JP2006032873A - ストラップボンディング装置及びストラップボンディング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 高速動作ができ、且つ装置の構成が簡素化され、金属ストラップを半導体チップにボンディングするストラップボンディング装置及びストラップボンディング方法を提供する。
【解決手段】 アルミストラップボンディング装置1は、架台2、ベース3、操作パネル部4、制御装置部5、アルミリボンテープ収納部6、アルミリボンカット部7、アルミストラップ搬送部8、ヘッド搬送部9、リードフレーム搬送部13、及び画像モニター16a、16bを有し、搬送されたリードフレーム14上に設けられたパワー半導体チップ15の電極とリード端子間をアルミストラップ22を用いて電気的に接続する。
【選択図】 図1
【解決手段】 アルミストラップボンディング装置1は、架台2、ベース3、操作パネル部4、制御装置部5、アルミリボンテープ収納部6、アルミリボンカット部7、アルミストラップ搬送部8、ヘッド搬送部9、リードフレーム搬送部13、及び画像モニター16a、16bを有し、搬送されたリードフレーム14上に設けられたパワー半導体チップ15の電極とリード端子間をアルミストラップ22を用いて電気的に接続する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体チップとリード端子間などを電気的に接続するボンディング装置に係り、特に、金属リボンテープを切断し、ストラップ状にして半導体チップとリード端子間などを電気的に接続するストラップボンディング装置及びストラップボンディング方法に関するものである。
近年、パワーMOSFET、IGBTなどのパワー用半導体装置において、製品コストの低減、抵抗低減化、及び接続導体の断線防止のために、高価な金線やアルミニウム線によるワイヤボンディングの代わりにアルミニウムや銅(Cu)等からなる帯状接続導体(以下、これをストラップと呼称する)を用いて半導体チップの電極とリード端子を接続している(例えば、特許文献1参照。)。
ボンディング装置を用いて、この種のパワー用半導体チップをボンディングする場合、金線やアルミニウム線のワイヤを使用するワイヤボンディング装置を用いて、半導体チップをボンディングする場合と比較して、高速動作ができず作業性を向上できないという問題点がある。また、装置の構成を簡素化しにくいと言う問題点がある。
特開2002−314018号公報(頁20、図15)
本発明は、高速動作ができ、且つ装置の構成が簡素化され、金属ストラップを半導体チップにボンディングするストラップボンディング装置及びストラップボンディング方法を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の一態様のストラップボンディング装置は、金属リボンテープを収納する金属リボンテープ収納部と、前記金属リボンテープ収納部から搬送された前記金属リボンテープを所定の形状を有する金属ストラップに裁断する金属リボンカット部と、前記金属ストラップをピックアップ位置まで搬送する金属ストラップ搬送部と、半導体チップが固着されたリードフレームを搬送するリードフレーム搬送部と、前記金属ストラップをピックアップし、前記金属ストラップを前記半導体チップ及びリード端子に固着し、前記半導体チップと前記リード端子とを電気的に接続する接合ヘッドとを具備することを特徴とする。
更に、上記目的を達成するために、本発明の一態様のストラップボンディング方法は、金属リボンテープを所定の形状を有する金属ストラップに裁断する工程と、前記金属ストラップをピックアップ位置まで搬送する工程と、半導体チップが固着されたリードフレームを搬送する工程と、前記金属ストラップをピックアップする工程と、前記金属ストラップを前記半導体チップ及びリード端子に固着し、前記半導体チップと前記リード端子とを電気的に接続する工程とを具備することを特徴とする。
本発明によれば、高速動作ができ、且つ装置の構成が簡素化され、金属ストラップを半導体チップにボンディングするストラップボンディング装置及びストラップボンディング方法を提供することができる。
以下本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
まず、本発明の実施例1に係るストラップボンディング装置及びストラップボンディング方法について、図面を参照して説明する。図1は、アルミストラップボンディング装置を示す正面図、図2はヘッド搬送部を示す平面図、図3はアルミストラップボンディング装置の動作を示す模式図である。
図1に示すように、アルミストラップボンディング装置1は、架台2、ベース3、操作パネル部4、制御装置部5、アルミリボンテープ収納部6、アルミリボンカット部7、アルミストラップ搬送部8、ヘッド搬送部9、リードフレーム搬送部13、及び画像モニター16a、16bを有し、搬送されたリードフレーム14上に設けられたパワー半導体チップ15の電極とリード端子間をアルミストラップ22を用いて電気的に接続する。
