JP2006108069A - エキシマランプ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ランプハウス内にエキシマランプが収納され、ランプからの紫外線を外部に照射するエキシマランプ装置であって、ランプハウス(10)の内部に平行に並べられた複数の板状フレーム(110)と、略矩形箱型に成形され、底部にランプ収容部(125)が形成されたユニット(120)と、ランプ収容部に収容されたエキシマランプ(121)と、を具備し、前記ユニット(120)は、対向配置したフレーム(110,110)の間に挿入されると共に当該フレーム(110,110)により取出し可能に支持されていることを特徴とする。
【選択図】 図4
Description
(1)エキシマランプは、発光管の長さが1000mmを超し、ランプの交換の作業が困難になってきている。すなわち、ランプが長いためたわみ易いことに加えて、寿命末期まで使用したエキシマランプは発光管のガラスが紫外光によって劣化しており、取り扱いを慎重に行わなければ、作業中の振動や衝撃で発光管が容易に破損してしまう可能性がある。しかも、特許文献1に記載のランプハウスは光取り出し窓ガラスの上でランプの交換作業を行っており、ランプの交換時に発光管が破損した場合、その破片などが窓ガラス上に落下してランプ収納室を汚染したり、ランプベース等の部材が窓ガラス上に落下した場合破損する等の問題があった。また、特許文献2に記載の光取り出し窓が具備されていないエキシマランプ装置では、基板を搬送するコンベア装置上にランプハウスを設置した状態で、ランプ交換を行っており、ランプの交換時に発光管が破損した場合、その破片などがコンベア室内を汚染してしまう等の問題があった。
(2)ランプハウスの筐体部分は、エキシマランプの熱的影響を受けるためにエキシマランプの点灯、消灯に対応して、熱膨張、収縮を繰り返すが、ランプハウス自体が大型化してきたため、熱膨張による伸びの絶対量が増し、係るランプハウスが搭載されたコンベア装置との接触部において摩擦が生じ、部材同士が摩れて粉が飛散することがあり、基板およびコンベア装置内を汚染することがある。
(3)特許文献1のように石英ガラス板よりなる光取り出し窓を具備した装置においては、ランプハウス内部に不活性ガスが導入、充填され、被処理室よりも高い状態に維持されることがあるが、上述したように装置が大型化して窓の面積が大きくなると、窓を構成するガラスが外方に湾曲して膨出した場合に、光取り出し窓の中心部が基板に極めて近くなり、窓の周縁部と中心部とで処理むらを生じたり、基板に接触したりすることがある。
更に、ランプハウスの熱膨張を回避でき、ランプハウスとコンベア装置などとの間の摩擦で金属粉などが発生したり、浮遊したりすることがなく、被処理物や装置内部の汚染や破損、劣化を防止し、信頼性の向上を図ることが可能なエキシマランプ装置を提供することを目的とする。
また、前記ランプ収容部は、ユニットの底部に形成されていることを特徴とする。
また、前記ユニットは、ケース体を介して、前記フレームに支持されていることを特徴とする。
また、前記冷却機構は、フレーム本体に流路が形成され、当該流路内に冷却用の流体が流通されることにより構成されていることを特徴とする。
また、前記ユニットは、内部が中空であることを特徴とする。
また、前記噴出孔は、エキシマランプの最上部に対向する位置に設けられていることを特徴とする。
また、前記ユニットにランプの冷却機構が設けられていることを特徴とする。
ユニットは、一対のフレームの間に配置されると共に、この一対のフレームによって支持されているので、ユニットは前後移動可能な状態であって、引き出しを容易に行え、したがって、ランプの交換作業を簡便に行うことができる。
そして、フレームの上部側面とユニット側面の間に隙間が設けられていることにより、フレームおよび/又はユニットが、ランプの点灯時の熱で膨張したとしても、両部材が擦れることを未然に防止でき、金属の粉などがランプハウス内や処理室内に飛散することを回避できる。
更に、ユニットの底部にランプ収納部を形成することで、ランプとワークの距離を比較的近づけて配置できるため、ランプから放射された光を減衰が少ない状態で、高効率にワークに照射することができる。
更に、冷却機構は、フレーム本体に流路が形成され、当該流路内に冷却用の流体が流通される冷却機構であるのがよい。
なお、複数のフレームの温度差を生じないようにすると、熱膨張の程度が均整化されて、ランプハウスにひずみが生じることを回避できる。
