JP2017079243A - 固体撮像装置及びカメラ - Google Patents
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Abstract
【課題】様々な入射光に対して、画素上にマイクロレンズが配された固体撮像装置の光学特性のばらつきを抑制する技術を提供する。
【解決手段】第1の方向及び第1の方向と直交する第2の方向で規定される平面の上に複数の画素が配された画素領域を含む固体撮像装置であって、複数の画素のそれぞれは、光電変換部と、マイクロレンズと、光電変換部とマイクロレンズとの間に配された光透過部と、を含み、光透過部及び光電変換部のうち少なくとも一方は、光電変換部の中心を通り前記第1の方向に垂直である分割面に対して、第1の方向の側と第1の方向とは反対側とで非対称性を持つ構造を有し、マイクロレンズの中心が、分割面に対して第1の方向とは反対側にずれることによって、複数の画素のうち、画素領域の中心を通り第1の方向に垂直である面に対して互いに対称の位置に配された画素同士の非対称性によって生じる感度差を低減する。
【選択図】図1
【解決手段】第1の方向及び第1の方向と直交する第2の方向で規定される平面の上に複数の画素が配された画素領域を含む固体撮像装置であって、複数の画素のそれぞれは、光電変換部と、マイクロレンズと、光電変換部とマイクロレンズとの間に配された光透過部と、を含み、光透過部及び光電変換部のうち少なくとも一方は、光電変換部の中心を通り前記第1の方向に垂直である分割面に対して、第1の方向の側と第1の方向とは反対側とで非対称性を持つ構造を有し、マイクロレンズの中心が、分割面に対して第1の方向とは反対側にずれることによって、複数の画素のうち、画素領域の中心を通り第1の方向に垂直である面に対して互いに対称の位置に配された画素同士の非対称性によって生じる感度差を低減する。
【選択図】図1
Description
本発明は、固体撮像装置及びカメラに関する。
フォトダイオードなどの光電変換部を含む画素がアレイ状に配された固体撮像装置において、感度向上やノイズ低減を目的として、各画素の上に集光効率を高めるマイクロレンズを配することが知られている。カメラの撮影レンズを通り固体撮像装置に入射する光は、固体撮像装置の端に近い画素ほど斜めに入射することになる。特許文献1には、固体撮像装置の中心との距離に応じて入射面の傾きが互いに異なるプリズムや反射鏡を用いることによって、マイクロレンズの集光位置を補正することが示されている。斜入射光に対して周辺部の画素での集光効率の低下を抑制することによって、固体撮像装置の中央部から周辺部までの各画素の光学特性のばらつきが抑制される。
撮影レンズを交換できるカメラの場合、撮影レンズによって射出瞳距離が変化し、固体撮像装置に入射する光の角度が変化する。特許文献1の構造では、周辺部の画素において斜入射光に適したマイクロレンズを配した場合、周辺部の画素に垂直光に近い光が入射すると集光位置を補正し過ぎてしまい、固体撮像装置の周辺部で光学特性のばらつきが発生する可能性がある。
本発明は、様々な入射光に対して、画素上にマイクロレンズが配された固体撮像装置の光学特性のばらつきを抑制する技術を提供することを目的とする。
上記課題に鑑みて、本発明の一部の実施形態に係る固体撮像装置は、第1の方向及び第1の方向と直交する第2の方向で規定される平面の上に複数の画素が配された画素領域を含む固体撮像装置であって、複数の画素のそれぞれは、光電変換部と、マイクロレンズと、光電変換部とマイクロレンズとの間に配された光透過部と、を含み、光透過部及び光電変換部のうち少なくとも一方は、光電変換部の中心を通り前記第1の方向に垂直である分割面に対して、第1の方向の側と第1の方向とは反対側とで非対称性を持つ構造を有し、マイクロレンズの中心が、分割面に対して第1の方向とは反対側にずれることによって、複数の画素のうち、画素領域の中心を通り第1の方向に垂直である面に対して互いに対称の位置に配された画素同士の非対称性によって生じる感度差を低減することを特徴とする。
上記手段により、様々な入射光に対して、画素上にマイクロレンズが配された固体撮像装置の光学特性のばらつきを抑制する技術が提供される。
以下、本発明に係る固体撮像装置の具体的な実施形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下の説明及び図面において、複数の図面に渡って共通の構成については共通の符号を付している。そのため、複数の図面を相互に参照して共通する構成を説明し、共通の符号を付した構成については適宜説明を省略する。
第1の実施形態
図1を参照して、本発明の一部の実施形態による固体撮像装置について説明する。図1(a)に、本発明の第1の実施形態における固体撮像装置101の平面図を示す。固体撮像装置101は、第1の方向121及び第1の方向121に直交する第2の方向122で規定される平面上に複数の画素が配された画素領域100を含む。複数の画素は、この平面上に2次元アレイ状に配されている。複数の画素のうち、図1(a)に示す第1の方向121に沿って配された画素102、103、104のそれぞれ断面図を、図1(b)〜(g)に示す。図1(b)、(e)は画素102、図1(c)、(f)は画素103、図1(d)、(g)は画素104のそれぞれ断面図を示している。ここで断面とは、各画素の第1の方向121と平行な方向であり、画素領域100の表面に対して垂直な面を指す。言い換えると、断面とは、第2の方向122に垂直な面を指す。それぞれの画素は、基板に配された光電変換部105、マイクロレンズ108、109又は110及び光電変換部105とマイクロレンズ108、109又は110との間に配された光透過部111を含む。
