JP2012160783A5 - - Google Patents
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Description
第2マイクロレンズ102は、中央部CPと、中央部CPを取り囲む周辺部(典型的には環状部)PPとを含み、周辺部PPのパワーは、中央部CPのパワーよりも大きく、かつ、正の値を有する。例えば、周辺部PPの曲率半径は、中央部CPの曲率半径より小さい。中央部CPは、例えば、平行平板でありうる。
Claims (11)
- 位相差検出方式による焦点検出のための複数の画素を含む固体撮像装置であって、
前記画素は、
互いに独立して信号の読み出しが可能な複数の光電変換部を含む半導体領域と、
第1マイクロレンズと、
前記第1マイクロレンズと前記半導体領域との間に配置された第2マイクロレンズとを含み、
前記第2マイクロレンズは、中央部と、前記中央部を取り囲む周辺部とを含み、前記周辺部のパワーは、前記中央部のパワーよりも大きく、かつ、正の値を有する、
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第2マイクロレンズと前記半導体領域との間に導波路を更に含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記導波路は、第1部分と、前記第1部分の側面を取り囲む第2部分とを含み、前記第1部分の屈折率が前記第2部分の屈折率よりも高い、
ことを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記周辺部の曲率半径は、前記中央部の曲率半径よりも小さい、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記画素は、前記第2マイクロレンズに隣接する絶縁膜を更に含み、前記第2マイクロレンズは、前記絶縁膜よりも屈折率が高い材料で、凸面を有するレンズとして構成されている、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記画素は、前記第2マイクロレンズに隣接する絶縁膜を更に含み、前記第2マイクロレンズは、前記絶縁膜よりも屈折率が低い材料で、凹面を有するレンズとして構成されている、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記第2マイクロレンズは、回折格子を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記画素は、前記第1マイクロレンズと前記第2マイクロレンズとの間に配置された絶縁膜と、前記絶縁膜と前記第2マイクロレンズとの間に配置された反射防止構造とを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 裏面入射型撮像装置として構成されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 位相差検出方式による焦点検出のための複数の画素を含む固体撮像装置であって、
前記画素は、
互いに独立して信号の読み出しが可能な複数の光電変換部を含む半導体領域と、
マイクロレンズと、
前記マイクロレンズと前記半導体領域との間であって隣接する画素との境界の近傍に配置された反射面とを含み、
前記反射面は、それに入射した光が前記半導体領域に向けて反射されるように配置されている、
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011017112A JP5737971B2 (ja) | 2011-01-28 | 2011-01-28 | 固体撮像装置およびカメラ |
US13/342,393 US9065992B2 (en) | 2011-01-28 | 2012-01-03 | Solid-state image sensor and camera including a plurality of pixels for detecting focus |
CN201210015490.3A CN102623464B (zh) | 2011-01-28 | 2012-01-18 | 固态图像传感器和照相机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011017112A JP5737971B2 (ja) | 2011-01-28 | 2011-01-28 | 固体撮像装置およびカメラ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012160783A JP2012160783A (ja) | 2012-08-23 |
JP2012160783A5 true JP2012160783A5 (ja) | 2014-03-13 |
JP5737971B2 JP5737971B2 (ja) | 2015-06-17 |
Family
ID=46563281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011017112A Active JP5737971B2 (ja) | 2011-01-28 | 2011-01-28 | 固体撮像装置およびカメラ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9065992B2 (ja) |
JP (1) | JP5737971B2 (ja) |
CN (1) | CN102623464B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5864990B2 (ja) | 2011-10-03 | 2016-02-17 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
US8890221B2 (en) * | 2012-09-21 | 2014-11-18 | Aptina Imaging Corporation | Backside illuminated image sensor pixels with dark field microlenses |
US9247121B2 (en) * | 2013-04-25 | 2016-01-26 | Ability Enterprise Co., Ltd. | Image sensor, electric device using the same and focusing method of the electric device |
US20140375852A1 (en) * | 2013-06-20 | 2014-12-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state imaging apparatus, method of manufacturing the same, camera, imaging device, and imaging apparatus |
JP2015019143A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | ソニー株式会社 | 撮像装置、およびカメラシステム |
JP6338442B2 (ja) * | 2013-07-11 | 2018-06-06 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子、測距装置、および撮像装置 |
JP6347621B2 (ja) * | 2014-02-13 | 2018-06-27 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
JP6300564B2 (ja) * | 2014-02-18 | 2018-03-28 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
KR102306670B1 (ko) | 2014-08-29 | 2021-09-29 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
KR20160028196A (ko) * | 2014-09-03 | 2016-03-11 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 위상차 검출 픽셀을 구비한 이미지 센서 |
