JP2006015302A - 液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法 - Google Patents
液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 液滴吐出装置10では、液滴吐出ヘッド22に乾燥防止用キャップ部材761を装着した際、液滴吐出ヘッド22のノズル形成面と乾燥防止用キャップ部材761との間に構成される密閉空間87内に対して、溶剤タンク88から有機溶剤M′の蒸気が供給される。このため、ノズル27内での液状物の乾燥が防止されるので、ノズル27の詰まりを防止できる。
【選択図】 図5
Description
図1は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。図2は、図1に示す液滴吐出装置の要部を示す斜視図、および正面図である。なお、液滴吐出装置によってカラーの表示装置を製造する場合、通常、R、G、Bの3色の画素を形成する必要がある。従って、液滴吐出装置については、1台で各色に対応する液滴を吐出可能に構成するか、所定の色に対応するものを複数台、準備することになるが、以下の説明では、後者において複数、準備した液滴吐出装置のうちの1台を説明する。
図3は、液滴吐出ヘッド22の構成を示す説明図である。図4(A)、(B)はそれぞれ、液滴吐出ヘッド22の内部構造を模式的に示す説明図である。なお、液滴吐出ヘッド22は、共通のキャリッジ26に複数、保持されているが、それらは基本的に同一構成であるので、その1つを例に挙げて説明する。
図5(A)、(B)は、図1に示す液滴吐出装置において、ノズルの詰まりを防止するための機構の説明図である。
以上説明したように、本形態液滴吐出装置10では、休止期間中の液滴吐出ヘッド22のノズル27の乾燥を防止するために、液滴吐出ヘッド22のノズル形成面271を乾燥防止用キャップ部材761で覆った際、ノズル形成面271と乾燥防止用キャップ部材761との間に形成される密閉空間に対して有機溶剤M′の蒸気が供給される。このため、液滴吐出ヘッド22を長期間休止したような場合でも、ノズル27は、常に溶剤蒸気に晒されているので、ノズル27内からは有機溶剤が揮発し難い。従って、本形態によれば、ノズル27の孔詰まりを防止できるので、液滴吐出ヘッド22の寿命を延ばすことができ、かつ、吐出異常が発生しないので、歩留まりを向上することができる。また、ヘッドクリーニングの回数を減らすことができるので、当該クリーニングによって液状物Mが無駄に消費されることを回避でき、液状物Mの利用効率を高めることができる。
電気光学装置の一例として、有機EL表示装置の構成およびその製造工程を説明する。図6は、電気光学物質として電荷注入型の有機薄膜を用いたEL素子を備えた有機EL表示装置のブロック図である。図7〜図9は、有機EL表示装置の製造工程の手順を示す製造工程断面図であり、有機EL表示装置の1画素分の断面に相当する。
なお、上記形態では、本発明を有機EL表示装置の製造工程に用いた例であったが、液晶表示装置のカラーフィルタ(画素構成要素)の形成などに本発明を適用してもよい。また、有機溶剤を主溶媒として用いた溶剤系のインクを吐出する場合に本発明を適用してもよい。
Claims (9)
- 溶質を第1の有機溶剤に溶解あるいは分散させた液状物を液滴として吐出する複数のノズルがノズル形成面で開口する液滴吐出ヘッドと、
該液滴吐出ヘッドが休止状態にあるときに前記ノズル形成面との間に密閉空間を形成するように当該ノズル形成面を覆う乾燥防止用キャップ部材と、
前記溶質を溶解可能あるいは分散可能な第2の有機溶剤が貯留され、前記乾燥防止用キャップ部材が前記ノズル形成面を覆ったときに前記密閉空間に連通する溶剤貯留部とを有し、
前記乾燥防止用キャップ部材は、少なくとも前記ノズル形成面と当接する部分が、耐溶剤性を備えた弾性材料から構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1において、前記弾性材料は、フッ素系エラストマーであることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1または2において、前記第2の有機溶剤は、沸点が200℃以下であることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1ないし3のいずれかにおいて、前記ノズルが前記液滴を吐出している間、前記乾燥防止用キャップ部材を覆う蓋部材を有していることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項4において、前記液滴吐出ヘッドは、ガイド軸上に支持された状態で当該ガイド軸に沿って前記ノズルから前記液滴を吐出する液滴吐出位置と、前記乾燥防止用キャップ部材に覆われる休止位置との間を移動可能に構成され、
前記蓋部材は、前記ガイド軸上に支持された状態で当該ガイド軸に沿って前記休止位置まで移動して前記乾燥防止用キャップ部材を覆うことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1ないし5のいずれかにおいて、前記乾燥防止用キャップ部材は、枠状のシール部材と、該シール部材を開口縁に備えたカップ状のキャップホルダとを備え、
前記シール部材が前記弾性材料から構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1ないし6のいずれかにおいて、前記溶剤貯留部に貯留されている有機溶剤を加熱する溶剤加熱装置を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1ないし7のいずれかにおいて、前記乾燥防止用キャップ部材と前記溶剤貯留部との間に、前記溶剤貯留部から前記乾燥防止用キャップ部材への溶剤蒸気の供給量を調整可能なバルブを備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1ないし8のいずれかに規定する液滴吐出装置を用いて電気光学装置用基板上に前記液滴を吐出して、当該電気光学装置用基板上に画素構成要素を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
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