ベース3及び操作パネル部4は、架台2の上面に配置されている。制御装置部5は、架台2の右下部に収納され、操作パネル部4で操作された情報を入力して、アルミリボンテープ収納部6、アルミリボンカット部7、アルミストラップ搬送部8、ヘッド搬送部9、及びリードフレーム搬送部13の動作を制御するための制御信号を送信する。
アルミリボンテープ収納部6は、リール状のアルミリボンテープ21、モータ18aを有し、制御装置部5から送信された信号によりモータ18aが動作してアルミリボンテープ21をアルミリボンカット部7に搬送する。アルミリボンカット部7は、アルミリボンテープ21を所定の形状を有する複数のアルミストラップ22に裁断する。アルミストラップ搬送部8は、モータ18b、搬送ステージ20aを有し、制御装置部5から送信された信号によりモータ18bが動作してアルミストラップ22を搬送する。
ヘッド搬送部9は、接合ヘッド10、アーム11、吸着ヘッド12、高周波電源17、モータ18c、及びヘッド支持部19を有し、制御装置部5から送信された信号によりアルミストラップ22をピックアップして、パワー半導体チップ15の電極とリード端子間の上面に載置及び接合を行う。リードフレーム搬送部13は、モータ18d、搬送ステージ20bを有し、制御装置部5から送信された信号によりリードフレーム14を外部に搬送する。ここで、アルミストラップ搬送部8の搬送ステージ20aは、X軸及びY軸方向の調整をすることによりアルミストラップ22の載置位置の補正をでき、リードフレーム搬送部13の搬送ステージ20bは、X軸及びY軸方向の調整をすることによりリードフレーム14上に載置されている半導体チップ15の載置位置の補正をできる。ヘッド搬送部9の接合ヘッド搭載X−Yステージ20cは、X軸及びY軸方向の調整をすることによりアルミストラップ22の吸着位置(ピックアップ位置)及び接合位置の補正をできる。
画像モニター16aは、アルミストラップ搬送部8の動作状況の監視、及びリードフレーム14、パワー半導体チップ15の検査を行い、画像モニター16bは、ヘッド搬送部9及びリードフレーム搬送部13の動作状況の監視、及びパワー半導体チップ15、アルミストラップ22の検査を行っている。そして、画像モニター16a、16bは操作パネル部4の操作により監視位置変更及び拡大が可能な構造となっている。
図2に示すように、ヘッド搬送部9は4台の接合ヘッド10を有し、アルミストラップ22をピックアップする場所でピックアップし、アルミストラップ22をピックアップした接合ヘッド10を接合する場所まで順次搬送し、接合を行う。そして、接合作業が終了した接合ヘッド10は、再びピックアップする場所に搬送される。ここでは、接合ヘッド10を4台にしているが、1台又は4台以外複数設けてもよい。
図3に示すように、アルミストラップボンダ1の動作は、まず、アルミリボンテープ収納部6から搬送されたアルミリボンテープ21をアルミリボンカット部7で長方形に裁断してアルミストラップ22を形成する。
次に、挟持部23を用いて搬送ステージ20a上のアルミストラップ22の位置補正を行う。位置補正方法は、予め制御装置部5に収納されているアルミストラップ22の形状情報をもとに、図示していないがカメラ等でアルミストラップ22を認識し、挟持部23を下降させ、挟持片24をX方向、Y方向、及び回転動作させてアルミストラップ22を所定の位置に移動させる。なお、挟持片24のアルミストラップ22と接触する部分にはアルミよりも硬度の小さい、例えば、ゴム等を設けるのが好ましい。また、必要精度に応じ高硬度材を採用する。
続いて、搬送ステージ20a上のアルミストラップ22をピックアップする。ピックアップ方法は、図示していないがカメラ等でアルミストラップ22を認識し、吸着ヘッド12をX方向、Y方向、及び回転動作させてアルミストラップ22の真上に移動させ、接合ヘッド10を下降させて吸着ヘッド12でアルミストラップ22をピックアップする。
次に、アルミストラップ22をピックアップした状態で接合ヘッド10を回転させ、リードフレーム14上の接合領域27にアルミストラップ22を載置し、高周波電源17を用いて超音波接合を行う。この超音波接合により、アルミストラップ22は固着され、リード端子25とベッド26上のパワー半導体チップ15の間を電気的に接続する。
上述したように、本実施例のストラップボンディング装置及びストラップボンディング方法では、リール状のアルミリボンテープ21を所定の形状を有する複数のアルミストラップ22に裁断し、このアルミストラップ22を複数の接合ヘッド10で順次ピックアップし、超音波接合してパワー半導体チップ15の電極とリード端子間を電気的に接続している。このため、接合ヘッド部でアルミリボンテープ21を裁断する場合と比較して、ボンディング作業の高速化が図れる。
