JP2014089432A5 - - Google Patents
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Claims (20)
- 撮像信号を得る撮像用画素と、
前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素と、
前記撮像用画素に対応して形成された第１マイクロレンズと、
前記位相差検出用画素に対応して形成され、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さい第２マイクロレンズとを備える固体撮像装置。 - 前記第２マイクロレンズは、前記第１マイクロレンズに比べて焦点距離が短くなるように形成されている請求項１に固体撮像装置。
- 前記第２マイクロレンズは、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面が、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高く形成されている請求項１または請求項２に記載の固体撮像装置。
- 前記位相差検出用画素は、光電変換部の受光面側に、瞳分割された光の一方を通過する開口部が形成された遮光膜を有し、
前記第２マイクロレンズは、焦点位置が前記遮光膜の位置に合致するように形成されている請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。 - 前記第２マイクロレンズは、対辺方向及び対角方向の焦点距離が共に前記遮光膜の位置に合致するように形成されている請求項４に記載の固体撮像装置。
- 前記第２マイクロレンズは前記差が、同一平面に形成され、隣接するマイクロレンズ間で少なくても対辺方向が接触して形成され、８０％以上の有効面積を持つマイクロレンズに比べて小さくなるように形成されている請求項４に記載の固体撮像装置。
- 前記第１マイクロレンズは、平面視において正方形のパターン形状に形成され、
前記第２マイクロレンズは、平面視において円形または多角形のパターン形状に形成されている請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。 - 前記第２マイクロレンズは、前記第１マイクロレンズとの間に、前記第１マイクロレンズ相互間のパターンギャップと同一のパターンギャップを有している請求項７に記載の固体撮像装置。
- 前記第２マイクロレンズは、前記第１マイクロレンズのアレイ中に横方向、縦方向、または、斜め方向に並んで複数個配置されて成る請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
- 前記第２マイクロレンズと前記遮光膜との間に補助レンズを有する請求項４に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、平面視における中点を中心として円周方向の断面の曲率半径が、円周方向の位置によらず等しい請求項１０に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、平面視で円形の形状を有する請求項１０または請求項１１に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、前記第２マイクロレンズの下の層内に形成される層内レンズである請求項１０から請求項１２のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、前記第２マイクロレンズと同一の材料で形成されている請求項１０から請求項１３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、前記遮光膜側に凸状の形状を有する請求項１０から請求項１４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、前記第２マイクロレンズ側に凸状の形状を有する請求項１０から請求項１４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
- 前記撮像用画素及び前記位相差検出用画素は、配線層が形成される側と反対側から入射光を取り込む裏面照射型の画素構造である請求項１０から請求項１６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
- 前記補助レンズは、前記第１マイクロレンズと前記遮光膜との間にも設けられている請求項１０から請求項１７のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
- 撮像信号を得る撮像用画素と、
前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素と、
前記撮像用画素に対応して形成された第１マイクロレンズと、
前記位相差検出用画素に対応して形成された第２マイクロレンズと
を備える固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成に当たって、
前記第２マイクロレンズを、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さくなるように形成する固体撮像装置におけるマイクロレンズの形成方法。 - 撮像信号を得る撮像用画素、前記撮像用画素と同じ受光領域に設けられ、受光光束を瞳分割して位相差検出信号を得る位相差検出用画素、前記撮像用画素に対応して形成された第１マイクロレンズ、及び、前記位相差検出用画素に対応して形成され、平面視において実質的に同一面積を有するマイクロレンズに比べて、画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の焦点距離と、対角境界部を含む対角境界部近傍の焦点距離との差が小さい第２マイクロレンズを備える固体撮像装置と、
前記位相差検出用画素から出力される位相差検出信号に基づいて焦点調節が可能なフォーカス機構とを具備する電子機器。
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