JP2006100668A - 電子線描画方法および磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レジストが塗布された基板が載置されるステージを1水平方向に移動させる移動機構と、ステージを回転させる回転機構とを備えた電子線描画装置を用いてレジストに電子線を照射して描画する電子線描画方法であって、1回転毎にレジストに同心円を描くように電子線の偏向量を次第に変化させて露光する場合に、1度露光した場所を、次回転以降に少なくとも1回以上電子線の偏向量を変化させて露光する。
【選択図】 図1
Description
本発明の一実施形態による電子線描画方法を図1乃至図4を参照して説明する。この実施形態による電子線描画方法は、ディスクリート型の磁気記録媒体の製造方法に用いられるものであって、例えば図8に示すように、ステージを1水平方向に移動させる移動機構と、ステージを回転させる回転機構とを有するステージ連続移動方式の電子線描画装置を用いて行う。
本発明の実施例1による磁気記録媒体の製造方法を図3および図4を参照して説明する。
露光部分半径:4.8mm〜10.2mm
セクタ数:120
トラックピッチ:300nm
送り量:20nm
アドレス部ビット:0〜1000
トラック部ビット:1001〜9999
20×(m−1)/120[mV]〜20×(m−1)/120+20×1/120×1000/10000[mV]
に、トラック部を
20+20×(m−1)/120+20×1/120×1000/10000[mV]〜20+20×m/120[mV]
に偏向強度を強めて露光した。
スルファミン酸ニッケル:600g/L
ホウ酸:40g/L
界面活性剤(ラウリル硫酸ナトリウム):0.15g/L
液の温度:55℃
P.H:4.0
電流密度:20A/dm2
本発明の実施例2による磁気記録媒体の製造方法を説明する。本実施例は、電子線の偏向強度以外は実施例1と同様にして磁気記録媒体を制作した。本実施例における電子線の偏向強度は、15k+8(kは0または自然数)周についてはm(mは1〜120)セクタにおいてアドレス部を
20×(m−1)/120[mV]〜20×(m−1)/120+20×1/120×1000/10000[mV]
に、トラック部を
15+20×(m−1)/120+20×1/120×1000/10000[mV]〜15+20×m/120[mV]
に偏向強度を強めて露光した。インプリントおよび加工された媒体のトラック部溝の幅を測定したところ、100nmであって、実施例1の場合よりも幅が広いものが形成された。
偏向強度以外は実施例1と同様に磁気記録媒体を製作した。この比較例においては、すべての周において0mVから20mVまでその1回転の間に徐々に増加させながら偏向強度を強めて同心円を描いた。インプリントおよび加工された媒体のトラック部の溝の幅を測定したところ、150nmであった。
4 レジスト
4a レジストパターン
6 導電膜
8 スタンパ
10 基板
12 磁性層(記録層)
14 レジスト
16 保護膜
Claims (4)
- レジストが塗布された基板が載置されるステージを1水平方向に移動させる移動機構と、前記ステージを回転させる回転機構とを備えた電子線描画装置を用いて前記レジストに電子線を照射して描画する電子線描画方法において、
1回転毎に前記レジストに同心円を描くように電子線の偏向量を次第に変化させて露光する場合に、1度露光した場所を、次回転以降に少なくとも1回以上前記電子線の偏向量を変化させて露光することを特徴とする電子線描画方法。 - 前記次回転以降に少なくとも1回以上前記電子線の偏向量を変化させて露光する際の電子線の偏向量を、前記1度露光した場所の再度露光する前の露光像と、前記次回転以降に少なくとも1回以上前記電子線の偏向量を変化させて露光する露光像が実質的に重なるように変化させることを特徴とする請求項1記載の電子線描画方法。
- 前記次回転以降に少なくとも1回以上前記電子線の偏向量を変化させて露光する際の電子線の偏向量を、前記1度露光した場所の再度露光する前の露光像と、前記次回転以降に少なくとも1回以上前記電子線の偏向量を変化させて露光する露光像が一部分重なるように変化させることを特徴とする請求項1記載の電子線描画方法。
- 少なくともサーボ領域とデータ領域を有し、前記データ領域の隣接トラック間が非磁性部によって分離されている磁気記録媒体の製造をインプリント法で行う磁気記録媒体の製造方法において、
前記インプリント法に用いるスタンパを作製するためのレジスト原盤の、前記データ領域部に対応する部分を形成する際に請求項1乃至3のいずれかに記載の電子線描画方法を用いて行うことを特徴とする磁気記録媒体製造方法。
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JP2011243243A (ja) | 磁気ディスク記録媒体用スタンパおよび磁気転写マスターの製造方法 |
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