JP2010212625A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 反射光の発生を抑制しつつ、各画素への集光効率の向上を図る手段を提供する。
【解決手段】 固体撮像素子は、二次元的に配列された複数の画素を備えている。画素上には、各々の平面方向の長さが入射波長λよりも小さい複数のサブ波長構造が入射波長λよりも小さな配置間隔で形成されている。また、複数のサブ波長構造は異なる位相差を持ち、画素への入射光束を集光する。
【選択図】 図2
【解決手段】 固体撮像素子は、二次元的に配列された複数の画素を備えている。画素上には、各々の平面方向の長さが入射波長λよりも小さい複数のサブ波長構造が入射波長λよりも小さな配置間隔で形成されている。また、複数のサブ波長構造は異なる位相差を持ち、画素への入射光束を集光する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、固体撮像素子に関する。
従来から、固体撮像素子の各画素には、入射光の集光効率を高めるためにマイクロレンズが配置されている。かかるマイクロレンズの表面で反射が生じると、反射損により入射光の集光効率が低下してしまう。一般的なマイクロレンズは、加工の容易な有機系樹脂を用いて形成されるため、表面に反射防止膜を形成することができない。
なお、特許文献1には、無機系材料でマイクロレンズを構成するとともに、マイクロレンズの表面に反射防止膜を形成した固体撮像素子の例が開示されている。
しかし、特許文献1のように無機系材料でマイクロレンズを構成しようとする場合、所望のレンズ形状に加工することが困難であって、集光性能が低くなる点が指摘されている。
そこで、本発明は、固体撮像素子において、反射光の発生を抑制しつつ、各画素への集光効率の向上を図る手段を提供することを目的とする。
一の態様の固体撮像素子は、二次元的に配列された複数の画素を備えている。画素上には、各々の平面方向の長さが入射波長λよりも小さい複数のサブ波長構造が入射波長λよりも小さな配置間隔で形成されている。また、複数のサブ波長構造は異なる位相差を持ち、画素への入射光束を集光する。
上記の一の態様において、各々のサブ波長構造の平面方向の長さが、画素の中心から外側に向けて段階的に異なる値に設定されていてもよい。
上記の一の態様において、サブ波長構造の配置間隔が、画素の中心から外側に向けて段階的に異なる値に設定されていてもよい。あるいは、上記の一の態様において、サブ波長構造の配置間隔が一定であってもよい。
上記の一の態様において、サブ波長構造の高さは、300nm以上で、かつサブ波長構造の高さと幅との比を示すアスペクト比が20以下となる値に設定されていてもよい。
上記の一の態様において、複数のサブ波長構造は、正方格子配列、最密格子状配列またはrθ座標系に基づく配列のうちのいずれかの配列で配置されていてもよい。
上記の一の態様において、サブ波長構造は、ホールまたはピラーであってもよい。
上記の一の態様において、各々のサブ波長構造の高さが、画素の中心から外側に向けて段階的に異なる値に設定されていてもよい。
上記の一の態様において、入射波長λは、可視光の波長域から選択されてもよい。
上記の一の態様において、画素には、複数種類のカラーフィルタのうちのいずれかが配置されていてもよい。また、カラーフィルタの種類に応じて、サブ波長構造のパターンを各々の画素で変化させてもよい。
本発明によれば、複数のサブ波長構造の形成により、反射光の発生を抑制しつつ、各画素への集光効率の向上を図ることができる。
<固体撮像素子の回路構成の説明>
図1は、一の実施形態における固体撮像素子の回路構成例を示す概要図である。固体撮像素子は、複数の画素1と、垂直デコーダ2と、水平デコーダ3と、信号読み出し回路4とを有している。
図1は、一の実施形態における固体撮像素子の回路構成例を示す概要図である。固体撮像素子は、複数の画素1と、垂直デコーダ2と、水平デコーダ3と、信号読み出し回路4とを有している。
画素1は、固体撮像素子の受光面においてマトリクス状に配列されている。各画素1は、入射光束を光電変換する受光素子と、受光素子により生成された信号電荷を蓄積する蓄積部と、蓄積された信号電荷に応じて画像信号を出力する増幅部などを含んでいる(受光素子、蓄積部、増幅部などの図示は省略する)。
また、固体撮像素子の受光面には、横方向に延長する複数の走査線5と、縦方向に延長する複数のデータ読み出し線6とがマトリクス状に配線されている。そして、各画素は、走査線5およびデータ読み出し線6にそれぞれ接続されている。なお、簡単のため、図1の例では受光面に8×8個の画素を示すが、実際の固体撮像素子の受光面にはさらに多数の画素が配列されている。
また、各々の画素1の前面には、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)に対応するカラーフィルタが配置されている。そのため、各々の画素1はカラーフィルタの色に対応する画像信号を出力する。図1では、各画素にカラーフィルタの色も併せて表記する。
一の実施形態では、上記のカラーフィルタは公知のベイヤ配列に従って配列されている。すなわち、画素1の配列の奇数行にはR,Gのフィルタが交互に並ぶとともに、偶数行にはG,Bのフィルタが交互に並んでいる。そして、受光面全体ではGのフィルタが市松模様をなしている。図1では水平方向にRと交互に並ぶGのフィルタをGrで示すとともに、水平方向にBと交互に並ぶGのフィルタをGbで示す。
