JP2006032923A - 改善されたエネルギーインパルス定格を有するダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エネルギーパルスクランピング半導体ダイオード16は、第1導電型で第1高濃度レベル(例えばn++)にあるキャリア、第1主面および第1主面に対向する第2主面を有する基板20;第1導電型で第1レベルより低い第2濃度レベル(例えばn+)にあるキャリアを有し、および外面を有する半導体材料の層22;外面に形成され、第2導電型で第3濃度レベル(例えばp+)にあるキャリアを有する領域26;第2導電型で第3濃度レベルより高い第4濃度レベル(例えばp++)にあるキャリアを有する少なくとも1つのセル;カソード電極30およびアノード電極28を含む。このダイオードは最も好ましくは、カソード電極と直列で、ダイオードに熱的に結合したPPTC抵抗器を含む過電圧保護回路に含まれる。
【選択図】図2
Description
本発明は電気回路部品に関する。より詳細には、本発明は高エネルギー電気インパルスに対してよりよく耐え得る過電圧保護ダイオードに関する。
半導体ダイオードは通常、2端子のアノード−カソードデバイスとして定義される。そのようなダイオードはほとんどの場合、p−n接合を実現するようにp型ドープ(正電荷キャリアまたは「ホール(または正孔)」)およびn型ドープ(負電荷キャリアまたは電子)の領域または層を隣接させて半導体単結晶のウェハに形成することにより構成される。例えばp型エピタキシャル層をn型ウェハまたは基板上に形成してp−n接合を形成でき、あるいはnドープしたエピタキシャル層をpドープしたウェハまたは基板上に形成してn−p接合を形成できる。
Claims (15)
- (a)第1導電型で第1高濃度レベルにあるキャリア、第1主面および該第1主面に対向する第2主面を有する半導体材料でできた平面基板;
(b)該第1導電型で該第1レベルより低い第2濃度レベルにあるキャリアを有し、および外面を有する半導体材料でできた層であり、その1つは該基板中または上にて該第1主面に隣接する層;
(c)該外面に形成され、および第2導電型で第3濃度レベルにあるキャリアを有する少なくとも1つの領域;
(d)該外面に形成され、および該第2導電型で該第3濃度レベルより高い第4濃度レベルにあるキャリアを有する少なくとも1つのセル;
(e)該外面に形成された第1電極層;および
(f)該第2主面に形成された第2電極層
から本質的に成る、半導体デバイス。 - (a)第1導電型で第1所定濃度レベルにあるキャリア、第1主面および該第1主面に対向する第2主面を有する半導体材料でできた平面基板;
(b)該第1主面に形成され、および第2導電型で第2所定濃度レベルにあるキャリアを有する少なくとも1つの領域;
(c)該第1主面に形成され、および該第2導電型で該第2濃度レベルより高い第2濃度レベルにあるキャリアを有する少なくとも1つのセル;
(d)該第1主面に形成された第1電極層;および
(e)該第2主面に形成された第2電極層
から本質的に成る、半導体デバイス。 - 前記少なくとも1つの領域は前記層へ第1所定深さまで延び、および前記少なくとも1つのセルは前記層へ第2所定深さまで延びている、請求項1に記載の半導体デバイス。
- (a)前記第2所定深さは前記第1所定深さより大きく、または(b)前記第2所定深さは前記第1所定深さ以下である、請求項3に記載の半導体デバイス。
- 前記第1導電型の前記キャリアはnキャリアであり、および前記第2導電型の前記キャリアはpキャリアである、請求項1または2に記載の半導体デバイス。
- 前記第1導電型の前記キャリアはpキャリアであり、および前記第2導電型の前記キャリアはnキャリアである、請求項1または2に記載の半導体デバイス。
- 前記デバイスは前記領域により互いに分離された複数のセルを含む、請求項1または2に記載の半導体デバイス。
- 前記デバイスは複数のセルおよび複数の領域を含み、および該複数のセルは該複数の領域により互いに分離される、請求項1または2に記載の半導体デバイス。
- 前記層は前記基板上に形成されたエピタキシャル層を含む、請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記デバイスの前記電極の少なくとも一方は回路保護要素に電気的に接続され、および該デバイスは回路保護要素と熱的に接触し、好ましくは該回路保護要素はポリマー正温度係数(PPTC)抵抗要素を含む、請求項1または2に記載の半導体デバイス。
- 保護回路において逆方向バイアス電圧アレンジメントに接続され、および所定の逆方向バイアス電圧レベルを超える電圧を有するエネルギーパルスを吸収し、該パルスを熱に変え、そして該熱を該回路保護要素に伝導させるように動作する、請求項10に記載の半導体デバイス。
- 前記第1電極はカソード接続部を形成し、および前記第2電極はアノード接続部を形成し、ならびに該カソード接続部と直列に電気的に接続され、および前記デバイスに直接接触することにより該デバイスと熱的に結合したポリマー正温度係数(PPTC)抵抗要素を更に含み、好ましくはPPTC抵抗要素が電源と負荷との間で直列に接続された過電圧保護回路を含み、および前記半導体デバイスは該負荷に並列に接続されている、請求項5に記載の半導体デバイス。
- 平面基板は負のキャリアの少なくとも約1020n型ドーパントイオン/cm3を有するn型ドーピング材料であり;エピタキシャル層は負のキャリアの約5×1017ドーパントイオン/cm3を有するn型ドーピング材料であり;少なくとも1つの領域は正のキャリアの1020〜1015ドーパントイオン/cm3の範囲にあるp型ドーパントを有するp型ドーピング材料であり;および少なくとも1つのセルは正のキャリアの5×1021〜1015ドーパントイオン/cm3の範囲にあるp型ドーパントを有するp型ドーピング材料である、請求項5に記載の半導体デバイス。
- (a)第1導電型で第1高濃度レベルにあるキャリア、第1主面および該第1主面に対向する第2主面を有する半導体材料でできた平面基板を形成する工程;
(b)該第1主面上に半導体材料でできたエピタキシャル層を、第1導電型で該第1レベルより低い第2濃度レベルにあるキャリアおよび外面を有して形成する工程;
(c)該外面に少なくとも1つの領域を、第2導電型で第3濃度レベルにあるキャリアを有して形成する工程;
(d)該外面に少なくとも1つのセルを、該第2導電型で該第3濃度レベルより高い第4濃度レベルにあるキャリアを有して形成する工程;
(e)該外面に第1電極層を形成する工程;および
(f)該第2主面に第2電極層を形成する工程
を含む、半導体デバイスを製造するための方法。 - (a)第1導電型で第1所定濃度レベルにあるキャリア、第1主面および該第1主面に対向する第2主面を有する半導体材料でできた平面基板を形成する工程;
(b)該第1主面に少なくとも1つの領域を、第2導電型で第2所定濃度レベルにあるキャリアを有して形成する工程;
(c)該第1主面に少なくとも1つのセルを、該第2導電型で該第2濃度レベルより高い第2濃度レベルにあるキャリアを有して形成する工程;
(d)該第1主面に形成された第1電極層を形成する工程;および
(e)該第2主面に形成された第2電極層を形成する工程
を含む、半導体デバイスを製造するための方法。
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