JPWO2009017016A1 - 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ディスクリートトラック媒体の一例として、表面に凹凸パターンを形成した非磁性基板に磁気記録媒体を形成して、物理的に分離した磁気記録トラックおよびサーボ信号パターンを形成してなる磁気記録媒体が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
この磁気記録媒体によれば、軟磁性層での磁壁発生を抑制できるため熱揺らぎの影響が出にくく、隣接する信号間の干渉もないので、ノイズの少ない高密度磁気記録媒体を形成できるとされている。
本発明の他の目的は、上記のような特性を有する磁気記録媒体を具え、しかも、良好なヘッド浮上特性を有する、いわゆるディスクリートトラック型磁気記録媒体やパターンドメディアなどの磁気記録再生装置を提供することにある。
すなわち、本発明によれば、以下に列挙する磁気記録媒体の製造方法、および磁気記録再生装置が提供される。
[1]磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法であって、次の(1)、(2)、(3)の順で実施をする3つの工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
(1)非磁性基板上に磁性層を形成する工程、
(2)磁性層を磁気的に分離する領域の磁性層表層部分を除去する工程、
(3)該磁性層表層部分を除去することにより露出した磁性層領域の表面を反応性プラズマまたは反応性イオンに曝して、該磁性層領域の磁気特性を改質することにより、改質された磁気特性を有する磁性層領域によって磁気的に分離されている磁気記録パターンを形成する工程。
[3]工程(2)において、磁性層表層部分の除去をイオンミリングで行う上記[1]または[2]に記載の磁気記録媒体の製造方法。
[4]工程(3)において、該磁性層領域の表面を反応性プラズマまたは反応性イオンに曝すことによって、改質された磁気特性を有する磁性層領域の磁化量を、改質されない磁気特性を有する磁性層領域の磁化量の75%以下とする上記[1]〜[3]の何れかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
[6]反応性プラズマまたは反応性イオンが、酸素イオンを含有するプラズマまたは反応性イオンである上記[1]〜[5]の何れかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
[8]ハロゲンイオンが、CF4、SF6、CHF3、CCl4、KBrからなる群から選ばれた少なくとも1種のハロゲン化ガスを反応性プラズマ中に導入して形成したハロゲンイオンである上記[7]に記載の磁気記録媒体の製造方法。
[9]ハロゲンイオンがFイオンである上記[7]に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(1)非磁性基板上に磁性層を形成する工程、
(2)磁性層の上にマスク層を形成する工程、
(3)マスク層の上にレジスト層を形成する工程、
(4)レジスト層の上に、磁性層を磁気的に分離する磁気記録パターンを形成する工程、
(5)磁気記録パターンにおいて磁性層を磁気的に分離する領域のマスク層部分を除去する工程、
(6)マスク層部分の除去によって露出した領域の磁性層の表層部分を除去する工程、
(7)磁性層の表層部分の除去により露出した領域の磁性層を反応性プラズマまたは反応性イオンに曝して、該磁性層領域の磁気特性を改質することにより、改質された磁気特性を有する磁性層領域によって磁気的に分離されている磁気記録パターンを形成する工程。
2 磁性層
3 マスク層
4 レジスト層
5 スタンプ
6 ミリングイオン
7 部分的に磁性層表層部分が除去された領域
d 除去された磁性層表層部分の厚さ
8 磁気特性が改質された磁性層領域
9 保護膜
11 媒体駆動部
27 磁気ヘッド
28 ヘッド駆動部
29 記録再生信号系
30 磁気記録媒体
本願発明の方法は、次の(1)〜(3)の順に実施をされる3つの工程を含むことを特徴とする。
(1)非磁性基板上に磁性層を形成する工程、
(2)磁性層を磁気的に分離する領域の磁性層表層部分を除去する工程、
(3)該磁性層表層部分を除去することにより露出した磁性層領域の表面を反応性プラズマまたは反応性イオンに曝して、該磁性層領域の磁気特性を改質することにより、改質された磁気特性を有する磁性層領域によって磁気的に分離されている磁気記録パターンを形成する工程。
(1)非磁性基板上に磁性層を形成する工程、
(2)磁性層の上にマスク層を形成する工程、
(3)マスク層の上にレジスト層を形成する工程、
(4)レジスト層の上に、磁性層を磁気的に分離する磁気記録パターンを形成する工程、
(5)磁気記録パターンにおいて磁性層を磁気的に分離する領域のマスク層部分を除去する工程、
(6)マスク層部分の除去によって露出した領域の磁性層の表層部分を除去する工程、
(7)磁性層の表層部分の除去により露出した領域の磁性層を反応性プラズマまたは反応性イオンに曝して、該磁性層領域の磁気特性を改質することにより、改質された磁気特性を有する磁性層領域によって磁気的に分離されている磁気記録パターンを形成する工程。
