JP4706216B2 - 液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧力発生素子を作動させて圧力発生室を膨張、収縮させることによりノズル開口から液滴を吐出させる液滴吐出装置、および該液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法に関するものである。さらに詳しくは、圧力発生素子に対する駆動技術に関するものである。

液滴吐出装置では、複数のノズル開口の各々に対応する圧力発生素子を作動させ、複数のノズル開口の各々に連通する圧力発生室を膨張、収縮させることにより、ノズル開口から液滴を吐出させる。ここで、図１５に示すように、圧力発生素子に印加される駆動信号ＣＯＭは、中間電位Ｖmから最高電位ＶPSまで電位を変化させて圧力発生室を初期状態から膨張させる吐出用膨張要素Ｓ１と、最高電位ＶPSを保持して圧力発生室の膨張状態を保持する第１ホールド要素Ｓ２と、最高電位ＶPSから最低電位ＶLSまで電位を変化させて膨張状態の圧力発生室を収縮させてインク滴を吐出させる吐出用収縮要素Ｓ３と、最低電位ＶLSを保持して圧力発生室の収縮状態を保持する第２ホールド要素Ｓ４と、最低電位ＶLSから中間電位Ｖmに変化させて収縮状態にある圧力発生室を初期状態にまで復帰させる第３の制振要素Ｓ５とを含んでいる。
特開２００３−９４６２９号公報

しかしながら、図１５に示す駆動信号で圧力発生素子を駆動すると、５ｍＰａ・ｓｅｃ程度の液状物の液滴であれば適正に吐出できるが、有機ＥＬ装置の発光層を形成するための分散系、溶剤系の液状物や、液晶装置のカラーフィルタを形成するための高濃度の液状物、さらには捺染などの分野で用いる特殊なインクなど、吐出時の粘度が１０ｍＰａ・ｓｅｃ以上の液状物の液滴を吐出すると、吐出した液滴に飛行曲がりが発生しやすく、かつ、ミストも発生しやすいという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、液滴の粘度が高い場合でも、液滴の飛行曲がりやミストの発生を防止することのできる液滴吐出装置、およびこの液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明では、複数のノズル開口の各々に対応する圧力発生素子を作動させ、前記複数のノズル開口の各々に連通する圧力発生室を膨張、収縮させて前記ノズル開口から液滴を吐出させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えた液滴吐出装置において、前記駆動信号には、少なくとも、前記圧力発生室を膨張させる際の速度を時間とともに変化させるように電位勾配（時間に対する電位の変化量）が変化する膨張要素を含んでいることを特徴とする。
本発明は、複数のノズル開口の各々に対応する圧力発生素子を作動させ、前記複数のノズル開口の各々に連通する圧力発生室を膨張、収縮させて前記ノズル開口から液滴を吐出させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えた液滴吐出装置において、前記駆動信号に基づいて前記圧力発生素子に印加される電位は、前記圧力発生室を膨張させるための最高電位と、前記圧力発生室を収縮させるための最低電位と、前記最高電位と前記最低電位との間の第一中間電位と、前記最高電位と前記第一電位との間の第二中間電位と、前記最高電位と前記第二中間電位との間の第三中間電位とを有し、前記第一中間電位から前記最高電位まで上昇させることにより前記圧力発生室を膨張させる第一期間と、前記第一期間の後に、前記最高電位から前記最低電位へ下降させることにより前記圧力発生室を収縮させる第二期間と、前記第二期間の後に、前記最低電位から前記第一中間電位まで上昇させることにより前記圧力発生室を膨張させる第三期間と、を有し、前記第一期間は、さらに前記第一中間電位から前記第二中間電位まで一定の第一電位勾配で上昇させることにより前記圧力発生室を膨張させる第一膨張期間と、前記第一膨張期間の後であって前記第二中間電位から前記第三中間電位まで一定の第二電位勾配で上昇させることにより前記圧力発生室を膨張させる第二膨張期間と、前記第二膨張期間の後であって前記第三中間電位から前記最高電位まで一定の第三電位勾配で上昇させることにより前記圧力発生室を膨張させる第三膨張期間と、を有し、前記第一電位勾配は前記第二電位勾配よりも小さく、前記第二電位勾配は前記第三電位勾配よりも小さいことを特徴とする。

本発明は、本願発明者が、粘度が高い液状物を吐出する際の液滴の飛行曲がりやミストの発生を抑えることを目的に駆動信号を種々検討した結果、到達したものであり、圧力発生室を膨張させる際の速度を時間とともに変化させるように電位勾配が変化する膨張要素を含む駆動信号を用いる。その結果、有機ＥＬ装置の発光層を形成するための分散系、溶剤系の液状物や、液晶装置のカラーフィルタを形成するための高濃度の液状物、さらには捺染などの分野で用いる特殊なインクなど、粘度が１０ｍＰａ・ｓｅｃを越える液状物でも液滴を好適に吐出することができ、液滴の飛行曲がりやミストの発生を防止することができる。その理由については、その詳細を解析中であるが、圧力発生室を膨張させる際の速度を時間とともに変化させると、粘度が高い液状物であっても、圧力発生室の膨張に液状物が追従できるからであると考えられる。

本発明において、前記駆動信号は、前記膨張要素として、例えば、前記圧力発生室から前記液滴を吐出するために当該圧力発生室を膨張させる吐出用膨張要素を含んでいる。本発明において、前記駆動信号は、前記膨張要素として、前記液滴を吐出する際に収縮した前記圧力発生室を初期状態まで膨張させるための制振用膨張要素を含んでいる構成であってもよい。本発明において、前記駆動信号は、前記膨張要素として、前記圧力発生室から前記液滴を吐出するために当該圧力発生室を膨張させる吐出用膨張要素、および前記液滴を吐出する際に収縮した前記圧力発生室を初期状態まで膨張させるための制振用膨張要素の双方を含んでいることが好ましい。