更に、アルミリボンテープ21の裁断機構と接合ヘッド10でのピックアップ及び超音波接合機構を分離しているので、接合ヘッド部の構成が簡素化、軽量化され、装置トラブルや故障発生を抑制しながら高速化することができる。したがって、ボンディング作業の高効率化が達成できる。
なお、本実施例では、パワー半導体チップ15の電極及びリード端子25とアルミストラップ22の接合に超音波を用いているが、アルミストラップ22を載置し、ランプ加熱等により溶接してもよい。
次に、本発明の実施例2に係るストラップボンディング装置及びストラップボンディング方法について図面を参照して説明する。図4は、アルミストラップを示す斜視図、図5はアルミストラップ搬送部の動作を示すブロック図である。本実施例ではアルミストラップの形状を変更している。
以下、本実施例において、実施例1と同一構成部分には、同一符号を付してその部分の説明を省略し、異なる点のみ説明する。
図4に示すように、アルミストラップ22aは、ループ形状を有し、樹脂封止成形するために設けられるモールド樹脂とアルミストラップ22aとの密着性を改善し、樹脂封止半導体装置の信頼性を向上させている。
図5に示すように、アルミストラップ搬送部8aの動きは、まず、アルミリボンテープ収納部6から搬送されたアルミリボンテープ21をアルミリボンカット部7で加工及び裁断を行い、図4に示したアルミストラップ22aを形成する。
次に、TVカメラからなる位置・形状検出部31でアルミストラップ22aの載置されている位置情報及び形状情報を検出し、この情報を認識部32に送信する。認識部32はこの情報を認識・記録する。演算部33は、認識部32に記録されたアルミストラップ22aの載置されている位置情報及び形状情報と予め記録されている標準サンプルのアルミストラップ22aの位置情報及び形状情報とを比較演算する。演算部33で比較演算した位置情報をもとに位置調整部34の吸着ヘッド12aをX方向、Y方向、及び回転動作させ、位置調整部34を下降させ、吸着ヘッド12aでアルミストラップ22をピックアップする。
なお、アルミストラップ22aの形状が所定の形状に形成されていない場合、演算部33からの信号により位置調整部34がアルミストラップ22aをピックアップして搬送ステージ20aから除外する。吸着ヘッド12aの形状は、アルミストラップ22aをピックアップしやすいように、アルミストラップ22aと同様の形状のスロープをもたせるのが好ましい。
続いて、ピックアップしたアルミストラップ22aを図示していないが搬送ステージ20a上に設けられた搬送トレイに載置する。ここで、搬送トレイの形状はアルミストラップ22aと同様の形状のスロープをもたせるのが好ましい。
次に、搬送トレイ上のアルミストラップ22aを実施例1と同様にピックアップ及び超音波接合を行う。ここで、吸着ヘッド12の形状は、アルミストラップ22aをピックアップしやすいように、アルミストラップ22aと同様の形状のスロープをもたせるのが好ましい。
上述したように、本実施例のストラップボンディング装置及びストラップボンディング方法では、アルミストラップ22aを所定の位置でピックアップ及び超音波接合するために、アルミストラップ搬送部8aに位置・形状検出部31、認識部32、演算部33、及び位置調整部34を設けている。このため、複雑な形状を有するアルミストラップ22aを用いたボンディング作業であっても実施例1と同様な効果を有する。
本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々、変更してもよい。
例えば、本実施例では、アルミストラップを用いているが、銅(Cu)ストラップや金(Au)ストラップを用いたストラップボンディング装置にも適用できる。また、1連のリードフレームを用いているが多連のリードフレームにも適用してもよい。そして、実施例2では、アルミストラップ22aをループ形状にしているが、更にリード接合領域をチップ接合領域の高さと異なる高さにしてもよい。
本発明は、以下の付記に記載されているような構成が考えられる。
(付記1) 金属リボンテープを収納する金属リボンテープ収納部と、前記金属リボンテープ収納部から搬送された前記金属リボンテープを所定の形状を有する金属ストラップに裁断する金属リボンカット部と、前記金属ストラップをピックアップ位置まで搬送する金属ストラップ搬送部と、半導体チップが固着されたリードフレームを搬送するリードフレーム搬送部と、前記金属ストラップを順次ピックアップし、前記金属ストラップを前記半導体チップ及びリード端子に順次固着し、前記半導体チップと前記リード端子とを電気的に接続する複数の接合ヘッドを有するヘッド搬送部とを具備するストラップボンディング装置。
