JP2014089432A - 固体撮像装置、固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成方法、及び、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 撮像信号を得る撮像用画素と、撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素と、撮像用画素に対応して形成された第1マイクロレンズと、位相差検出用画素に対応して形成された第2マイクロレンズとを備える固体撮像装置において、第2マイクロレンズを、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含みその対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含みその対角境界部近傍の焦点距離との差が小さくなるように形成する。
【選択図】 図5
Description
撮像信号を得る撮像用画素と、
前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素と、
前記撮像用画素に対応して形成された第1マイクロレンズと、
前記位相差検出用画素に対応して形成され、平面視において実質的に同一面積のマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さい第2マイクロレンズとを備える固体撮像装置である。
撮像信号を得る撮像用画素と、
前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素と、
前記撮像用画素に対応して形成された第1マイクロレンズと、
前記位相差検出用画素に対応して形成された第2マイクロレンズと
を備える固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成に当たって、
前記第2マイクロレンズを、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さくなるように形成する形成方法である。
1.本開示の固体撮像装置、固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成方法、及び、電子機器、全般に関する説明
2.本開示の技術が適用される固体撮像装置
2−1.システム構成
2−2.単位画素の回路構成
2−3.位相差検出用画素の構造例
3.第1実施形態
3−1.マイクロレンズの形成方法
3−2.裏面照射型の画素構造
4.第2実施形態
4−1.下凸層内レンズ
4−2.上凸層内レンズ
4−3.補助レンズの形成方法
4−4.変形例
5.電子機器(撮像装置の例)
6.本開示の構成
本開示の固体撮像装置は、オートフォーカス(Auto Focus:AF)方式、特に、瞳分割型位相差検出方式を採用する撮像装置などの電子機器に、その撮像部(画像取込部)として用いることができる。瞳分割型位相差検出方式を採用する撮像装置としては、デジタルスチルカメラやビデオカメラなどを例示することができる。
先ず、本開示の技術が適用される固体撮像装置、例えば、増幅型固体撮像装置の一種であるCMOSイメージセンサの構成について説明する。尚、前にも述べたように、本開示の技術は、CMOSイメージセンサへの適用に限られるものではなく、他の増幅型の固体撮像装置やCCDイメージセンサ等の電荷転送型の固体撮像装置にも適用可能である。
図1は、CMOSイメージセンサのシステム構成の概略を示すシステム構成図である。ここで、CMOSイメージセンサとは、CMOSプロセスを応用して、または、部分的に使用して作製された固体撮像装置である。
図2は、単位画素の回路構成の一例を示す回路図である。図2に示すように、本回路例に係る単位画素20は、光電変換部として、例えばフォトダイオード21を用いている。単位画素20は、フォトダイオード21に加えて、例えば、転送トランジスタ(読出しゲート部)22、リセットトランジスタ23、増幅トランジスタ24、及び、選択トランジスタ25の4つのトランジスタを有している。
上述したCMOSイメージセンサ10は、瞳分割型の位相差検出を実現するために、位相差検出信号を得るための位相差検出用画素を備える。位相差検出信号は、焦点のずれ方向(デフォーカス方向)及びずれ量(デフォーカス量)を表わす焦点検出信号である。位相差検出用画素は、焦点検出用画素と呼称される場合もある。
上述したように、位相差検出用画素40と撮像用画素(単位画素)20とは、構造上、開口部41Aを有する遮光膜41が存在するか否かの点で相違している他、マイクロレンズ47の焦点距離の点でも相違している。
位相差検出用画素40のマイクロレンズ47を形成するに当たっては、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さくなるように形成する。以下に、位相差検出用画素40のマイクロレンズ47の形成方法(本開示のマイクロレンズの形成方法)に関して、その具体的な実施例について説明する。
図7及び図8は、実施例1に係るマイクロレンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図(その1、その2)である。
図9は、実施例2に係るマイクロレンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図である。