本願発明では、上記の磁気記録パターンの中でも、磁気的に分離した磁気記録パターンが磁気記録トラックおよびサーボ信号パターンである、いわゆる、ディスクリート型磁気記録媒体の製造に適用するのが、その製造プロセスの簡便性から好ましい。
製造される磁気記録媒体は、図2、工程Iに示すように、例えば、非磁性基板1の表面に、磁気パターンが形成された磁性層2、保護膜9を順次積層した構造を有し、さらに最表面には、所望により潤滑膜(図示せず)が形成されている。なお、本願発明の磁気記録媒体では、非磁性基板1および磁性層2以外は必要に応じて適宜設ければよい。よって、図1では、磁気記録媒体を構成する非磁性基板1、磁性層2、保護層9以外の層は省略している。通常は、図示していないが、非磁性基板1の表面に、軟磁性層および中間層を形成した後、磁気パターンを有する磁性層2が形成される。
これら非磁性基板の平均表面粗さ(Ra)は、1nm以下、さらには0.5nm以下であることが好ましく、0.1nm以下であることが特に好ましい。
面内磁気記録媒体用の磁性層としては、例えば、非磁性のCrMo下地層と強磁性のCoCrPtTa磁性層からなる積層構造が利用できる。
磁性層の厚さは、3nm〜20nm、好ましくは5nm〜15nmの範囲である。磁性層は使用する磁性合金の種類と積層構造に対応して、十分なヘッド出入力が得られるように形成すればよい。磁性層の膜厚は再生の際に一定以上の出力を得るにはある程度以上の磁性層膜厚が必要である。一方、記録再生特性を表す諸パラメーターは出力の上昇とともに劣化するのが通例である。従って、出力と記録再生特性とを考慮して、最適な膜厚に設定することが好ましい。
レジストの硬化に用いる放射線とは、熱線、可視光線、紫外線、X線、ガンマ線などの広い概念の電磁波を指す。また、放射線照射により硬化性を示す材料としては、例えば、熱線に対しては熱硬化樹脂、紫外線に対しては紫外線硬化樹脂が挙げられる。
上記のような方法を用いることにより、磁気トラック間領域の保磁力、残留磁化を極限まで低減させることができ、その結果、磁気記録の際の書きにじみをなくし、高い面記録密度の磁気記録媒体を提供することが可能となる。
スタンプに形成されるパターンとしては、通常のデータを記録するトラックの他にバーストパターン、グレイコードパターン、プリアンブルパターンといったサーボ信号のパターンも含まれる。
本願発明では、特に、磁気特性の改質として、反応性プラズマや反応性イオンに曝した領域の磁性層の磁化量を、非改質領域の好ましくは75%以下、より好ましくは50%以下とする。また、保磁力を、非改質領域の好ましくは50%以下、より好ましくは20%以下とする。このような方法を用いてディスクリートトラック型磁気記録媒体を製造することにより、本媒体に磁気記録を行う際の書きにじみをなくし、高い面記録密度の磁気記録媒体を提供することが可能となる。
また、本願発明にいて用いる反応性イオンとしては、前述の誘導結合プラズマ、反応性イオンプラズマ内に存在する反応性のイオンが例示できる。
反応性イオンプラズマとは、プラズマ中にO2、SF6、CHF3、CF4、CCl4などの反応性ガスを加えた反応性の高いプラズマである。このようなプラズマを本願発明の反応性プラズマとして用いることにより、磁性膜の磁気特性の改質をより高い効率で実現することが可能となる。
工程Hに示した反応性プラズマ処理を行った後のレジスト4およびマスク3の除去は、ドライエッチング、反応性イオンエッチング、イオンミリング、湿式エッチングなどの手法を用いることができる。
保護膜9の形成は、一般的にはDiamond Like Carbonの薄膜をP−CVDなどを用いて成膜する方法が行われるが特に限定されるものではない。
保護膜の上には潤滑層を形成することが好ましい。潤滑層に用いる潤滑剤としては、フッ素系潤滑剤、炭化水素系潤滑剤およびこれらの混合物などが挙げられ、通常1〜4nmの厚さで潤滑層を形成する。
(実施例1)
HD用ガラス基板をセットした真空チャンバを予め1.0×10-5Pa以下に真空排気した。ここで使用したガラス基板はLi2Si2O5、Al2O3−K2O、Al2O3−K2O、MgO−P2O5、Sb2O3−ZnOを構成成分とする結晶化ガラスを材質とし、外径65mm、内径20mm、平均表面粗さ(Ra)が2オングストロームのものである。
その上に、レジスト材料をスピンコート法により塗布した。レジスト材料には、紫外線硬化樹脂であるノボラック系樹脂を用いた。レジスト層の膜厚は100nmとした。
その後、レジスト、マスク層をドライエッチングにより除去し、その表面にCVD法にてカーボン保護膜を5nm成膜し、その後、潤滑材を塗布して磁気記録媒体を製造した。製造条件を表1に示す。
磁性膜のイオンミリング深さ(除去された磁性層表層部分の厚さ)を表1に示すように変化させた他は、実施例1と同様な条件・手法により磁気記録媒体を製造した。製造条件を表1に示す。
実施例1と同様に磁気記録媒体を製造した。ただし、磁性膜のイオンミリングは行わなかった。製造条件を表1に示す。
実施例1と同様に磁気記録媒体を製造した。この際、磁性層のイオンミリングおよび磁性層の反応性プラズマによる改質処理を行わなかった。製造条件を表1に示す。