例えば、流路をフレーム毎に独立して形成し、フレーム毎に流体を導入する機構によれば、フレームを巡回することで冷却流体の温度が上昇するようなことがなく、複数のフレーム間で温度差を生じにくくなる。
更に、ユニットの中空の内部に窒素などの不活性ガスを供給し、被処理物に向けて噴出させる構成とすることで、被処理物近傍において酸素分圧を低下させることでランプから放射された紫外光の吸収を低減させることができ、処理能力を高めることができる。
更に、噴出孔がランプの発光管を取り囲む部分に設けられると、発光管の周囲を窒素ガスが流過して、ランプを冷却することができる。
図1は、本願発明に係るエキシマランプ装置全体を一部断面で示す側面図であり、図2は、図1におけるランプハウスの分解構成図である。図3および図4はいずれも図1のランプハウス部分の断面図であり、図3はA−A断面図、図4はB−B断面図である。また、図5はユニットとフレームの接触部分の断面を拡大して示す説明図であり、図6は給電接続部の構成の説明図である。
図1〜図4を参照して装置全体を説明する。図1に示すように、略矩形箱型のランプハウス10の下方には処理室20が形成されている。係る処理室20内の下方にはコンベアなど不図示の搬送機構が具備されており、ガラス基板などのワークWが搬送されてランプハウス10からエキシマ光が照射され、所定の処理が施される。
ランプハウス10は、側面を形成する枠体11とその上部開口を覆うカバー12と、枠体11の下に配置されたベース13とを具備しており、係るベース13を介して処理室20上に設置されている。なお、図1中の117は冷却流体流通用のチューブ、118は処理ガス供給用のチューブであり、いずれも後段で詳述する。
ランプハウスの下部は開放されており(図1、図4参照)エキシマランプ121の発光管が処理室20の内部空間に臨むよう配置されている。
また、エキシマランプ121の上部には、図1で示すように一端121a側において電源部130が具備されており、図3のように電源部130はフレーム110の間に固定的に取り付けられている。
フレーム110はそのフランジ部112においてユニット120を支持するものであるが、側壁部111を有してある程度高さもって形成されることで、ランプハウス10の機械的強度の増大を図ることができ、ランプハウスのたわみや歪みを生じ難いものにできる。
したがって、エキシマランプ121の交換の際、ユニット120をエキシマランプ装置100の外部に運び出して作業することができ、安全かつ作業性よく行え、仮に交換作業中にランプが破損したとしてもランプの破片によって処理室内やランプハウス内が汚染されるようなこともない。
また、フレーム110の側壁部111により高さを高くすることで機械的強度を増大させることができ、たわみや歪みが生じにくいランプハウス10を製作することができる。
電源部130の下部には、個々のエキシマランプ121に対応するよう、板バネを屈曲して形成された給電端子131が突設されている。図6(a)に従い、ランプハウス10から取り出したユニット120を再びランプハウス10内に収納すると、ユニット120に設けられた給電突子124が、図6(b)のように給電端子131を押圧して接触し、これにより電源部130とエキシマランプ121とが電気的に接続されるようになる。このような給電接続は図3で示すように各エキシマランプ121に設けられているが、上記のようにユニット120をランプハウス10に収納する作業と同時に行われるため、作業は極めて簡単で給電接続も確実に行える。
図4で示すように各ユニット120の底面120cの略中央部には、例えば内方に凸出する断面半円状の溝が長さ方向に二ヶ所形成されており、それぞれランプ収容部125が設けられている。各ランプ収容部125には、一対の保持具126a,126bが、図8で示す拡大図のように突設されており、エキシマランプ121はこの保持具126a,126bによって支持されてユニット120に装着されている。なお、図8中の127は噴出孔、矢印は処理ガスの流れを示すものであり、いずれも後段で説明する。
ランプ保持具126a,126bは、例えばU字型に成形された線形バネよりなり、U字部分が互いに離反する方向に変形可能で、ランプを上方に挿入するのみでユニット120に装着可能であり、着脱が自在かつ容易なものとされている。このような保持具126a,126bは、ここでは不図示であるがエキシマランプ121の長さ方向においても数箇所設けられている。