図10及び図11は、実施例3に係るマイクロレンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図(その1、その2)である。
図14は、実施例4に係るマイクロレンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図である。
図16は、実施例5に係るマイクロレンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図である。
図17は、実施例6に係るマイクロレンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図である。本実施例6は、図10及び図11に示した実施例3に対応している。具体的には、図17の工程1及び工程2は、図10の工程2及び工程3にそれぞれ対応している。そして、図11の工程4乃至工程6に対応する図17の工程3において、隣接する位相差検出用画素に対応するマイクロレンズを形成する。このとき、融着によるパターン崩れを防ぐために、ポジ型感光性マイクロレンズ樹脂間にはギャップが必要となる。
図18は、実施例7に係るマイクロレンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図である。本実施例7は、図14に示した実施例4、即ち、位相差検出用画素に対応するマイクロレンズのパターン形状が多角形パターンの場合に対応している。具体的には、図18の工程2は、図14の工程1に対応している。そして、図14の工程2乃至工程4に対応する図18の工程3において、隣接する位相差検出用画素に対応するマイクロレンズを形成する。このとき、融着によるパターン崩れを防ぐために、ポジ型感光性マイクロレンズ樹脂間にはギャップが必要となる。
ここで、裏面照射型の画素構造の概略について、図20を用いて説明する。図20は、裏面照射型の画素構造の一例を示す断面図である。ここでは、2画素分の断面構造を示している。
先述した第1実施形態では、位相差検出用画素40のマイクロレンズ47に関して、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、対辺方向の焦点距離と対角方向の焦点距離との差が小さいことを特徴としている。この特徴を有する第1実施形態に係るマイクロレンズ47を備える画素構造において、第2実施形態では、マイクロレンズ47と遮光膜41との間に、マイクロレンズ47の焦点距離を調整する補助レンズを有することを特徴としている。
図21は、カラーフィルタ上に形成された下凸層内レンズを有する画素構造を示す断面図である。ここでは、互いに隣接する、撮像用画素20及び位相差検出用画素40の2画素分の断面構造を示している。
図25は、カラーフィルタ上に形成された上凸層内レンズを有する画素構造を示す断面図である。ここでは、互いに隣接する、撮像用画素20及び位相差検出用画素40の2画素分の断面構造を示している。
下凸層内レンズ63Aや上凸層内レンズ63Bを形成するに当たっては、好ましくは平面視で円形の形状にて、平面視における中点を中心として円周方向の断面の曲率半径rが、円周方向の位置によらず等しくなるように形成する。以下に、下凸層内レンズ63A及び上凸層内レンズ63Bの形成方法に関して、その具体的な実施例について説明する。
図29、図30、及び、図31は、実施例8に係る下凸層内レンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図(その1、その2、及び、その3)である。本実施例8は、下凸層内レンズ63Aをカラーフィルタ45の上に形成する場合の形成方法の一例である。
図32、図33、及び、図34は、実施例9に係る下凸層内レンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図(その1、その2、及び、その3)である。本実施例9は、下凸層内レンズ63Aをカラーフィルタ45の下に形成する場合の形成方法の一例である。
次に、実施例9の変形例を実施例10として説明する。図35は、実施例10に係る下凸層内レンズの形成方法のプロセスの流れの一部を示す工程図である。本実施例10では、平坦化膜48についての一つの形成法について示している。
図37、図38、及び、図39は、実施例11に係る上凸層内レンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図(その1、その2、及び、その3)である。本実施例11は、上凸層内レンズ63Bをカラーフィルタ45の上に形成する場合の形成方法の一例である。
図40、図41、及び、図42は、実施例12に係る上凸層内レンズの形成方法のプロセスの流れを示す工程図(その1、その2、及び、その3)である。本実施例12は、上凸層内レンズ63Bをカラーフィルタ45の下に形成する場合の形成方法の一例である。
ところで、位相差検出用画素40は、例えば図44に示すように、画素アレイ部(受光領域)12内において散在して形成される。位相差検出用画素40が散在して形成された場合、先述したように、位相差検出用画素40の補助レンズ(下凸層内レンズ63A/上凸層内レンズ63B)上に高屈折率の樹脂74や低屈折率の樹脂81をスピンコートにより形成した際に、補助レンズを起点とした塗布ムラが生じる。この塗布ムラは、固体撮像装置における画質の劣化を招く。
上凸層内レンズ<カラーフィルタ<トップレンズ
本開示は、固体撮像装置への適用に限られるものではなく、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置や、携帯電話機等の撮像機能を有する携帯端末装置など、撮像部(画像取込部)に固体撮像装置を用いる、瞳分割型位相差検出方式を採用する電子機器全般に対して適用可能である。
