JP2015228466A - 撮像装置及び撮像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の撮像装置は、位相差検出を行なうことが可能な焦点検出用の画素を含む複数の画素が2次元状に配された画素領域と、撮像用画素の光電変換部に対応して設けられたマイクロレンズと、焦点検出用画素の光電変換部に対応して設けられたマイクロレンズと、を有し、前記マイクロレンズを前記光電変換部に対し正射影した際の頂点の位置と中心の位置とがずれていることを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
図13、14を用いて、本実施例の撮像装置を説明する。本実施例の撮像装置は、図3、5を用いて説明した撮像装置と同様のものである。図3と同様に機能を有する部分には同じ符号を付し詳細な説明は省略する。
図15に比較例の撮像装置の上面図、断面図を示す。本比較例の図13、14の例との違いは、マイクロレンズが対称マイクロレンズである点である。図16に、図13、14の本実施例の撮像装置と、図15の比較例の撮像装置の光学特性を示す。実線が図13、14の撮像装置の光学特性であり、点線が図15の比較例の光学特性である。点線の方が瞳強度分布の形状がなだらかになっていることがわかる。これは、A,B像の分離がよくないことを示しており、焦点検出精度は、図13、14の構成の方が高いことがわかる。
図17を用いて本実施例の撮像装置を説明する。本実施例の撮像装置は、図4、6を用いて説明した撮像装置と同様のものである。図4と同様に機能を有する部分には同じ符号を付し詳細な説明は省略する。図17(a)は本実施例の撮像装置の上面図、図17(b)は図17(a)のqr断面における断面図である。図17(c)は比較例の撮像装置の上面図であり、図17(d)は図17(c)のop断面における断面図である。本比較例の撮像装置は対称マイクロレンズ1701を有している点が実施例との違いである。
図19、20を用いて本実施例の撮像装置を説明する。本実施例の撮像装置は、焦点検出用の画素として、遮光部材を用いた焦点検出画素を用いている。図19は撮像面の所定の位置に配された、瞳分割された一対の画素の断面構造を示しており、図20は撮像面の位置による焦点検出画素の断面構造の違いを示している。
図21、22を用いて本実施例の撮像装置を説明する。本実施例の実施例3との大きな違いは、焦点検出用の画素として、複数の光電変換部を有する構成を用いた点である。図21は撮像面の所定の位置に配された焦点検出用画素の断面図を示している。図22は、撮像面の位置による焦点検出画素の断面構造の違いを示している。
本実施例の撮像装置を図23を用いて説明する。本実施例の概念は上述の各実施例のいずれに対しても適用可能である。図で示すように、本実施例においては、対称マイクロレンズと非対称マイクロレンズとが混在して配置された構成となっている。そしてたとえば焦点検出用画素に非対称マイクロレンズを用いている。
本実施例の撮像装置を図24を用いて説明する。本実施例の概念は上述の各実施例のいずれに対しても適用可能である。本実施例の撮像装置の画素領域は有効画素領域とその周囲に配されたオプティカルブラック領域(OB領域)を含んで構成されている。図24(a)は本実施例の撮像装置の上面図を示しており、図24(b)は図24(a)のG−H断面における断面図を示している。図22の構成と同様の機能を有する部分には同じ符号を付し詳細な説明は省略する。
本実施例の撮像装置を図25、26を用いて説明する。上述の実施例は表面照射型の撮像装置を例に説明したが、本実施例は裏面照射型の撮像装置である点が異なる。裏面照射型とは、各トランジスタのゲート電極や配線が配される主面とは反対側の主面に非対称マイクロレンズを設けて、この反対側の主面から光を入射させる構成をいう。
Claims (15)
- 複数の撮像用画素と、各々が位相差検出による焦点検出用の信号を出力する、複数の焦点検出用画素とを含む複数の画素が2次元状に配された画素領域と、
前記撮像用画素の光電変換部に対応して設けられたマイクロレンズと、
前記焦点検出用画素の光電変換部に対応して設けられたマイクロレンズと、を有し、
前記複数のマイクロレンズのうちのいずれかのマイクロレンズを前記光電変換部に対して正射影した際の頂点の位置と中心の位置とがずれていることを特徴とする撮像装置。 - 前記複数の焦点検出用画素は、瞳分割された一対の焦点検出画素群を有することを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記焦点検出画素群の各画素は、
撮影光学系の射出瞳の一部の領域を通る光を受光することを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。 - 前記瞳分割された一対の焦点検出画素群に含まれる複数の画素は、各光電変換部の一部を遮光する遮光部材を有していることを特徴とする請求項3に記載の撮像装置。
- 前記複数の焦点検出用画素の各々は複数の光電変換部を有し、各光電変換部の信号を独立に読み出し可能な構成であることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の撮像装置。
- 前記焦点検出用画素の光電変換部に対応して設けられたマイクロレンズのうちのいずれかのマイクロレンズは、前記光電変換部に対して正射影した際の頂点の位置と中心の位置とがずれていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記撮像用画素の光電変換部に対応して設けられたマイクロレンズのうちのいずれかのマイクロレンズは、前記光電変換部に対して正射影した際の頂点の位置と中心の位置とがずれていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記複数の画素は、第1の位置に配置された第1の画素と、前記第1の位置よりも周辺に設けられた第2の画素とを有し、
前記第1の画素の光電変換部に対応して設けられた第1のマイクロレンズの頂点位置は、前記第1の画素の光電変換部の中心位置に対して前記画素領域の中心側にずれており、
前記第2の画素の光電変換部に対応して設けられた第2のマイクロレンズの頂点位置は前記第2の画素の光電変換部の中心位置に対して、前記画素領域の中心側にずれており、