本発明において、前記吐出用膨張要素は、前記圧力発生室の膨張速度が時間ととともに増大するように電位勾配が変化していることが好ましい。吐出用膨張要素では、圧力発生室が収縮する直前における膨張速度が大であることが求められるので、吐出用膨張要素に本発明を適用する際、圧力発生室の膨張速度が時間ととともに増大するように電位勾配を変化させれば、このような条件を満たすことができる。

本発明において、前記制振用膨張要素は、前記圧力発生室を膨張させた後、その膨張を一時的に停止し、しかる後に再度、前記圧力発生室を膨張させるように電位が変化していることが好ましい。制振用膨張要素では、液滴の振動に対応するように圧力発生室が膨張していくことが求められるので、制振用膨張要素に本発明を適用する際、圧力発生室を膨張させた後、その膨張を一時的に停止し、しかる後に再度、圧力発生室を膨張させるように電位勾配を変化させれば、このような条件を満たすことができる。

本発明において、前記駆動信号には、少なくとも、前記圧力発生室の収縮させる際の速度を時間とともに変化させるように電位が変化する収縮要素を含んでいることが好ましい。圧力発生室を収縮させる際の速度も時間とともに変化させることにより、粘度が高い液状物であっても、圧力発生室の収縮に追従できるようにすれば、粘度が１０ｍＰａ・ｓｅｃを越える液状物でも液滴を好適に吐出することができ、液滴の飛行曲がりやミストの発生を確実に防止することができる。

本発明は、前記液滴の吐出時の粘度が１０ｍＰａ・ｓｅｃ以上である場合に適用すると効果的である。

本発明において、前記駆動信号は、前記圧力発生室が液滴の吐出を行うために収縮を開始するときの最高電位と、前記圧力発生室が当該収縮を終了したときの最低電位との間の中間電位を備えているとともに、当該中間電位は、前記発生室を膨張状態とする電位であり、前記圧力発生室は、液滴の吐出を休止している間、前記中間電位によって膨張状態に保持されることが好ましい。このように構成すると、液状物が圧力発生室内に引き込まれた状態で液滴の吐出を休止することになるので、液滴の漏れを防止できる。また、液滴を吐出する際、圧力発生室を膨張状態から所定の状態にまで膨張させることになるので、この区間での膨張が少なくて済む。よって、液状物の振動を抑えることができるので、粘度が高い液状物であっても、液滴を好適に吐出することができる。

本発明を適用した液滴吐出装置は、例えば、電気光学装置用基板上に前記液滴を吐出して、当該電気光学装置用基板上に画素構成要素を形成する電気光学装置の製造方法に用いることができる。

以下に、図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置の一例を説明する。

（液滴吐出装置の全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。なお、液滴吐出装置によってカラー印刷やカラーの表示装置を製造する場合、通常、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の絵素を形成する必要がある。従って、液滴吐出装置については、１台で各色に対応する液滴を吐出可能に構成するか、所定の色に対応するものを複数台、準備することになるが、以下の説明では、後者において複数、準備した液滴吐出装置のうちの１台を説明する。

図１において、液滴吐出装置１０は、各種の液状物を基板などのワーク上の所望位置に液滴として吐出するものであり、液状物を各種ワーク上に液滴として吐出するノズルを備える複数の液滴吐出ヘッド２２と、これらの液滴吐出ヘッド２２を保持する共通のキャリッジ２６とを有している。また、液滴吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、ワークとしての基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して主走査移動させる主走査駆動手段としての主走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して副走査移動させる副走査駆動手段としての副走査駆動装置２１と、基板１２を液滴吐出装置１０内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、液滴吐出装置１０の全般の制御を司るコントロール装置２４とを有しており、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１によって、液滴吐出ヘッド２２（キャリッジ２６）と基板１２とを相対移動させる移動手段が構成されている。ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１はベース９の上に設置され、それらの各装置は必要に応じてカバー１４によって覆われる。

ヘッド位置制御装置１７は、液滴吐出ヘッド２２を面内回転させるαモータ（図示せず）と、液滴吐出ヘッド２２を副走査方向Ｙと平行な軸線回りに揺動回転させるβモータ（図示せず）と、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向と平行な軸線回りに揺動回転させるγモータ（図示せず）と、そして液滴吐出ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ（図示せず）とを備えている。基板位置制御装置１８は、基板１２を載せるテーブル４９と、そのテーブル４９を面内回転させるθモータ（図示せず）とを備えている。主走査駆動装置１９は、主走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを備えている。Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動するときにＸガイドレール５２に沿って主走査方向へ平行移動する。副走査駆動装置２１は、副走査方向Ｙへ延びるＹガイドレール（図示せず）と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを備えている。Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作動するときにＹガイドレールに沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。Ｘスライダ５３およびＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができ、従って、Ｘスライダ５３に支持された液滴吐出ヘッド２２の主走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の副走査方向Ｙ上の位置などを高精細に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド２２やテーブル４９の位置制御は、パルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。

基板供給装置２３は、基板１２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロボット５８とを備えている。ロボット５８は、床、地面などといった設置面に置かれる基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを備えており、吸着パッド６４は、空気吸引などによって基板１２を吸着できる。

また、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、その液滴吐出ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ７９が配置されている。なお、ベース９上に設けた支持装置（図示せず）には基板用カメラ（図示せず）が配置され、基板用カメラは、基板１２を撮影可能である。

ここで、主走査駆動装置１９によって駆動されて主走査移動する液滴吐出ヘッド２２の軌跡下であって副走査駆動装置２１の一方の脇位置には、キャッピング機構７６およびクリーニング機構７７が配置され、キャッピング機構７６は、液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズルの乾燥を防止するための機構である。クリーニング機構７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための機構である。また、副走査駆動装置２１の他方の脇位置には、液滴吐出ヘッド２２内の個々のノズル２７から吐出される液滴の重量を測定する電子天秤７８が配置されている。

（液滴吐出ヘッドの構成）
図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、液滴吐出ヘッド２２の構成を示す説明図、液滴吐出ヘッド２２の内部構造を模式的に示す説明図、および圧力発生素子の説明図である。なお、液滴吐出ヘッド２２は、共通のキャリッジ２６に複数、保持されているが、それらは基本的に同一構成であるので、その１つを例に挙げて説明する。

