JP2006024938A - 電荷トラッピング不揮発性メモリおよびそのゲートバイゲート消去のための方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記半導体本体の電荷蓄積構造は、前記複数のゲート中のゲートの下方に電荷トラッピング位置を具備する。連続した最初のゲートおよび最後のゲートに近接する前記半導体本体に、ソースおよびドレーンバイアス電圧を伝導する回路、および、前記複数のゲートに、ゲートバイアス電圧を伝導する回路を有する。多重ゲートメモリセルは、いくつかの、またはすべての前記ゲートの間の電荷蓄積位置と共に、連続した前記複数のゲートの下方に、連続した多重ゲートチャネル領域を具備する。
【選択図】図4
Description
(関連出願)
本願は、2004年7月6日に出願された米国の仮出願第60/585,658号、および2004年7月6日に出願された米国の仮出願第60/585,657号の利益を主張する。
AG−AND type flash memory with cell size
of true 2F2/bit and programming throughput of 10 MB/s,” IEDM, 2003, pages 823−826 (笹子他の「真の2F2/ビットのセルサイズおよび10MB/sのプログラミングスループットを有する90nmのノード多準位AG−AND型フラッシュメモリ」 IEDM、2003年発行823〜826ページ)、および、United States
Patent Application Publication No.US 2004/0084714 by Ishii et al.(石井他の米国特許出願公報 第US 2004/0084714号)を参照のこと。笹子他のアシストゲート方式は、さまざまな形で浮動ゲートメモリデバイスに適用されるいわゆる「分割ゲート」技術の拡張と見なされるかもしれない。分割ゲートデバイスに関連した背景については、チャンの米国特許第5,408,115号を参照のこと。
する。選択された制御ゲートの下方の選択された電荷蓄積位置のプログラミングの間、前記チャネル領域に極性反転を誘発し、前記正孔トンネリングをサポートするに十分な大きさのバイアス電圧が、連続して配置された別のゲートまたは他のすべてのゲートに印加される。正孔注入によるプログラミングを有する実施例では、前記コントローラで提供されるバイアス配置は、高いしきい値状態を確立するために、消去される前記電荷蓄積位置への電子注入を誘発する消去バイアス配置を有する。制御ゲート毎に2つの蓄積位置を利用する実施例を含み、前記多重ゲートメモリセルを有する集積回路の実施例では、コントローラは、前記多重ゲートメモリセルに連続して配置された選択されたゲートの下方の蓄積位置を消去する一方で、連続した別のゲートの下方の蓄積位置を消去することのない消去処理手順に従って、いくつかの実施例では熱正孔消去を含む消去のためのバイアス配置を適用する。
ルと類似のダブルゲートメモリセルにおいてデータを読み出すバイアス配置を図示する。図7(A)および(B)では、ダブルゲートメモリセルの「ビット1」に対応し、ゲート電圧Vg1を印加されたゲート50の下方の電荷蓄積位置70に保存されたデータが、2ボルトを印加されたソース端またはドレーン端のいずれかで読み出される。図7(C)および(D)では、ダブルゲートメモリセルの「ビット2」に対応し、ゲート電圧Vg2を印加されたゲート51の下方の電荷蓄積位置71に保存されたデータが、2ボルトを印加されたソース端またはドレーン端のいずれかで読み出される。
ッピング層106、および底部誘電体107からなる電荷蓄積構造の上方に配置される。電荷トラッピング層106内の電荷蓄積位置104−1〜104−Nが、端子101と102の間の連続したチャンネル領域における基板の上方に配置される。図に示すように、バイアス配置は、ゲート電圧Vg1〜VgNを制御ゲート103−1〜103−Nに印加し、ソース電圧Vsを端子101に印加し、ドレーン電圧Vdを端子102に印加する。もちろん、ソースおよびドレイン電圧を端子102および101に、それぞれ逆に印加することが可能である。
131を誘発する。熱正孔は「ビット3」の蓄積位置に注入され、電子を置換し、ゲート103−3下方の蓄積位置に対するしきい値電圧を低下させる。
回路の別の実施例を図示する。本実施例では、第1の選択ゲート210および第2の選択ゲート211が、それぞれ、半導体本体およびゲート誘電体214、215の上方に実装される。第1および第2の選択ゲート210、211は、それぞれ、連続したゲートおよび多重ゲートメモリセルの電荷蓄積位置の下方の連続したチャネル領域の反対端の端子位置212と213の間に載置される。図19は、端子位置203および205のドーピングされた領域を除去している点で、図18の実施例と異なっている。第1の選択ゲート210および第2の選択ゲート211の下方に反転領域を誘発することによって、バイアス電圧は端子位置212および213を介して印加され、端子212および213から多重ゲートメモリセルの電荷蓄積位置の下方の連続したチャネル領域まで電圧を伝導する。