エキシマランプ121は例えば、合成石英ガラスからなり内部にキセノンガスが封入された直管状の発光管121bを具備し、当該発光管121b外表面上に半円筒状の外部電極121cが添設され、一方、発光管121bの内部にコイル状の内部電極121dが配設されて、構成されており、内部電極121dと外部電極121cの間に高周波電圧が印加されるものである。121eは、放電安定化のため具備された誘電体よりなる筒管であり、例えばガラス管である。この筒管121eの内部に内部電極121dが挿入されている。
内部電極121dの両端にはモリブデンからなる金属箔121fがそれぞれ接続されており、この金属箔121fが発光管121bの端部に形成されたピンチシール部121gに埋設されて、内部電極121dが発光管内において懸架され、同時に発光管121bが封止されている。金属箔121fの外端部には、外部リード棒121hが溶接されており、係る外部リード棒が発光管外部に取り出されている。なお、121iは、ガラス管121eの半径方向の移動を規制するため発光管121bの内壁から中心方向に突出形成した支柱である。
内部電極121dと外部電極121c間に電圧が印加されると、発光管121bおよびガラス管121eを介して放電が発生し、放電空間内のキセノンが励起されて波長172nmエキシマ光が生成され、発光管121b外部に放射される。
無論、エキシマランプ構成は上記構成に限定されるものではなく、適宜変更可能である。
例えば、図2で示すようにフレーム110の側壁部111の一側面には断面U字の貫通溝114が、フレーム110の長さ方向に2本形成される。貫通溝114の内部には、外形が略U字型をなす導管115が、折り返し部115aがフレーム110外部に突出した状態で嵌め込まれ、その上に板状の押さえ部材116が添設されて一体に固定される。この導管115により、図3,図4などで示すような流路Fが各フレーム110に形成される。
導管115に冷却流体が供給されると、導管115内部に形成された流路Fを流体が流過し、フレーム110の熱を移送しながら巡り、これによりフレーム110が冷却される。流体は最終的に排出口115cよりランプハウス10外部へ排出されるようになる。
流体を巡回させる場合は多数のフレーム110,110・・を通過するため流体自身が昇温し、次第に冷却能が低下することが予想されるため、フレーム110,110・・毎に独立した冷却経路を形成する方が好ましい。係る場合、フレーム110,110・・間で温度差が生じることを防止でき、したがって、フレーム110,110・・に熱膨張差が生じず、ランプハウス10に歪が発生することを回避できる。
例えば、図1で示したガス供給用チューブ118からユニット120本体の中空内部にガスが導入される。ユニット120には、図8の断面図で示すように噴出孔127が形成されており、ユニット120内部に導入されたガスが、矢印で示すようにランプ収容部125の壁とエキシマランプ121の間隙をぬって下方の処理室に向けて噴射される。
この実施形態のように、噴出孔127がエキシマランプ121の発光管の最上部に対応する位置(図8参照)に形成されることで、エキシマランプ121の周囲をガスが流れるため、ガスがランプの冷却にも寄与されるようになり、特に好適である。このような噴出孔は、図10で示すユニット底面側からみた平面図のように、ユニットの長さ方向にわたり均等に形成されるのが、処理ガス濃度を均一化できて好ましい。
同図に示すようにユニット120内部は中空に形成されており、その底面に形成されたランプ収容部125に対応する内面に、樋状に形成された導管保持部128が設けられている。そしてこの導管保持部128に冷却流体が流過する導管Pが載置されて、図示省略の取り付け部材により密着して固定されている。なお、冷却流体は例えば水などからなる。
このように、ユニット120に冷却手段を設けることにより、エキシマランプ121が冷却されてランプの効率を高めると共に、ユニット120本体の熱膨張が抑制され、装置全体に歪が生じることを効果的に抑制することができるようになる。
例えば、第1の実施形態では電源部をフレームに取り付けて装置に固定した(図3参照)が、係る電源部をユニット側に取り付けても構わない。係る場合、ランプ交換のときに、ランプをユニットに取り付ける作業と連続して、その場でランプと電源部の給電接続を済ませることが可能になり、給電接続を確実にできるため、高い信頼性を得ることができる。