(付記1) 金属リボンテープを収納する金属リボンテープ収納部と、前記金属リボンテープ収納部から搬送された前記金属リボンテープを所定の形状を有する金属ストラップに裁断する金属リボンカット部と、前記金属ストラップをピックアップ位置まで搬送する金属ストラップ搬送部と、半導体チップが固着されたリードフレームを搬送するリードフレーム搬送部と、前記金属ストラップを順次ピックアップし、前記金属ストラップを前記半導体チップ及びリード端子に順次固着し、前記半導体チップと前記リード端子とを電気的に接続する複数の接合ヘッドを有するヘッド搬送部とを具備するストラップボンディング装置。
(付記2) 更に、前記ピックアップ位置のまえに、前記金属ストラップ搬送部上の前記金属ストラップを所定の位置に調整する挟持部を具備する付記1に記載のストラップボンディング装置。
1 アルミストラップボンディング装置
2 架台
3 ベース
4 操作パネル部
5 制御装置部
6 アルミリボンテープ収納部
7 アルミリボンカット部
8、8a アルミストラップ搬送部
9 ヘッド搬送部
10 接合ヘッド
11 アーム
12、12a 吸着ヘッド
13 リードフレーム搬送部
14 リードフレーム
15 パワー半導体チップ
16a、16b 画像モニター
17 高周波電源
18a、18b、18c、18d モータ
19 ヘッド支持部
20a、20b 搬送ステージ
20c 接合ヘッド搭載X−Yステージ
21 アルミリボンテープ
22、22a アルミストラップ
23 挟持部
24 挟持片
25 リード端子
26 ベッド
27 接合領域
31 位置・形状検出部
32 認識部
33 演算部
34 位置調整部
2 架台
3 ベース
4 操作パネル部
5 制御装置部
6 アルミリボンテープ収納部
7 アルミリボンカット部
8、8a アルミストラップ搬送部
9 ヘッド搬送部
10 接合ヘッド
11 アーム
12、12a 吸着ヘッド
13 リードフレーム搬送部
14 リードフレーム
15 パワー半導体チップ
16a、16b 画像モニター
17 高周波電源
18a、18b、18c、18d モータ
19 ヘッド支持部
20a、20b 搬送ステージ
20c 接合ヘッド搭載X−Yステージ
21 アルミリボンテープ
22、22a アルミストラップ
23 挟持部
24 挟持片
25 リード端子
26 ベッド
27 接合領域
31 位置・形状検出部
32 認識部
33 演算部
34 位置調整部
Claims (6)
- 金属リボンテープを収納する金属リボンテープ収納部と、
前記金属リボンテープ収納部から搬送された前記金属リボンテープを所定の形状を有する金属ストラップに裁断する金属リボンカット部と、
前記金属ストラップをピックアップ位置まで搬送する金属ストラップ搬送部と、
半導体チップが固着されたリードフレームを搬送するリードフレーム搬送部と、
前記金属ストラップをピックアップし、前記金属ストラップを前記半導体チップ及びリード端子に固着し、前記半導体チップと前記リード端子とを電気的に接続する接合ヘッドと
を具備することを特徴とするストラップボンディング装置。 - 更に、前記ピックアップ位置のまえに、前記金属ストラップ搬送部上の前記金属ストラップを所定の位置に調整する位置調整手段を具備することを特徴とする請求項1に記載のストラップボンディング装置。
- 前記金属ストラップを固着する方法は、超音波を用いることを特徴とする請求項1又は2に記載のストラップボンディング装置。
- 金属リボンテープを収納する金属リボンテープ収納部と、
前記金属リボンテープ収納部から搬送された前記金属リボンテープを、リード接合領域とチップ接合領域とを同一高さ或いは異なる高さのループ形状を有する金属ストラップに加工・裁断する金属リボンカット部と、
前記金属ストラップをピックアップ位置まで搬送する金属ストラップ搬送部と、
前記ピックアップ位置のまえに、前記金属ストラップ搬送部上の前記金属ストラップを所定の位置に調整する位置調整手段と、
前記金属ストラップをピックアップし、前記金属ストラップを前記半導体チップ及びリード端子に固着し、前記半導体チップと前記リード端子とを電気的に接続する接合ヘッドと
を具備することを特徴とするストラップボンディング装置。 - 前記金属リボンテープは、アルミニウム、銅、又は金からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のストラップボンディング装置。
- 金属リボンテープを所定の形状を有する金属ストラップに裁断する工程と、
前記金属ストラップをピックアップ位置まで搬送する工程と、
半導体チップが固着されたリードフレームを搬送する工程と、
前記金属ストラップをピックアップする工程と、
前記金属ストラップを前記半導体チップ及びリード端子に固着し、前記半導体チップと前記リード端子とを電気的に接続する工程と
を具備することを特徴とするストラップボンディング方法。
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