前記第2の画素の、前記第2のマイクロレンズと前記光電変換部の中心との前記画素領域の中心方向へのずれ量は、
前記第1の画素の、前記第1のマイクロレンズと前記光電変換部の中心との前記画素領域の中心方向へのずれ量よりも大きいことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記第1の画素及び前記第2の画素は焦点検出用画素であることを特徴とする請求項8に記載の撮像装置。
- 前記第1の画素及び前記第2の画素は撮像用画素であることを特徴とする請求項8に記載の撮像装置。
- 前記光電変換部に対して正射影した際の頂点の位置と中心の位置とがずれているマイクロレンズの輪郭が、平面視で放射方向に漸次幅狭となる曲線形状で形成されるとともに、断面視で放射方向に漸次低くなる曲線形状で形成されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記複数のマイクロレンズは、第1方向に沿って配列し、前記複数のマイクロレンズが配された画素領域の中心から前記第1の方向に沿って第1の距離だけ離れて位置する第3のマイクロレンズを含み、
前記第3のマイクロレンズは、前記第1の方向と、前記第1の方向に直交する第2の方向を含む面に底面を有し、
前記底面は、
前記第3のマイクロレンズ内の前記第1の方向における第1の位置にて、前記第2の方向に沿った第1の幅と、
前記第3のマイクロレンズ内の前記第1の方向における前記第1の位置よりも前記画素領域の中心から離れて位置する第2の位置にて、前記第2の方向に沿った、前記第1の幅よりも狭い第2の幅を有し、
前記光電変換部に対して正射影した際の頂点の位置と中心の位置とがずれているマイクロレンズは、
前記第1の位置にて、前記第2の方向に沿った第1の断面をとった時に、第1の曲率半径と、前記第1の断面において最も高い第1の高さを有し、
前記第2の位置にて、前記第2の方向に沿った第2の断面をとった時に、前記第1の曲率半径よりも大きな第2の曲率半径と、前記第2の断面において最も高く、前記第1の高さよりも低い第2の高さを有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記画素領域は有効画素領域とOB領域とを有し、前記有効画素領域と前記OB領域の両者に前記光電変換部に対して正射影した際の頂点の位置と中心の位置とがずれているマイクロレンズが配されていることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記複数の画素は、各光電変換部で生じた信号を増幅する増幅トランジスタを有し、前記増幅トランジスタのゲート電極が配される主面とは反対側の主面から光が入射することを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置に光を集光させる撮像レンズとを有し、
前記撮像装置から出力された位相差検出信号により、前記撮像レンズの制御を行なう撮像システム。
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GB1509474.1A GB2528762B (en) | 2014-06-02 | 2015-06-02 | Image pickup device and image pickup system |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017117743A1 (zh) * | 2016-01-06 | 2017-07-13 | 华为技术有限公司 | 处理图像的方法和设备 |
CN109964479A (zh) * | 2016-11-17 | 2019-07-02 | 佳能株式会社 | 摄像设备及其控制方法 |
JP2021061605A (ja) * | 2020-12-09 | 2021-04-15 | 株式会社ニコン | 撮像素子および電子カメラ |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016103430A1 (ja) * | 2014-12-25 | 2016-06-30 | キヤノン株式会社 | ラインセンサ、画像読取装置、画像形成装置 |
JP6600246B2 (ja) * | 2015-12-17 | 2019-10-30 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及びカメラ |
CN108431958B (zh) * | 2015-12-25 | 2023-03-31 | 株式会社尼康 | 拍摄元件以及拍摄装置 |
KR102372736B1 (ko) | 2017-03-06 | 2022-03-11 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 위상차 검출 픽셀을 구비하는 이미지 센서 |
KR102523851B1 (ko) * | 2018-07-31 | 2023-04-21 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 더미 픽셀들을 포함하는 이미지 센싱 장치 |
JP7336206B2 (ja) * | 2019-02-27 | 2023-08-31 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置の製造方法 |
EP3958022A4 (en) * | 2019-04-15 | 2022-12-21 | Canon Kabushiki Kaisha | IMAGE CAPTURE ELEMENT AND IMAGE CAPTURE DEVICE |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0434977A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-05 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
US20060023314A1 (en) * | 2004-07-27 | 2006-02-02 | Boettiger Ulrich C | Controlling lens shape in a microlens array |
