JP2006049721A5 - - Google Patents
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- 光電変換素子と、前記光電変換素子上方に形成された凸型のマイクロレンズとを有する複数の単位セルが２次元状に配列されて撮像領域が形成された固体撮像装置であって、
前記単位セルが有するマイクロレンズは、前記撮像領域の中心部よりも前記撮像領域の外周部側にある前記単位セルでは凸面の最大曲率が大きくなる
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記撮像領域の中心部の単位セルが有するマイクロレンズは、マイクロレンズの凸面における頂点を通り、前記光電変換素子の光入射面に対して垂直な断面が線対称の形状であり、
前記撮像領域の周辺部の単位セルが有するマイクロレンズは、マイクロレンズの凸面における頂点を通り、前記光電変換素子の光入射面に対して垂直な断面が線対称でない形状である
ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。 - 前記撮像領域の周辺部の単位セルが有するマイクロレンズは、前記撮像領域の中心部の単位セルが有するマイクロレンズと同一の底面形状をし、
前記撮像領域の周辺部の単位セルが有するマイクロレンズの底面からの高さは、前記撮像領域の中心部の単位セルが有するマイクロレンズの底面からの高さより高い
ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。 - 前記固体撮像装置は、複数のマイクロレンズ層が積層されたレンズ構造を有し、
前記マイクロレンズの凸面の最大曲率は、少なくとも２層以上のマイクロレンズ層において、前記撮像領域の中心部よりも前記撮像領域の外周部側にある前記単位セルでは大きくなる
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。 - 固体撮像装置のマイクロレンズ形成に用いられるグレースケールマスクであって、
前記グレースケールマスクには、複数の単位パターンが２次元状に形成され、
前記グレースケールマスクの中心部の前記単位パターンは、線対称な透過率分布を有し、
前記グレースケールマスクの周辺部の前記単位パターンは、線対称でない透過率分布を有する
ことを特徴とするグレースケールマスク。 - 請求項５に記載のグレースケールマスクを用いてマイクロレンズを形成するレンズ形成ステップを含む
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004231318A JP4796287B2 (ja) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | 固体撮像装置 |
| US11/196,740 US7847852B2 (en) | 2004-08-06 | 2005-08-04 | Solid-state imaging device and manufacturing method of solid-state imaging device |
| CNA2005100910648A CN1731586A (zh) | 2004-08-06 | 2005-08-05 | 固体摄像器件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004231318A JP4796287B2 (ja) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | 固体撮像装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006049721A JP2006049721A (ja) | 2006-02-16 |
| JP2006049721A5 true JP2006049721A5 (ja) | 2006-12-07 |
| JP4796287B2 JP4796287B2 (ja) | 2011-10-19 |
Family
ID=35756569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004231318A Expired - Fee Related JP4796287B2 (ja) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | 固体撮像装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7847852B2 (ja) |
| JP (1) | JP4796287B2 (ja) |
| CN (1) | CN1731586A (ja) |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4882224B2 (ja) | 2004-11-26 | 2012-02-22 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
| KR100710208B1 (ko) * | 2005-09-22 | 2007-04-20 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법 |
| JP2007266380A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体撮像装置およびその製造方法 |
| US7648071B2 (en) * | 2006-04-07 | 2010-01-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Apparatus for image reading and method for setting the image reading |
| KR100821480B1 (ko) | 2006-12-22 | 2008-04-11 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 이미지 센서 및 그의 제조방법 |
| US8228606B2 (en) | 2008-01-08 | 2012-07-24 | United Microelectronics Corp. | Contiguous microlens array and photomask for defining the same |
| CN101493535B (zh) * | 2008-01-23 | 2011-12-07 | 联华电子股份有限公司 | 连续性微透镜阵列的制造方法 |
| JP5286821B2 (ja) * | 2008-02-22 | 2013-09-11 | 凸版印刷株式会社 | マイクロレンズアレイの製造方法及び濃度分布マスク |
| JP5269454B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2013-08-21 | 株式会社東芝 | 固体撮像素子 |
| JP5233404B2 (ja) * | 2008-05-19 | 2013-07-10 | 凸版印刷株式会社 | 濃度分布マスクの製造方法及びマイクロレンズアレイの製造方法 |
| JP2009289927A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Panasonic Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
| JP2009302483A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Panasonic Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
| FR2945666B1 (fr) * | 2009-05-15 | 2011-12-16 | St Microelectronics Sa | Capteur d'image. |
| JP5232118B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2013-07-10 | 富士フイルム株式会社 | 撮像デバイスおよび電子カメラ |
| JP4764958B2 (ja) | 2009-11-20 | 2011-09-07 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像装置 |
| US8610227B2 (en) * | 2010-10-13 | 2013-12-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Formation of embedded micro-lens |
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| JP5791664B2 (ja) | 2013-06-28 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | 光学素子アレイ、及び固体撮像装置 |
| JP6292814B2 (ja) | 2013-10-09 | 2018-03-14 | キヤノン株式会社 | 光学素子アレイ、光電変換装置、及び撮像システム |
| JP2015096878A (ja) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 日本オクラロ株式会社 | 光受信モジュール及び光送信モジュール |
| JP6327911B2 (ja) * | 2014-04-03 | 2018-05-23 | キヤノン株式会社 | 光学素子、光学素子アレイ及び固体撮像装置 |
| JP2015228466A (ja) * | 2014-06-02 | 2015-12-17 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び撮像システム |
| JP2016058538A (ja) * | 2014-09-09 | 2016-04-21 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
| JP6747769B2 (ja) * | 2014-12-15 | 2020-08-26 | デクセリアルズ株式会社 | 光学素子、表示装置、原盤、及び光学素子の製造方法 |
| US20160181309A1 (en) * | 2014-12-22 | 2016-06-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Microlens and method of manufacturing microlens |
| JP2016149417A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及び撮像システム |
| JP6072164B2 (ja) * | 2015-08-06 | 2017-02-01 | キヤノン株式会社 | 光学素子アレイ、及び固体撮像装置 |
| JP2017059589A (ja) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
| JP6600246B2 (ja) * | 2015-12-17 | 2019-10-30 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及びカメラ |
| JP6814832B2 (ja) * | 2019-02-26 | 2021-01-20 | デクセリアルズ株式会社 | 光学素子、表示装置、原盤、及び光学素子の製造方法 |
| KR102662032B1 (ko) | 2019-06-19 | 2024-05-03 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 이미지 센서를 포함하는 전자 장치 |
| US20230411540A1 (en) * | 2022-06-16 | 2023-12-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Semiconductor device and method of making |
| CN116761068B (zh) * | 2023-08-17 | 2023-11-17 | 荣耀终端有限公司 | 一种摄像模组和电子设备 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS63147365A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-20 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像装置 |
| JP2969842B2 (ja) * | 1990-07-17 | 1999-11-02 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子の製造方法 |
| JPH06132502A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-05-13 | Matsushita Electron Corp | 固体撮像装置 |
| JP3601076B2 (ja) | 1994-06-14 | 2004-12-15 | ソニー株式会社 | 受光装置 |
| JPH08107194A (ja) * | 1994-10-03 | 1996-04-23 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 固体撮像装置 |
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| JP3209180B2 (ja) * | 1998-05-26 | 2001-09-17 | 日本電気株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
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-
2004
- 2004-08-06 JP JP2004231318A patent/JP4796287B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-08-04 US US11/196,740 patent/US7847852B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-08-05 CN CNA2005100910648A patent/CN1731586A/zh active Pending
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