JP4625816B2 - 原盤の作製方法、磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態による原盤の作製方法について図1乃至図7を参照して説明する。
第1実施例においては、磁気記録媒体のアドレス部に対応する感光性樹脂膜4の領域を電子線によってパターン描画するときは、ステージ122の各回転毎に、図1(a)に示すように、1ビット単位当たり複数(図中では4個)のブランキング信号によって描画する。このとき、複数のブランキング信号のそれぞれに対応する電子ビームが図1(a)下側の図の破線に示すように重なってもよいし、重ならなくても良い。これに対して、データ部に対応する領域をパターン描画するときは、図1(b)に示すように、1ビット単位当たり1個のブランキング信号によって描画されても良い。その場合、ブランキング信号に対応する電子ビームも孤立した1個となる。
第2実施例においては、アドレス部およびデータ部のパターンを描画するためのブランキング信号の出力が信号源140に付随する計算処理装置において計算されるときに、図2(a)、(b)に示すように、アドレス部におけるブランキング信号のON乃至OFFの1信号出力単位がデータ部におけるブランキング信号のON乃至OFFの1信号出力単位よりも大きくして描画する。例えば図中では、アドレス部では図2(a)に示すように1信号出力単位が5単位であり、データ部では図2(b)に示すように1信号出力単位が2単位となっている。このとき、アドレス部に対応する領域を照射する電子ビームは、5個のブランキング信号個々に対応する電子ビームであっても良いし、第1の実施例で述べたように、5個のブランキング信号全体として対応する重なった電子ビームであっても良い。
第3実施例においては、第2実施例において更に、図3(a)、(b)に示すように、アドレス部におけるブランキング信号のON乃至OFFの1信号出力単位がデータ部におけるブランキング信号の1信号出力単位の複数倍になるようにする。例えば、図3(b)に示すようにデータ部におけるブランキング信号の1信号出力単位は1単位であるのに対して、図3(a)に示すようにアドレス部ではブランキング信号の1信号出力単位は4単位であるように構成する。このとき、アドレス部に対応する領域を照射する電子ビームは、4個のブランキング信号個々に対応する電子ビームであっても良いし、第1の実施例で述べたように、4個のブランキング信号全体として対応する重なった電子ビームであっても良い。
次に、本発明の第2実施形態による磁気記録媒体について図8(a)乃至9(f)を参照して説明する。本実施形態の磁気記録媒体は、磁性体加工型のビットパターンド磁気記録媒体(Magnetic bit-patterned media)であり、その製造の際に、露光工程において第1実施形態で説明した電子線描画方法を用いる。以下、本実施形態の磁気記録媒体の製造工程を説明する。
本発明の実施例1による磁気記録媒体を図8(a)乃至図9(f)を参照して説明する。
露光部分半径:4.8mm〜10.2mm
セクタ数/トラック:150
ビット数/セクタ:4000
トラックピッチ:200nm
1回転毎の送り量:10nm
1トラック当たりの露光周回数:20周
線速度:1m/s(一定)
りである。
スルファミン酸ニッケル:600g/L
ホウ酸:40g/L
界面活性剤(ラウリル硫酸ナトリウム):0.15g/L
液の温度:55℃
P.H:4.0
電流密度:20A/dm2
次に、本発明の実施例2による磁気記録媒体の製造方法を図10(a)乃至図10(d)を参照して説明する。本実施例の製造方法によって製造される磁気記録媒体は、基板加工型の磁気記録媒体である。
4 レジスト
4a レジストパターン
6 導電膜
8 電鋳膜
30 スタンパ
10 基板
12 磁性層(記録層)
14 レジスト
16 保護膜
60 基板
61 レジスト
63 磁性膜
65 保護膜
100 電子照射部
101 電子線(電子ビーム)
102 ブランキング駆動部
104 偏向駆動部
106 対物レンズ
120 回転機構
130 移動機構
140 信号源
Claims (7)
- 感光性樹脂膜が形成された基板が載置されるステージを回転させる回転機構と、前記ステージを1水平方向に移動させる移動機構と、前記感光性樹脂膜に電子線を照射する電子線照射部と、前記電子線のブランキングを制御するブランキング駆動部とを備えた電子線描画装置を用い、前記感光性樹脂膜に前記電子線を照射してパターンを描画し、その得たパターンを元に、データ部がビット毎に非磁性部によって区切られたパターンドメディア型磁気記録媒体の加工用のスタンパを作製する原盤の作製方法であって、
前記パターンを描画する際に、前記磁気記録媒体のアドレス部に対応する部分は1ビット単位当たり前記ステージの1回転中に複数のブランキング信号によって描画し、前記アドレス部の対応する部分と同一半径位置における前記磁気記録媒体のデータ部に対応する部分は1ビット単位当たり前記ステージの1回転中に前記アドレス部を描画する場合よりも少ない個数のブランキング信号によって描画し、前記ブランキング信号によって描画された部分が前記磁気記録媒体の非磁性部であることを特徴とする原盤の作製方法。 - 感光性樹脂膜が形成された基板が載置されるステージを回転させる回転機構と、前記ステージを1水平方向に移動させる移動機構と、前記感光性樹脂膜に電子線を照射する電子線照射部と、前記電子線のブランキングを制御するブランキング駆動部とを備えた電子線描画装置を用い、前記感光性樹脂膜に前記電子線を照射してパターンを描画し、その得たパターンを元に少なくともアドレス部とデータ部を有するパターンドメディア型磁気記録媒体の加工用のスタンパを作製する原盤の作製方法であって、
前記アドレス部および前記データ部のパターンを描画するためのブランキング信号の出力が前記信号源に付随する計算処理装置において計算されるときに、前記アドレス部に対応する領域における前記ブランキング信号のON乃至OFFの1信号出力単位が、前記アドレス部の対応する領域と同一半径位置における前記データ部に対応する領域における前記ブランキング信号のON乃至OFFの1信号出力単位よりも大きくしてパターンを描画し、前記ブランキング信号によって描画された部分が前記磁気記録媒体の非磁性部であることを特徴とする原盤の作製方法。 - 前記アドレス部に対応する領域における前記ブランキング信号のON乃至OFFの1信号出力単位が、前記アドレス部の対応する領域と同一半径位置におけるデータ部に対応する領域における1信号出力単位の複数倍であることを特徴とする請求項2記載の原盤の作製方法。
- データ部と、前記データ部を跨ぐように配されたアドレス部とを有し、前記データ部における半径方向に形成された磁性および非磁性のラインのピッチが、前記データ部と同一半径において、前記アドレス部における半径方向に形成された磁性および非磁性のラインのピッチよりも短いことを特徴とするパターンドメディア型の磁気記録媒体。
- 前記データ部における半径方向に形成された磁性および非磁性のラインのピッチが、前記データ部と同一半径において、前記アドレス部における半径方向に形成された磁性および非磁性のラインのピッチの半分であることを特徴とする請求項4記載の磁気記録媒体。
- データ部と、前記データ部を跨ぐように配されたアドレス部とを有し、前記データ部における半径方向の非磁性ラインのパターンの太さが、前記データ部と同一半径において、アドレス部における半径方向の非磁性ラインのパターン太さよりも細いことを特徴とするパターンドメディア型の磁気記録媒体。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の原盤の作製方法を用いて原盤を作製し、この原盤を用いてパターンドメディア型磁気記録媒体を製造することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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