垂直デコーダ2には、各走査線5の一端がそれぞれ接続されている。垂直デコーダ2は、読み出し対象の行を指定するパルスを走査線5から各画素に与える。
水平デコーダ3は、信号読み出し回路4に対して、読み出し対象の列を指定するパルスを出力する。
信号読み出し回路4には、データ読み出し線6の下端が接続されている。この信号読み出し回路4は、データ読み出し線6を介して各画素から画像信号を読み出すとともに、読み出した画像信号を信号線OUTから外部に出力する。
<各画素の集光光学素子の説明>
また、一の実施形態における固体撮像素子の各画素は、複数のサブ波長構造が配列された集光光学素子を有している。以下、図面を参照しつつ、集光光学素子の構成例を説明する。
また、一の実施形態における固体撮像素子の各画素は、複数のサブ波長構造が配列された集光光学素子を有している。以下、図面を参照しつつ、集光光学素子の構成例を説明する。
図2は、一の実施形態における集光光学素子の一例を示す断面図である。また、図3は、一の実施形態における集光光学素子の一例の平面図である。一の実施形態での集光光学素子11は、透光性の光学樹脂で構成されており、各画素のカラーフィルタ12の上面側に配置されている。集光光学素子11とカラーフィルタ12との間と、カラーフィルタ12と受光素子との間には、透光性の平坦化膜13,14がそれぞれ形成されている。なお、簡単のため、図2では、カラーフィルタ12の下面側に存在する画素(受光素子)の図示は省略する。
集光光学素子11の上面には、上方に向けて直立する円柱状のサブ波長構造15(ピラー)が複数形成されている。各々のサブ波長構造15の平面方向の幅w(直径)は、固体撮像素子に入射する光束の入射波長λ以下に設定されている。また、サブ波長構造15の配置間隔p(例えば隣接するサブ波長構造15の中心間の距離)も、入射波長λ以下に設定されている。
上記の入射波長λは、例えば、固体撮像素子の用途に応じて適宜設定される。一例として、可視光のカラー画像を撮像する撮像素子の場合には、入射波長λは可視光の波長域から選択される。この場合、例えば、d線を基準波長として入射波長λを決定してもよい。あるいは、RGBのいずれかのカラーフィルタ12の分光感度に着目し、分光感度のピーク波長、分光感度の中心波長、分光感度の形に合わせた重心波長のうちから入射波長λを決定してもよい。
一の実施形態の集光光学素子11では、サブ波長構造15の直径が、画素の中心から外側に向けて段階的に小さくなっている。また、一の実施形態の集光光学素子11では、サブ波長構造15の配置間隔pが、画素の中心から外側に向けて段階的に狭くなっており、画素の外側にいくほどサブ波長構造15が密に配置されている。これらの構成により、集光光学素子11の半径方向において、サブ波長構造15を透過する光に異なる位相差が生じることとなる。
また、一の実施形態では、各々のサブ波長構造15の高さhは一定の高さに揃えられている。ここで、サブ波長構造15の高さhは、入射光の反射損を抑制する観点からは300nm以上であることが好ましい。一方、サブ波長構造15の高さhを大きくすると、サブ波長構造15が折れやすくなって固体撮像素子の歩留まりが低下する。そのため、一の実施形態でのサブ波長構造15の高さhは、300nm以上であって、かつサブ波長構造15の高さhと幅wとの比を示すアスペクト比(h/w)が20以下となる範囲で設定される。
ここで、一の実施形態の集光光学素子11は、以下の方法で生成することができる。一例として、レジストを塗布した光学樹脂にリソグラフィによってサブ波長構造15のパターンを露光し、その後にエッチングを行って集光光学素子11を形成してもよい。あるいは、ナノインプリントによって、型材のサブ波長構造15のパターンを光学樹脂層に転写して集光光学素子11を形成してもよい。
以下、一の実施形態の作用効果について述べる。一の実施形態の集光光学素子11には、各々の平面方向の直径(w)が入射波長λよりも小さい複数のサブ波長構造15が、入射波長λよりも小さな配置間隔pで形成されている。よって、入射波長λよりもサブ波長構造15のサイズが小さいため、回折する成分はなく0次光のみが入射されることとなる。
また、一の実施形態の集光光学素子11では、サブ波長構造15の先端部から基端部(集光光学素子11の高さ方向)にかけて、サブ波長構造15(例えば屈折率1.5)と空気(屈折率1.0)との界面での実効屈折率neffの勾配が緩やかになり、反射光の発生を抑制できる(図4参照)。これに対し、一般的なマイクロレンズでは、図4において破線で示すように、レンズと空気との界面(図4では、マイクロレンズの場合はサブ波長構造の先端部にレンズ面があると考える)で屈折率に大きなギャップが生じる。そのため、入射光束がレンズの界面で反射しやすくなることから、大きな反射損が発生することが分かる。
また、一の実施形態の集光光学素子11では、サブ波長構造15の直径(w)や配置間隔(p)を調整することで、集光光学素子11の半径方向においてサブ波長構造を透過する光に異なる位相差が生じ、画素への入射光束を集光することができる。
<実施例>
図5、図6は、本発明の実施例に係る集光光学素子11を示す断面図である。図5に示す実施例では、1画素の画素ピッチが2μmであって、サブ波長構造15(ピラー)の配置間隔pを250nmに固定し、1画素の断面方向に8個のピラーを配列した。このとき、ピラーの高さhを1μmとすると、シミュレーションでの反射損は約2%となった。また、ピラーの高さhを0.5μmとすると、シミュレーションでの反射損は約2.5%となった。
