化させることにより、高耐熱性材料の板体1と弾性材料の膜2とを固定した。
次に、本実施の形態1に係る印刷用マスクを用いたはんだバンプの形成方法について説明する。
まず、図3(a)に示すように、SUS製の高耐熱性材料の板体1とシリコン系ゴム材からなる弾性材料の膜2とで構成されたはんだ印刷用マスク5と回路基板20のはんだバンプ形成用パッド21とを対向させ、位置合わせした後、はんだ印刷用マスク5を回路基板20に密着させた。このとき、回路基板20のはんだバンプ形成用パッド21の周辺の凹凸は、はんだ印刷用マスク5の弾性材料の膜2の弾性により吸収され、はんだ印刷用マスク5と回路基板20とは隙間なく完全に密着させることができた。このときの状態を図3(b)に示す。
次に、図3(c)に示すように、回路基板20上のはんだバンプ形成用パッド21に印刷用マスク5とスキージ26を用いて、はんだペースト27を印刷する。供給されたはんだペースト27をスキージ26により掻き取ることにより、印刷用マスク5のはんだペースト印刷用の貫通孔3、およびはんだペースト印刷用の貫通孔4を通して回路基板20上のはんだバンプ形成用パッド21へはんだペースト27が配置される。回路基板20上のはんだバンプ形成用パッド21へはんだペースト27が充填されたときの断面図を図3(d)に示す。
次に、図3(e)に示すように、印刷用マスク5を回路基板20から取り外した後、はんだペースト27を印刷した回路基板20をピーク温度245℃でリフローすることにより、はんだペースト27を溶融し、はんだバンプ28を形成した。このときの断面図を図3(f)に示す。このようにして、回路基板20のはんだバンプ形成用パッド21へはんだバンプ28を形成した。
なお、本実施の形態では板体1用の高耐熱性材料として、SUS材料を用いたが、他の例として、ポリイミド等の樹脂材料を用いても同様の効果が得られる。また、膜2用の弾性材料としてシリコン系のゴムを使用したが、回路基板20のパターンの厚みを吸収できる程度の弾性があり、かつ回路基板20に密着しやすい材料であれば、他の材料であっても構わない。
以上のように、本実施の形態では、所望の形状をした貫通孔3を有する高耐熱性材料の板体1片面に、前記貫通孔3と同一位置に貫通孔4を有する弾性材料からなる膜2を形成したはんだ印刷用マスク5を用いて、はんだ印刷用マスク5を回路基板20に載置する工程と、はんだ印刷用マスク5を介してはんだペースト27を回路基板20に印刷する工程と、回路基板20からはんだ印刷用マスク5を取り外す工程と、回路基板20に印刷されたはんだペースト27を溶融する工程によりはんだバンプ28を形成するものであり、はんだ印刷用マスク5の表面に弾性材料からなる膜2を形成することにより、はんだ印刷用マスク5と回路基板20との密着性が良好となり、はんだペースト27を回路基板20の表面に印刷用マスク5を用いて充填する際、はんだペースト27の充填量のばらつきを極めて小さくすることができる。
(実施の形態2)
以下、本発明の実施の形態2におけるはんだ印刷用マスクおよびその印刷方法について図4を参照しながら説明する。
以下、本発明の実施の形態2におけるはんだ印刷用マスクおよびその印刷方法について図4を参照しながら説明する。
本実施の形態2に係る印刷用マスクおよび、その作製方法については、本実施の形態1と同様であるため、説明は省き、図4を参照しながらはんだバンプの形成方法を説明する。
図4は同実施の形態におけるはんだバンプの形成方法を説明する模式図であり、(a)はんだ印刷用マスクと回路基板とを位置合わせする工程の断面図、(b)はんだ印刷用マスクと回路基板とを位置合わせが完了した時の断面図、(c)はんだ印刷用マスクを介して、回路基板にはんだペーストを印刷する工程の断面図、(d)回路基板へのはんだペーストの充填が完了した時の断面図、(e)回路基板に印刷したはんだペーストを溶融した後の断面図、(f)はんだ印刷用マスクを回路基板から取り外した時の断面図を示す。
本実施の形態2に係る印刷用マスクを用いたはんだバンプの形成方法について説明する。
まず、図4(a)に示すように、SUS製(高耐熱性材料)の板体1とシリコン系ゴム材等の弾性材料の膜2とで構成されたはんだ印刷用マスク5と、回路基板20のはんだバンプ形成用パッド21とを対向させ、位置合わせした後、はんだ印刷用マスク5を回路基板20に密着させた。このとき、回路基板20のはんだバンプ形成用パッド21の周辺の凹凸は、はんだ印刷用マスク5の弾性材料製の膜2の弾性により吸収され、はんだ印刷用マスク5と回路基板20とは隙間なく完全に密着させることができた。このときの状態を図4(b)に示す。
次に、図4(c)に示すように、回路基板20上のはんだバンプ形成用パッド21に印刷用マスク5とスキージ26を用いて、はんだペースト27を印刷する。供給されたはんだペースト27をスキージ26により掻き取ることにより、印刷用マスク5のはんだペースト印刷用の貫通孔3、およびはんだペースト印刷用の貫通孔4を通して回路基板20上のはんだバンプ形成用パッド21へはんだペースト27が配置される。回路基板20上のはんだバンプ形成用パッド21へはんだペースト27が充填されたときの断面図を図4(d)に示す。