ート材料を、多重ゲートメモリセルが実装される基板の領域の上方に堆積する。ポリシリコンは、さまざまな公知技術を用いて堆積され得る。
する。
好適な、メモリセルの各ゲート下方の2つの電荷蓄積位置をプログラムするバイアス配置が、熱正孔注入に基づいて図31〜図34に図示される。図31に示されるように、ビット1−1が、図示されるようなバイアス配置を用いて熱正孔注入によってプログラムされ、すなわち、ゲート501が、Vg1=−5ボルトを印加され、ゲート502が、Vg2=+10ボルトを印加され、端子503が、Vs=+5ボルトを印加され、端子504が、Vd=0ボルトを印加され、基板が、Vb=0ボルトを印加される。バイアス配置は、ゲート502の相対的に高い電圧によってゲート502の下方に極性反転510を誘発する。また、端子503として機能するn+注入領域に隣接するチャネル領域において誘発された熱正孔が、記号511によって示されるように電荷蓄積構造に注入され、電子を置換し、ビット1−1に対する電荷蓄積位置のメモリセルのしきい値を低下させる。
4〜603−Nが、およそ+10ボルトなどの高電圧を印加され、選択されたゲート603−3が、およそ−5ボルトのVg3を印加される。端子601が、およそ0ボルトと等しいVsを印加され、端子602が、およそ+5ボルトと等しいVdを印加される。同様に、基板が、およそ0ボルトのVbを印加される。選択されないゲートの相対的に高い電圧は、反転領域625および626を誘発し、その反転領域は、端子601および602をゲート603−3下方のチャネル領域と結合する。記号627で示されるバンド間トンネリングで誘発される熱正孔が、制御ゲート603−3の下方の反転領域626の縁部において誘発され、電荷蓄積位置604−3−2へ注入され、選択されたゲート603−3に関連する蓄積位置右端のしきい値電圧を、対象プログラム状態まで低下させるために十分なほどになる。
ワード線と平行して配置され、制御信号SLG2を伝送するバイアス線と結合されるゲートを有する。また、ビット線BLN-3〜BLN+3は、バイアス電圧VsおよびVdの他方を、それぞれ選択ゲート720−726を介して多重ゲートメモリセル700−706の上部端子に伝達するために配置される。選択ゲート720−726は、ワード線と平行して配置され、制御信号SLG1を伝送するバイアス線と結合されるゲートを有する。ビット線BLN-3〜BLN+3は、通常、集積回路に金属層を用いて実装され、接点vias718および728などの接点viasを用いて選択ゲート710−716または720−726のソースまたはドレーン端子と結合される。図示されたアレイレイアウトでは、多重ゲートメモリセル706は、選択ゲート716および726を介して、ビット線BLN+3およびBLN+2にそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル705は、選択ゲート715および725を介して、ビット線BLN+1およびBLN+2にそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル704は、選択ゲート714および724を介して、ビット線BLN+1およびBLNにそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル703は、選択ゲート713および723を介して、ビット線BLN-1およびBLNにそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル702は、選択ゲート712および722を介して、ビット線BLN-1およびBLN-2にそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル701は、選択ゲート711および721を介して、ビット線BLN-3およびBLN-2にそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル700は、選択ゲート710および720を介して、ビット線BLN-3およびBLN-4(図示されない)にそれぞれ結合される。図46の実施例では、多重ゲートメモリセルは並列に配置され、単一の多重ゲートメモリセルのアレイのビット線への接続は、2つの選択ゲートによって制御される。2つの隣接する並列のセルのソースは一体化され、単一のビット線と結合される。同様に、2つの隣接する並列のセルのドレーンは一体化され、単一のビット線と結合される。