図1を参照して、本発明の一部の実施形態による固体撮像装置について説明する。図1(a)に、本発明の第1の実施形態における固体撮像装置101の平面図を示す。固体撮像装置101は、第1の方向121及び第1の方向121に直交する第2の方向122で規定される平面上に複数の画素が配された画素領域100を含む。複数の画素は、この平面上に2次元アレイ状に配されている。複数の画素のうち、図1(a)に示す第1の方向121に沿って配された画素102、103、104のそれぞれ断面図を、図1(b)〜(g)に示す。図1(b)、(e)は画素102、図1(c)、(f)は画素103、図1(d)、(g)は画素104のそれぞれ断面図を示している。ここで断面とは、各画素の第1の方向121と平行な方向であり、画素領域100の表面に対して垂直な面を指す。言い換えると、断面とは、第2の方向122に垂直な面を指す。それぞれの画素は、基板に配された光電変換部105、マイクロレンズ108、109又は110及び光電変換部105とマイクロレンズ108、109又は110との間に配された光透過部111を含む。
画素103は、画素領域100の中心を通る第1の方向121に平行な直線と、画素領域100の中心を通る第2の方向122に平行な面130との交点に配されている。画素103は、画素領域100の中心に配された画素でありうる。また、画素領域100の中心は、固体撮像装置101の有効画素領域の中心であってもよい。画素102と画素104とは、画素領域100の中心を通り第1の方向121と垂直である面130に対して互いに対称の位置に配される。図1(a)の平面図では、面130が直線で示される。画素102は、面130から第1の方向121の側に距離d1離れた場所に配される。「第1の方向121の側」は、各図面に示す平面図及び断面図では左側であるので、以下の説明では「左側」で表す。また、「第1の方向121とは反対側」は、各図面に示す平面図及び断面図では右側であるので、以下の説明では「右側」で表す。画素104は、面130から第1の方向121とは反対の方向に距離d1離れた場所に配される。本実施形態において、画素102は、画素104に対して、左側に配されている。ここで各画素と面130との距離は、画素領域100の表面に対する正射影において、例えば各画素の光電変換部105の中心から面130までの最短距離であってもよい。また例えば、各画素の光電変換部105の外縁と面130との間の最短距離であってもよい。また、光電変換部105の中心とは、例えば、光電変換部105がpn接合フォトダイオードの場合、光電変換部105の電子蓄積型であればn型領域、正孔蓄積型であればp型領域となる蓄積領域の幾何学的な重心の位置であってもよい。また例えば、光電変換部105の中心とは、光電変換部105の蓄積領域の上面に外接し第1の方向121及び第2の方向122に平行な辺を有する四角形の中心であってもよい。また例えば、光電変換部105の蓄積領域の上面が矩形の場合、その対角線の交点を光電変換部105の中心としてもよい。
各画素は、光電変換部105、光透過部111、及び、マイクロレンズ108、109又は110を含む。光透過部111は、選択された光電変換部105に蓄積された電荷を読み出すためのトランジスタのゲート電極106、配線層107を含む。また、光電変換部105の上には、マイクロレンズが配される。本実施形態において、画素102にはマイクロレンズ108、画素103にはマイクロレンズ109、画素104にはマイクロレンズ110が、それぞれ含まれる。
マイクロレンズは、画素領域100の配された場所によって異なる形状を有する。各マイクロレズは、各マイクロレンズと画素領域100の中央との間の距離に応じて、マイクロレンズの頂点が、マイクロレンズの中心から画素領域100の中央に偏った形状を有する。画素領域100の中央に近いマイクロレンズの頂点よりも、画素領域100の外縁に近いマイクロレンズの頂点の方が、画素領域100の中心への偏りが大きい。例えば、画素領域100の中心に近い画素のマイクロレンズの頂点と光電変換部105の中心との距離が、画素領域100の外縁に近い画素のマイクロレンズの頂点と光電変換部105の中心との距離よりも短くてもよい。また、面130から等距離に配された画素102、104のマイクロレンズ108とマイクロレンズ110とは、マイクロレンズの頂点とマイクロレンズの中心との距離が同じであってもよい。またこの場合、面130から等距離に配された画素102、104のマイクロレンズ108とマイクロレンズ110とは、第1の方向121に垂直である面に対して互いに対称の形状であってもよい。ここで、各マイクロレンズの中心とは、画素領域100の表面に対する正射影において、例えば、各画素の各マイクロレンズに外接し第1の方向121及び第2の方向122に平行な辺を有する四角形の対角線の交点であってもよい。また例えば、画素領域100の表面に対する正射影において、マイクロレンズが対称性を有する、又は、対称に近い形状を有する場合、マイクロレンズの中心は、マイクロレンズの幾何学的な重心位置であってもよい。例えば、画素領域100の表面に対する正射影において、マイクロレンズが円形であった場合、マイクロレンズの中心は、円の中心であってもよい。また、画素領域100の中央とは、画素103の配された画素領域100の中心のみを指してもよいし、例えば画素領域100の中心から放射状に数画素、離れた範囲まで含んでいてもよい。また例えば、固体撮像装置101の配されたカメラの撮影レンズからの光が、撮影レンズの種類に関わらず画素領域100に対してほぼ垂直に入射する範囲であってもよい。また、マイクロレンズの頂点とは、マイクロレンズの底面から、画素領域100の表面に対して垂直の方向に、最も高い部分であってよい。