次に、図4(e)に示すように、印刷用マスク5を回路基板20に密着させたまま、はんだペースト27を印刷した回路基板20をピーク温度245℃でリフローすることにより、はんだペースト27を溶融し、はんだバンプ28を形成した。
次に、図4(f)に示すように、印刷用マスク5を回路基板20から取り外し、回路基板20上に形成したはんだバンプ28のみを残した。
なお、本実施の形態では高耐熱性材料製の板体1として、SUS材料を用いたが、他の例として、ポリイミド等の樹脂材料を用いても同様の効果が得られる。また、弾性材料の膜2としてシリコン系のゴムを使用したが、回路基板20のパターンの厚みを吸収できる程度の弾性があり、かつ回路基板20に密着しやすい材料であれば、他の材料であっても構わない。
以上のように、本実施の形態では、所望の形状をした貫通孔3を有する高耐熱性材料製の板体1の片面に、貫通孔3と同一位置に貫通孔4を有する弾性材料からなる膜2を形成したはんだ印刷用マスク5を用いて、はんだ印刷用マスク5を回路基板20に載置する工程と、はんだ印刷用マスク5を介してはんだペースト27を回路基板20に印刷する工程と、はんだ印刷用マスク5と回路基板20とを密着させたまま、回路基板20に印刷したはんだペースト27を溶融させる工程と、回路基板20からはんだ印刷用マスク5を取り外す工程によりはんだバンプ28を形成するものである。はんだ印刷用マスク5の表面に弾性材料からなる膜2を形成することにより、はんだ印刷用マスク5と回路基板20との密着性が良好となり、はんだペースト27を回路基板20の表面に印刷用マスク5を用いて充填する際、はんだペースト27の充填量のばらつきを極めて小さくすることができる。また、はんだ印刷用マスク5と回路基板20とを密着させたまま、はんだペースト27を溶融させた後に、はんだ印刷用マスク5を取り外すことにより、はんだペースト27のにじみが極めて小さくなるため、狭ピッチのはんだバンプ28の形成にも有用である。
以上のように、本発明にかかるはんだ印刷用マスクおよびはんだバンプの形成方法は、はんだ印刷用マスクと回路基板との密着性が良好となり、はんだペーストを回路基板の表面に印刷用マスクを用いて充填する際、はんだペーストの充填量のばらつきを小さくすることが可能となるので、半導体パッケージや回路部品を回路基板上に実装してなる電子機器の製造等にも適用できる。
1 高耐熱性材料の板体
2 弾性材料の膜
3 はんだペースト印刷用の貫通孔
4 はんだペースト印刷用の貫通孔
5 印刷用マスク
2 弾性材料の膜
3 はんだペースト印刷用の貫通孔
4 はんだペースト印刷用の貫通孔
5 印刷用マスク
Claims (5)
- 所望の形状をした貫通孔を有する高耐熱性材料の板体の片面に、この板体に設けた前記貫通孔と同一位置に貫通孔を有する弾性材料からなる膜を設けたことを特徴とするはんだ印刷用マスク。
- 膜はシリコン系のゴム材料で形成されていることを特徴とする請求項1記載のはんだ印刷用マスク。
- 膜は、10μm以上100μm以下とすることを特徴とする請求項1または2記載のはんだ印刷用マスク。
- 請求項1記載のはんだ印刷用マスクを被印刷体に載置する工程と、前記はんだ印刷用マスクを介してはんだペーストを前記被印刷体に印刷する工程と、前記被印刷体から前記はんだ印刷用マスクを取り外す工程と、前記被印刷体に印刷されたはんだペーストを溶融する工程からなることを特徴とするはんだバンプの形成方法。
- 請求項1記載のはんだ印刷用マスクを被印刷体に載置する工程と、前記はんだ印刷用マスクを介してはんだペーストを前記被印刷体に印刷する工程と、前記はんだ印刷用マスクと前記被印刷体とを密着させたまま、前記被印刷体に印刷した前記はんだペーストを溶融させる工程と、前記被印刷体から前記はんだ印刷用マスクを取り外す工程からなることを特徴とするはんだバンプの形成方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004292221A JP2006108344A (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | はんだ印刷用マスクおよびはんだバンプの形成方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008053296A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Denso Corp | 部品の実装方法 |
CN112490137A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-12 | 安徽光智科技有限公司 | 一种焦平面倒装互连铟柱的制备方法 |
-
2004
- 2004-10-05 JP JP2004292221A patent/JP2006108344A/ja active Pending
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CN112490137A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-12 | 安徽光智科技有限公司 | 一种焦平面倒装互连铟柱的制备方法 |
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