唯一の多重ゲートメモリセルをビット線と接続可能とするデコーディング機能を提供するために配置される。特に、選択ゲート721、723、725は、制御信号SLG1と結合されるゲート端子を有し、選択ゲート720、722、724、726は、制御信号SLG2と結合されるゲートを有する。同様に、選択ゲート711、713、715は、制御信号SLG4と結合されるゲート端子を有し、選択ゲート710、712、714、716は、制御信号SLG3と結合されるゲートを有する。その他の点では、配置は図46で記述された配置と同様である。図48の実施例では、単一の多重ゲートメモリセルへのビット線の接続が、2つの選択ゲートによって制御される。2つの隣接する並列のセルのソースは一体化され、単一のビット線と結合される。同様に、2つの隣接する並列のセルのドレーンは一体化され、単一のビット線と結合される。隣接する並列のセルが、同時に、共有されたビット線に接続されないように選択ゲートを制御する。
る。多重ゲートメモリセルの上部制御ゲート750〜756が、ワード線と平行して配置され、制御信号SLG1を伝送するバイアス線と結合される。また、水平ソース線769が、埋込み型ドーピング領域によって、または金属層によって実装され、バイアス電圧Vsを、多重ゲートメモリセル740〜746の底部端子に伝達するために配置される。底部制御ゲート760〜766が、ワード線と平行して配置され、制御信号SLG2を伝送するバイアス線と結合される。ビット線BLN-3〜BLN+3は、通常、集積回路に金属層を用いて実装され、接点via758などの接点viasを用いて多重ゲートメモリセルのドレーン端子と結合される。図示されたアレイレイアウトでは、多重ゲートメモリセル746は、その上部および底部制御ゲートの信号SGL1およびSLG2に対応して、ビット線BLN+3およびソース線769とそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル745は、その上部および底部制御ゲートの信号SGL1およびSLG2に対応して、ビット線BLN+2およびソース線769とそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル744は、その上部および底部制御ゲートの信号SGL1およびSLG2に対応して、ビット線BLN+1およびソース線769とそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル743は、その上部および底部制御ゲートの信号SGL1およびSLG2に対応して、ビット線BLNおよびソース線769とそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル742は、その上部および底部制御ゲートの信号SGL1およびSLG2に対応して、ビット線BLN-1およびソース線769とそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル741は、その上部および底部制御ゲートの信号SGL1およびSLG2に対応して、ビット線BLN-2およびソース線769とそれぞれ結合される。多重ゲートメモリセル740は、その上部および底部制御ゲートの信号SGL1およびSLG2に対応して、ビット線BLN-3およびソース線769とそれぞれ結合される。各セルの上部および底部制御ゲートは、低しきい値状態において上部および底部制御ゲートに関連する蓄積位置を保持するために作動され、上部および底部制御ゲートを、図47のアレイの実施例における選択ゲート710〜716および720〜726と類似の選択ゲートの代替として用いることを可能とする。図50の実施例では、セクタのすべての並列のセルのソースは一体化され、ビット線方向と直交する水平ソース線と結合される。各多重ゲートメモリセルのドレーンは、隣接するビット線と共有されていない単一のビット線と結合される。
、簡易なプロセスを用いて製造できる高密度メモリを提供する。さらに、比較的低電力でプログラム動作および消去動作を実行可能である。
2 制御ゲート
11 ゲート
12 上部誘電体
13 電荷トラッピング材料
14 底部誘電体
15 ドレーン端子
17 チャネル領域
20-26 領域
27-30 電荷蓄積構造
31-34 チャネル領域
50 制御ゲート
51 ゲート
52 上部誘電体
53 電荷トラッピング層
54 底部誘電体
55 端子
56 端子
57 基板
58 チャネル領域
60 記号
70 電荷蓄積位置
71 電荷蓄積位置
73 極性反転
74 極性反転
75 反転領域
76 熱正孔
77 反転領域
78 熱正孔
100 基板
101 第1の端子
102 第2の端子
103 制御ゲート
104 電荷蓄積位置
105 上部誘電体
106 電荷トラッピング層
107 底部誘電体層
110 記号
120 極性反転
125 反転領域
126 反転領域
127 反転領域
128 反転領域
130 熱正孔
131 熱正孔
150 回路
173−1〜N ゲート
174−1〜N+1 ゲート
184 電荷蓄積位置
201 ゲート
202 端子位置
203 端子位置
205 端子位置
206 端子位置
207 ゲート誘電体
208 ゲート誘電体
209 ゲート
210 選択ゲート
211 選択ゲート
212 端子位置
214 ゲート誘電体