マイクロレンズ108、110は、図1(b)、(d)、(e)、(g)に示すように、頂点が、マイクロレンズの中心よりも画素領域100の中央側に偏った非対称な形状を有する非対称マイクロレンズである。また、画素領域100の中心に配される画素103のマイクロレンズ109は、マイクロレンズ109の頂点を通り光電変換部105の表面に対して垂直な方向の中心軸に対して対称な形状を有する対称マイクロレンズであってもよい。換言すると対称マイクロレンズは、マイクロレンズに入射する光束の光軸に対して対称の形状を有する。また、対称マイクロレンズを含む画素は、画素領域100の中心に配された画素103、1画素だけでなくてもよい。例えば、画素領域100は、対称マイクロレンズを含んだ画素を画素領域100の中央に複数含んでいてもよい。例えば、画素領域100の中心から放射状に数画素の範囲の画素に含まれるマイクロレンズが、対称マイクロレンズであってもよい。また、対称マイクロレンズの配される領域を、上記の画素領域100の中央としてもよい。
本実施形態の複数のマイクロレンズはアレイ状に配置されているので、複数のマイクロレンズをまとめてマイクロレンズアレイと呼ぶ。マイクロレンズアレイは、マイクロレンズ109を中心に、放射方向に連続的に形状が変化するマイクロレンズアレイとなっている。これらの構成によって、画素領域100の外縁に近い周辺部において、各画素に対して傾いて入射する光を光電変換部105の方向へ屈折させることが可能となる。
また、本実施形態において、各画素に含まれるマイクロレンズの中心(入射する光151を表す3本の矢印のうち、真ん中の矢印で示す。)は、図1(b)〜(g)に示されるように、各画素の光電変換部105の中心を通り第1の方向121に垂直である平面(一点鎖線で示す。)から右側にずれて配される。以下、光電変換部105の中心を通り第1の方向121に垂直である平面を画素の分割面DIVと呼ぶ。このため、面130を対称軸として、面130から等距離にある画素102と画素104とに配されたマイクロレンズ108とマイクロレンズ110とは、それぞれの画素の分割面DIVから右側にずれ、面130からの距離が異なることとなる。具体的には、マイクロレンズ108の頂点と面130との間の距離が、マイクロレンズ110の頂点と面130との間の距離よりも短くなる。また、画素102と画素104との対称面である面130に対して、マイクロレンズ108の中心とマイクロレンズ110の中心との中間点が、右側にずれる。本実施形態において、各画素の光電変換部105の中心に対する各マイクロレンズの中心の右側へのずれ量は、図1(b)〜(g)に示すように、各画素において一定となっている。また、画素領域100に配される全ての画素において、各マイクロレンズの中心が、分割面DIVに対して右側にずれていてもよい。
本実施形態において、各画素に配されるトランジスタのゲート電極106は、各画素の分割面DIVよりも左側に配される。このため、各画素は、分割面DIVの左側と右側とで非対称性を持つ構造を有する。本実施形態において、分割面DIVに対して右側と左側とで、光透過部111の光の透過率が互いに異なってしまう。ゲート電極106によって、光透過部111の光の透過率が低くなる部分が、分割面DIVの左側で生じる。このため、光電変換部105のうちゲート電極106の下になる部分は、他の部分と比較して生成される電荷量が減少する可能性がある。この構造的な非対称性のため、各画素にマイクロレンズが配されない場合、面130に対して互いに対称の位置に配される画素102と画素104とは、カメラの撮像レンズを通して入射する光に対して感度差を生じることとなる。また、ゲート電極106には、例えばポリシリコンなど、光透過部111のうちゲート電極106や配線層107以外の光が通過する部分よりも屈折率の高い材料が用いられる。このため、ゲート電極106に光が照射された場合、光透過部111のうち光が通過する部分とゲート電極106との屈折率の変化によって、光が隣接する画素に大きく屈折され、混色などの画質劣化の原因となりうる。このように、画素が非対称な構造を有するため、画素領域100内で光学的な非対称性が生じてしまい、撮像画像の画質が低下してしまう可能性がある。
ここで、本実施形態の固体撮像装置101の比較構造として図5、6に固体撮像装置501、601を示す。図5(a)は、固体撮像装置501の平面図、図5(b)〜(g)は、固体撮像装置501に含まれる第1の方向121に沿って配された画素502、503、504のそれぞれ断面図を示す。画素503は、画素領域100の中心に配された画素を示す。また、画素502と画素504とは、画素領域100の中心を通り第1の方向121に垂直である面130に対して互いに対称の位置に配された画素を示す。固体撮像装置501に含まれる各画素は、固体撮像装置101と同様に、光電変換部105、光透過部111、マイクロレンズ508を含む。固体撮像装置501では、固体撮像装置101とは異なり、すべての画素に含まれるマイクロレンズが、同じ形状をしたマイクロレンズ508である。マイクロレンズ508は、対称マイクロレンズでありうる。また、本実施形態と異なり、マイクロレンズの中心は、各画素の光電変換部105の中心の上にそれぞれ配される。
図5(b)〜(d)は、固体撮像装置501が配されたカメラの撮影レンズの射出瞳距離が長い場合、各画素に入射する光を模式的に示している。撮影レンズの射出瞳距離が長いため、それぞれの画素に入射する光551は垂直に近い角度で入射し、マイクロレンズ508によって光電変換部105の中央部に集光される。このため、画素領域100の第1の方向121の感度差が抑制され、良好な光学特性を得ることができる。一方、図5(e)〜(g)は、固体撮像装置501が配されたカメラの撮影レンズの射出瞳距離が短い場合、各画素に入射する光552a〜cを模式的に示している。撮像レンズの射出瞳距離が短いため、画素領域100の中央から離れた周辺部の画素502、504に、光552a、cは、それぞれ傾いて入射する。この場合、画素502において、マイクロレンズ508による屈折量が不足する。このため、画素502のゲート電極106に光が照射され、面130に対して互いに対称の位置に配された画素502と画素504とで感度差が生じてしまう。固体撮像装置501は、非対称な光学特性となってしまう可能性がある。
