JP2006020138A - 圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 励振電極27a〜27c,28a〜28cが形成された振動部21と、該振動部21を支えると共に、前記励振電極と導通する電極パターンが形成された複数の支持部23a〜23dとを備えた水晶振動子20において、前記支持部23a〜23dの構造的欠損を前記振動部21の電気容量の変化として検出するために、前記電極パターンが、前記励振電極と導通する支持部の表面または裏面のいずれか一方に形成、あるいは、前記支持部内の全周に亘って引き回して形成した。
【選択図】 図1
Description
21,31 振動部
23a〜23d 支持部
24a,24b 端子電極
27a〜27c 励振電極
28a〜28c 励振電極
33,36 支持部
34a,34b 端子電極
37a,37b 励振電極
Claims (5)
- 励振電極が形成された振動部と、該振動部を支えると共に、前記励振電極と導通する電極パターンが形成された複数の支持部とを備えた圧電振動子において、
前記支持部の構造的欠損を前記振動部の電気容量の変化として検出するために、前記電極パターンが、前記励振電極と導通する支持部の表面または裏面のいずれか一方に形成、あるいは、前記支持部内の全周に亘って引き回し形成されたことを特徴とする圧電振動子。 - 励振電極が形成された振動部と、この振動部の外周部の一端を支持すると共に前記励振電極と導通する電極パターンが形成された二以上の支持部と、この支持部を介して前記励振電極に電圧を印加する端子電極部とを備えた圧電振動子において、
前記励振電極は、前記一の支持部に形成された電極パターンによって、前記端子電極部と導通することを特徴とする圧電振動子。 - 四隅に振動節点を有し、表面及び裏面に極性が交互に反転するように配列される複数の励振電極が形成された振動部と、前記振動節点を支持すると共にこの振動節点を介して前記それぞれの励振電極と導通する電極パターンが表面及び裏面に形成された四本の支持部と、この支持部を介して前記それぞれの励振電極に対応した極性の電圧を印加する一対の端子電極部とを備えた圧電振動子において、
前記振動部の表面と裏面に交互に配設される同一極性の励振電極同士が、この振動部の側面を迂回させた電極パターンによって、一方向に導通接続されると共に、前記電極パターンが前記一の支持部の表面あるいは裏面に形成された電極パターンを介して、対応する極性の端子電極部に導通接続されることを特徴とする圧電振動子。 - 励振電極が形成された振動部と、この振動部の対向する二辺の一端を節点とし、この節点からそれぞれ外方向に延びる屈曲した支持部と、この支持部に形成された電極パターンを介して前記励振電極に対応した極性の電圧を印加する端子電極部とを備えた圧電振動子において、
前記支持部には、この支持部の形状に沿って形成され、前記それぞれの端子電極部から対応する励振電極に向けた一系統の連続した電極パターンが形成されていることを特徴とする圧電振動子。 - 表面及び裏面に一対の励振電極が形成された振動部と、この振動部の対向する二辺の一端からそれぞれ外方向に延び、分岐された腕部によって閉ループ状の屈曲部が形成された支持部と、この支持部の表面及び裏面に形成された電極パターンを介して前記それぞれの励振電極に対応した極性の電圧を印加する一対の端子電極部とを備えた圧電振動子において、
前記支持部の表面及び裏面には、前記それぞれの腕部の間を折り返すことによって、前記屈曲部全体に沿った一系統の連続した電極パターンが形成されていることを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004196740A JP4571830B2 (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004196740A JP4571830B2 (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | 圧電振動子 |
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JP2006020138A true JP2006020138A (ja) | 2006-01-19 |
JP4571830B2 JP4571830B2 (ja) | 2010-10-27 |
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JP2004196740A Expired - Fee Related JP4571830B2 (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | 圧電振動子 |
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JP (1) | JP4571830B2 (ja) |
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