220 選択ゲート
221 選択ゲート
250−257 ブロック
300 半導体基板
301 底部酸化物層
302 電荷トラッピング層
303 上部酸化物層
304x ゲート電極
304 ポリシリコン層
305 絶縁層
306x ゲート電極
307 ソース端子
308 ドレーン端子
317 ソース端子
318 ドレーン端子
340 絶縁体層
341-347 間隙
349 ドレーン注入
351-356 多層スタック
400 メモリアレイ
401 ロウデコーダ
402 ワード線
403 カラムデコーダ
404 ビット線
405 バス
406 ブロック
407 データバス
408 バイアス配置供給電圧
409 バイアス配置状態マシン
411 データイン線
412 データアウト線
450 集積回路
500 半導体基板
501 ゲート
501 制御ゲート
502 制御ゲート
503 ソース端子
504 ドレーン端子
505 記号
506 記号
510 極性反転
511 記号
512 極性反転領域
513 記号
514 極性反転領域
515 記号
516 極性反転
517 記号
600 半導体本体
601 n型端子
602 n型端子
603 制御ゲート
604 電荷蓄積位置
605 上部誘電体
606 電荷トラッピング誘電体
607 底部誘電体
610 記号
611 記号
615 反転領域
617 記号
625 反転領域
626 反転領域
627 記号
635 反転領域
645 反転領域
700 多重ゲートメモリセル
701 多重ゲートメモリセル
702 多重ゲートメモリセル
703 多重ゲートメモリセル
704 多重ゲートメモリセル
705 多重ゲートメモリセル
706 多重ゲートメモリセル
710-716 選択ゲート
719 水平ソース線
720−725 選択ゲート
740−746 多重ゲートメモリセル
750-756 上部制御ゲート
760-766 底部制御ゲート
769 水平ソース線
800 セクタ
801 セクタ
802 接点
806 接点
809 接点i インデックス
Claims (20)
- 半導体本体と、
連続的に配置された最初のゲート、および連続的に配置された最後のゲートを有し、連続した隣接するゲートから、連続したゲートを隔離する絶縁部材を備えた、前記半導体本体に連続的に配置された複数のゲートと、
連続した前記複数のゲートの2つ以上の下方に電荷トラッピング位置を有する、前記半導体本体の電荷蓄積構造と、
ソースおよびドレーンバイアス電圧を、連続した前記最初のゲートに近接する前記半導体本体へ、および、連続した前記最後のゲートに近接する前記半導体本体へ伝導する回路と、
ゲートバイアス電圧を前記複数のゲートに伝導する回路とを有し、
前記半導体本体は、連続した前記複数のゲートの下方に、n型およびp型の導電性の一方を有する連続した多重ゲートチャネル領域、ならびに、
連続した前記複数のゲートの内の前記2つ以上の各ゲートの下方の電荷トラッピング位置にデータを保存するために、ソースおよびドレーンバイアス電圧を伝導する前記回路、ならびに、ゲートバイアス電圧を伝導する前記回路を制御するコントローラとを有し、前記コントローラは、連続した前記複数のゲートの内の前記2つ以上の各ゲートの下方の前記蓄積位置に対するプログラム処理手順、消去処理手順、および読出し処理手順を制御するために配置され、前記消去処理手順は、連続した別のゲートの下方の蓄積位置を消去することなく、前記多重ゲートメモリセルにおいて連続した選択されたゲートの下方の蓄積位置を消去することを含むことを特徴とする集積回路メモリデバイス。 - 連続したすべての前記ゲートの下方に電荷トラッピング位置を有することを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- ソースおよびドレーンバイアス電圧を伝導する前記回路が、ビット線として配置された導電性材料を有し、ゲートバイアス電圧を伝導する前記回路が、ワード線として配置された導電性材料を有することを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記消去処理手順が、連続した前記選択されたゲートの下方の前記電荷トラッピング位置への正孔注入電流を誘発することを含むことを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記消去処理手順が、連続した別のゲートの下方の蓄積位置を消去することなく、連続した前記選択されたゲートの下方の前記電荷トラッピング位置への正孔注入電流を誘発することを含み、前記プログラム処理手順が、連続した別のゲートの下方の蓄積位置をプログラムすることなく、連続した選択されたゲートの下方の前記電荷トラッピング位置への電子注入電流を誘発することを含むことを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記多重ゲートメモリセルが、連続した前記最初のゲートに隣接する第1の端子位置