図5、図6は、本発明の実施例に係る集光光学素子11を示す断面図である。図5に示す実施例では、1画素の画素ピッチが2μmであって、サブ波長構造15(ピラー)の配置間隔pを250nmに固定し、1画素の断面方向に8個のピラーを配列した。このとき、ピラーの高さhを1μmとすると、シミュレーションでの反射損は約2%となった。また、ピラーの高さhを0.5μmとすると、シミュレーションでの反射損は約2.5%となった。
図6に示す実施例では、1画素の画素ピッチが1.96μmであって、サブ波長構造15(ピラー)の配置間隔pを280nmに固定し、1画素の断面方向に7個のピラーを配列した。このとき、ピラーの高さhを1μmとすると、シミュレーションでの反射損は約1.6%程度となった。
一方、従来のマイクロレンズにおける入射光の反射損は約4%から約5%であるので、本発明の構成によれば、入射光の反射損を半分以下に抑制できることが分かる。
<集光光学素子の構成の変形例>
(1)上記実施形態の固体撮像素子において、サブ波長構造15の配置間隔pは一定に設定してもよい(図5、図6参照)。この場合において、サブ波長構造15の配置間隔pを画素ピッチの数分の1に設定すれば、画素上にサブ波長構造15を効率よく配置することができる。
(1)上記実施形態の固体撮像素子において、サブ波長構造15の配置間隔pは一定に設定してもよい(図5、図6参照)。この場合において、サブ波長構造15の配置間隔pを画素ピッチの数分の1に設定すれば、画素上にサブ波長構造15を効率よく配置することができる。
(2)図7は、集光光学素子11でのサブ波長構造15の配置例を示している。図7(a)は、サブ波長構造15を正方格子配列で配置した例を示している。図7(b)は、正方格子配列の中心にさらにサブ波長構造を配置した最密格子状の配列を示している。また、図7(c)は、rθ座標系に基づいて画素の中心からサブ波長構造15を同心円状に配列した例を示している。なお、サブ波長構造15の配置例は、上記の例に限定されず、例えば、集光光学素子11の中央部では正方格子配列でサブ波長構造15を配置し、集光光学素子11の周縁部では最密格子状の配列でサブ波長構造15を配置してもよい(この場合の図示は省略する)。
(3)上記実施形態の固体撮像素子において、サブ波長構造15の形状は円柱状に限定されず、例えば、平面の形状が多角形をなす角柱状であってもよい(この場合の図示は省略する)。なお、サブ波長構造15を角柱状に形成する場合、アスペクト比を求めるときの幅wは、平面方向で幅が一番短くなる部分を基準にするものとする。
また、サブ波長構造15の形状は角錐や円錐であってもよい(この場合の図示は省略する)。この場合には、集光光学素子11の高さ方向にかけて、サブ波長構造15と空気との界面での実効屈折率neffの勾配がさらに緩やかとなるので、反射損をより抑制できる。なお、サブ波長構造15を角錐や円錐の形状にする場合、アスペクト比を求めるときの高さhは、サブ波長構造15の斜辺の長さを基準とするものとする。
(4)図8は、集光光学素子11の別例であって、上面側に開口した円柱状の空間(ホール)を集光光学素子11に形成した例を示している(図8に対応する平面図は、図3とほぼ同様となるので省略する)。なお、ホールの配置間隔およびホールの幅は、入射波長λ以下に設定されている。このように、ホールによってサブ波長構造15を構成した場合にも、上記の実施形態とほぼ同様の効果を得ることができる。
(5)図9は、集光光学素子11の別例であって、各々のサブ波長構造15の高さを、画素の中心から外側に向けて段階的に異なるように設定した例を示している。この場合にも、集光光学素子11の半径方向においてサブ波長構造15を透過する光に異なる位相差が生じ、画素への入射光束を集光することができる。
(6)上記実施形態の固体撮像素子において、カラーフィルタ12の分光感度特性に合わせて複数のサブ波長構造15のパターンを設定し、カラーフィルタ12の色毎に異なる集光光学素子11を配置してもよい。これにより、RGBの各画素でそれぞれ入射光の光量をより増加させることが可能となる。
なお、上記実施形態および変形例の構成はあくまで一例にすぎず、上述の実施形態および変形例に示す構成についてあらゆる組み合わせをとることができる。
<実施形態の補足事項>
上記実施形態では、XYアドレス方式で読み出しを行う固体撮像素子(CMOSなど)の例を説明したが、本発明は上記実施形態の構成に限定されるものではない。例えば、順次走査方式で読み出しを行う固体撮像素子(CCDなど)にも本発明を適用することができる。
上記実施形態では、XYアドレス方式で読み出しを行う固体撮像素子(CMOSなど)の例を説明したが、本発明は上記実施形態の構成に限定されるものではない。例えば、順次走査方式で読み出しを行う固体撮像素子(CCDなど)にも本発明を適用することができる。
また、上記実施形態では、RGBのカラーフィルタをベイヤ配列で配置した例を説明したが、本発明は上記実施形態の構成に限定されるものではない。例えば、RGBのカラーフィルタをストライプ配列で配置した固体撮像素子や、あるいは、補色系(例えば、マゼンタ、グリーン、シアン及びイエローを用いる系)のカラーフィルタアレイを有する固体撮像素子にも本発明を適用することができる。
以上の詳細な説明により、実施形態の特徴点および利点は明らかになるであろう。これは、特許請求の範囲が、その精神および権利範囲を逸脱しない範囲で前述のような実施形態の特徴点および利点にまで及ぶことを意図するものである。また、当該技術分野において通常の知識を有する者であれば、あらゆる改良および変更に容易に想到できるはずであり、発明性を有する実施形態の範囲を前述したものに限定する意図はなく、実施形態に開示された範囲に含まれる適当な改良物および均等物によることも可能である。