また、電源部とランプとの間の給電接続構造については、板状端子と突子を用いた押圧による接続手段に限定されることなく、公知の給電接続構造を採用することができる。例えばオスメスコネクタや圧着端子等を用いてネジ止めするなど、その手段は適宜である。
また、図8においては、エキシマランプとユニットは非接触した状態の例を示したが、無論、これに限定されることなく、ランプをユニット底面に接触させた状態で保持しても構わない。なお、ランプをユニットに密着させて保持した場合には、ユニットが多少振動した場合もランプの移動が規制されるため、不所望にランプが回動したり上下方向に振動したりすることが抑制されるようになる。
また、ランプの保持具についても、図8で示したものに限定されず適宜である。例えば、断面半円弧状に成形された支持部を有する板状の支持部材を用いてランプを下から支持し、ユニットにネジ止め固定してもよい。
例えば図12は、本発明の他の実施形態を説明する図であり、1つのユニットを取り出して示す要部拡大断面図である。なお、ここでは先に図1〜図11で説明した構成と同構成については、同じ符号で示してその説明を省略する。
図12において、ユニット120の天板122は、両側縁部が下方の箱状のユニット側面よりも外方に延在して突出しており、突出部122A,122Aが一対のフレーム110の側壁部111に設けられた段部111A,111A上に載置され、取り出し自在に支持されている。
このように、フレーム110に形成されるユニット120の支持部は、前述したフランジ部に限定されず、少なくとも一部にユニットが載置されていればよい。
なお、この例においては、フレームに設けられたフランジ部112はユニットの支持をしないため、フランジ部112をあえて設ける必要はないが、フランジ部を形成しておくとフレーム110とユニット120の摩擦によって金属粉などが発生した場合にそれらを一時的に回収できるようになるため、処理室やランプハウスの内部を清浄に維持することができる。
この実施形態においては、一対のフレーム110,110が、側面111B,111Bが下方に向かうに従って離間距離が狭くなるようにテーパー状に形成されている。そして、ユニット120は、側面120B,120Bが下方に向かって幅が小さくなるように形成されており、前記一対のフレーム110,110の間に嵌合することにより、着脱自在に支持されている。このように、ユニットと一対のフレームの側面をテーパー状とし、両者を嵌合させて支持しても、ユニットの取り出しを容易に行える。
なお、この例においても、フランジ部112をあえて設ける必要はないが、フランジ部112を形成しておくとフレーム110とユニット120の摩擦によって金属粉などが発生した場合にそれらを一時的に回収できるようになるため、処理室やランプハウスの内部を清浄に維持することができる。
ケース体200は、例えば、側板201aと端板201bとよりなる枠部材201と、枠部材201の開口部を覆う窓部材202とを具備して構成される。枠部材201は、ユニット120の底面形状に合せて矩形形状に成形され、その上端がユニット120における天板122または底面に密着し、図示省略のネジ等によって締結されている。図15、図16で示すように枠部材201の下端部には、窓部材202取付用の支持部材201Aが設けられており、この支持部材201Aと枠部本体201の間に形成された係止溝Dに窓部材202の側縁部が嵌合する。
処理ガスは、例えば不活性ガス(具体的には窒素ガス)であり、ケース体200内部空間Hが不活性ガスで充填されることでエキシマランプ121から放射された光を効率よくワークに対して照射できるようになる。このようにしてケース体200内部空間Hをガスで充填させる場合は、内部の圧力が外部(被処理室)雰囲気よりも高い状態に維持されることがあるが、上述したようにワークの面積に対して窓部材202の大きさを小さく構成できるため、ガラスが外方に湾曲して膨出することが回避され、窓部材202の最大たわみ量が小さくて、当該窓部材202とワークの間の距離を、窓部材202の全域にわたってほぼ一定となるよう支持することができる。よって、窓の周縁部と中心部とで処理むらを生じたり、窓部材202が基板に接触したりすることも回避できる。なお、窓部材202とワークとの距離は例えば0.5〜10mm(好ましくは、3〜5mm)とされる。