を有し、連続した前記最後のゲートに隣接する第2の端子位置を有し、前記消去処理手順が、前記選択されたゲートの下方の領域の一端または両端における、前記基板から前記選択されたゲートの下方の前記電荷蓄積構造へのバンド間トンネリングで誘発される熱正孔注入により、正孔注入電流を誘発することを含むことを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記電荷蓄積構造が、底部誘電体層、電荷トラッピング誘電体層、および上部誘電体層を有する誘電体スタックからなることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記電荷蓄積構造が、底部誘電体層、電荷トラッピング誘電体層、および上部誘電体層を有する誘電体スタックからなり、前記電荷トラッピング誘電体層が、シリコン窒化物からなることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 前記連続したゲートが、3つ以上のゲートを有し、前記電荷蓄積構造が、前記連続したゲートの中の3つ以上のゲートの下方に電荷トラッピング位置を有することを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 半導体本体と、
前記半導体本体に渡設する複数のワード線と、
一般に、前記半導体本体を横断する前記複数のワード線と互いに直交するように配置される複数のビット線と、
前記複数のワード線および前記複数のビット線と結合される、前記半導体本体のデコーディング回路と、
前記複数のワード線および前記複数のビット線と結合される多重ゲート蓄積素子アレイと、ここで、個々の前記多重ゲート蓄積素子は、
連続的に配置された最初のゲート、および連続的に配置された最後の
ゲートを有し、連続した隣接するゲートから、連続したゲートを
隔離する絶縁部材を備えた、連続的に配置され、前記複数のワー
ド線の中の個々のワード線と結合される複数のゲートと、
連続した前記複数のゲートの2つ以上の下方に電荷トラッピング位置
を有する、前記半導体本体の電荷蓄積構造と、
連続した前記複数のゲートの下方に、n型およびp型の導電性の一方
を有する連続した多重ゲートチャネル領域と、
少なくとも前記ソースおよびドレーン端子の一方が前記複数のビット
線の中のビット線と結合される、連続した前記最初のおよび最後
のゲートに近接するソースおよびドレーン端子とを有し、
連続した前記複数のゲートの内の前記2つ以上の各ゲートの下方の電荷トラッピング位置にデータを保存するために、前記複数のワード線および前記複数のビット線を制御し、ソースおよびドレーンバイアス電圧、ならびに、ゲートバイアス電圧を伝導するコントローラとを有し、前記コントローラは、連続した前記複数のゲートの内の前記2つ以上の各ゲートの下方の前記蓄積位置に対するプログラム処理手順、消去処理手順、および読出し処理手順を制御するために配置され、前記消去処理手順は、連続した別のゲートの下方の蓄積位置を消去することなく、前記多重ゲートメモリセルにおいて連続した選択されたゲートの下方の蓄積位置を消去することを含むことを特徴とする集積回路メモリデバイス。 - 連続したすべての前記ゲートの下方に電荷トラッピング位置を有することを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
- 前記消去処理手順が、連続した前記選択されたゲートの下方の前記電荷トラッピング位置への正孔注入電流を誘発することを含むことを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
- 前記消去処理手順が、連続した別のゲートの下方の蓄積位置を消去することなく、連続した前記選択されたゲートの下方の前記電荷トラッピング位置への正孔注入電流を誘発することを含み、前記プログラム処理手順が、連続した別のゲートの下方の蓄積位置をプログラムすることなく、連続した選択されたゲートの下方の前記電荷トラッピング位置への電子注入電流を誘発することを含むことを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
- 前記消去処理手順が、前記選択されたゲートの下方の領域のソース端およびドレーン端の一方または両方における、前記基板から前記選択されたゲートの下方の前記電荷蓄積構造へのバンド間トンネリングで誘発される熱正孔注入により、正孔注入電流を誘発することを含むことを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
- 前記電荷蓄積構造が、底部誘電体層、電荷トラッピング誘電体層、および上部誘電体層を有する誘電体スタックからなることを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