JP2006049721A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2007335723A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子用マイクロレンズ及びその製造方法 |
JP2009302483A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Panasonic Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2010140013A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-06-24 | Canon Inc | 焦点検出装置及びその制御方法 |
WO2011061998A1 (ja) * | 2009-11-20 | 2011-05-26 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2012204449A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Sony Corp | 固体撮像装置および電子機器 |
JP2013157442A (ja) * | 2012-01-30 | 2013-08-15 | Nikon Corp | 撮像素子および焦点検出装置 |
JP2014072541A (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-21 | Nikon Corp | 撮像素子および撮像装置 |
JP2014089432A (ja) * | 2012-03-01 | 2014-05-15 | Sony Corp | 固体撮像装置、固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成方法、及び、電子機器 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US27825A (en) * | 1860-04-10 | Washing-machine | ||
WO2004034477A1 (en) * | 2002-10-11 | 2004-04-22 | Smal Camera Technologies | Optical system comprising a solid-state image sensor with microlenses and a non-telecentric taking lens |
KR100541028B1 (ko) | 2003-07-21 | 2006-01-11 | 주식회사 옵토메카 | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
JP4852921B2 (ja) | 2005-07-26 | 2012-01-11 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
TW200742425A (en) * | 2006-03-24 | 2007-11-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Solid-state image pickup device |
US20080011936A1 (en) | 2006-07-14 | 2008-01-17 | Visera Technologies Company Ltd, Roc | Imaging sensor having microlenses of different radii of curvature |
US8049801B2 (en) * | 2006-09-14 | 2011-11-01 | Nikon Corporation | Image sensor and imaging apparatus |
US7763913B2 (en) * | 2006-12-12 | 2010-07-27 | Aptina Imaging Corporation | Imaging method, apparatus, and system providing improved imager quantum efficiency |
JP5220375B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2013-06-26 | オリンパス株式会社 | 撮像装置及びそれを有する撮像機器 |
JP5157436B2 (ja) | 2007-10-11 | 2013-03-06 | 株式会社ニコン | 固体撮像素子および撮像装置 |
US8228606B2 (en) | 2008-01-08 | 2012-07-24 | United Microelectronics Corp. | Contiguous microlens array and photomask for defining the same |
JP2009289927A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Panasonic Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP5169499B2 (ja) | 2008-06-02 | 2013-03-27 | 株式会社ニコン | 撮像素子および撮像装置 |
TWI425629B (zh) * | 2009-03-30 | 2014-02-01 | Sony Corp | 固態影像拾取裝置及其製造方法,影像拾取裝置及電子裝置 |
JP2011221253A (ja) | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Sony Corp | 撮像装置、固体撮像素子、撮像方法およびプログラム |
JP2011221254A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Sony Corp | 撮像装置、固体撮像素子、撮像方法およびプログラム |
