JP2006093559A - リードフレームおよびその製造方法 - Google Patents
リードフレームおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006093559A JP2006093559A JP2004279459A JP2004279459A JP2006093559A JP 2006093559 A JP2006093559 A JP 2006093559A JP 2004279459 A JP2004279459 A JP 2004279459A JP 2004279459 A JP2004279459 A JP 2004279459A JP 2006093559 A JP2006093559 A JP 2006093559A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal plate
- lead frame
- plating
- plating layer
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48257—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a die pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/0132—Binary Alloys
- H01L2924/01322—Eutectic Alloys, i.e. obtained by a liquid transforming into two solid phases
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
- H01L2924/183—Connection portion, e.g. seal
- H01L2924/18301—Connection portion, e.g. seal being an anchoring portion, i.e. mechanical interlocking between the encapsulation resin and another package part
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/3025—Electromagnetic shielding
Abstract
【解決手段】 半導体装置用リードフレームにおいて、リード3の上面であるワイヤーボンディング部に、ボンディングが可能で樹脂9との密着性を向上させる粗さの表面を持つ粗面めっき層5を形成し、リードの下面である外部接続端子部に、半田の濡れ性が良い平滑な表面を持つ平滑面めっき層6を形成する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、図2(a)に示すように、金属板12を用い、前処理として、図2(b)に示すように、金属板12の両面にドライフィルムレジスト13を設け、図2(c)に示すように、金属板12の上面と下面のそれぞれの面で、めっきが必要な部分のドライフィルムレジスト13を剥離する。
また、樹脂との密着性は、めっき面に2mm角のポッドを175℃×90秒で成形し、その後にポストモールドキュアを4時間行った。この成形した樹脂片を横方向からシェアツールで押し、樹脂がめっき面から引き剥がされるときの強度を測定することで評価した。この評価における○は平均で10kgf/4mm2以上である場合、△は平均で5〜10kgf/4mm2である場合、×は平均で0〜5kgf/4mm2である場合をそれぞれ表している。
また、ボンディング性は、Φ30μmの金線を用いてヒータブロック設定温度200℃でワイヤボンディングを行い、その後にボンディングされたワイヤの下にフックを入れ、下から上へ垂直にワイヤを引き上げる、いわゆるフックプル方式でプル強度を測定し、ワイヤが切れる時の強度を測定することで評価した。この評価における○はプル強度が平均で5gf以上であり、△は平均で5gf以下である場合をそれぞれ表している。
2 吊りリード
3 リード
4 ダムバー
5 粗いめっき層
6 平滑なめっき層
7 半導体素子
8 ワイヤー(金線)
9 樹脂
10 ハーフエッチング
11 単位リードフレーム
12 金属板
13 ドライフィルムレジスト
14 噴射ノズル
15 半導体
Claims (7)
- 半導体装置用リードフレームにおいて、リードの上面であるワイヤーボンディング部に、ボンディングが可能で樹脂との密着性を向上させる粗さの表面を持つ粗面めっき層を形成し、リードの下面である外部接続端子部に、半田の濡れ性が良い平滑な表面を持つ平滑面めっき層を形成したことを特徴とするリードフレーム。
- 前記リードフレームのパッドの上面の周囲に、前記粗面めっき層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記リードフレームの上面と下面にめっき層が形成され、側面にはめっき層が形成されていない請求項1又は2に記載のリードフレーム。
- 前記粗面めっき層は、表面粗さ(Ra)が0.2μm以上0.7μm以下であり、前記平滑面めっき層は、表面粗さ(Ra)が0.1μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のリードフレーム。
- 金属板の両面にレジストを用いてめっきを施す部分を露出させたマスクを形成し、めっきを施した後、エッチング加工によってリードフレーム形状を形成する製造方法であって、金属板の上面に表面の粗いめっきを施すため金属板の上面用めっき槽でアノードを金属板の上面の側にのみ設置して、金属板の上面をめっきし、金属板の下面に表面の平滑なめっきを施すため金属板の下面用めっき槽でアノードを金属板の下面の側にのみ設置して、金属板の下面をめっきをすることで、金属板の上面と下面にそれぞれ異なる表面粗さのめっき層が形成されるようにしたことを特徴とするリードフレームの製造方法。
- 金属板の両面にレジストを用いてめっきをしたい部分を露出させたマスクを形成し、金属板の上面に表面の粗いめっきを施すための上面用ニッケルめっき槽でアノードを金属板の上面の側にのみ設置し、金属板の上面をめっきし、金属板の下面に表面の平滑なめっきを施すため金属板の下面用ニッケルめっき槽でアノードを金属板の下面の側にのみ設置し、金属板の下面をめっきをすることで、金属板の上面と下面にそれぞれ異なる表面粗さのニッケルめっき層を形成した後、金属板の両面のめっき層の上に両面同時にパラジウムめっき層を形成し、次に金めっき層を形成することを特徴とするリードフレームの製造方法。
- 金属板の上面及び下面にニッケルめっきを施す工程は、それぞれ異なる組成のニッケルめっき浴を用いることを特徴とする請求項5又は6に記載のリードフレームの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004279459A JP2006093559A (ja) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | リードフレームおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004279459A JP2006093559A (ja) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | リードフレームおよびその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009276774A Division JP5387374B2 (ja) | 2009-12-04 | 2009-12-04 | リードフレームの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006093559A true JP2006093559A (ja) | 2006-04-06 |
