JP5144004B2 - 慣性センサ素子 - Google Patents
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ここで、H型構造の慣性センサ素子を例に説明すると、H型構造の慣性センサ素子は、基部と、断面が矩形形状であって基部から平行に延出する2本の腕部とから構成されている。また、基部より上側の腕部には当該腕部を屈曲振動させるために電圧を印加する励振電極が備えられ、基部よりも下側の腕部には基部より上側の腕部が振動するとともにY´軸を中心とする角速度が加わると生じるコリオリの力によって発生した電荷を検出する検出電極が備えられている。
この電荷を検出電極によって検出することにより、角速度の大きさと向きを知ることができる。
このような慣性センサ素子の場合、励振電極に電圧を印加すると、励振電極の陰極と陽極との位置関係が相対するように対向していないので、つまり、直交する位置となっているので、腕部内を電界が一様に作用しないこととなる(例えば、特許文献1参照)。
例えば、圧電素子が水晶からなる場合、等価直列抵抗R1と等価直列容量C1と等価直列インダクタンスL1との直列接続に、電極間容量C0が並列に接続した回路が等価回路として近似されるが、一般に、X軸方向の電界成分が大きいほど等価直列抵抗R1が小さくなる。また、等価直列抵抗R1が小さくなることによりQ値が大きくなる。ここで、インピーダンスが小さいほど周波数特性に与える影響が小さく、また、Q値が大きいほど振動が減衰しにくくなる。また、Q値が大きいほど角速度検出感度が増大する。
したがって、断面が矩形形状となっている慣性センサ素子の腕部の四面に励振用電極を設けているため、この慣性センサ素子を小型化すると等価直列抵抗R1が大きくなり、高い角速度検出感度や起動時間等が得られなかった。
この腕部を励振用腕部とする場合は、接合電極と相対する位置となるように各延出部に形成された電極が励振用電極となる。また、この腕部を検出用腕部とする場合は、接合電極と相対する位置となるように各延出部に形成された電極が検出用電極となる。
したがって、励振時に延出部(腕部)内に生じる電界は、接合電極と電極とが相対する位置となっていることにより一様に延出部(腕部)内に生じるため、X軸方向の電界成分が大きくなり、等価回路における等価直列抵抗R1の値を減少させることができるようになっている。
したがって、角速度検出感度や起動時間等への影響が軽減され、角速度検出感度が大きく、起動時間を早くすることができる。
所定の腕部が励振用腕部である場合は、接合電極と相対する位置となるように延出部に形成された電極が励振用電極となる。また、他の腕部が検出用腕部である場合は、接合電極と相対する位置となるように延出部に形成された電極が検出用電極となる。
したがって、延出部(腕部)内に生じる電界は、接合電極と電極とが相対する位置となっていることにより一様に延出部(腕部)内に生じるため、X軸方向の電界成分が大きくなり、等価回路における等価直列抵抗R1の値を減少させることができるようになっている。
また、各実施形態において、圧電素子に水晶を用いた場合について説明する。
また、特別に説明する場合を除き、各実施形態における慣性センサ素子の各軸の方向として前記のとおり、X´軸、Y´軸、Z´軸とするが、本発明はこれに限定されず、これらが、X軸、Y軸、Z軸と同一となっても良い。
図1は、本発明の第一の実施形態に係る慣性センサ素子の一例を示す斜視図である。図2は、接合電極同士を接合する前の状態を示す模式図である。図3(a)は図1のA−A断面図であり、図3(b)は、図1のB−B断面図である。
これら第一の基部12A,12Aには、図2に示すように、パッケージ(図示せず)に慣性センサ素子を固定するための支持部15C,15Cを設けることができるようになっている。同様に、第二の基部12Bには、パッケージ(図示せず)に慣性センサ素子10を固定するための支持部15A,15Bを設けることができるようになっている。
なお、第一の基部12Aを含み、第一の基部12Aを挟んだ延出部111,111の一つの面は、凹凸のない一様な平面となっていることが望ましい。
また、第二の基部12Bの両端からは延出部112が平行に延出している。この延出部112は、断面が矩形形状であって、第二の基部12Bに対して対称に延出して、第二の基部12Bを含めた全体の平面形状がH型に形成されている。
なお、第二の基部12Bを含み、第二の基部12Bを挟んだ延出部112,112の面は、凹凸のない一様な平面となっていることが望ましい。
また、第二の基部12Bをまたいで延出部112,112に形成される凹凸のない一様な平面の全体に接合電極13が形成されるとともに、延出部112,112に、この接合電極13と相対する位置となるように電極14,14が形成される(電極形成工程)。
なお、接合電極13と、電極14とはAu(金)で形成されているが、これに限定されない。
例えば、接合電極13,13にAuが用いられる場合であって、当該接合電極13,13同士の接合にGGI接合を用いた場合は、第二の基部12Bとこれから延出している延出部112を固定し、第二の基部12Bをまたいで延出部112,112の平面に形成された接合電極13と、第一の基部12Aをまたいで延出部111,111の平面に形成された接合電極13とを向かい合わせの状態にし、第一の基部12A又は/及び第二の基部12Bに超音波をかけながら、接合電極13同士を押し当てつつ温度を上昇させて互いの接合電極13を接合させる。なお、固定側となる部材は、適宜変更しても良い。
