JP2012160783A5 - - Google Patents

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第2マイクロレンズ102は、中央部CPと、中央部CPを取り囲む周辺部(典型的には環状部)PPとを含み、周辺部PPのパワーは、中央部CPのパワーよりも大きく、かつ、正の値を有する。例えば、周辺部PPの曲率半径は、中央部CPの曲率半径より小さい。中央部CPは、例えば、平行平板でありうる。

Claims (11)

  1. 位相差検出方式による焦点検出のための複数の画素を含む固体撮像装置であって、
    前記画素は、
    互いに独立して信号の読み出しが可能な複数の光電変換部を含む半導体領域と、
    第1マイクロレンズと、
    前記第1マイクロレンズと前記半導体領域との間に配置された第2マイクロレンズとを含み、
    前記第2マイクロレンズは、中央部と、前記中央部を取り囲む周辺部とを含み、前記周辺部のパワーは、前記中央部のパワーよりも大きく、かつ、正の値を有する、
    ことを特徴とする固体撮像装置。
  2. 前記第2マイクロレンズと前記半導体領域との間に導波路を更に含む、
    ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
  3. 前記導波路は、第1部分と、前記第1部分の側面を取り囲む第2部分とを含み、前記第1部分の屈折率が前記第2部分の屈折率よりも高い、
    ことを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。
  4. 前記周辺部の曲率半径は、前記中央部の曲率半径よりも小さい、
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  5. 前記画素は、前記第2マイクロレンズに隣接する絶縁膜を更に含み、前記第2マイクロレンズは、前記絶縁膜よりも屈折率が高い材料で、凸面を有するレンズとして構成されている、
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  6. 前記画素は、前記第2マイクロレンズに隣接する絶縁膜を更に含み、前記第2マイクロレンズは、前記絶縁膜よりも屈折率が低い材料で、凹面を有するレンズとして構成されている、
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  7. 前記第2マイクロレンズは、回折格子を含む、
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  8. 前記画素は、前記第1マイクロレンズと前記第2マイクロレンズとの間に配置された絶縁膜と、前記絶縁膜と前記第2マイクロレンズとの間に配置された反射防止構造とを含む、
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  9. 裏面入射型撮像装置として構成されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  10. 位相差検出方式による焦点検出のための複数の画素を含む固体撮像装置であって、
    前記画素は、
    互いに独立して信号の読み出しが可能な複数の光電変換部を含む半導体領域と、
    マイクロレンズと、
    前記マイクロレンズと前記半導体領域との間であって隣接する画素との境界の近傍に配置された反射面とを含み、
    前記反射面は、それに入射した光が前記半導体領域に向けて反射されるように配置されている、
    ことを特徴とする固体撮像装置。
  11. 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
    前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、
    を備えることを特徴とするカメラ。
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