JP2006060085A - レーザ照射装置 - Google Patents
レーザ照射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006060085A JP2006060085A JP2004241445A JP2004241445A JP2006060085A JP 2006060085 A JP2006060085 A JP 2006060085A JP 2004241445 A JP2004241445 A JP 2004241445A JP 2004241445 A JP2004241445 A JP 2004241445A JP 2006060085 A JP2006060085 A JP 2006060085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- diffractive optical
- incident
- optical element
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 title abstract description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 266
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 168
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 132
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 7
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 claims description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 27
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 26
- 238000013461 design Methods 0.000 description 25
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】 レーザ照射装置は、レーザビームの入射する入射表面が画定され、該入射表面に平行な第1の方向に関して、該入射表面に入射するレーザビームの光強度分布が、結像面上において均一に近づき、該第1の方向に直交する第2の方向に関しては、該結像面上に焦点を結ばせる回折光学素子と、進行方向が相互に平行な複数本のレーザビームを、前記回折光学素子の入射表面におけるビームスポットが前記第2の方向に並ぶようにして、前記回折光学素子に入射させるレーザビーム生成光学系とを有する。
【選択図】 図1
Description
図1を参照して、本発明の第1の実施例によるレーザ照射装置について説明する。レーザ光源1aが、直線偏光されたレーザビームL1aを出射する。レーザ光源1aから出射したレーザビームL1aが、半波長板2aで偏光面を回転され、ビーム径を変化させるエキスパンダ3aに入射する。エキスパンダ3aから出射したレーザビームL1aが、折り返しミラー4aで反射されて、偏光ビームスプリッタ5aに入射する。折り返しミラー4aで反射されたレーザビームは、偏光ビームスプリッタ5aに対してS偏光にされている。
2a、2b 半波長板
3a〜3d エキスパンダ
4a、4b 折り返しミラー
5a、5b 偏光ビームスプリッタ
6a、6b 折り返しミラー
7 ナイフエッジプリズム
8a、8b (アナモルフィックプリズム8を構成する)プリズム
8 アナモルフィックプリズム
9 回折光学素子
9a (回折光学素子9の)入射表面
9b (回折光学素子9の)結像面
10 結像レンズ
10a 結像面
11a、11b 結像レンズ
12 折り返しミラー
13 加工基板
14 XYステージ
Claims (9)
- レーザビームの入射する入射表面が画定され、該入射表面に平行な第1の方向に関して、該入射表面に入射するレーザビームの光強度分布が、結像面上において均一に近づき、該第1の方向に直交する第2の方向に関しては、該結像面上に焦点を結ばせる回折光学素子と、
進行方向が相互に平行な複数本のレーザビームを、前記回折光学素子の入射表面におけるビームスポットが前記第2の方向に並ぶようにして、前記回折光学素子に入射させるレーザビーム生成光学系と
を有するレーザ照射装置。 - 前記レーザビーム生成光学系は、前記回折光学素子の入射表面における複数のビームスポットの少なくとも1つが、前記第1の方向に細長い形状となるように、レーザビームの断面形状を変化させる変形光学系を有する請求項1に記載のレーザ照射装置。
- 前記回折光学素子の入射表面における各ビームスポットは、長軸方向が前記第1の方向と平行で、短軸方向が前記第2の方向と平行な楕円形状である請求項1または2に記載のレーザ照射装置。
- レーザビームの入射する入射表面が画定され、該入射表面に平行な第1の方向に関して、該入射表面に入射するレーザビームの光強度分布が、結像面上において均一に近づき、該第1の方向に直交する第2の方向に関しては、該結像面上に焦点を結ばせる回折光学素子と、
前記回折光学素子の結像面において、ビーム断面が相互に重なりを持つように、進行方向が相互に平行でない2本のレーザビームを、該回折光学素子に入射させるレーザビーム生成光学系と
を有するレーザ照射装置。 - 前記レーザビーム生成光学系は、前記回折光学素子の結像面における前記2本のレーザビームの断面の前記第2の方向に関する位置が一致するように、両レーザビームを該回折光学素子に入射させる請求項4に記載のレーザ照射装置。
- 前記レーザビーム生成光学系は、前記回折光学素子の入射表面における前記2本のレーザビームのビームスポットの、前記第1の方向に関する位置が一致するように、両レーザビームを該回折光学素子に入射させる請求項4または5に記載のレーザ照射装置。
- 第1のレーザビームを出射する第1のレーザ光源と、