図２（Ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、多数のノズル開口２７を列状に並べることによって形成されたノズル列２８を備えている。ノズル開口２７の数は、例えば１８０個であり、ノズル開口２７の穴径は例えば２８μｍであり、ノズル開口２７間のノズルピッチは例えば１４１μｍである。なお、液滴吐出ヘッド２２の基板１２に対する主走査方向Ｘおよびそれに直交する副走査方向Ｙは図示の通りである。すなわち、液滴吐出ヘッド２２は、そのノズル列２８が主走査方向Ｘと交差する方向へ延びるように位置設定され、この主走査方向Ｘへ平行移動する間に、液状物を複数のノズル開口２７から選択的に吐出することにより、基板１２内の所定位置に液滴を着弾させる。また、液滴吐出ヘッド２２は副走査方向Ｙへ所定距離だけ平行移動することにより、液滴吐出ヘッド２２による主走査位置を所定の間隔でずらせることができる。

図２（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、例えば、ステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する振動板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有している。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数の圧力発生室３３、および液溜り３４が形成され、複数の圧力発生室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。振動板３１の適所には液状物供給穴３６が形成され、この液状物供給穴３６に液状物供給装置３７が接続される。この液状物供給装置３７は吐出されることとなる液状物Ｍを液状物供給穴３６へ供給する。供給された液状物Ｍは液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通って圧力発生室３３に充満する。

ノズルプレート２９には、圧力発生室３３から液状物Ｍをジェット状（液滴Ｍ0）に噴射するためのノズル開口２７が設けられており、そのノズル開口２７が開口しているノズル形成面２７１は平坦面とされている。振動板３１の圧力発生室３３を形成する面の裏面には、この圧力発生室３３に対応させて圧力発生素子３９が取り付けられている。この圧力発生素子３９は、例えば、図２（Ｃ）に示すように、圧電素子４１、およびこの圧電素子１１を挟持する一対の電極４２ａ、４２ｂを備えたたわみ振動モードの圧電素子である。その振動方向を矢印Ｃで示す。また、図示を省略するが、圧力発生素子３９としては、縦振動モードの圧電素子を用いてもよく、いずれの場合も、電極間に印加される駆動信号によって変形し、圧力発生室３３を膨張、収縮させる。なお、ノズル開口２７の周辺部には、液滴Ｍ0の飛行曲がりやノズル開口２７の穴詰まりなどを防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥液状物層４３が設けられる。

（制御系および駆動系の構成）
図３は、図１に示す表示装置製造装置の制御系を示すブロック図である。図４および図５は、図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドのヘッド駆動部の電気的構成を示す説明図、およびヘッド駆動部を構成する素子の説明図である。なお、図３に示す例では、制御系をコンピュータ本体部側に構成した例を示してあるが、その一部については、液滴吐出装置本体側に構成してもよい。

図１に示すコントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、入力装置６７としてのキーボードと、表示装置としてのＣＲＴディスプレイ６８とを有している。上記プロセッサは、図３に示すように、演算などの処理を行うＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ／ヘッド制御手段）６９と、各種情報を記憶するメモリすなわち情報記憶媒体７１とを有しており、図１を参照して説明したヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、副走査駆動装置２１、および液滴吐出ヘッド２２内の圧力発生素子３９（図２（Ｃ）を参照）を駆動するヘッド駆動部８などは、入出力インターフェース７３およびバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。

ヘッド駆動部８は、複数の液滴吐出ヘッド２２と表示装置用基板１２との相対移動に連動して、所定のビットマップに基づいて圧力発生素子３９を作動させ、液滴吐出ヘッド２２の各ノズル開口２７から液滴を吐出させて表示装置用基板１２に所定のパターンを描画する。

なお、基板供給装置２３、入力装置６７、ＣＲＴディスプレイ６８、電子天秤７８、クリーニング装置７７およびキャッピング装置７６なども、入出力インターフェース７３およびバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。

情報記憶媒体７１としてのメモリは、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体などといった外部記憶装置などを含む概念であり、機能的には、液滴吐出装置１０の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域、液状物の表示装置用基板１２上における吐出位置（ビットマップ）を座標データとして記憶するためのビットマップ記憶領域、副走査方向Ｙへの表示装置用基板１２の副走査移動量を記憶するための記憶領域、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域などの各種記憶領域が設定されている。

ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメモリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、表示装置用基板１２に表面の所定位置に液状物を吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部、電子天秤を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部、および液滴吐出によって所定のパターンを描画するための演算を行う描画演算部などを備えている。この描画演算部を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド２２を描画のための初期位置へセットするための描画開始位置演算部、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部、表示装置用基板１２を副走査方向Ｙへ所定の副走査量だけずらせるための制御を演算する副走査制御演算部、および液滴吐出ヘッドの複数のノズル開口２７のうちのいずれを作動させて液状物を吐出するかを制御するためビットマップを形成するための演算を行うビットマップ演算部（ノズル吐出制御演算部）などといった各種の機能演算部を有している。

図４に示すように、ヘッド駆動部８は、所定の電源を生成する電源生成部８７と、コンピュータ本体部６６から出力された制御信号、および電源生成部８７から供給される電源に基づいて駆動信号ＣＯＭを形成する駆動信号発生回路８８（駆動信号発生手段）とを備えている。また、ヘッド駆動部８は、シフトレジスタ８０、ラッチ回路８１、レベルシフタ８２、およびスイッチ回路８４を備えており、スイッチ回路８４に圧力発生素子２２が接続されている。ここで、シフトレジスタ８０、ラッチ回路８１、レベルシフタ８２、スイッチ回路８３、および圧力発生素子３９はそれぞれ、図５に示すように、液滴吐出ヘッド２２の各ノズル開口２７毎に設けたシフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎ、ラッチ素子８１Ａ〜８１Ｎ、レベルシフタ素子８２Ａ〜８２Ｎ、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎ、圧力発生素子３９Ａ〜３９Ｎから構成され、シフトレジスタ８０、ラッチ回路８１、レベルシフタ８２、スイッチ回路８３、圧力発生素子３９の順で電気的に接続されている。

