JP2006104525A - スパッタ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 この発明は、真空空間を画成する真空容器と、該真空容器内に回転可能に配された基板保持台と、該基板保持台に載置される基板と、該基板に対して所定の角度で傾斜すると共に、前記基板に対して平行に移動するカソードと、該カソードに装着され、膜形成用材料からなるターゲットとを少なくとも具備するスパッタ装置において、前記基板と平行に配され、前記基板の所定の位置を前記ターゲットに対して露出する開口部が形成されたマスクが設けられることにある。また、前記カソードの前面には、前記マスクと平行に開口する開口部を有するフードが設けられる。
【選択図】 図1
Description
2 真空容器
3 真空容器
4 基板保持台
5 基板
6 回転軸
7 ギア
8 電動モータ
10 スパッタカソード装置
11 カソード部
12 マグネット
13 ターゲット
14 蛇腹部
15 移動ロッド
16 ネジ部
19 電動モータ
20 開口部
21 マスク
22 マスク支持柱
23 開口部
30 フード
31 スパッタ粒子出口
32 フードシャドー
40 移動装置
50 薄膜
Claims (5)
- 真空空間を画成する真空容器と、該真空容器内に回転可能に配された基板保持台と、該基板保持台に載置される基板と、該基板に対して所定の角度で傾斜すると共に、前記基板に対して平行に移動するカソードと、該カソードに装着され、膜形成用材料からなるターゲットとを少なくとも具備するスパッタ装置において、
前記基板と平行に配され、前記基板の所定の位置を前記ターゲットに対して露出する開口部が形成されたマスクが設けられることを特徴とするスパッタ装置。 - 前記開口部は、半円形状であることを特徴とする請求項1記載のスパッタ装置。
- 前記開口部は、略長円形状であることを特徴とする請求項1記載のスパッタ装置。
- 前記カソードの前面には、前記マスクと平行に開口する開口部を有するフードが設けられることを特徴とする請求項1〜3のいずれ一つに記載のスパッタ装置。
- 前記フードの開口部には、該開口部の開口面積を制限するフードシャドーが設けられることを特徴とする請求項4記載のスパッタ装置。
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