画素領域100の中央から離れた周辺部に斜入射する光に対して、図6に示す固体撮像装置601は、固体撮像装置101と同様に、対称性のあるマイクロレンズ109を中心に、形状が連続的に変化する非対称な形状のマイクロレンズアレイを備える。しかし、本実施形態の固体撮像装置101と異なり、各画素の分割面DIV上に各マイクロレンズの中心が配されている。ここで、画素603は、画素領域100の中心に配された画素を示し、また、画素602と画素604とは、画素領域100の中心を通り第1の方向121に垂直である面130に対して対称の位置に配された画素を示す。
図6(e)〜(g)は、固体撮像装置601が配されたカメラの撮影レンズの射出瞳距離が短い場合、各画素に入射する光652a〜cを模式的に示している。撮像レンズの射出瞳距離が短いため、画素領域100の中央から離れた周辺部の画素602、604に、光652a、cは、それぞれ傾いて入射する。しかしながら、マイクロレンズ108、110の頂点の位置が、それぞれ画素領域100の中央に偏って配されることによって、光は光電変換部105の中央部に集光される。このため、良好な光学特性を得ることができる。一方、図6(b)〜(d)は、固体撮像装置601が配されたカメラの撮影レンズの射出瞳距離が長い場合、各画素に入射する光651を模式的に示している。撮像レンズの射出瞳距離が長く、それぞれの画素に光651は垂直に近い角度で入射するため、画素604では屈折量が多く、ゲート電極106に光が照射される。このため、面130に対して互いに対称の位置に配された画素602と画素604とで感度差が生じてしまい、固体撮像装置601は、非対称な光学特性となってしまう可能性がある。
このように、固体撮像装置501、601の構成では、撮影レンズの射出瞳距離が大きく変化するような状況において、面130を対称軸として互いに線対称の位置に配された画素同士で感度差が生じてしまう。このため、固体撮像装置501、601の画素領域100全体で、面130を対称軸として、対称な光学特性を得ることが難しい。
ここで本実施形態の固体撮像装置101の効果について説明する。図1(b)〜(d)は、固体撮像装置101が配されたカメラの撮影レンズの射出瞳距離が長い場合、各画素に入射する光151を模式的に示している。図6(d)に示した固体撮像装置601の画素604において、垂直に近い角度で入射する光651は、マイクロレンズ110によって大きく屈折し、光がゲート電極106に照射されてしまう。一方、本実施形態において、各マイクロレンズは、分割面DIVに対して右側にずれて配される。このため、画素104に垂直に近い角度で入射した光151は、マイクロレンズ110によって屈折されるが、ゲート電極106に照射され難くなる。マイクロレンズ110を右側にずらすことによって、照射瞳距離の長い撮影レンズを用いた場合でも、面130に対して互いに対称の位置に配された画素同士の感度差を低減することが可能となる。結果として、固体撮像装置101の光学特性を改善することが可能となる。
図1(e)〜(g)は、固体撮像装置101が配されたカメラの撮影レンズの射出瞳距離が短い場合、各画素に入射する光152a〜cを模式的に示している。図5(e)に示した固体撮像装置501の画素502において、傾いて入射する光552aは、マイクロレンズ508では屈折量が足りず、光がゲート電極106に照射されてしまう。一方、本実施形態において、画素102には非対称マイクロレンズであるマイクロレンズ108が右側にずれて配される。このため、画素102に傾いて入射した光152aは、マイクロレンズ108によって屈折され、ゲート電極106に照射され難くなる。非対称な形状を有するマイクロレンズ108を右側にずらすことによって、照射瞳距離の短い撮影レンズを用いた場合でも、画素102と画素104との感度差を低減し、固体撮像装置101の光学特性を改善することが可能となる。
本実施形態において、各画素が非対称性を持つ構造を有した場合、マイクロレンズの頂点がマイクロレンズの中心から画素領域100の中央側に偏ったマイクロレンズを、各画素の持つ光学的に非対称な部分と反対の側にずらして配する。これによって、撮影レンズの照射瞳距離が広い範囲で変化し、画素に広い角度範囲で光が入射した場合においても、画素領域100の面内の光学特性を改善し、より均一な光学特性を得ることが可能となる。
本実施形態において、画素領域100の中心は、固体撮像装置101の有効画素領域の中心であってもよいとしたが、本発明は、これに限定されるものではない。画素領域100に照射される光は、カメラの撮影レンズの光軸を中心に放射方向に角度が変化する。このため、撮影レンズの光軸が画素領域100の中心を通っていてもよい。また、光軸近傍での光の角度の変化は僅かであるため、撮影レンズの光軸と画素領域100の中央とが、概ね一致していてもよい。画素領域100の中心は、撮像レンズの光軸や、画素領域100の周辺回路やオプティカルブラック画素などの配置によって、適宜、調整すればよい。
本実施形態において、非対称な形状のマイクロレンズとして図4(a)に示すようなティアドロップ形状のマイクロレンズ401を用いることができる。図4において、Lは画素の辺の長さを表し、センサチップの中央から周辺へ向かう方向をx方向、マイクロレンズ401の底面内において、x方向に垂直に交わる方向をy方向、x、y方向それぞれに垂直に交わる方向をz方向として以下説明する。