図49は、本開示の電子機器の一例である撮像装置の構成の一例を示すブロック図である。
尚、本開示は以下のような構成を採ることができる。
[1]撮像信号を得る撮像用画素と、
前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素と、
前記撮像用画素に対応して形成された第1マイクロレンズと、
前記位相差検出用画素に対応して形成され、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さい第2マイクロレンズとを備える固体撮像装置。
[2]前記第2マイクロレンズは、前記第1マイクロレンズに比べて焦点距離が短くなるように形成されている上記[1]に固体撮像装置。
[3]前記第2マイクロレンズは、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面が、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高く形成されている上記[1]または上記[2]に記載の固体撮像装置。
[4]前記位相差検出用画素は、光電変換部の受光面側に、瞳分割された光の一方を通過する開口部が形成された遮光膜を有し、
前記第2マイクロレンズは、焦点位置が前記遮光膜の位置に合致ように形成されている上記[1]から上記[3]のいずれかに記載の固体撮像装置。
[5]前記第2マイクロレンズは、対辺方向及び対角方向の焦点位置が共に前記遮光膜の位置に合致するように形成されている上記[4]に記載の固体撮像装置。
[6]前記第2マイクロレンズは前記差が、同一平面に形成され、隣接するマイクロレンズ間で少なくても対辺方向が接触して形成され、80%以上の有効面積を持つマイクロレンズに比べて小さくなるように形成されている上記[4]に記載の固体撮像装置。
[7]前記第1マイクロレンズは、平面視において正方形のパターン形状に形成され、
前記第2マイクロレンズは、平面視において円形または多角形のパターン形状に形成されている上記[1]から上記[5]のいずれかに記載の固体撮像装置。
[8]前記第2マイクロレンズは、前記第1マイクロレンズとの間に、前記第1マイクロレンズ相互間のパターンギャップと同一のパターンギャップを有している上記[7]に記載の固体撮像装置。
[9]前記第2マイクロレンズは、前記第1マイクロレンズのアレイ中に横方向、縦方向、または、斜め方向に並んで複数個配置されて成る上記[1]から上記[8]のいずれかに記載の固体撮像装置。
[10]前記第2マイクロレンズと前記遮光膜との間に補助レンズを有する上記[4]に記載の固体撮像装置。
[11]前記補助レンズは、平面視における中点を中心として円周方向の断面の曲率半径が、円周方向の位置によらず等しい上記[10]に記載の固体撮像装置。
[12]前記補助レンズは、平面視で円形の形状を有する上記[10]または上記[11]に記載の固体撮像装置。
[13]前記補助レンズは、前記第2マイクロレンズの下の層内に形成される層内レンズである上記[10]から上記[12]のいずれかに記載の固体撮像装置。
[14]前記補助レンズは、前記第2マイクロレンズと同一の材料で形成されている上記[10]から上記[13]のいずれかに記載の固体撮像装置。
[15]前記補助レンズは、凸状の形状を有する上記[10]から上記[14]のいずれかに記載の固体撮像装置。
[16]前記補助レンズは、前記第2マイクロレンズ側に凸状の形状を有する上記[10]から上記[14]のいずれかに記載の固体撮像装置。
[17]前記撮像用画素及び前記位相差検出用画素は、配線層が形成される側と反対側から入射光を取り込む裏面照射型の画素構造である上記[10]から上記[16]のいずれかに記載の固体撮像装置。
[18]前記補助レンズは、前記第1マイクロレンズと前記遮光膜との間にも設けられている上記[10]から上記[17]のいずれかに記載の固体撮像装置。
[19]撮像信号を得る撮像用画素と、
前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素と、
前記撮像用画素に対応して形成された第1マイクロレンズと、
前記位相差検出用画素に対応して形成された第2マイクロレンズと
を備える固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成に当たって、
前記第2マイクロレンズを、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さくなるように形成する固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成方法。
[20] 撮像信号を得る撮像用画素、前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素、前記撮像用画素に対応して形成された第1マイクロレンズ、及び、前記位相差検出用画素に対応して形成され、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さい第2マイクロレンズを備える固体撮像装置と、
前記位相差検出用画素から出力される位相差検出信号に基づいて焦点調節が可能なフォーカス機構とを具備する電子機器。
Claims (20)
- 撮像信号を得る撮像用画素と、