磁化量および保磁力量は、イオンミリングによる磁性層表層部分の除去および反応性プラズマによる改質処理を行わなかった試料(比較例2)について測定した磁化量および保磁力量に対する、それぞれの百分率で表した。これらの百分率は、イオンミリングによる磁性層表層部分の除去および反応性プラズマによる改質処理を行わなかった領域の磁化量および保磁力量に対する、イオンミリングによる磁性層表層部分の除去および反応性プラズマによる改質処理を行なった領域の磁化量および保磁力量の百分率と同じである。
電磁変換特性の評価は、スピンスタンドを用いて実施した。このとき評価用のヘッドには、記録には垂直記録ヘッド、読み込みにはTuMRヘッドを用いたて、750kFCIの信号を記録したときのSNR値および3T−squashを測定した。
表1に評価結果を示す。
Claims (11)
- 磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法であって、次の(1)、(2)、(3)の順で実施をする3つの工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
(1)非磁性基板上に磁性層を形成する工程、
(2)磁性層を磁気的に分離する領域の磁性層表層部分を除去する工程、
(3)該磁性層表層部分を除去することにより露出した磁性層領域の表面を反応性プラズマまたは反応性イオンに曝して、該磁性層領域の磁気特性を改質することにより、改質された磁気特性を有する磁性層領域によって磁気的に分離されている磁気記録パターンを形成する工程。 - 工程(2)において除去される磁性層表層部分の厚さが、0.1nm〜15nmの範囲内である請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 工程(2)において、磁性層表層部分の除去をイオンミリングにより行う請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 工程(3)において、該磁性層領域の表面を反応性プラズマまたは反応性イオンに曝すことによって、改質された磁気特性を有する磁性層領域の磁化量を、改質されない磁気特性を有する磁性層領域の磁化量の75%以下とする請求項1〜3の何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 工程(3)において、該磁性層領域の表面を反応性プラズマまたは反応性イオンに曝すことによって、改質された磁気特性を有する磁性層領域の保磁力を、改質されない磁気特性を有する磁性層部分の保磁力の50%以下とする請求項1〜4の何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 反応性プラズマまたは反応性イオンが、酸素イオンを含有するプラズマまたは反応性イオンである請求項1〜5の何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 反応性プラズマまたは反応性イオンが、ハロゲンイオンを含有するプラズマまたは反応性イオンである請求項1〜6の何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- ハロゲンイオンが、CF4、SF6、CHF3、CCl4、KBrからなる群から選ばれた少なくとも1種のハロゲン化ガスを反応性プラズマ中に導入して形成したハロゲンイオンである請求項7に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- ハロゲンイオンがFイオンである請求項7に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の製造方法であって、次の(1)〜(7)の順で実施をする7つの工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
(1)非磁性基板上に磁性層を形成する工程、
(2)磁性層の上にマスク層を形成する工程、
(3)マスク層の上にレジスト層を形成する工程、
(4)レジスト層の上に、磁性層を磁気的に分離する磁気記録パターンを形成する工程、
(5)磁気記録パターンにおいて磁性層を磁気的に分離する領域のマスク層部分を除去する工程、
(6)マスク層部分の除去によって露出した領域の磁性層の表層部分を除去する工程、
(7)磁性層の表層部分の除去により露出した領域の磁性層を反応性プラズマまたは反応性イオンに曝して、該磁性層領域の磁気特性を改質することにより、改質された磁気特性を有する磁性層領域によって磁気的に分離されている磁気記録パターンを形成する工程。 - 請求項1〜10の何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法により製造された磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を記録方向に駆動する駆動部と、記録部と再生部からなる磁気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気記録媒体に対して相対運動させる手段と、磁気ヘッドへの信号入力と磁気ヘッドからの出力信号再生を行うための記録再生信号処理手段を組み合わせて具備してなることを特徴とする磁気記録再生装置。
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