このようなヘッド駆動部８により、圧力発生素子３９に駆動信号ＣＯＭを印加して液滴を吐出させる制御について説明する。なお、以下の説明ではドットパターンデータを構成する吐出データ（１ドットデータに相当）を、複数ビットで構成した場合について説明する。まず、ヘッド駆動部８では、コンピュータ本体部６６の発振回路（図示せず）からのクロック信号（ＣＬＫ）に同期して、コンピュータ本体部６６から出力された吐出データ（ＳＩ）の内の最上位ビットのデータを、順次シフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットする。全ノズル開口分の吐出データがシフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットされると、コンピュータ本体部６６は、所定のタイミングでラッチ回路８１、すなわち、ラッチ素子８１Ａ〜８１Ｎへラッチ信号（ＬＡＴ）を出力する。このラッチ信号により、ラッチ素子８１Ａ〜８１Ｎは、シフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットされた吐出データをラッチする。このラッチされた吐出データは、電圧増幅器であるレベルシフタ８２、すなわち、レベルシフタ素子８２Ａ〜８２Ｎに供給される。各レベルシフタ素子８２Ａ〜８２Ｎは、吐出データが例えば「１」の場合に、スイッチ回路４３が駆動可能な電圧、例えば、数十ボルトまでこの吐出データを昇圧する。そして、この昇圧された吐出データはスイッチ回路８３、すなわち、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎに印加され、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎは、当該吐出データにより接続状態になる。ここで、各スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎには、駆動信号発生回路８８から駆動信号（ＣＯＭ）が印加されており、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎが接続状態になると、このスイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎに接続された圧力発生素子３９Ａ〜３９Ｎに駆動信号が供給される。なお、吐出データが例えば「０」の場合には、対応する各レベルシフタ素子３９Ａ〜３９Ｎは昇圧を行わない。そして、最上位ビットのデータに基づいて駆動信号を印加すると、続いて、コンピュータ本体部６６は、１ビット下位のデータをシリアル伝送させてシフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットする。そして、シフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにデータがセットされたならば、ラッチ信号を印加させることにより、セットされたデータをラッチさせ、駆動信号を圧力発生素子３９Ａ〜３９Ｎに供給させる。以後は、１ビットずつ吐出データを下位ビットにシフトしながら最下位ビットまで同様の動作を繰り返し行う。

このように、圧力発生素子３９に駆動信号を供給するか否かを、吐出データによって制御できる。すなわち、吐出データを「１」にすることにより駆動信号ＣＯＭを圧力発生素子３９に供給でき、吐出データを「０」にすることにより駆動信号ＣＯＭの圧力発生素子３９への供給を遮断することができる。なお、吐出データを「０」にした場合、圧力発生素子３９は直前の電荷（電位）を保持する。

（駆動信号ＣＯＭの波形例１）
図６は、図１に示す液滴吐出装置に用いた駆動信号の波形図である。

図２（Ｃ）および図６において、本形態の液滴吐出装置１０に用いた駆動信号ＣＯＭでは、期間ｔ11において第１中間電位Ｖm1を保持した後（ホールド要素Ｐ0）、圧力発生室３３を膨張させる吐出用膨張要素Ｐ1に移行する。

ここで、吐出用膨張要素Ｐ1は、期間ｔ12において電位が中間電位Ｖｍ1から中間電位Ｖｍ2まで上昇する膨張成分Ｐ12と、期間ｔ13において電位が中間電位Ｖｍ2から中間電位Ｖｍ3まで上昇する膨張成分Ｐ13と、期間ｔ14において電位が中間電位Ｖｍ3から最高電位ＶLPSまで上昇する膨張成分Ｐ14とを備えており、各期間での電位勾配の絶対値は、下式
膨張成分Ｐ12の電位勾配＜膨張成分Ｐ13の電位勾配＜膨張成分Ｐ14の電位勾配
で示すとおりである。従って、本形態では、吐出用膨張要素Ｐ1によって、圧力発生室３３の膨張速度が時間ととともに増大していく。

次に、期間ｔ15において最高電位ＶPSを保持して圧力発生室３３の膨張状態を保持する第１ホールド要素Ｐ2に移行した後、期間ｔ16において電位が最高電位ＶPSから最低電位ＶLSまで一定の勾配で下降する吐出用収縮要素Ｐ3に移行する。この吐出用収縮要素Ｐ3によって、膨張状態の圧力発生室３３は、収縮し液滴を吐出する。

次に、期間ｔ17において最低電位ＶLSを保持して圧力発生室３３の収縮状態を保持する第２ホールド要素Ｐ4に移行した後、圧力発生室３３を膨張させてメニスカスの振動を抑える制振用膨張要素Ｐ5に移行する。

ここで、制振用膨張要素Ｐ5は、期間ｔ18において電位が最低電位ＶLSから中間電位Ｖｍ4まで上昇する膨張成分Ｐ18と、期間ｔ19において電位が中間電位Ｖｍ4を保持するホールド成分Ｐ19と、期間ｔ20において電位が中間電位Ｖｍ4から中間位Ｖｍ1まで上昇する膨張成分Ｐ20とを備えており、制振用膨張要素Ｐ5は、圧力発生室３３を膨張させた後、その膨張を一時的に停止し、しかる後に再度、圧力発生室３３を膨張させる。なお、膨張成分Ｐ18と膨張成分Ｐ20の電位勾配については同一であってもよいし、一方が大であってもよい。