- 前記電荷蓄積構造が、底部誘電体層、電荷トラッピング誘電体層、および上部誘電体層を有する誘電体スタックからなり、前記電荷トラッピング誘電体層が、シリコン窒化物からなることを特徴とする請求項10に記載のデバイス。
- 前記連続したゲートが、3つ以上のゲートを有し、前記電荷蓄積構造が、
前記連続したゲートの中の3つ以上のゲートの下方に電荷トラッピング位置を有することを特徴とする請求項10に記載のデバイス。 - 集積回路メモリデバイスを動作させるための方法において、
前記デバイスは、半導体本体と、連続的に配置された最初のゲート、および連続的に配置された最後のゲートを有し、連続した隣接するゲートから、連続したゲートを隔離する絶縁部材を備えた、前記半導体本体に連続的に配置された複数のゲートと、連続した前記複数のゲートの2つ以上の下方に電荷トラッピング位置を有する、前記半導体本体の電荷蓄積構造とを有し、前記半導体本体は、連続した前記複数のゲートの下方に、n型およびp型の導電性の一方を有する連続した多重ゲートチャネル領域を有する、集積回路メモリデバイスを動作させるための方法であって、前記方法は、選択されたゲートにおいてデータをプログラムするバイアス配置を適用し、
消去する前記バイアス配置が、
前記多重ゲートチャネル領域における前記半導体本体に、基板バイアス条件を適用し、
連続した前記最初の、および、最後のゲートの一方に近接する前記半導体本体に、ソースバイアス条件を適用し、
連続した前記最初の、および、最後のゲートの他方に近接する前記半導体本体に、ドレーンバイアス条件を適用し、
連続した前記複数のゲートに、消去用のゲートバイアス条件を適用し、前記ゲートバイアス条件は、前記選択されたゲートにおいて前記低しきい値状態を確立するために、連続した選択されたゲートの下方の前記電荷トラッピング位置からの電子射出、または前記電荷トラッピング位置への正孔注入を誘発するために十分な大きさの電圧を有し、前記他のゲートの下方の前記多重ゲートチャネル領域において極性反転を誘発するために十分な大きさの連続した他のゲートについての極性反転電圧を有し、
プログラムする前記バイアス配置は、
前記多重ゲートチャネル領域における前記半導体本体に、基板バイアス条件を適用し、
連続した前記最初の、および、最後のゲートの一方に近接する前記半導体本体に、ソースバイアス条件を適用し、
連続した前記最初の、および、最後のゲートの他方に近接する前記半導体本体に、ドレーンバイアス条件を適用し、
連続した前記複数のゲートに、プログラム用のゲートバイアス条件を適用し、
前記ゲートバイアス条件は、高しきい値状態を確立するために、連続して配置された選択されたゲートについての前記基板バイアス条件に比例し、前記選択されたゲートの下方の電荷トラッピング位置への電子注入電流を誘発するために十分な大きさのプログラム電圧を有し、前記他のゲートの下方の電荷蓄積位置への有意の電子注入を生じることなく、前記他のゲートの下方の前記多重ゲートチャネル領域において極性反転を誘発するために十分な大きさの連続した他のゲートについての極性反転電圧を有することを特徴とする集積回路メモリデバイスを動作させるための方法。 - 請求項18に記載の方法において、さらに、読み出すバイアス配置を適用することが、
前記多重ゲートチャネル領域における前記半導体本体に、基板バイアス条件を適用し、
連続した前記最初の、および、最後のゲートの一方に近接する前記半導体本体に、ソースバイアス条件を適用し、
連続した前記最初の、および、最後のゲートの他方に近接する前記半導体本体に、ドレーンバイアス条件を適用し、
連続した前記複数のゲートにゲートバイアス条件を適用し、前記ゲートバイアス条件は、連続して配置された選択されたゲートについての前記基板バイアス条件に比例し、前記低しきい値状態に対するしきい値電圧よりも高い読出し電圧を有し、前記他のゲート
の下方の前記多重ゲートチャネル領域において極性反転を誘発するために十分な大きさを有し、前記高しきい値状態よりも高い、連続した他のゲートについての極性反転電圧を有することを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 前記消去処理手順が、
消去されるべき連続した前記複数のゲート中の2つ以上の要素を有するゲートの集合を同定し、
ゲートの前記集合中の第1の選択されたゲートに対して、消去用の前記ゲートバイアス条件を適用し、ソース端およびドレーン端の一方または両方に、前記第1の選択されたゲート下方の前記電荷蓄積位置へのバンド間トンネリングによる熱正孔注入を誘発し、
ゲートの前記集合中の隣接する選択されたゲートに対して、消去用の前記ゲートバイアス条件を適用し、ソース端およびドレーン端の一方または両方に、前記隣接する選択されたゲート下方の前記電荷蓄積位置へのバンド間トンネリングによる熱正孔注入を誘発し、前記集合中のすべての前記ゲートに、消去用の前記ゲートバイアス条件を適用するまで反復することを特徴とする請求項18に記載の方法。
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