この実施形態は、前図図16で示したものに比較し、エキシマランプ121から放射された光を、紙面上において下方(窓部材202側)に向けて反射する反射ミラー203を、ランプ121に沿って取り付けた例である。反射ミラー203は例えば無垢のアルミニウム板を折曲形成したものであり、ランプ121の長手方向全長に亘って配置されている。
処理ガスの噴出孔127はランプ収容部125における頂部に対応する部分にのみ形成されており、ユニット120内部に導入された処理ガスがエキシマランプ121の外周に沿って流過すると共に、ケース体200の内部空間H側に効率よく導入されるようになっている。更に、ケース体200には、枠部材201に噴出孔204が数箇所形成されており、ケース体200内部の空間Hを不活性ガスで充填し、内部の酸素濃度を減少させることができる。このように処理ガスとその流過経路の設定内容によってため、反射ミラー203を金属の無垢材料より構成した場合でも、ケース体200内部の酸素濃度を低くすることができるため、紫外光照射に由来した金属部材の酸化現象を効果的に防止することができる。
この実施形態は、ユニット120の支持を、ケース体200の枠部材201(詳しくは支持部材201A)をフレーム110におけるフランジ部112上に載置して行った例である。このように本発明においては、ケース体200を介してユニット120を支持してもよい。かかる場合は、フレームにおける冷却機構をケース体200の側面にも拡大させることができる。
10 ランプハウス
11 枠体
12 カバー
13 ベース
20 処理室
110 フレーム
111 側壁部
111a 嵌合溝
111A フレーム段部
111B フレーム側面
112 フランジ部
113 凹所
114 貫通溝
115 導管
115a 折り返し部
115b 供給口
115c 排出口
116 押さえ部材
117 冷却流体流通用チューブ
118 ガス供給用チューブ
120 ユニット
120a 一端
120B ユニット側面
121 エキシマランプ
121a 一端
121b 発光管
121c 外部電極
121d 内部電極
121e ガラス管
122 天板
122A 突出部
122a 案内ピン
123 把手
124 給電突子
125 ランプ収容部
126a,126b 保持具
127 噴出孔
128 保持部
130 電源部
131 給電端子
200 ケース体
201 枠部材
201A 支持部材
202 窓部材
F 流路
D 溝
H ケース体内部空間
P 導管
Claims (11)
- ランプハウス内にエキシマランプが収納され、ランプからの紫外線を外部に照射するエキシマランプ装置であって、
ランプハウスの内部に平行に並べられた複数の板状フレームと、
略矩形箱型に成形され、ランプ収容部が形成されたユニットと、
前記ランプ収容部に収容されたエキシマランプと、を具備し、
前記ユニットは、対向配置したフレームの間に挿入されると共に当該フレームにより取出し可能に支持されていることを特徴とするエキシマランプ装置。 - 前記ランプ収容部は、ユニットの底部に形成されていることを特徴とする請求項1記載のエキシマランプ装置。
- 前記ユニットは、光取り出し部が形成されたケース体を具備していることを特徴とする請求項1記載のエキシマランプ装置。
- 前記ユニットは、ケース体を介して、前記フレームに支持されていることを特徴とする請求項3記載のエキシマランプ装置。
- 前記フレームに冷却機構が具備されていることを特徴とする請求項1記載のエキシマランプ装置。
- 前記冷却機構は、フレーム本体に流路が形成され、当該流路内に冷却用の流体が流通されることにより構成されていることを特徴とする請求項5記載のエキシマランプ装置。
- 前記ユニットは、内部が中空であることを特徴とする請求項1記載のエキシマランプ装置。
- ガスを供給するガス供給手段が具備されてなり、
前記ガスは、前記ユニットの内部を流通して底面に穿設された噴出孔から噴出することを特徴とする請求項7記載のエキシマランプ装置。 - 前記噴出孔は、エキシマランプの最上部に対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項8記載のエキシマランプ装置。
- 前記ユニットにランプの冷却機構が設けられていることを特徴とする請求項7記載のエキシマランプ装置
- 前記フレームには底部にフランジ部が形成され、
当該フランジ部の上面に凹所が形成されていることを特徴とする請求項1記載のエキシマランプ装置。
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