しかる後には、次の吐出動作が行われる間、期間ｔ21において第１中間電位Ｖm1が保持される（ホールド要素Ｐ6）。

このような駆動信号ＣＯＭによれば、吐出用膨張要素Ｐ1が圧力発生素子３９に印加されると、圧力発生素子３９は圧力発生室３３の容積を膨張させる方向に変形し、圧力発生室３９内に負圧を発生させる。その結果、圧力発生室３９に液状物が流入する。このような状態が第１のホールド要素Ｐ2が印加されている間、保持される。次に、吐出用収縮要素Ｐ3が圧力発生素子３９に印加されると、圧力発生素子３９は、圧力発生室３３の容積が収縮する方向に変形し、圧力発生室３９内に正圧を発生させる。その結果、液滴が吐出される。その後、第２ホールド要素Ｐ4、制振用膨張要素Ｐ5が圧力発生素子３９に印加されと、それに伴なって、圧力発生室３３へのメニスカスの停止、引き込み、停止が行われ、液滴の振動が抑えられる。

このように本形態では、圧力発生室３３を膨張させる際の速度を時間とともに変化させるように電位が変化する膨張要素（吐出用膨張要素Ｐ1および制振用膨張要素Ｐ5）を含む駆動信号ＣＯＭを用いる。しかも、吐出用膨張要素Ｐ1については、圧力発生室３３が収縮する直前における膨張速度が大であることが求められるので、吐出用膨張要素Ｐ1では、圧力発生室３３の膨張速度が時間ととともに増大するように電位勾配を変化させてある。これに対して、制振用膨張要素Ｐ5では、液滴の振動に対応するように圧力発生室３３が膨張していくことが求められるので、制振用膨張要素Ｐ5については、圧力発生室３３を膨張させた後、その膨張を一時的に停止し、しかる後に再度、圧力発生室３３を膨張させるように電位勾配を変化させてある。それ故、有機ＥＬ装置の発光層を形成するための分散系、溶剤系の液状物や、液晶装置のカラーフィルタを形成するための高濃度の液状物、さらには捺染などの分野で用いる特殊なインクなど、粘度が１０ｍＰａ・ｓｅｃを越える液状物でも液滴を好適に吐出することができ、液滴の飛行曲がりやミストの発生を防止することができる。その理由については、その詳細を解析中であるが、圧力発生室３３を膨張させる際の速度を時間とともに変化させることにより、粘度が高い液状物であっても、圧力発生室３３の膨張に追従できるからであると考えられる。

例えば、液滴として吐出される際の粘度が５ｍＰａ・ｓｅｃの液状物、１０ｍＰａ・ｓｅｃの液状物、１５ｍＰａ・ｓｅｃの液状物をそれぞれ、図６に示す駆動信号ＣＯＭ（実施例）、および図１５に示す駆動信号ＣＯＭ′（従来例）で吐出したところ、以下の吐出結果
図６に示す駆動信号ＣＯＭ（実施例）
５ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト無し、飛行曲がり無し
１０ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト無し、飛行曲がり無し
１５ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト無し、飛行曲がり無し
図１５に示す駆動信号ＣＯＭ′（従来例）
５ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト無し、飛行曲がり無し
１０ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト有り、飛行曲がり無し
１５ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト有り、飛行曲がり有り
が得られた。また、多数の評価を行ったところ、５ｍＰａ・ｓｅｃであっても、図６に示す駆動信号ＣＯＭ（実施例）によれば、図１５に示す駆動信号ＣＯＭ′（従来例）と比較して、より安定した吐出特性が得られた。

また、本形態では、圧力発生室３３は、液滴の吐出を休止している間、中間電位Ｖｍ1によって膨張状態に保持される。このため、液状物が圧力発生室３３内に引き込まれた状態で液滴の吐出を休止することになるので、液滴の漏れを防止できる。また、液滴を吐出する際、圧力発生室３３を膨張状態から所定の状態にまでさらに膨張させることになるので、この区間での膨張が少なくて済む。よって、液状物の振動を抑えることができるので、粘度が高い液状物であっても、液滴を好適に吐出することができる。

（駆動信号ＣＯＭの波形例２）
圧力発生室３３を膨張させる際の速度を時間とともに変化させるように電位が変化する膨張要素を含む駆動信号ＣＯＭとしては、図７に示すように、吐出用膨張要素Ｐ1および制振用膨張要素Ｐ5のうち、吐出用膨張要素Ｐ1のみについて、圧力発生室３３を膨張させる際の速度を時間とともに変化させるように電位勾配を変化させてもよい。その他の構成は、図６を参照して説明した構成と同様であるため、説明を省略するが、図７に示す駆動信号ＣＯＭにおいては、図６に示す駆動信号ＣＯＭと違って、制振用膨張要素Ｐ5は、期間ｔ18′において電位が最低電位ＶLSから中間電位Ｖｍ1まで一定の勾配で上昇している。

（駆動信号ＣＯＭの波形例３）
圧力発生室３３を膨張させる際の速度を時間とともに変化させるように電位が変化する膨張要素を含む駆動信号ＣＯＭとしては、図８に示すように、吐出用膨張要素Ｐ1および制振用膨張要素Ｐ5のうち、制振用膨張要素Ｐ5のみについて、圧力発生室３３を膨張させる際の速度を時間とともに変化させるように電位勾配を変化させてもよい。その他の構成は、図６を参照して説明した構成と同様であるため、説明を省略するが、図８に示す駆動信号ＣＯＭにおいては、図６に示す駆動信号ＣＯＭと違って、吐出用膨張要素Ｐ1は、期間ｔ12′において電位が中間電位Ｖｍ1から最高電位ＶPSまで一定の勾配で上昇している。

（駆動信号ＣＯＭの波形例４）
上記形態では、圧力発生室３３を膨張させる際の速度を時間とともに変化させるように電位が変化する膨張要素（吐出用膨張要素Ｐ1および制振用膨張要素Ｐ5）を含む駆動信号ＣＯＭを説明したが、図９に示すように、圧力発生室３３を収縮させる際の速度を時間とともに変化させるように電位勾配が変化する収縮要素（吐出用収縮要素Ｐ3）を含む駆動信号ＣＯＭを用いてもよい。すなわち、図９に示す駆動信号ＣＯＭにおいて、吐出用収縮要素Ｐ3は、期間ｔ16′において電位が最高電位ＶPSから中間電位Ｖｍ1まで下降する収縮成分Ｐ16′と、期間ｔ16″において電位が中間電位Ｖｍ1から最低電位ＶLSまで下降する収縮成分Ｐ16″とを備えており、各期間での電位勾配の絶対値は、下式
収縮成分Ｐ16′の勾配＞収縮成分Ｐ16″の勾配
で示すとおりである。従って、吐出用収縮要素Ｐ3によって、圧力発生室３３の収縮速度が時間ととともに減少していく。その他の構成は、図６を参照して説明した構成と同様であるため、説明を省略する。

