JP5106130B2 - レーザビーム照射方法およびレーザビーム照射装置 - Google Patents
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第1、第2、第3のレーザビームを収束光としてそれぞれ第1、第2の反射ミラー、およびその間に進行させる工程と、
前記第1のレーザビームを、第1の位置で前記第1の反射ミラーにより第1の方向に平行な方向に反射させ、発散光として進行させる工程と、
前記第2のレーザビームを、前記第1の位置の近傍の第2の位置で前記第2の反射ミラーにより前記第1の方向に平行な方向に反射させ、発散光として進行させる工程と、
前記第3のレーザビームを、前記第1の反射ミラーと前記第2の反射ミラーの間を通って、前記第1の方向に平行に発散光として進行させる工程と、
重なりを持って前記第1の方向に進行する、前記第1、第2、第3のレーザビームの合波光を受け、平行ビームにする工程と、
前記平行ビームを回折光学素子に入射させ、回折を生じさせる工程と、
を含むレーザビーム照射方法が提供される。
互いに近づく方向に進行し、少なくともある位置より下流で発散する第1、第2のレーザビームを形成する第1、第2の光学系と、
前記第1、第2のレーザビームを受ける位置に配置され、前記第1、第2のレーザビームを第1の方向と平行な方向に反射する第1、第2の反射ミラーと、
前記第1、第2の反射ミラーの間を通って、前記第1の方向と平行な方向に進行し、少なくともある位置より下流で発散する第3のレーザビームを形成する第3の光学系と、
前記第1、第2、第3のレーザビームが重なりを持った発散光となって進行する位置で、前記第1、第2、第3のレーザビームの合波光を受け、平行ビームにするコリメート光学系と、
前記平行ビームを受け、回折を生じさせる回折光学素子と、
を有し、
前記第1、第2、第3の光学系が、前記第1、第2、第3のレーザビームを収束光として前記第1、第2の反射ミラー、およびその間に進行させる収束光学系を含むレーザビーム照射装置が提供される。
2台のレーザ光源31,32もxy面上で並列に配置され、互いに直交する偏光のレーザビームをx方向に出射する。一方のレーザ光源31から出射したレーザビームは、偏光ビームスプリッタで形成された合波器34に入射し、そのまま透過する。他方のレーザ光源32から出射したレーザビームは、ミラー33でy方向に反射され、合波器34でx方向に反射されて、一方のレーザ光源31から出射したレーザビームと同軸で合波され、レーザビームLB3を形成する。レーザビームLB3は、ビームエキスパンダ35に入射し、ビーム径を拡大して、ミラー36でy方向に反射され、収束レンズ37に入射する。収束レンズ37は、収束ビームを形成し、台形プリズム1の図中下側斜面に形成された反射ミラーM2でx方向に反射する。レーザビームLB3は、レーザビームLB1と互いに近づく方向に進行し、収束した状態で台形プリズム1で反射され、その後発散レーザビームとなってx方向に進みコリメートレンズ2に入射する。
M1,M2 反射ミラー、
2 コリメート光学系、
3 回折光学素子(DOE)、
4 像面、
5 結像光学系、
6 落射ミラー、
7 結像光学系、
8 処理基板、
9 ステージ、
11,12,21,22,31,32 レーザ光源、
13,23,33 反射ミラー、
14,24,34 偏光ビームスプリッタ、
15,25,35 ビームエキスパンダ、
16,36 反射ミラー、
17,27,37 収束光学系、
40 支持部材、
42,43 直角プリズム、
44 開口、
50 発散光学系。
Claims (13)
- 第1、第2、第3のレーザビームを収束光としてそれぞれ第1、第2の反射ミラー、およびその間に進行させる工程と、
前記第1のレーザビームを、第1の位置で前記第1の反射ミラーにより第1の方向に平行な方向に反射させ、発散光として進行させる工程と、
前記第2のレーザビームを、前記第1の位置の近傍の第2の位置で前記第2の反射ミラーにより前記第1の方向に平行な方向に反射させ、発散光として進行させる工程と、
前記第3のレーザビームを、前記第1の反射ミラーと前記第2の反射ミラーの間を通って、前記第1の方向に平行に発散光として進行させる工程と、
重なりを持って前記第1の方向に進行する、前記第1、第2、第3のレーザビームの合波光を受け、平行ビームにする工程と、
前記平行ビームを回折光学素子に入射させ、回折を生じさせる工程と、
を含むレーザビーム照射方法。 - 前記平行ビームは、前記回折光学素子上で、ガウス分布型強度分布を有する請求項1記載のレーザビーム照射方法。
- 前記回折光学素子から出射した合成レーザビームを、結像光学系を介して処理対象物上に照射する工程をさらに有する請求項1または2に記載のレーザビーム照射方法。
- 前記合成レーザビームは、像面上で所定ビーム形状と均一化された光強度分布を形成する請求項3記載のレーザビーム照射方法。
- 前記第1、第2、第3のレーザビームは、それぞれ偏光方向が直交する2本のレーザビームを同軸上に合波したレーザビームである請求項1〜4のいずれか1項記載のレーザビーム照射方法。
- 互いに近づく方向に進行し、少なくともある位置より下流で発散する第1、第2のレーザビームを形成する第1、第2の光学系と、
前記第1、第2のレーザビームを受ける位置に配置され、前記第1、第2のレーザビームを第1の方向と平行な方向に反射する第1、第2の反射ミラーと、
前記第1、第2の反射ミラーの間を通って、前記第1の方向と平行な方向に進行し、少なくともある位置より下流で発散する第3のレーザビームを形成する第3の光学系と、
前記第1、第2、第3のレーザビームが重なりを持った発散光となって進行する位置で、前記第1、第2、第3のレーザビームの合波光を受け、平行ビームにするコリメート光学系と、
前記平行ビームを受け、回折を生じさせる回折光学素子と、
を有し、
前記第1、第2、第3の光学系が、前記第1、第2、第3のレーザビームを収束光として前記第1、第2の反射ミラー、およびその間に進行させる収束光学系を含むレーザビーム照射装置。 - 前記平行ビームは、前記回折光学素子上でガウス分布型強度分布を有する請求項6に記載のレーザビーム照射装置。
- 前記回折光学素子は、像面上で所定のビーム形状と強度分布を形成する出力光を生成する請求項6または7に記載のレーザビーム照射装置。
- 前記第1、第2の反射ミラーが、共通底面、中間部に前記共通底面と平行な平面、その両側に対称的な形状の斜面を含む対向面を有し、前記斜面上に反射ミラーが形成された台形プリズムによって構成された請求項6〜8のいずれか1項記載のレーザビーム照射装置。
- 前記回折光学素子の下流に配置された結像光学系と、
前記結像光学系の下流で処理対象物を載置するテーブルと、
をさらに有する請求項6〜9のいずれか1項記載のレーザビーム照射装置。 - 前記処理対象物上で、照射光が所定のビーム形状と均一化された強度分布を有する請求項10記載のレーザビーム照射装置。
- 前記第1、第2、第3のレーザビームを前記第1の方向に平行に、かつ同一平面上に出射する第1、第2、第3のレーザ光源と、
前記第1および第2のレーザビームを、前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って、かつ互いに近づく方向に反射する第1、第2の反射ミラーと、
をさらに有する請求項6〜11のいずれか1項記載のレーザビーム照射装置。 - 前記第1、第2、第3のレーザ光源が、それぞれ偏光方向が直交する2本のレーザビームを同軸上に合波したレーザビームを、前記第1、第2、第3のレーザビームとして出射する請求項12記載のレーザビーム照射装置。
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