JP2006051468A - 過硫酸塩含有排水の処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】過硫酸塩を含有する排水の還元処理方法であって、2価の鉄イオンを溶液の形態で添加して還元反応させた後に、pHを調整して凝集させ、固液分離して清澄な処理水を得ることを特徴とする過硫酸塩含有排水の処理方法。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の一実施態様に係る過硫酸塩含有排水の処理方法を実施するための、過硫酸塩含有排水の処理システムを示している。図1において、1は第一反応槽、2は第二反応槽、3は混和槽、4は沈殿槽を、それぞれ示している。過硫酸塩を含有する排水としての被処理水5は、まず第一反応槽1に流入される。第一反応槽1では、2価の鉄イオンとして、例えば塩化第一鉄が溶液6の形態でポンプ7により注入、添加され、攪拌機8により被処理水5に対し、攪拌、混合される。塩化第一鉄は酸性であり、また、過硫酸塩の還元によって硫酸が生じることから、反応槽1内のpHは低下する。そこで必要に応じて、pH調整剤が併せて添加され、調整pHがpH計9で検出される。ここでpHとしては、3〜5程度が好適である。
2Fe2+ +O+H2O→2Fe3+ +2OH-
すなわち、溶存酸素濃度が消費されていることを確認することで、2価の鉄イオンが十分かつ必要な量添加されていることを確認できる。
・酸化剤としての過酸化水素や過硫酸塩など、
・研磨剤としてのシリカ微粒子など、
・その他、界面活性剤、有機化合物、窒素化合物(アンモニア、硝酸)など、
が含有されており、その組成は多岐にわたる。また、研磨された配線から、銅などの重金属が溶出し、含有される場合もある。
2 第二反応槽
3 混和槽
4 沈殿槽
5 過硫酸塩を含有する排水としての被処理水
6 2価の鉄イオンとしての塩化第一鉄の溶液
7 ポンプ
8 攪拌機
9 pH計
10 pH調整剤
11 ポンプ
12 攪拌機
13 pH計
14 ORP計
15 制御装置
16 高分子凝集剤
17 ポンプ
18 攪拌機
19 処理水
Claims (8)
- 過硫酸塩を含有する排水の還元処理方法であって、2価の鉄イオンを溶液の形態で添加して還元反応させた後に、pHを調整して凝集させ、固液分離して清澄な処理水を得ることを特徴とする、過硫酸塩含有排水の処理方法。
- pH調整後の酸化還元電位を測定することを特徴とする、請求項1に記載の過硫酸塩含有排水の処理方法。
- 酸化還元電位の測定結果に基づいて、2価の鉄イオンの添加量を調整することを特徴とする、請求項2に記載の過硫酸塩含有排水の処理方法。
- pH調整後固液分離前に高分子凝集剤を添加することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の過硫酸塩含有排水の処理方法。
- 還元反応時またはpH調整後の溶存酸素濃度を測定することを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の過硫酸塩含有排水の処理方法。
- 溶存酸素濃度の測定結果に基づいて、2価の鉄イオンの添加量を調整することを特徴とする、請求項5に記載の過硫酸塩含有排水の処理方法。
- 原水をあらかじめ曝気しておくことを特徴とする、請求項5または6に記載の過硫酸塩含有排水の処理方法。
- 過硫酸塩含有排水が半導体産業のCMP工程から排出される排水であることを特徴とする,請求項1〜7のいずれかに記載の過硫酸塩含有排水の処理方法。
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