このように構成すると、吐出用収縮要素Ｐ3の終盤では、圧力発生室３３の収縮速度が時間ととともに減少しているため、粘度が高い液状物であっても、圧力発生室３３の収縮に追従できる。それ故、液状物に大きな振動が発生しないので、粘度が１０ｍＰａ・ｓｅｃを越える液状物でも、次の液滴の吐出を好適に行うことができ、液滴の飛行曲がりやミストの発生を確実に防止することができる。

（駆動信号ＣＯＭの波形例５）
図９に示す形態では、吐出用収縮要素Ｐ3における各期間での電位勾配の絶対値は、下式
収縮成分Ｐ16′の勾配＞収縮成分Ｐ16″の勾配
で示す条件であったが、図１０に示すように、吐出用収縮要素Ｐ3における各期間での電位勾配の絶対値を下式
収縮成分Ｐ16′の勾配＜収縮成分Ｐ16″の勾配
に設定してもよい。このような条件に設定すると、吐出用収縮要素Ｐ3によって、圧力発生室３３の収縮速度が時間ととともに増大していく。その他の構成は、図６を参照して説明した構成と同様であるため、説明を省略する。

このように構成すると、吐出用収縮要素Ｐ3において、圧力発生室３３の収縮速度が時間ととともに増大しているため、粘度が高い液状物であっても、圧力発生室３３の収縮に追従できる。それ故、粘度が１０ｍＰａ・ｓｅｃを越える液状物でも、液滴を好適に吐出することができ、液滴の飛行曲がりやミストの発生を確実に防止することができる。

［電気光学装置の構成、および製造方法の例］
電気光学装置の一例として、有機ＥＬ表示装置の構成およびその製造工程を説明する。図１１は、電気光学物質として電荷注入型の有機薄膜を用いたＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置のブロック図である。図１２〜図１４は、有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す製造工程断面図であり、有機ＥＬ表示装置の１画素分の断面に相当する。

図１１において、有機ＥＬ表示装置５００ｐは、有機半導体膜に駆動電流が流れることによって発光するＥＬ素子をＴＦＴで駆動制御する表示装置であり、このタイプの表示装置に用いられる発光素子はいずれも自己発光するため、バックライトを必要とせず、また、視野角依存性が少ないなどの利点がある。ここに示す電気光学装置５００ｐでは、複数の走査線５６３ｐと、この走査線５６３ｐの延設方向に対して交差する方向に延設された複数のデータ線５６４と、これらのデータ線５６４に並列する複数の共通給電線５０５と、データ線５６４と走査線５６３ｐとの交差点に対応する画素５１５ｐとが構成され、画素５１５ｐは、画像表示領域１００にマトリクス状に配置されている。データ線５６４に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ線駆動回路５５１ｐが構成されている。走査線５６３ｐに対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを備える走査線駆動回路５５４ｐが構成されている。また、画素５１５ｐの各々には、走査線５６３ｐを介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ５０９と、このスイッチング薄膜トランジスタ５０９を介してデータ線５６４から供給される画像信号を保持する保持容量５３３ｐと、この保持容量５３３ｐによって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ５１０と、カレント薄膜トランジスタ５１０を介して共通給電線５０５に電気的に接続したときに共通給電線５０５から駆動電流が流れ込む発光素子５１３とが構成されている。発光素子５１３は、画素電極の上層側には、正孔注入層、有機ＥＬ材料層としての有機半導体膜、リチウム含有アルミニウム、カルシウムなどの金属膜からなる対向電極が積層された構成になっており、対向電極は、データ線５６４などを跨いで複数の画素５１５ｐにわたって形成されている。

このような構成の有機ＥＬ表示装置５００ｐを製造するには、基板を用意する。ここで、有機ＥＬ表示装置５００ｐでは、後述する発光層による発光光を基板側から取り出すことも可能であり、また基板と反対側から取り出す構成とすることも可能である。発光光を基板側から取り出す構成とする場合、基板材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明なものが用いられるが、特にガラスが好適に用いられる。また、基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む色変換膜、あるいは誘電体反射膜を配置して、発光色を制御するようにしてもよい。なお、基板と反対側から発光光を取り出す構成の場合、基板は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。

本例では、図１２（Ａ）に示すように、基板としてガラスからなる透明基板５０２を用意し、透明基板５０２に対して、必要に応じてＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）や酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約２００〜５００ｎｍのシリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず）を形成する。

次に、透明基板５０２の温度を約３５０℃に設定して、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により厚さ約３０〜７０ｎｍのアモルファスシリコン膜からなる半導体膜５２０ａを形成する。次に、半導体膜５２０ａに対してレーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を行い、半導体膜５２０ａをポリシリコン膜に結晶化する。レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビームの長寸が４００ｍｍのラインビームを用い、その出力強度は、例えば２００ｍＪ／ｃｍ^２とする。ラインビームについては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の９０％に相当する部分が各領域毎に重なるようにラインビームを走査する。

次に、図１２（Ｂ）に示すように、半導体膜（ポリシリコン膜）５２０ａをパターニングして島状の半導体膜５２０ｂとし、その表面に対して、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約６０〜１５０ｎｍのシリコン酸化膜または窒化膜からなるゲート絶縁膜５２１ａを形成する。なお、半導体膜５２０ｂは、図１１に示したカレント薄膜トランジスタ５１０のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜トランジスタ５０９のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となる半導体膜も形成されている。つまり、図１２〜図１４に示す製造工程では二種類のトランジスタ５０９、５１０が同時に作られるのであるが、同じ手順で作られるため、以下の説明ではトランジスタに関しては、カレント薄膜トランジスタ５１０についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジスタ５０９についてはその説明を省略する。