また、陽極接合においても、互いの接合電極13同士を接合することができる。
なお、本発明はこれに限定されず、励振用腕部11Aをセンサ基部12に対して紙面下方に位置させ、検出用腕部11Bを、紙面上方に位置させても良い。
例えば、検出用腕部11Bには、第一の基部12Aから延出する延出部111に極性の異なる二つの検出用電極14B,14Bが形成され、第二の基部12Bから延出する延出部112にも、極性の異なる二つの検出用電極14B,14Bが形成され、相対する延出部111の検出用電極14B,14Bと延出部112の検出用電極14B,14Bとの極性が異なるようになっている。
これにより、角速度検出感度や起動時間等への影響が軽減され、角速度検出感度が大きく、起動時間が早い慣性センサ素子とすることができる。
次に、図4(a),(b)に示すように、本発明の第二の実施形態に係る慣性センサ素子20について説明する。この慣性センサ素子20は、音叉構造となっている点で第一の実施形態と異なる。
図4(a)は、本発明の第二の実施形態に係る慣性センサ素子の一例を示す側面模式図であり、(b)は、本発明の第二の実施形態に係る慣性センサ素子の一例を示す斜視図である。
したがって、励振用腕部11Aと検出用腕部11Bとの位置関係が第一の実施形態と比べて異なっていても、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
例えば、電極14Aは延出部111の一つの面の全面に設けられる必要はなく、第一の基部12Aの一部分に至る位置から延出部111の端部から離れた位置の間に設けられても良い。
11 腕部
11A 励振用腕部
11B 検出用腕部
111,112 延出部
12 センサ基部
12A 第一の基部
12B 第二の基部
13 接合電極
14 電極
14A 励振用電極
14B 検出用電極
Claims (1)
- 2つの第一の基部と1つの第二の基部とから構成されるセンサ基部と、
印加された電圧により屈曲振動をする励振用腕部と、
前記励振用腕部が屈曲運動するとともに所定の回転軸を中心に角速度が加わって生じるコリオリの力によって発生した電荷を検出する検出用腕部と
を備えた圧電素子を用いた慣性センサ素子であって、
前記第一の基部から延出する延出部と、
前記第一の基部と前記第一の基部から延出する延出部とにわたって形成されているX’軸が法線の凹凸のない一様な平面の全体に設けられる接合電極と、
前記第一の基部と前記第一の基部から延出する延出部とにわたって形成されているX’軸が法線の凹凸のない一様な平面の全体に設けられる接合電極と相対する位置となるように前記第一の基部から延出する延出部に設けられる電極と、
前記第二の基部から平行一対に延出する延出部と、
前記第二の基部と前記第二の基部から平行一対に延出する延出部とにわたって形成されているX’軸が法線の凹凸のない一様な平面の全体に設けられる接合電極と、
前記第二の基部と前記第二の基部から平行一対に延出する延出部とにわたって形成されているX’軸が法線の凹凸のない一様な平面の全体に設けられる接合電極と相対する位置となるように前記第二の基部から延出する延出部に設けられる電極と、
を備え、
前記第一の基部と前記第一の基部から延出する延出部とにわたって形成されているX’軸が法線の凹凸のない一様な平面の全体に設けられる接合電極と、前記第二の基部と前記第二の基部から平行一対に延出する延出部とにわたって形成されているX’軸が法線の凹凸のない一様な平面の全体に設けられる接合電極とが接合されて、前記第一の基部から延出する延出部と前記第二の基部から平行一対に延出する延出部とが相対するように配列されて音叉構造に形成され、
前記第一の基部と前記第一の基部から延出する延出部とにわたって形成されているX’軸が法線の凹凸のない一様な平面の全体に設けられる接合電極と、前記第二の基部と前記第二の基部から平行一対に延出する延出部とにわたって形成されているX’軸が法線の凹凸のない一様な平面の全体に設けられる接合電極とを介して配列された、所定の前記第一の基部から延出する延出部と前記第二の基部から平行一対に延出する延出部とが前記励振用腕部である場合は、前記第一の基部から延出する延出部と前記第二の基部から平行一対に延出する延出部に設けられた電極が励振用電極となり、
前記第一の基部と前記第一の基部から延出する延出部とにわたって形成されているX’軸が法線の凹凸のない一様な平面の全体に設けられる接合電極と、前記第二の基部と前記第二の基部から平行一対に延出する延出部とにわたって形成されているX’軸が法線の凹凸のない一様な平面の全体に設けられる接合電極とを介して配列された、所定の前記第一の基部から延出する延出部と前記第二の基部から平行一対に延出する延出部とが前記検出用腕部である場合は、前記第一の基部から延出する延出部と前記第二の基部から平行一対に延出する延出部に設けられた電極が検出用電極となるように構成される
ことを特徴とする慣性センサ素子。
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