JP2006093263A - 固体撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の固体撮像装置は、2次元マトリックスの一方向において隣り合う1組の光電変換領域毎に1つずつ設けられ、変調用ウェルに保持された前記光発生電荷によってチャネルの閾値電圧が制御され、前記光発生電荷に応じた画素信号を出力する複数の変調トランジスタTmを有する。さらに、隣り合う1組の光電変換領域毎に1組設けられ、1組の光電変換領域のそれぞれの蓄積ウェル4と、対応する変調用ウェルとの間の光発生電荷転送経路の電位障壁を変化させ、光発生電荷の転送を制御する複数の転送制御素子Trと、2次元マトリックスの他の方向に並んだ複数の転送制御素子のそれぞれに接続された複数の転送制御線TXを有する。
【選択図】図1
Description
このような構成によれば、基板変調型センサにおいて、セルピッチを小さくして、基板変調型センサの微細化を実現できる固体撮像装置を実現することができる。
このような構成によれば、基板変調型センサにおいて、セルピッチを小さくして、基板変調型センサの微細化を実現できる固体撮像装置の駆動方法を実現することができる。
まず、本発明の実施の形態に係わる固体撮像素子装置の構成について説明する。図1は、本実施の形態に係わる固体撮像装置の平面形状を示す平面図である。図2は、図1のA−A'線に沿った断面図である。
また、リングゲート5の周囲の基板表面にはN+拡散層が形成されてドレイン領域(以下、単にドレインともいう)13を構成する。チャネルを構成するN+拡散層11はソース領域12とドレイン領域13とに接続される。
また、基板表面には図示しない層間絶縁膜を介して、上述した転送ゲート線TX(1),TX(2),TX(3),・・、ソース線S等の配線層が形成される。転送ゲート22、ソースコンタクト領域12a等は、層間絶縁膜に開孔したコンタクトホールによって配線層の各配線に電気的に接続される。各配線は例えばアルミニウム等の金属材料で構成される。
図6は、本実施の形態の固体撮像装置の駆動シーケンスを示すタイミングチャートである。図6に示すように、1フレーム期間Fにおいて、n行の2次元マトリックスからなるセンサセルアレイから、第1行L1から第n行Lnまで行順次で画素信号が読み出される。図6は、nが偶数の場合に、図1のフォトダイオード形成領域PD1のある第1の行から最終の第n行までの読み出し期間、すなわち水平ブランキング期間(H)が時間的に順次ずれて発生していることを示している。
このようにして、第1行目の画素信号の読み出しが行われる。
Claims (2)
- 入射した光に応じて光電変換領域において発生した光発生電荷を蓄積する蓄積ウェルを基板内に複数有し、前記複数の光電変換領域が前記基板上に2次元マトリックスに配列された固体撮像装置であって、
前記2次元マトリックスの一方向において隣り合う1組の光電変換領域毎に1つずつ設けられ、変調用ウェルに保持された前記光発生電荷によってチャネルの閾値電圧が制御され、前記光発生電荷に応じた画素信号を出力する複数の変調トランジスタと、
隣り合う前記1組の光電変換領域毎に1組設けられ、前記1組の光電変換領域のそれぞれの前記蓄積ウェルと、対応する前記変調用ウェルとの間の光発生電荷転送経路の電位障壁を変化させ、前記光発生電荷の転送を制御する複数の転送制御素子と、
前記2次元マトリックスの他の方向に並んだ複数の前記光電変換領域の前記転送制御素子のそれぞれに接続された複数の転送ゲート線とを有し、
前記複数の変調トランジスタのゲートの形状は、それぞれ略リング形状であり、前記ゲートのそれぞれは、前記2次元マトリックスの一方向において隣り合う前記1組の光電変換領域毎に、隣り合う前記略矩形形状の一部において、前記一部が切り取られて無くなっている部分に、少なくとも一部を挟まれるように設けられていることを特徴とする固体撮像装置。 - 入射した光に応じて光電変換領域において発生した光発生電荷を蓄積する蓄積ウェルを基板内に複数有し、前記複数の光電変換領域が前記基板上に2次元マトリックスに配列された固体撮像装置であって、前記2次元マトリックスの一方向において隣り合う1組の光電変換領域毎に1つずつ設けられ、変調用ウェルに保持された前記光発生電荷によってチャネルの閾値電圧が制御され、前記光発生電荷に応じた画素信号を出力する複数の変調トランジスタと、前記1組の光電変換領域毎に1組設けられ、前記1組の光電変換領域のそれぞれの前記蓄積ウェルと、対応する前記変調用ウェルとの間の転送経路の電位障壁を変化させ、前記光発生電荷の転送を制御する複数の転送制御素子と、前記2次元マトリックスの他の方向に並んだ複数の前記光電変換領域の前記転送制御素子のそれぞれに接続された複数の転送ゲート線とを有し、前記複数の変調トランジスタの各ゲートの形状は、略リング形状であり、前記各ゲートのそれぞれは、前記2次元マトリックスの一方向において前記1組の光電変換領域毎に、隣り合う前記略矩形形状の一部において、前記一部が切り取られて無くなっている部分に、少なくとも一部を挟まれるように設けられている固体撮像装置の駆動方法であって、
前記マトリックスの一方向において、前記1組の光電変換領域に対応して設けられた前記ゲートの電圧を制御して、前記変調トランジスタからノイズ成分の読み出しを行う第1の読み出し手順と、
前記マトリックスの一方向において、前記1組の光電変換領域の2つの前記蓄積ウェルの一方から前記変調ウェルへ前記光発生電荷を転送させる転送手順と、
前記マトリックスの一方向において、前記1組の光電変換領域に対応して設けられた前記ゲートの電圧を制御して、転送された前記光発生電荷に基づいて前記変調トランジスタから信号成分の読み出しを行う第2の読み出し手順と、
を含む固体撮像装置の駆動方法。
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