次に、図１２（Ｃ）に示すように、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどの金属膜からなる導電膜をスパッタ法により形成した後、これをパターニングし、ゲート電極５１０ｇを形成する。次に、この状態で高濃度のリンイオンを打ち込み、半導体膜５２０ｂに、ゲート電極５１０ｇに対して自己整合的にソース・ドレイン領域５１０ａ、５１０ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域５１０ｃとなる。

次に、図１２（Ｄ）に示すように、層間絶縁膜５２２を形成した後、コンタクトホール５２３、５２４を形成し、これらコンタクトホール５２３、５２４内に中継電極５２６、５２７を埋め込む。次に、層間絶縁膜５２２上に信号線、共通給電線及び走査線（図示せず）を形成する。ここで、中継電極５２７と各配線とは、同一工程で形成してもよく、その場合、中継電極５２６は、後述するＩＴＯ膜で形成されることになる。

次に、図１２（Ｅ）に示すように、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜５３０を形成した後、層間絶縁膜５３０に対して中継電極５２６に対応する位置にコンタクトホール５３２を形成する。次に、コンタクトホール５３２を埋めるようにＩＴＯ膜を形成し、さらにそのＩＴＯ膜をパターニングして、信号線、共通給電線及び走査線に囲まれた所定位置に、ソース・ドレイン領域５１０ａに電気的に接続する画素電極５１１を形成する。ここで、信号線及び共通給電線、さらには走査線に挟まれた部分が、後述する正孔注入層や発光層の形成場所となる。

次に、図１３（Ａ）に示すように、正孔注入層や発光層の形成場所を囲むように隔壁５０５を形成する。この隔壁５０５は、仕切り部材として機能するものであり、例えばポリイミド等の絶縁性有機材料で形成するのが好ましい。隔壁５０５の膜厚については、例えば１〜２μｍの高さとなるように形成する。また、隔壁５０５は、上述した液滴吐出ヘッド２２から吐出される液状物に対して撥液性を示すものが好ましい。隔壁５０５に撥液性を発現させるためには、例えば隔壁５０５の表面をフッ素系化合物などで表面処理するといった方法が採用される。フッ素化合物としては、例えばＣＦ４、ＳＦ５、ＣＨＦ３などがあり、表面処理としては、例えばプラズマ処理、ＵＶ照射処理などが挙げられる。このようにして、正孔注入層や発光層の形成場所、すなわち、これらの形成材料の塗布位置とその周囲の隔壁５０５との間には、十分な高さの段差５３５が形成される。

次に、図１３（Ｂ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、正孔注入層の形成材料５４０ａを、上述した液滴吐出装置１０の液滴吐出ヘッド２２より、前記隔壁５０５に囲まれた塗布位置、すなわち隔壁５０５内に選択的に塗布する。その際、形成材料５４０ａは、流動性が高いため水平方向に広がろうとするが、塗布された位置を囲んで隔壁５０５が形成されているので、形成材料５４０ａは隔壁５０５を越えてその外側に広がることがない。ここで、正孔注入層の形成材料５４０ａとしては、ポリオレフィン誘導体である３、４−ポリエチレンジオシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を正孔注入材料として用い、これを有機溶剤を主溶媒として分散させてなる分散液が好適に用いられる。但し、正孔注入材料としては、前記のものに限定されることなく、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等を用いることもできる。

このようにして形成材料５４０ａを液滴吐出ヘッド３４から吐出して所定位置に配置した後、液状の形成材料５４０ａに対して乾燥処理を行い、形成材料５４０ａ中の分散媒を蒸発させる。その結果、図１３（Ｃ）に示すように、画素電極５１１上に固形の正孔注入層５１３ａ（画素構成要素）が形成される。

次に、図１４（Ａ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、上述した液滴吐出装置１０の液滴吐出ヘッド２２より液状物として発光層の形成材料５４０ｂを、前記隔壁５０５内の正孔注入層５１３ａ上に選択的に塗布する。発光材料としては、例えば分子量が１０００以上の高分子材料が用いられる。具体的には、ポリフルオレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、またはこれらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、例えばルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等をドープしたものが用いられる。なお、このような高分子材料としては、二重結合のπ電子がポリマー鎖上で非極在化しているπ共役系高分子材料が、導電性高分子でもあることから発光性能に優れるため、好適に用いられる。特に、その分子内にフルオレン骨格を有する化合物、すなわちポリフルオレン系化合物がより好適に用いられる。また、このような材料以外にも、例えば特開平１１−４０３５８号公報に示される有機ＥＬ素子用組成物、すなわち共役系高分子有機化合物の前駆体と、発光特性を変化させるための少なくとも１種の蛍光色素とを含んでなる有機ＥＬ素子用組成物も、発光層形成材料として使用可能である。このような発光材料を溶解あるいは分散する有機溶媒としては、非極性溶媒が好適とされ、特に発光層が正孔注入層５１３ａの上に形成されることから、この正孔注入層５１３ａに対して不溶なものが用いられる。具体的には、キシレン、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等が好適に用いられる。なお、形成材料５４０ｂの吐出による発光層の形成は、赤色の発色光を発光する発光層の形成材料、緑色の発色光を発光する発光層の形成材料、青色の発色光を発光する発光層の形成材料を、それぞれ対応する画素に吐出し塗布することによって行う。また、各色に対応する画素は、これらが規則的な配置となるように予め決められている。

このようにして各色の発光層形成材料５４０ｂを吐出した後、液状の発光層形成材料５４０ｂに対して乾燥処理を行い、発光層形成材料５４０ｂ中の分散媒を蒸発させる。その結果、図１４（Ｂ）に示すように、正孔層注入層５１３ａ上に固形の発光層５１３ｂ（画素構成要素）が形成される。これにより、正孔層注入層５１３ａと発光層５１３ｂとからなる発光素子５１３を得る。