レーザビームの入射する入射表面が画定され、結像面におけるビーム断面の形状を、該入射表面におけるビーム断面の形状と異ならせるビーム断面の整形、及び該結像面におけるビーム断面内の光強度分布を、該入射表面におけるビーム断面内の光強度分布より均一な分布に近づける光強度分布の均一化の少なくとも一方を行い、前記第1のレーザ光源から出射した第1のレーザビームが入射するように配置された第1の回折光学素子と、
第2のレーザビームを出射する第2のレーザ光源と、
レーザビームの入射する入射表面が画定され、結像面におけるビーム断面の形状を、該入射表面におけるビーム断面の形状と異ならせるビーム断面の整形、及び該結像面におけるビーム断面内の光強度分布を、該入射表面におけるビーム断面内の光強度分布より均一な分布に近づける光強度分布の均一化の少なくとも一方を行い、前記第2のレーザ光源から出射した第2のレーザビームが入射するように配置された第2の回折光学素子と
を有し、
前記第1及び第2の回折光学素子の結像面が一致するかまたは交差するように、両回折光学素子が配置され、両回折光学素子の結像面が一致する場合は、該第1の回折光学素子を通過した前記第1のレーザビームの経路と、該第2の回折光学素子を通過した前記第2のレーザビームの経路とが、両回折光学素子の結像面上で互いに重なりを持ち、両回折光学素子の結像面が交差する場合は、該第1の回折光学素子を通過した前記第1のレーザビームの経路と、該第2の回折光学素子を通過した前記第2のレーザビームの経路とが、両回折光学素子の結像面が交差する位置で互いに重なりを持つように、両レーザビームの相対位置が調整されているレーザ照射装置。 - 前記第1の回折光学素子は、その入射表面に平行な第1の方向に関して、該入射表面に入射するレーザビームの光強度分布が、結像面上において均一に近づき、該第1の方向に直交する第2の方向に関しては、該結像面上に焦点を結ばせ、
前記第2の回折光学素子は、その入射表面に平行な第3の方向に関して、該入射表面に入射するレーザビームの光強度分布が、結像面上において均一に近づき、該第3の方向に直交する第4の方向に関しては、該結像面上に焦点を結ばせ、
前記第1及び第3の方向が互いに平行になるように、前記第1及び第2の回折光学素子が配置されており、前記第1及び第2のレーザビームの経路が交差する位置で、前記第1のレーザビームの前記第1の回折光学素子の結像面上におけるビーム断面の第2の方向に関する中心位置と、前記第2のレーザビームの前記第2の回折光学素子の結像面上におけるビーム断面の前記第4の方向に関する中心位置とが一致するように、前記第1及び第2のレーザビームの相対位置が調整されている請求項7に記載のレーザ照射装置。 - 前記第1の回折光学素子の入射表面から結像面までの距離と、前記第2の回折光学素子の入射表面から結像面までの距離とが等しく、両回折光学素子の入射表面が同一平面上に配置され、両回折光学素子の入射表面に対しそれぞれ斜めに前記第1及び第2のレーザビームが入射し、両レーザビームは入射面を共有し、両レーザビームの進行方向は、該入射表面の法線方向に対して相互に反対向きに傾いている請求項7または8に記載のレーザ照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004241445A JP3955587B2 (ja) | 2004-08-20 | 2004-08-20 | レーザ照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004241445A JP3955587B2 (ja) | 2004-08-20 | 2004-08-20 | レーザ照射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006060085A true JP2006060085A (ja) | 2006-03-02 |
JP3955587B2 JP3955587B2 (ja) | 2007-08-08 |
Family
ID=36107289
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004241445A Expired - Fee Related JP3955587B2 (ja) | 2004-08-20 | 2004-08-20 | レーザ照射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3955587B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008098405A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ照射装置 |
JP2008170293A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 線条表面検査装置 |
JP2009038060A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 多結晶膜の製造方法及びレーザ加工装置 |
JP2011025279A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 光学系及びレーザ加工装置 |
JP2011522769A (ja) * | 2008-05-27 | 2011-08-04 | コーニング インコーポレイテッド | 非平坦材料の罫書き |
JP2012521339A (ja) * | 2009-03-20 | 2012-09-13 | コーニング インコーポレイテッド | 精密レーザ罫書き |
WO2016203998A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | 株式会社アマダミヤチ | レーザユニット及びレーザ装置 |
-
2004
- 2004-08-20 JP JP2004241445A patent/JP3955587B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008098405A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ照射装置 |
JP2008170293A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 線条表面検査装置 |