KR20160100569A (ko) * | 2015-02-16 | 2016-08-24 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 이미지 센서를 포함하는 촬상 장치 |
US9883128B2 (en) | 2016-05-20 | 2018-01-30 | Semiconductor Components Industries, Llc | Imaging systems with high dynamic range and phase detection pixels |
US10567636B2 (en) * | 2017-08-07 | 2020-02-18 | Qualcomm Incorporated | Resolution enhancement using sensor with plural photodiodes per microlens |
CN116338833A (zh) * | 2021-12-24 | 2023-06-27 | 长鑫存储技术有限公司 | 微透镜组件、光电转换设备及制造方法和成像系统 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001250931A (ja) | 2000-03-07 | 2001-09-14 | Canon Inc | 固体撮像装置およびこれを用いた撮像システム |
JP3729353B2 (ja) | 2003-06-18 | 2005-12-21 | 松下電器産業株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2005072364A (ja) | 2003-08-26 | 2005-03-17 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
US7119319B2 (en) | 2004-04-08 | 2006-10-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image sensing element and its design support method, and image sensing device |
JP4564794B2 (ja) * | 2004-07-16 | 2010-10-20 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子 |
US20060169870A1 (en) | 2005-02-01 | 2006-08-03 | Silsby Christopher D | Image sensor with embedded optical element |
KR100703376B1 (ko) | 2005-05-10 | 2007-04-03 | 삼성전자주식회사 | 매설된 렌즈를 갖는 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
JP4720508B2 (ja) * | 2006-01-05 | 2011-07-13 | 株式会社ニコン | 撮像素子および撮像装置 |
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JP4915126B2 (ja) * | 2006-04-10 | 2012-04-11 | 株式会社ニコン | 固体撮像装置、および電子カメラ |
JP5164509B2 (ja) | 2007-10-03 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、可視光用光電変換装置及びそれらを用いた撮像システム |
JP5288823B2 (ja) | 2008-02-18 | 2013-09-11 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、及び光電変換装置の製造方法 |
US7729055B2 (en) * | 2008-03-20 | 2010-06-01 | Aptina Imaging Corporation | Method and apparatus providing concave microlenses for semiconductor imaging devices |
JP5213501B2 (ja) | 2008-04-09 | 2013-06-19 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
JP5328224B2 (ja) | 2008-05-01 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
JP5342821B2 (ja) | 2008-07-16 | 2013-11-13 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子 |
JP5371330B2 (ja) | 2008-08-29 | 2013-12-18 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
KR101776955B1 (ko) | 2009-02-10 | 2017-09-08 | 소니 주식회사 | 고체 촬상 장치와 그 제조 방법, 및 전자 기기 |
JP4798232B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2011-10-19 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
JP5278165B2 (ja) * | 2009-05-26 | 2013-09-04 | ソニー株式会社 | 焦点検出装置、撮像素子および電子カメラ |
JP5446485B2 (ja) | 2009-06-10 | 2014-03-19 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法、撮像装置 |
JP5232118B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2013-07-10 | 富士フイルム株式会社 | 撮像デバイスおよび電子カメラ |
JP4881987B2 (ja) | 2009-10-06 | 2012-02-22 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置および撮像装置 |
JP5290923B2 (ja) | 2009-10-06 | 2013-09-18 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置および撮像装置 |
JP2011197080A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-10-06 | Olympus Corp | 撮像装置及びカメラ |
JP5780711B2 (ja) | 2010-04-06 | 2015-09-16 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2012034350A (ja) | 2010-07-07 | 2012-02-16 | Canon Inc | 固体撮像装置及び撮像システム |
JP5643555B2 (ja) | 2010-07-07 | 2014-12-17 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び撮像システム |
JP5645513B2 (ja) | 2010-07-07 | 2014-12-24 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び撮像システム |
-
2011
- 2011-01-28 JP JP2011017112A patent/JP5737971B2/ja active Active
-
2012
- 2012-01-03 US US13/342,393 patent/US9065992B2/en active Active
- 2012-01-18 CN CN201210015490.3A patent/CN102623464B/zh active Active
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