Family
ID=36234214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004279459A Pending JP2006093559A (ja) | 2004-09-27 | 2004-09-27 | リードフレームおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006093559A (ja) |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007287765A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Denso Corp | 樹脂封止型半導体装置 |
KR20100036169A (ko) * | 2008-09-29 | 2010-04-07 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 리드 프레임 및 그 제조방법 |
KR101001874B1 (ko) | 2008-10-21 | 2010-12-17 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 패키지용 다열형 리드리스 프레임 및 이를 이용한 반도체 패키지의 제조방법 |
JP2011129687A (ja) * | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Dainippon Printing Co Ltd | リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 |
JP2013048280A (ja) * | 2012-10-30 | 2013-03-07 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2013153005A (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、半導体装置付き配線基板および半導体装置付き配線基板の製造方法 |
JP2014099637A (ja) * | 2009-03-12 | 2014-05-29 | Lg Innotek Co Ltd | リードフレーム及びその製造方法 |
JP2016026398A (ja) * | 2015-10-01 | 2016-02-12 | 大日本印刷株式会社 | リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 |
KR101611911B1 (ko) | 2009-03-10 | 2016-04-12 | 해성디에스 주식회사 | 리드 프레임의 제조 방법 |
JP2016219524A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | Shマテリアル株式会社 | 半導体素子搭載用リードフレーム及び半導体装置、並びにそれらの製造方法 |
JP2017054845A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | Shマテリアル株式会社 | 光半導体素子搭載用リードフレーム及び光半導体装置、並びにそれらの製造方法 |
JP2018117026A (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 富士電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
WO2018221340A1 (ja) * | 2017-06-02 | 2018-12-06 | 株式会社三井ハイテック | リードフレーム、リードフレームの製造方法、および半導体装置の製造方法 |
JP2019068014A (ja) * | 2017-10-05 | 2019-04-25 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
KR20210056400A (ko) | 2018-10-18 | 2021-05-18 | 제이엑스금속주식회사 | 도전성 재료, 성형품 및 전자 부품 |
KR20210056399A (ko) | 2018-10-18 | 2021-05-18 | 제이엑스금속주식회사 | 도전성 재료, 성형품 및 전자 부품 |
US11183619B2 (en) | 2018-11-30 | 2021-11-23 | Nichia Corporation | Method of manufacturing light emitting device |
US11251334B2 (en) | 2019-01-28 | 2022-02-15 | Nichia Corporation | Method of manufacturing light emitting devices |
-
2004
- 2004-09-27 JP JP2004279459A patent/JP2006093559A/ja active Pending
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007287765A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Denso Corp | 樹脂封止型半導体装置 |
KR20100036169A (ko) * | 2008-09-29 | 2010-04-07 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 리드 프레임 및 그 제조방법 |
JP2010080889A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | リードフレーム及びその製造方法 |
JP4670931B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2011-04-13 | 住友金属鉱山株式会社 | リードフレーム |
US7944030B2 (en) | 2008-09-29 | 2011-05-17 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Lead frame and method of manufacturing the same |
US8114713B2 (en) | 2008-09-29 | 2012-02-14 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Method of manufacturing a lead frame with a nickel coating |
KR101628785B1 (ko) * | 2008-09-29 | 2016-06-09 | 에스에이치 메테리얼스 코퍼레이션 리미티드 | 리드 프레임 및 그 제조방법 |