1…画素、11…集光光学素子、12…カラーフィルタ、15…サブ波長構造
Claims (10)
- 二次元的に配列された複数の画素を備え、
前記画素上には、各々の平面方向の長さが入射波長λよりも小さい複数のサブ波長構造が前記入射波長λよりも小さな配置間隔で形成されており、
複数の前記サブ波長構造に異なる位相差を持たせて、前記画素への入射光束を集光させることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1に記載の固体撮像素子において、
各々の前記サブ波長構造の平面方向の長さが、前記画素の中心から外側に向けて段階的に異なる値に設定されていることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1または請求項2に記載の固体撮像素子において、
前記サブ波長構造の配置間隔が、前記画素の中心から外側に向けて段階的に異なる値に設定されていることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1または請求項2に記載の固体撮像素子において、
前記サブ波長構造の配置間隔が一定であることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の固体撮像素子において、
前記サブ波長構造の高さは、300nm以上で、かつ前記サブ波長構造の高さと幅との比を示すアスペクト比が20以下となる値に設定されることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の固体撮像素子において、
複数の前記サブ波長構造は、正方格子配列、最密格子状配列またはrθ座標系に基づく配列のうちのいずれかの配列で配置されることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の固体撮像素子において、
前記サブ波長構造は、ホールまたはピラーであることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の固体撮像素子において、
各々の前記サブ波長構造の高さが、前記画素の中心から外側に向けて段階的に異なる値に設定されていることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の固体撮像素子において、
前記入射波長λは、可視光の波長域から選択されることを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の固体撮像素子において、
前記画素には、複数種類のカラーフィルタのうちのいずれかが配置され、
前記カラーフィルタの種類に応じて、前記サブ波長構造のパターンを各々の前記画素で変化させたことを特徴とする固体撮像素子。
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130143666A (ko) * | 2011-04-20 | 2013-12-31 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 서브-파장 그레이팅-기초 광학 엘리먼트 |
CN104011582A (zh) * | 2011-12-09 | 2014-08-27 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 光波前的控制 |
US9354401B2 (en) | 2013-01-30 | 2016-05-31 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Optical connector having a cleaning element |
US9372349B2 (en) | 2011-06-30 | 2016-06-21 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Glasses-free 3D display for multiple viewers with a resonant subwavelength lens layer |
US9522819B2 (en) | 2011-04-20 | 2016-12-20 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Light detection system including a chiral optical element and optical elements with sub-wavelength gratings having posts with varying cross-sectional dimensions |
US10473948B2 (en) | 2015-06-30 | 2019-11-12 | Ams Ag | Optical hybrid lens and method for producing an optical hybrid lens |
WO2022079757A1 (ja) * | 2020-10-12 | 2022-04-21 | 日本電信電話株式会社 | 光学素子、撮像素子及び撮像装置 |
WO2022079765A1 (ja) * | 2020-10-12 | 2022-04-21 | 日本電信電話株式会社 | 光学素子、撮像素子及び撮像装置 |
