JP2006075832A - 排ガスの処理方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 フッ素含有化合物を含む排ガスに02および水(H20)を添加して加熱することにより加熱酸化分解処理を行い、ついで、触媒反応により前記加熱酸化分解処理で処理しきれなかったフッ素含有化合物の分解処理を行い、ついで、前記分解処理した排ガス中よりフッ素含有化合物を分解する際に生成する酸性ガスの除去を行う。前記加熱酸化分解は、炭素数4以上のフッ素含有化合物の分解処理を行い、前記触媒反応分解処理は炭素数3以下のフッ素含有化合物の分解処理を行う。
【選択図】 図1
Description
湿式排ガス処理装置(水洗処理)によるSiF4やF2,NH3などの水溶性ガスや加水分解性ガスの処理方法がある。しかしながら、COやPFCなどの水溶性以外のガスの除去はできないという問題がある。
CO + H2O → CO2 +H2
2H2 + O2 → 2H2O
C5F8 + 4H2O + 3O2 → 5CO2 + 8HF
C4F8 + 4H2O + 2O2 → 4CO2 + 8HF
2C4F6 + 6H20 + 5O2 → 8CO2 + 12HF
2CHF3 + 2H2O + O2 → 3CO2 + 8HF
2NF3 + 3H2O → NO + NO2 + 6HF
2C2F6 + 6H2O + O2 → 4CO2 + 12HF
C3F8 + 4H2O + O2 → 3CO2 + 8HF
2SF6 + 3H2O + O2 → SO2 + SO3 + 6HF
フッ素含有化合物およびCOを含む排ガス中に含まれる粉体成分または水溶性成分または加水分解性成分を前処理により除去する。排ガス中に含まれる粉体成分または水溶性成分または加水分解性成分の除去を行う前処理部として、吸着剤による吸着処理を行う吸着処理槽もしくはファンスクラバーもしくは水スプレー塔もしくは通気攪拌槽等のいずれかを用いる。
排ガスとO2,水(H2O)の接触効率を高め、且つ加熱効率を高めるための接触補助手段を備えることが好ましい。排ガスは接触補助手段により乱流が起こり、排ガスとO2,水(H2O)との接触効率を高めるとともに、接触補助手段自体がヒータから発せられる熱を輻射により受けて高温となり、排ガスへの伝熱面積が大きくなり、加熱効率を高めることができる。これにより加熱酸化分解処理部が小型化されヒータ容量を低く抑えることができる。
なお、本実施例においては、前処理部前処理部、加熱酸化分解処理部、触媒反応部、後処理部をすべて搭載しているが、前処理部および後処理部は装置外に別途設置するようにしても良い。さらに、工場内にて複数の排ガス処理装置から出る排ガス中の酸性ガスを1ヶ所にて一括処理するような後処理部を含むシステムにしても良い。
2 加熱酸化分解処理部(加熱酸化分解処理槽)
3 触媒反応分解処理部(触媒反応槽)
4 後処理部(後処理用水スプレー塔)
5,21 空気配管
6 水配管
7,23 水清浄器
8 水気化器
9,10,19 セラミック電気管状路
13 ガス処理槽
14 前処理部(前処理用ファンスクラバ)
15 送水ポンプ
15a 循環タンク
16 加熱酸化部
17 触媒反応部
18 後処理部
20 保温材
25 水気化配管
26,27 ミストセパレータ
Claims (8)
- フッ素含有化合物を含む排ガスに02および水(H20)を添加して加熱することにより加熱酸化分解処理を行い、
ついで、触媒反応により前記加熱酸化分解処理で処理しきれなかったフッ素含有化合物の分解処理を行い、
ついで、前記分解処理した排ガス中よりフッ素含有化合物を分解する際に生成する酸性ガスの除去を行うことを特徴とする排ガス処理方法。 - 前記排ガスの加熱酸化分解処理は、700〜900℃の温度で行うことを特徴とする請求項1に記載の排ガス処理方法。
- 前記触媒反応分解処理は、600〜900℃の温度で行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の排ガス処理方法。
- 前記加熱酸化分解は、炭素数4以上のフッ素含有化合物の分解処理を行い、前記触媒反応分解処理は炭素数3以下のフッ素含有化合物の分解処理を行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の排ガス処理方法。
- 前記加熱酸化分解処理の前に、前記フッ素含有化合物に含まれる粉体成分および水溶性成分および加水分解性成分の少なくとも1つを除去する処理を行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の排ガス処理方法。
- 前記排ガスはフッ素含有化合物及びCOを含み、前記加熱酸化分解処理はCOの酸化処理も行うことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の排ガス処理方法。
- フッ素含有化合物を含む排ガスの加熱酸化分解処理を行う加熱酸化分解処理部と、前記加熱酸化分解処理部にO2および水(H2O)を供給する供給部と、前記加熱酸化分解処理部で処理しきれなかったフッ素含有化合物を触媒反応により分解処理する触媒反応分解処理部と、該触媒反応分解処理後の排ガス中の酸性ガスを除去する除去部を備えたことを特徴とする排ガス処理装置。
- 前記排ガス処理装置は、前記加熱酸化分解処理部の前に、前記排ガス中に含まれる粉体成分および水溶性成分および加水分解性成分の少なくとも1つを除去する前処理部を備えたことを特徴とする請求項7に記載の排ガス処理装置。
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