KR101001874B1 (ko) | 2008-10-21 | 2010-12-17 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 패키지용 다열형 리드리스 프레임 및 이를 이용한 반도체 패키지의 제조방법 |
KR101611911B1 (ko) | 2009-03-10 | 2016-04-12 | 해성디에스 주식회사 | 리드 프레임의 제조 방법 |
JP2014099637A (ja) * | 2009-03-12 | 2014-05-29 | Lg Innotek Co Ltd | リードフレーム及びその製造方法 |
JP2011129687A (ja) * | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Dainippon Printing Co Ltd | リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 |
JP2013153005A (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、半導体装置付き配線基板および半導体装置付き配線基板の製造方法 |
JP2013048280A (ja) * | 2012-10-30 | 2013-03-07 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2016219524A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | Shマテリアル株式会社 | 半導体素子搭載用リードフレーム及び半導体装置、並びにそれらの製造方法 |
JP2017054845A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | Shマテリアル株式会社 | 光半導体素子搭載用リードフレーム及び光半導体装置、並びにそれらの製造方法 |
JP2016026398A (ja) * | 2015-10-01 | 2016-02-12 | 大日本印刷株式会社 | リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 |
CN108336036A (zh) * | 2017-01-17 | 2018-07-27 | 富士电机株式会社 | 半导体装置及半导体装置的制造方法 |
JP2018117026A (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 富士電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
WO2018221340A1 (ja) * | 2017-06-02 | 2018-12-06 | 株式会社三井ハイテック | リードフレーム、リードフレームの製造方法、および半導体装置の製造方法 |
JP2018206920A (ja) * | 2017-06-02 | 2018-12-27 | 株式会社三井ハイテック | リードフレーム、リードフレームの製造方法および半導体装置の製造方法 |
JP2019068014A (ja) * | 2017-10-05 | 2019-04-25 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
KR20210056400A (ko) | 2018-10-18 | 2021-05-18 | 제이엑스금속주식회사 | 도전성 재료, 성형품 및 전자 부품 |
KR20210056399A (ko) | 2018-10-18 | 2021-05-18 | 제이엑스금속주식회사 | 도전성 재료, 성형품 및 전자 부품 |
US11183619B2 (en) | 2018-11-30 | 2021-11-23 | Nichia Corporation | Method of manufacturing light emitting device |
US11251334B2 (en) | 2019-01-28 | 2022-02-15 | Nichia Corporation | Method of manufacturing light emitting devices |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006093559A (ja) | リードフレームおよびその製造方法 | |
US20020153596A1 (en) | Lead frame and semiconductor package formed using it | |
US6475646B2 (en) | Lead frame and method of manufacturing the lead frame | |
JP2004349497A (ja) | パッケージ部品及び半導体パッケージ | |
JP6493952B2 (ja) | リードフレーム及びその製造方法 | |
JP2002100718A (ja) | 半導体装置用リードフレーム及びその製造方法及びそれを用いた半導体装置 | |
US20180040543A1 (en) | Lead frame and method for manufacturing same | |
JP4698708B2 (ja) | パッケージ部品及び半導体パッケージ | |
JP6741356B1 (ja) | リードフレーム | |
JP5387374B2 (ja) | リードフレームの製造方法 | |
KR20100036169A (ko) | 리드 프레임 및 그 제조방법 | |
JP2006303215A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JP2011108818A (ja) | リードフレームの製造方法および半導体装置の製造方法 | |
JP4628263B2 (ja) | パッケージ部品及びその製造方法ならびに半導体パッケージ | |
JPH11121673A (ja) | リードフレーム | |
JP6693642B2 (ja) | リードフレーム | |
JP2020155749A (ja) | リードフレーム | |
JP5034913B2 (ja) | 半導体装置製造用基板とその製造方法 | |
JP5299411B2 (ja) | リードフレームの製造方法 | |
TWI752055B (zh) | 多列型led用配線構件及其製造方法 | |
JP2017130522A (ja) | 樹脂付リードフレーム基板 | |
JP2000164782A (ja) | 鉛を含まない錫ベース半田皮膜を有する半導体装置およびその製造方法 | |
KR100828490B1 (ko) | 리드프레임 제조방법 | |
JP6589577B2 (ja) | 樹脂付リードフレーム基板の製造方法 | |
JP6867080B2 (ja) | 半導体素子搭載用基板及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070518 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20090116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091006 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091204 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100202 |