図4(a)にはマイクロレンズ401の底面形状の模式図と断面形状の模式図とを示す。マイクロレンズ401は、1画素内において、画素領域100の中心から周辺に向かうx方向について徐々に高さが低くなる。図に示す高さh1と高さh2の関係は、位置x1でのマイクロレンズの高さをh1、位置x2でのマイクロレンズの高さh2として、h1>h2である。また、y方向について徐々に幅が狭くなる形状を有する。幅b1と幅b2の関係は、位置x1でのマイクロレンズの幅をb1、位置x2でのマイクロレンズの幅b2として、b1>b2である。この形状のマイクロレンズを使う場合においても、画素領域100の中心から周辺に向かうにつれて、より入射光を屈折するように、それぞれのマイクロレンズの頂点がマイクロレンズの中心よりも画素領域100中心の側に偏るように変化させてもよい。
このようなティアドロップ型の形状を用いることによって、画素領域100の周辺部の画素において大きく傾いて入射する光を光電変換部105方向に屈折させることができるため、高い感度を得ることができる。これによって、センサチップ全体において、光学的な非対称性を改善しつつ、高感度を得ることができる。
また、非対称マイクロレンズの形状の他の例として、図4(b)に示すようなマイクロレンズ402を用いてもよい。このマイクロレンズ402は、1画素内において占める面積がマイクロレンズ401よりも広い。また、マイクロレンズ401と同様に、画素領域100の中央から周辺に向かうx方向について徐々に高さが低くなる。このマイクロレンズは、y方向について徐々に幅が変化する形状である。このマイクロレンズの幅は、画素領域100の中央に近い側の端部が幅b1で、周辺側の方の端部の幅b4よりも広い。つまり、対称なマイクロレンズ109が配置されている方に近い側の端部の幅b1が遠い側の端部の幅b4よりも広い。一方の端部の幅b1からy方向に向かい徐々に幅が広がり、最も広い幅b2となる。その後、一定の幅b2を保ち、徐々に狭くなり幅b3を経て他方の端部で幅b4となる。ここでマイクロレンズの端部とは、マイクロレンズが隣接して配置されている場合には、隣り合うマイクロレンズとの境界部分にあたり、高さが最も高い部分から徐々に下がって最も低くなった箇所である。あるいは図4(b)でL×Lで示す画素のx方向における左右の辺にあたる部分である。また、マイクロレンズ401は、1画素内において、最も高さが高い頂点の位置x1から、画素領域100の中心を離れる方向に向かうにつれて、マイクロレンズの上面の曲率半径が徐々にy方向において大きくなることを特徴としている。すなわち、位置x2におけるマイクロレンズの上面の曲率半径は、位置x1におけるマイクロレンズの上面の曲率半径よりも大きい。このような形状を用いることによって、画素領域100の周辺部において、非対称性を改善しつつ、さらに高感度を得ることができる。この形状のマイクロレンズを使う場合においても、画素領域100の中心から周辺に向かうにつれて、より入射光を屈折するように、それぞれのマイクロレンズの頂点がマイクロレンズの中心よりも画素領域100中心の側に偏るように変化させてもよい。
本実施形態において、トランジスタのゲート電極106によって画素が構造的な非対称性を有し、画素領域100の中心を通る面130に対して互いに対称の位置の画素において感度差が生じてしまう。結果として、画素領域100の面内で光学的な非対称性が生じ特性が劣化する要因として説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、光透過部111に配された配線層107の配置が、分割面DIVに対して、左側と右側とで配置が互いに異なることによっても、非対称性が生じうる。また、非対称性が生じる要因は、光透過部111に配される各構成だけによって生じるものではない。例えばゲート電極近傍での不純物濃度など、光電変換部105の不純物濃度の分布が、分割面DIVに対して左側と右側とで異なることによって、非対称性が生じうる。また、互いに隣接する画素間の光電変換部105を分離する不純物層、光電変換部105の形状などの要因によっても非対称性が生じうる。これらについても各画素の光電変換部105に対する光の入射角を、マイクロレンズで調整することによって感度差を低減し、画素領域100の面内での光学的な特性を改善することができる。
第2の実施形態
図2を参照して、本発明の一部の実施形態による固体撮像装置について説明する。図2(a)に、本発明の第1の実施形態における固体撮像装置201の平面図を示す。また、図2(b)〜(i)は、固体撮像装置201の画素領域100に2次元アレイ状に配された複数の画素のうち、図2(a)に示す第1の方向121に沿って配された画素202、204、205、206のそれぞれ断面図を示す。図2(b)、(f)は画素202、図2(c)、(g)は画素205、図2(d)、(h)は画素206、図2(e)、(i)は画素204のそれぞれ断面図を示している。本実施形態において、上記の第1の実施形態と比較して、各画素の分割面DIVに対する各マイクロレンズの中心の右側へのずれ量が、画素の配された場所によって異なる。具体的には、各画素に配されたマイクロレンズが、第1の実施形態に対して画素領域100の中央方向へずれて配される。また、中央方向へのずれ量が、画素領域100の周辺部に向かうにつれて大きくなっている。これ以外の点は、上記の第1の実施形態と同じであってもよい。
図2を参照して、本発明の一部の実施形態による固体撮像装置について説明する。図2(a)に、本発明の第1の実施形態における固体撮像装置201の平面図を示す。また、図2(b)〜(i)は、固体撮像装置201の画素領域100に2次元アレイ状に配された複数の画素のうち、図2(a)に示す第1の方向121に沿って配された画素202、204、205、206のそれぞれ断面図を示す。図2(b)、(f)は画素202、図2(c)、(g)は画素205、図2(d)、(h)は画素206、図2(e)、(i)は画素204のそれぞれ断面図を示している。本実施形態において、上記の第1の実施形態と比較して、各画素の分割面DIVに対する各マイクロレンズの中心の右側へのずれ量が、画素の配された場所によって異なる。具体的には、各画素に配されたマイクロレンズが、第1の実施形態に対して画素領域100の中央方向へずれて配される。また、中央方向へのずれ量が、画素領域100の周辺部に向かうにつれて大きくなっている。これ以外の点は、上記の第1の実施形態と同じであってもよい。
画素203は、画素領域100の中心に配された画素でありうる。画素203の構成は、上記の第1の実施形態の画素103と同じであってもよい。画素202と画素204とは、画素領域100の中心を通り第1の方向121に垂直である面130に対して互いに対称の位置にあり、それぞれ面130からd1離れて配される。画素202は、画素204よりも左側に配される。また、画素205と画素206とは、面130に対して互いに対称の位置にあり、それぞれお面130からd2離れて配される。画素205は、画素206よりも左側に配される。
面130から同じ距離d1にある画素202、204において、画素204の分割面DIVとマイクロレンズ110の中心との距離が、画素202の分割面DIVとマイクロレンズ108の中心との距離よりも短い。同様に、面130から同じ距離d2にある画素205、206において、画素206の分割面DIVとマイクロレンズ210の中心との距離が、画素205の分割面DIVとマイクロレンズ208の中心との距離よりも短い。また、面130から左側に配された画素202、205において、面130から遠い画素202の方が、画素205よりも分割面DIVとマイクロレンズ中心との距離が長い。また、面130から右側に配された画素204、206において、面130から遠い画素204の方が、画素206よりも分割面DIVとマイクロレンズの中心との距離が短い。つまり、面130から左側に配された画素は、面130から遠ざかるにつれて、マイクロレンズの中心と、分割面DIVとの距離が大きくなる。一方、面130から右側に配された画素は、面130から遠ざかるにつれて、マイクロレンズの中心と、分割面DIVとの距離が小さくなる。また、何れの画素においても各画素に配された各マイクロレンズの中心が、各画素の分割面DIVよりも右側にずらして配されうる。
このように、各画素に配された各マイクロレンズを配する位置を、右側にずらす。また、そのずれ量を各画素の画素領域100の配された位置に応じて画素領域100の中央方向に調整することによって、光電変換部105への集光位置を調整する。これによって、上記の第1の実施形態と同様に、画素領域100の中心を通る面130に対して互いに対称の位置の画素の感度差を低減することが可能となる。また、画素領域100の面内の光学特性を改善し、より均一な光学特性を得ることが可能となる。このとき、各マイクロレンズの中心の分割面DIVからのずれ量は、撮影レンズの射出瞳距離や、F値に応じて適宜調整すればよい。具体的には、射出瞳距離が長いレンズの場合、図2(b)〜(e)に示すように、画素領域100の中央部の画素203と同様に、画素領域100の周辺部の画素において、傾きの小さい光251が入射する。このため、分割面DIVに対するマイクロレンズの中心のずらし量は小さく設定されてもよい。一方、撮影レンズの射出瞳距離が短いレンズの場合、図2(f)〜(i)に示すように、画素領域100の周辺部の画素には、傾きの大きい光252a〜dが入射する。このため、分割面DIVに対するマイクロレンズの中心のずらし量は大きく設定されてもよい。これによって、斜めの入射光の多い射出瞳距離が短い撮像レンズを用いた場合でも、画素領域100の第1の方向121の感度差を抑制することができる。撮影レンズの射出瞳距離が広い範囲をとる場合、画素領域100の周辺部の画素には、垂直光から大きく傾いた光まで広い角度範囲の光が入射する。そのため、どちらの条件においても、光学特性が改善されるよう、各マイクロレンズのずらし量は適宜調整されうる。
第3の実施形態
図3を参照して、本発明の一部の実施形態による固体撮像装置について説明する。図3(a)に、本発明の第3の実施形態における固体撮像装置301の平面図を示す。また、図3(b)〜(d)は、固体撮像装置301の画素領域100に2次元アレイ状に配された複数の画素のうち、図3(a)に示す第1の方向121に沿って配された画素302、303、304のそれぞれ断面図を示す。図2(b)は画素302、図2(c)は画素303、図2(d)は画素304のそれぞれ断面図を示している。本実施形態において、上記の第1、第2の実施形態と比較して、各画素に含まれるその他の構成の中心も分割面DIVからずれて配される。その他の構成とは、光透過部111に配されるカラーフィルタ305、層内レンズ306、導波路307、配線層107、画素分離領域308などを含む。これ以外の点は、上記の第1の実施形態と同じであってもよい。
図3を参照して、本発明の一部の実施形態による固体撮像装置について説明する。図3(a)に、本発明の第3の実施形態における固体撮像装置301の平面図を示す。また、図3(b)〜(d)は、固体撮像装置301の画素領域100に2次元アレイ状に配された複数の画素のうち、図3(a)に示す第1の方向121に沿って配された画素302、303、304のそれぞれ断面図を示す。図2(b)は画素302、図2(c)は画素303、図2(d)は画素304のそれぞれ断面図を示している。本実施形態において、上記の第1、第2の実施形態と比較して、各画素に含まれるその他の構成の中心も分割面DIVからずれて配される。その他の構成とは、光透過部111に配されるカラーフィルタ305、層内レンズ306、導波路307、配線層107、画素分離領域308などを含む。これ以外の点は、上記の第1の実施形態と同じであってもよい。
カラーフィルタ305は各画素のRGBなどの色に対応する波長の光を透過させ、その他の波長の光を吸収するため、色分離の役割を有する。層内レンズ306は画素の境界部に入射した光を画素の中央に集め、光電変換部105で受ける光の量を増やす役割や、隣接画素への混色を減らす役割も併せて有する。導波路307は、一般的には高屈折率材料の窒化シリコンなどが用いられうる。これによって、光を導波路307内に閉じ込める効果があるため、光電変換部105以外に漏れてしまう光を減少させ、高感度とする役割や、大きく傾いて入射する光を導波路307の側面で反射させ、光電変換部105方向へ導く役割を有する。配線層107は、各画素への駆動バイアスの供給や、光電変換部105で生成された信号を転送する役割を有する。
画素分離領域308は、光電変換部105が配されたシリコン基板内に構成される構造である。画素分離領域308はシリコン基板に形成されたトレンチ内にポリシリコンを埋め込んだ構造であってもよいし、その周囲をシリコン酸化膜で覆われた構造であってもよい。また、画素分離領域308はトレンチ内に埋め込まれた金属などであってもよく、基板内での光や電荷の混色を低減させ、画素の飽和電子数を増やす役割を有しうる。例として、上記部品について述べたが同様の役割をもつものであれば、名称などが異なってもよい。
各構成のずらし方は、光電変換部105へ光が導かれる効率が高くなるように設定される。本実施形態において、カラーフィルタ305、層内レンズ306、導波路307、配線層107、画素分離領域308のぞれぞれは、マイクロレンズをずらした方向と同じ右側にずらしている。このように各構成を配置とすることによって、上記の第1の実施形態と同様に、通る面130を対称軸として互いに線対称の位置の画素の感度差を低減しつつ、更に隣接画素への混色を防ぎ、また高感度を得ることが可能となる。
本実施形態において、カラーフィルタ305、層内レンズ306、導波路307、配線層107、画素分離領域308のぞれぞれの中心が、分割面DIVからずれて配される。図3(b)〜(d)では、これらの構成のすべてが、分割面DIVからずれて配されているが、これに限られることはない。カラーフィルタ305、層内レンズ306、導波路307、配線層107、画素分離領域308のうち何れか1つ以上の中心が、分割面DIVからずれて配されていてもよい。ここで、カラーフィルタ305、層内レンズ306、導波路307、配線層107、画素分離領域308のぞれぞれの中心とは、例えば、各部品の画素領域100の表面に対する正射影における幾何学的な重心位置としてもよい。例えば、層内レンズ306の画素領域100の表面に対する正射影が円形であれば、円の真ん中を中心とすることができる。また例えば、カラーフィルタ305が矩形であれば、対角線の交点を中心としてもよい。
また、上記以外の部品として、例えば、トランジスタのゲート電極106や、カラーフィルタ305間の分離構造や、隣接する画素の間に設けられた遮光層などがずらされて配された場合でも同様の効果を得ることができる。また、上記部品のうち、全てが用いられた画素や、その何れか1つ以上が用いられた画素についても同様の効果を得ることができるため、本実施形態の構成に限定されるものではない。
以上、本発明に係る実施形態を3形態示したが、本発明はそれらの実施形態に限定されるものではないことはいうまでもなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、上記した各実施形態は適宜変更、組み合わせが可能である。また、上記の各実施形態では表面照射型の固体撮像装置について説明したが、本発明は裏面照射型の固体撮像装置にも適用することが可能である。同様に、本発明は光電変換膜型の固体撮像装置にも適用することが可能である。
以下、上記の実施形態に係る固体撮像装置101、201、301の応用例として、この固体撮像装置101、201、301が組み込まれたカメラについて例示的に説明する。カメラの概念には、撮影を主目的とする装置のみならず、撮影機能を補助的に有する装置(例えば、パーソナルコンピュータ、携帯端末等)も含まれる。また、カメラはたとえばカメラヘッドなどのモジュール部品であってもよい。カメラは、上記の実施形態として例示された本発明に係る固体撮像装置101、201、301と、この固体撮像装置101、201、301から出力される信号を処理する信号処理部とを含む。この信号処理部は、例えば、固体撮像装置101、201、301で得られた信号に基づくデジタルデータを処理するプロセッサを含みうる。このデジタルデータを生成するためのA/D変換器を、固体撮像装置101、201、301の半導体基板に設けてもよいし、別の半導体基板に設けてもよい。
100:画素領域、101、201、301、501、601:固体撮像装置、105:光電変換部、108〜110、208、210、508:マイクロレンズ、111:光透過部、102〜104、202〜206、302〜304、502〜504、602〜604:画素、121:第1の方向、122:第2の方向
Claims (16)
- 第1の方向及び前記第1の方向と直交する第2の方向で規定される平面の上に複数の画素が配された画素領域を含む固体撮像装置であって、
前記複数の画素のそれぞれは、
光電変換部と、マイクロレンズと、前記光電変換部と前記マイクロレンズとの間に配された光透過部と、を含み、
前記光透過部及び前記光電変換部のうち少なくとも一方は、前記光電変換部の中心を通り前記第1の方向に垂直である分割面に対して、前記第1の方向の側と前記第1の方向とは反対側とで非対称性を持つ構造を有し、
前記マイクロレンズの中心が、前記分割面に対して前記第1の方向とは反対側にずれることによって、前記複数の画素のうち、前記画素領域の中心を通り前記第1の方向に垂直である面に対して互いに対称の位置に配された画素同士の前記非対称性によって生じる感度差を低減することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記複数の画素のうち、前記画素領域の中央に配された画素に含まれるマイクロレンズが、前記マイクロレンズに入射する光束の光軸に対して対称の形状を有することを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記複数の画素は、前記対称の形状を有するマイクロレンズを含む画素を複数含むことを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。
- 前記複数の画素のうち、前記画素領域の中心を通り前記第1の方向と垂直である面から前記第1の方向及び前記第1の方向と反対の方向に同じ距離に配された2つの画素の前記マイクロレンズのそれぞれの中心が、当該2つの画素のそれぞれの前記分割面に対して前記第1の方向とは反対側にずれていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記複数の画素は、第1の画素と、前記第1の画素よりも前記画素領域の中心から離れて配された第2の画素とを含み、
前記第1の画素における前記マイクロレンズの頂点と前記分割面との距離が、前記第2の画素における前記マイクロレンズの頂点と前記分割面との距離よりも短いことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記複数の画素のそれぞれの、前記マイクロレンズの中心と、前記分割面とのずれ量が一定であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記画素領域の中心を通り前記第1の方向に垂直である面から前記第1の方向に遠ざかるにつれて、前記マイクロレンズの中心と、前記分割面との距離が大きくなり、
前記画素領域の中心を通り前記第1の方向に垂直である面から前記第1の方向と反対の方向に遠ざかるにつれて、前記マイクロレンズの中心と、前記分割面との距離が小さくなることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記複数の画素のそれぞれは、カラーフィルタ、層内レンズ、導波路、配線層及び画素分離領域を更に含み、
前記画素領域の表面に対する正射影において、前記複数の画素のそれぞれの前記カラーフィルタ、前記層内レンズ、前記導波路、前記配線層及び前記画素分離領域のうち何れか1つ以上の中心が、前記複数の画素のそれぞれの前記分割面に対してずれて配されることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記非対称性が、前記分割面に対して前記第1の方向の側と前記第1の方向とは反対側とで、前記光透過部の光の透過率が互いに異なることによって生じることを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記光透過部は、前記光電変換部に蓄積された電荷を読み出すためのトランジスタのゲート電極を、前記光電変換部に重なる位置に更に含み、
前記非対称性が、前記分割面よりも前記第1の方向の側に前記ゲート電極が配されることによって生じることを特徴とする請求項9に記載の固体撮像装置。 - 前記非対称性が、前記分割面に対して前記第1の方向の側と前記第1の方向とは反対側とで、前記光電変換部の不純物濃度の分布が互いに異なることによって生じることを特徴とする請求項1乃至10の何れか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記複数の画素に含まれる前記マイクロレンズが、前記マイクロレンズの頂点から、前記画素領域の中心を離れる方向に向かうにつれて曲率半径が大きくなる形状を有することを特徴とする請求項1乃至11の何れか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記複数の画素に含まれるマイクロレンズが、ティアドロップ形状を有することを特徴とする請求項1乃至12の何れか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記複数の画素のうち、前記画素領域の中心を通り前記第1の方向と垂直である面から前記第1の方向及び前記第1の方向と反対の方向に同じ距離に配された2つの画素の前記マイクロレンズが、当該面に対して互いに対称の形状であることを特徴とする請求項1乃至13の何れか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記複数の画素が、2次元アレイ状に配されることを特徴とする請求項1乃至14の何れか1項に記載の固体撮像装置。
- 請求項1乃至15の何れか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置によって得られた信号を処理する信号処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
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- 2015-10-19 JP JP2015205840A patent/JP2017079243A/ja active Pending
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