WO2022079766A1 (ja) * | 2020-10-12 | 2022-04-21 | 日本電信電話株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
KR20220099469A (ko) * | 2021-01-06 | 2022-07-13 | 비스에라 테크놀러지스 컴퍼니 리미티드 | 이미지-감지 디바이스 |
-
2009
- 2009-03-12 JP JP2009059962A patent/JP2010212625A/ja not_active Withdrawn
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130143666A (ko) * | 2011-04-20 | 2013-12-31 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 서브-파장 그레이팅-기초 광학 엘리먼트 |
US20140044392A1 (en) * | 2011-04-20 | 2014-02-13 | David A Fattal | Sub-wavelength grating-based optical elements |
US9522819B2 (en) | 2011-04-20 | 2016-12-20 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Light detection system including a chiral optical element and optical elements with sub-wavelength gratings having posts with varying cross-sectional dimensions |
US9103973B2 (en) | 2011-04-20 | 2015-08-11 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Sub-wavelength grating-based optical elements |
KR101593506B1 (ko) | 2011-04-20 | 2016-02-12 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 서브-파장 그레이팅-기초 광학 엘리먼트 |
US9372349B2 (en) | 2011-06-30 | 2016-06-21 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Glasses-free 3D display for multiple viewers with a resonant subwavelength lens layer |
CN104011582A (zh) * | 2011-12-09 | 2014-08-27 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 光波前的控制 |
US9354401B2 (en) | 2013-01-30 | 2016-05-31 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Optical connector having a cleaning element |
US10473948B2 (en) | 2015-06-30 | 2019-11-12 | Ams Ag | Optical hybrid lens and method for producing an optical hybrid lens |
EP3112924B1 (en) * | 2015-06-30 | 2021-07-28 | ams AG | Optical hybrid lens and method for producing an optical hybrid lens |
WO2022079757A1 (ja) * | 2020-10-12 | 2022-04-21 | 日本電信電話株式会社 | 光学素子、撮像素子及び撮像装置 |
WO2022079765A1 (ja) * | 2020-10-12 | 2022-04-21 | 日本電信電話株式会社 | 光学素子、撮像素子及び撮像装置 |
WO2022079766A1 (ja) * | 2020-10-12 | 2022-04-21 | 日本電信電話株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
KR20220099469A (ko) * | 2021-01-06 | 2022-07-13 | 비스에라 테크놀러지스 컴퍼니 리미티드 | 이미지-감지 디바이스 |
KR102578652B1 (ko) * | 2021-01-06 | 2023-09-15 | 비스에라 테크놀러지스 컴퍼니 리미티드 | 이미지-감지 디바이스 |
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Date | Code | Title | Description |
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A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20120605 |