前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素と、
前記撮像用画素に対応して形成された第1マイクロレンズと、
前記位相差検出用画素に対応して形成され、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さい第2マイクロレンズとを備える固体撮像装置。 - 前記第2マイクロレンズは、前記第1マイクロレンズに比べて焦点距離が短くなるように形成されている請求項1に固体撮像装置。
- 前記第2マイクロレンズは、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面が、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高く形成されている請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記位相差検出用画素は、光電変換部の受光面側に、瞳分割された光の一方を通過する開口部が形成された遮光膜を有し、
前記第2マイクロレンズは、焦点位置が前記遮光膜の位置に合致するように形成されている請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第2マイクロレンズは、対辺方向及び対角方向の焦点距離が共に前記遮光膜の位置に合致するように形成されている請求項4に記載の固体撮像装置。
- 前記第2マイクロレンズは前記差が、同一平面に形成され、隣接するマイクロレンズ間で少なくても対辺方向が接触して形成され、80%以上の有効面積を持つマイクロレンズに比べて小さくなるように形成されている請求項4に記載の固体撮像装置。
- 前記第1マイクロレンズは、平面視において正方形のパターン形状に形成され、
前記第2マイクロレンズは、平面視において円形または多角形のパターン形状に形成されている請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第2マイクロレンズは、前記第1マイクロレンズとの間に、前記第1マイクロレンズ相互間のパターンギャップと同一のパターンギャップを有している請求項7に記載の固体撮像装置。
- 前記第2マイクロレンズは、前記第1マイクロレンズのアレイ中に横方向、縦方向、または、斜め方向に並んで複数個配置されて成る請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記第2マイクロレンズと前記遮光膜との間に補助レンズを有する請求項4に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、平面視における中点を中心として円周方向の断面の曲率半径が、円周方向の位置によらず等しい請求項10に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、平面視で円形の形状を有する請求項10に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、前記第2マイクロレンズの下の層内に形成される層内レンズである請求項10に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、前記第2マイクロレンズと同一の材料で形成されている請求項10に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、前記遮光膜側に凸状の形状を有する請求項10に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、前記第2マイクロレンズ側に凸状の形状を有する請求項10に記載の固体撮像装置。
- 前記撮像用画素及び前記位相差検出用画素は、配線層が形成される側と反対側から入射光を取り込む裏面照射型の画素構造である請求項10に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、前記第1マイクロレンズと前記遮光膜との間にも設けられている請求項10に記載の固体撮像装置。
- 撮像信号を得る撮像用画素と、
前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素と、
前記撮像用画素に対応して形成された第1マイクロレンズと、
前記位相差検出用画素に対応して形成された第2マイクロレンズと
を備える固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成に当たって、
前記第2マイクロレンズを、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さくなるように形成する固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成方法。 - 撮像信号を得る撮像用画素、前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素、前記撮像用画素に対応して形成された第1マイクロレンズ、及び、前記位相差検出用画素に対応して形成され、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さい第2マイクロレンズを備える固体撮像装置と、
前記位相差検出用画素から出力される位相差検出信号に基づいて焦点調節が可能なフォーカス機構とを具備する電子機器。
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