JP2009038060A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 多結晶膜の製造方法及びレーザ加工装置 |
JP2011522769A (ja) * | 2008-05-27 | 2011-08-04 | コーニング インコーポレイテッド | 非平坦材料の罫書き |
JP2012521339A (ja) * | 2009-03-20 | 2012-09-13 | コーニング インコーポレイテッド | 精密レーザ罫書き |
US9302346B2 (en) | 2009-03-20 | 2016-04-05 | Corning, Incorporated | Precision laser scoring |
JP2011025279A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 光学系及びレーザ加工装置 |
WO2016203998A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | 株式会社アマダミヤチ | レーザユニット及びレーザ装置 |
JPWO2016203998A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2017-06-29 | 株式会社アマダミヤチ | レーザユニット及びレーザ装置 |
US10170892B2 (en) | 2015-06-19 | 2019-01-01 | Amada Miyachi Co., Ltd. | Laser unit and laser device |
EP3346558A4 (en) * | 2015-06-19 | 2019-07-10 | Amada Miyachi Co. Ltd. | LASER UNIT AND LASER DEVICE |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3955587B2 (ja) | 2007-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6977609B2 (ja) | 光照射装置、光照射装置を用いた光加工装置、光照射方法、及び光加工方法 | |
JP5395804B2 (ja) | ビーム形成装置 | |
JP5548127B2 (ja) | 線状のビーム断面を有するレーザビームを生成するための方法及び構成 | |
KR100487085B1 (ko) | 조명광학계 및 이를 구비하는 레이저 처리장치 | |
US7991037B2 (en) | Multi-beam laser apparatus | |
KR20210144842A (ko) | 프로세싱 광학 유닛, 레이저 프로세싱 장치 및 레이저 프로세싱을 위한 방법 | |
WO2005084874A1 (ja) | レーザ加工装置 | |
US20080297912A1 (en) | Vario-astigmatic beam expander | |
KR101346296B1 (ko) | 레이저 가공 장치 및 방법 | |
JP6383166B2 (ja) | 光照射装置および描画装置 | |
JP2009125761A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP4610201B2 (ja) | レーザ照射装置 | |
JP2007310368A (ja) | ホモジナイザを用いた整形ビームの伝搬方法およびそれを用いたレ−ザ加工光学系 | |
JP3955587B2 (ja) | レーザ照射装置 | |
KR20080039449A (ko) | 선 초점을 생성하기 위한 광학 시스템, 그러한 광학시스템을 이용하는 스캐닝 시스템, 및 기판의 레이저 공정방법 | |
WO2012090520A1 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
JP5106130B2 (ja) | レーザビーム照射方法およびレーザビーム照射装置 | |
JP4814560B2 (ja) | ビーム重ね合わせ装置及びレーザ加工方法 | |
JP4191334B2 (ja) | 精密可変型長尺ビーム光学系 | |
JP4442537B2 (ja) | レーザプロセス装置 | |
JP2008145605A (ja) | レーザ照射装置及び加工方法 | |
WO2012090519A1 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
JP2008177372A (ja) | ラインビーム成形方法、ラインビーム成形装置、及び該装置を具備したレーザ加工装置 | |
JP2002280325A (ja) | 照明光学系及びこれを備えるレーザー処理装置 | |
JP2012030267A (ja) | レーザビーム照射装置、およびレーザビーム照射方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070410 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3955587 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120511 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120511 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130511 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130511 Year of fee payment: 6 |
|
S802 | Written request for registration of partial abandonment of right |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R311802 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |