JP2010016113A - 固体撮像装置及び電子機器 - Google Patents
固体撮像装置及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010016113A JP2010016113A JP2008173625A JP2008173625A JP2010016113A JP 2010016113 A JP2010016113 A JP 2010016113A JP 2008173625 A JP2008173625 A JP 2008173625A JP 2008173625 A JP2008173625 A JP 2008173625A JP 2010016113 A JP2010016113 A JP 2010016113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vertical
- state imaging
- solid
- imaging device
- transfer register
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 89
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 39
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 108091006146 Channels Proteins 0.000 description 56
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 102100036285 25-hydroxyvitamin D-1 alpha hydroxylase, mitochondrial Human genes 0.000 description 3
- 101000875403 Homo sapiens 25-hydroxyvitamin D-1 alpha hydroxylase, mitochondrial Proteins 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 3
- 108010075750 P-Type Calcium Channels Proteins 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/148—Charge coupled imagers
- H01L27/14831—Area CCD imagers
- H01L27/14837—Frame-interline transfer
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/148—Charge coupled imagers
- H01L27/14887—Blooming suppression
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
- H04N25/62—Detection or reduction of noise due to excess charges produced by the exposure, e.g. smear, blooming, ghost image, crosstalk or leakage between pixels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
【解決手段】2次元的に配列された光電変換を行う複数の受光部2と、受光部2の各列に対応して配置された垂直転送レジスタ部3と、水平転送レジスタ部4と、垂直転送レジスタ部3の水平転送レジスタ4側の最終段に配置された縦型オ−バーフロードレイン構造6とを有する。
【選択図】図1
Description
また、本発明は、かかる固体撮像装置を備えた電子機器を提供するものである。
次に、図2及び図5に、本発明に係るCCD固体撮像装置の第1実施の形態を示す。図2は、垂直転送レジスタ部の終段部近傍から水平転送レジスタ部にかけての要部のみを示す。図3は、図2(平面図)のB−B線上の断面図である。図4は、図2(平面図)のC−C線上の断面図である。図5は、図2(平面図)のD−D線上の断面図である。
実線Iに示すように、n型のドレイン領域13に基板電圧と異なるドレイン電圧(VDD1)が印加される。第1垂直・水平転送ゲート部7に転送された混合電荷(e1+e2)のうち、垂直転送レジスタ部のポテンシャルから溢れた不要電荷e2が、オーバーフローバリア領域14のポテンシャルバリアφAを超えて基板縦方向のドレイン領域13へ排出される。第1垂直・水平転送ゲート部7には、信号電荷e1が蓄積される。従って、不要電荷e2が水平転送レジスタ部4へ転送されることはない。
図7及び図8に、本発明に係るCCD固体撮像装置の第2実施の形態を示す。図7(平面図)は、垂直転送レジスタ部の終段部近傍から水平転送レジスタ部にかけての要部のみを示す。図8は、図7(平面図)のB−B線上の断面図である。
図9及び図10に、本発明に係るCCD固体撮像装置の第3実施の形態を示す。図9(平面図)は、垂直転送レジスタ部の終段部近傍から水平転送レジスタ部にかけての要部のみを示す。図10は、図9(平面図)のB−B線上の断面図である。
図11及び図12に、本発明に係るCCD固体撮像装置の第4実施の形態を示す。図11(平面図)は、垂直転送レジスタ部の終段部近傍から水平転送レジスタ部にかけての要部のみを示す。図12は、図11(平面図)のB−B線上の断面図である。
図13に、本発明の電子機器の一例としてカメラに適用した実施の形態を示す。本実施の形態に係るカメラ40は、光学系(光学レンズ)41と、CCD固体撮像装置42と、CCD駆動回路43と、信号処理回路44とを備えてなる。CCD固体撮像装置40は、上述した各実施の形態のいずれか1つの固体撮像装置が適用される。光学系41は、被写体からの像光(入射光)をCCD固体撮像装置42の撮像面上に結像させる。これにより、CCD固体撮像装置42の受光部(光電変換素子)において、入射光の光量に応じて信号電荷に変換され、受光部において一定期間信号電荷が蓄積される。CCD駆動回路43は、CCD固体撮像装置42で受光された信号電荷を垂直転送レジスタ部へ読み出した後、垂直転送レジスタ部内を転送して水平転送レジスタ部へ転送し、さらに水平転送レジスタ部内を転送させるための駆動を行う。信号処理回路44は、CCD固体撮像装置42の出力信号に対して種々の信号処理を施して出力する。本実施の形態のカメラ40は、光学系41、CCD固体撮像装置42、CCD駆動回路43、信号処理回路44がモジュール化したカメラモジュールの形態を含む。
さらに、図13の構成は、光学系41、CCD固体撮像装置42、CCD駆動回路43、信号処理回路44がモジュール化した撮像機能を有するモジュール、いわゆる撮像機能モジュ−ルとして構成することができる。本発明は、このような撮像機能モジュールを備えた電子機器を構成することができる。
Claims (9)
- 2次元的に配列された光電変換を行う複数の受光部と、
前記受光部の各列に対応して配置された垂直転送レジスタ部と、
水平転送レジスタ部と、
前記垂直転送レジスタ部の前記水平転送レジスタ側の最終段に配置された縦型オ−バーフロードレイン構造と
を有する固体撮像装置。 - 前記縦型オーバーフロードレイン構造は、半導体基板と電気的に分離されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記縦型オーバーフロードレイン構造のドレイン領域に、基板電位とは独立の電位が印加される
請求項2記載の固体撮像装置。 - 前記垂直転送レジスタ部の最終段の前記縦型オーバーフロードレイン構造を有する第1垂直・水平転送ゲート部と前記水平転送レジスタ部との間に配置された第2垂直・水平転送ゲート部を有する
請求項3記載の固体撮像装置。 - 前記受光部における余剰電荷を半導体基板側に排出するための縦型オーバーフロードレイン構造を有する
請求項3記載の固体撮像装置。 - 前記垂直転送レジスタ部の最終段に配置された縦型オ−バーフロードレイン構造は、
第1導電型の半導体基板に第2導電型の第1半導体ウェル領域を介して形成された第1導電型のドレイン領域と、
前記第1導電型のドレイン領域と第1導電型の垂直転送チャネル領域との間に形成された第2導電型のオーバーフローバリア領域と、
前記ドレイン領域の水平方向の端部に接続された電位供給部と
を有する
請求項3記載の固体撮像装置。 - 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の受光部に入射光を導く光学系と、
前記固体撮像装置を駆動するための駆動回路と、
前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路を備え、
前記固体撮像装置は、
2次元的に配列された光電変換を行う複数の受光部と、
前記受光部の各列に対応して配置された垂直転送レジスタ部と、
水平転送レジスタ部と、
前記垂直転送レジスタ部の前記水平転送レジスタ側の最終段に配置された縦型オ−バーフロードレイン構造と
を有する電子機器。 - 前記固体撮像装置における前記縦型オーバーフロードレイン構造は、半導体基板と電気的に分離され、
前記縦型オーバーフロードレイン構造のドレイン領域に、基板電位とは独立の電位が印加される
請求項7記載の電子機器。 - 前記固体撮像装置は、前記受光部における余剰電荷を半導体基板側に排出するための縦型オーバーフロードレイン構造を有する
請求項8記載の電子機器。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008173625A JP2010016113A (ja) | 2008-07-02 | 2008-07-02 | 固体撮像装置及び電子機器 |
TW098119976A TW201008263A (en) | 2008-07-02 | 2009-06-15 | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
US12/494,829 US20100002121A1 (en) | 2008-07-02 | 2009-06-30 | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
KR1020090059675A KR20100004059A (ko) | 2008-07-02 | 2009-07-01 | 고체 촬상 장치 및 전자 기기 |
CN2009101495284A CN101621069B (zh) | 2008-07-02 | 2009-07-02 | 固态成像装置和电子设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008173625A JP2010016113A (ja) | 2008-07-02 | 2008-07-02 | 固体撮像装置及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010016113A true JP2010016113A (ja) | 2010-01-21 |
JP2010016113A5 JP2010016113A5 (ja) | 2011-08-18 |
Family
ID=41464061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008173625A Pending JP2010016113A (ja) | 2008-07-02 | 2008-07-02 | 固体撮像装置及び電子機器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100002121A1 (ja) |
JP (1) | JP2010016113A (ja) |
KR (1) | KR20100004059A (ja) |
CN (1) | CN101621069B (ja) |
TW (1) | TW201008263A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5466975B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2014-04-09 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法及びカメラ |
US10361244B2 (en) * | 2014-07-15 | 2019-07-23 | Brillinics Inc. | Solid-state imaging device, method for producing solid-state imaging device, and electronic apparatus |
WO2016009942A1 (ja) | 2014-07-15 | 2016-01-21 | ブリルニクスジャパン株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器 |
CN105611197B (zh) * | 2015-12-23 | 2018-08-17 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 无抗溢出功能帧转移ccd的抗饱和读出方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63105578A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-10 | Nec Corp | 固体撮像素子及びその駆動方法 |
JPH04269266A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Matsushita Electric Works Ltd | 床下収納庫 |
JPH07162754A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-06-23 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JPH08279608A (ja) * | 1995-04-06 | 1996-10-22 | Sony Corp | 電荷転送素子及び電荷転送素子の駆動方法 |
JPH10150183A (ja) * | 1996-09-20 | 1998-06-02 | Sony Corp | 固体撮像装置およびその駆動方法並びにカメラ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60165183A (ja) * | 1984-02-06 | 1985-08-28 | Canon Inc | 撮像素子又は撮像装置 |