なお、形成材料５４０ｂの乾燥処理については、形成材料５４０ｂのガラス転移点未満の温度、例えば１００°未満の温度で加熱することにより、乾燥するのが好ましい。このような温度で乾燥することにより、形成材料５４０ｂ中の溶剤の蒸発速度を比較的低く抑えることができるとともに、形成材料５４０ｂの液状化による流動も抑えることができ、その結果、得られる発光層５１３ｂについても十分に平坦化することができる。また、発光層形成の際の乾燥処理によって生じる熱的ダメージが、発光層５１３ｂだけでなく正孔注入層５１３ａに対しても小さくなり、初期輝度の低下などによる表示性能の低下が抑制される。

次に、図１４（Ｃ）に示すように透明基板５０２の表面全体に、あるいはストライプ状に、ＬｉＦ／Ａｌ（ＬｉＦとＡｌとの積層膜）やＭｇＡｇ、あるいはＬｉＦ／Ｃａ／Ａｌ（ＬｉＦとＣａとＡｌとの積層膜）を蒸着法等によって成膜し、対向電極５１２を形成する。その後、封止を行った後、さらに配線等の各種要素を形成することにより、有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置５００ｐ（電気光学装置）を製造する。

（その他の適用例）
なお、上記形態では、本発明を有機ＥＬ表示装置の製造工程に用いた例であったが、液晶表示装置のカラーフィルタ（画素構成要素）の形成などに本発明を適用してもよい。また、インクジェットプリンタと称せられる液滴吐出装置に本発明を適用してもよい。

また、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などは一例に過ぎず、適宜変更が可能である。

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。 （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの構成を示す説明図、液滴吐出ヘッドの内部構造を模式的に示す説明図、および圧力発生素子の説明図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの制御系、駆動系の構成を示す説明図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドのヘッド駆動部の電気的構成を示す説明図である。 図４に示すヘッド駆動部を構成する素子の説明図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いた駆動信号の第１例を示す波形図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いた駆動信号の第２例を示す波形図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いた駆動信号の第３例を示す波形図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いた駆動信号の第４例を示す波形図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いた駆動信号の第５例を示す波形図である。 有機ＥＬ表示装置のブロック図である。 有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。 有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。 有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。 従来の液滴吐出装置に用いた駆動信号の波形図である。

符号の説明

８ ヘッド駆動部、１０ 液滴吐出装置、１２ 基板、２２ 液滴吐出ヘッド、２７ ノズル開口、３３ 圧力発生室、３９ 圧力発生素子、８７ 電源生成部、８８ 駆動信号発生回路（駆動信号発生手段）、ＣＯＭ 駆動信号、Ｍ0 液滴、Ｐ1 吐出用膨張要素、Ｐ3 吐出用収縮要素、Ｐ5 制振用膨張要素

Claims (9)

1. 複数のノズル開口の各々に対応する圧力発生素子を作動させ、前記複数のノズル開口の各々に連通する圧力発生室を膨張、収縮させて前記ノズル開口から液滴を吐出させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えた液滴吐出装置において、
   前記駆動信号に基づいて前記圧力発生素子に印加される電位は、前記圧力発生室を膨張させるための最高電位と、前記圧力発生室を収縮させるための最低電位と、前記最高電位と前記最低電位との間の第一中間電位と、前記最高電位と前記第一中間電位との間の第二中間電位と、前記最高電位と前記第二中間電位との間の第三中間電位とを有し、
   前記第一中間電位から前記最高電位まで上昇させることにより前記圧力発生室を膨張させる第一期間と、
   前記第一期間の後に、前記最高電位から前記最低電位へ下降させることにより前記圧力発生室を収縮させる第二期間と、
   前記第二期間の後に、前記最低電位から前記第一中間電位まで上昇させることにより前記圧力発生室を膨張させる第三期間と、を有し、
   前記第一期間は、さらに前記第一中間電位から前記第二中間電位まで一定の第一電位勾配で上昇させることにより前記圧力発生室を膨張させる第一膨張期間と、前記第一膨張期間の後であって前記第二中間電位から前記第三中間電位まで一定の第二電位勾配で上昇させることにより前記圧力発生室を膨張させる第二膨張期間と、前記第二膨張期間の後であって前記第三中間電位から前記最高電位まで一定の第三電位勾配で上昇させることにより前記圧力発生室を膨張させる第三膨張期間と、を有し、
   前記第一電位勾配は前記第二電位勾配よりも小さく、前記第二電位勾配は前記第三電位勾配よりも小さいことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 請求項１に記載の液滴吐出装置において、前記駆動信号は、前記第一電位と前記最低電位との間の第四中間電位をさらに有し、
   前記第三期間は、さらに前記最低電位から前記第四中間電位まで一定の第四電位勾配で上昇させる第四膨張期間と、前記第四膨張期間の後であって前記第四中間電位から前記第一中間電位まで一定の第五電位勾配で上昇させる第五膨張期間と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
3. 請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、前記第二期間は、さらに前記最高電位から前記第一中間電位まで一定の第六電位勾配で下降させる第一収縮期間と、前記第一収縮期間の後であって前記第一中間電位から前記最低電位まで一定の第七電位勾配で下降させる第二収縮期間と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
4. 請求項３に記載の液滴吐出装置において、前記第七電位勾配は前記第八電位勾配よりも小さいことを特徴とする液滴吐出装置。
5. 請求項３に記載の液滴吐出装置において、前記第八電位勾配は前記第七電位勾配よりも小さいことを特徴とする液滴吐出装置。
6. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、前記第一期間の後に、前記最高電位を保持する第四期間をさらに有することを特徴とする液滴吐出装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、前記第二期間の後に、前記最低電位を保持する第五期間をさらに有することを特徴とする液滴吐出装置。
8. 請求項２に記載の液滴吐出装置において、前記第四膨張期間の後に、前記第四中間電位を保持する第六膨張期間をさらに有することを特徴とする液滴吐出装置。
9. 請求項１ないし８のいずれかに規定する液滴吐出装置を用いて電気光学装置用基板上に前記液滴を吐出して、当該電気光学装置用基板上に画素構成要素を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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