JP2012064924A (ja) * | 2010-08-17 | 2012-03-29 | Canon Inc | マイクロレンズアレイの製造方法、固体撮像装置の製造方法および固体撮像装置 |
JP5197823B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2013-05-15 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
JP5956782B2 (ja) | 2011-05-26 | 2016-07-27 | キヤノン株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
JP5907595B2 (ja) | 2011-09-27 | 2016-04-26 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
JP2013145779A (ja) | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Sony Corp | 固体撮像装置及び電子機器 |
JP6308717B2 (ja) * | 2012-10-16 | 2018-04-11 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および撮像システム |
JP6288909B2 (ja) * | 2012-10-19 | 2018-03-07 | キヤノン株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
JP6099373B2 (ja) * | 2012-11-29 | 2017-03-22 | オリンパス株式会社 | 固体撮像装置および電子カメラ |
-
2014
- 2014-06-02 JP JP2014114432A patent/JP2015228466A/ja active Pending
-
2015
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0434977A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-05 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
US20060023314A1 (en) * | 2004-07-27 | 2006-02-02 | Boettiger Ulrich C | Controlling lens shape in a microlens array |
JP2006049721A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2007335723A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子用マイクロレンズ及びその製造方法 |
JP2009302483A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Panasonic Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2010140013A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-06-24 | Canon Inc | 焦点検出装置及びその制御方法 |
WO2011061998A1 (ja) * | 2009-11-20 | 2011-05-26 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2012204449A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Sony Corp | 固体撮像装置および電子機器 |
JP2013157442A (ja) * | 2012-01-30 | 2013-08-15 | Nikon Corp | 撮像素子および焦点検出装置 |
JP2014089432A (ja) * | 2012-03-01 | 2014-05-15 | Sony Corp | 固体撮像装置、固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成方法、及び、電子機器 |
JP2014072541A (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-21 | Nikon Corp | 撮像素子および撮像装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017117743A1 (zh) * | 2016-01-06 | 2017-07-13 | 华为技术有限公司 | 处理图像的方法和设备 |
CN107211095A (zh) * | 2016-01-06 | 2017-09-26 | 华为技术有限公司 | 处理图像的方法和设备 |
CN107211095B (zh) * | 2016-01-06 | 2020-07-28 | 华为技术有限公司 | 处理图像的方法和设备 |
CN109964479A (zh) * | 2016-11-17 | 2019-07-02 | 佳能株式会社 | 摄像设备及其控制方法 |
US11122226B2 (en) | 2016-11-17 | 2021-09-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Imaging apparatus and control method thereof |
JP2021061605A (ja) * | 2020-12-09 | 2021-04-15 | 株式会社ニコン | 撮像素子および電子カメラ |
JP7180664B2 (ja) | 2020-12-09 | 2022-11-30 | 株式会社ニコン | 撮像素子および撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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