DE69419064T2 (de) * | 1993-04-20 | 1999-12-16 | Sony Corp | Verfahren und Gerät für eine Festkörper-Bildaufnahme-Vorrichtung |
JP2001291858A (ja) * | 2000-04-04 | 2001-10-19 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2004303982A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像素子 |
JP4912694B2 (ja) * | 2006-02-23 | 2012-04-11 | オリンパスイメージング株式会社 | 電子的ぶれ補正装置及び電子的ぶれ補正方法 |
-
2008
- 2008-07-02 JP JP2008173625A patent/JP2010016113A/ja active Pending
-
2009
- 2009-06-15 TW TW098119976A patent/TW201008263A/zh unknown
- 2009-06-30 US US12/494,829 patent/US20100002121A1/en not_active Abandoned
- 2009-07-01 KR KR1020090059675A patent/KR20100004059A/ko not_active Application Discontinuation
- 2009-07-02 CN CN2009101495284A patent/CN101621069B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63105578A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-10 | Nec Corp | 固体撮像素子及びその駆動方法 |
JPH04269266A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Matsushita Electric Works Ltd | 床下収納庫 |
JPH07162754A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-06-23 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JPH08279608A (ja) * | 1995-04-06 | 1996-10-22 | Sony Corp | 電荷転送素子及び電荷転送素子の駆動方法 |
JPH10150183A (ja) * | 1996-09-20 | 1998-06-02 | Sony Corp | 固体撮像装置およびその駆動方法並びにカメラ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101621069B (zh) | 2011-09-07 |
KR20100004059A (ko) | 2010-01-12 |
US20100002121A1 (en) | 2010-01-07 |
CN101621069A (zh) | 2010-01-06 |
TW201008263A (en) | 2010-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11019291B2 (en) | Solid-state imaging device and imaging system | |
KR101836039B1 (ko) | 고체 촬상 센서, 고체 촬상 센서의 구동 방법, 촬상 장치 및 전자 기기 | |
JP4494492B2 (ja) | 固体撮像装置及び固体撮像装置の駆動方法 | |
TWI412271B (zh) | 固態成像裝置、相機、及電子裝置 | |
KR20170095784A (ko) | 촬상소자 및 촬상장치 | |
US20150124132A1 (en) | Imaging element, driving method, and electronic apparatus | |
US9985060B2 (en) | Image pickup apparatus, image pickup system, and image pickup apparatus driving method | |
KR20090056846A (ko) | 고체 촬상 소자 및 카메라 | |
JP2009253149A (ja) | 光電変換装置及びそれを用いた撮像システム | |
US20110241080A1 (en) | Solid-state imaging device, method for manufacturing the same, and electronic apparatus | |
JP4069918B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2013038118A (ja) | 固体撮像素子および電子機器 | |
KR20140097113A (ko) | 고체 촬상 소자 및 전자 기기 | |
JP2011082426A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2010016113A (ja) | 固体撮像装置及び電子機器 | |
JP2009296016A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2006120966A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2015213274A (ja) | 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法、及び、電子機器 | |
US9059069B2 (en) | Linear sensor, image sensor, and electronic apparatus | |
JP2012529158A (ja) | 複数のオーバーフロードレインを有するccdイメージセンサ及び該イメージセンサを有する画像取得装置 | |
JP2010141045A (ja) | 固体撮像装置 | |
KR102492854B1 (ko) | 반도체 장치 및 전자 기기 | |
JP2006210680A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2004241498A (ja) | 固体撮像素子とその動作方法 | |
JP2006093263A (ja) | 固体撮像装置及びその駆動方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110630 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110630 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130326 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130716 |