JP2006212590A - 液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、および液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 粘度などの物性が異なる複数種類の液状物のいずれをも媒体上に好適に吐出することのできる液滴吐出方法、この液滴吐出方法を用いた電気光学装置の製造方法、および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 液滴吐出装置において、第１の液滴吐出機構１１Ａおよび第２の液滴吐出機構１１Ｂが各々、粘度の異なる液状物ＭＡ、ＭＢの液滴を吐出するため、それに合わせて、たとえ同一重量の液滴を吐出するときでも、第１の液滴吐出機構１１Ａの圧力発生素子については第１の駆動信号で動作させ、第２の液滴吐出機構１１Ｂの圧力発生素子については、第１の駆動信号と波形の異なる第２の駆動信号で動作させる。
【選択図】 図２

Description

本発明は、圧力発生素子を動作させて圧力発生室を膨張、収縮させることによりノズル開口から液滴を吐出させる液滴吐出方法、この液滴吐出方法を用いた電気光学装置の製造方法、および液滴吐出装置に関するものである。さらに詳しくは、圧力発生素子に対する駆動技術に関するものである。

液滴吐出装置では、複数のノズル開口の各々に対応する圧力発生素子を作動させ、複数のノズル開口の各々に連通する圧力発生室を膨張、収縮させることにより、ノズル開口から液滴を吐出させる。ここで、図１２に示すように、圧力発生素子に印加される駆動信号は、中間電位Ｖmから最高電位ＶPSまで電位を変化させて圧力発生室を初期状態から膨張させる吐出用膨張要素Ｓ１と、最高電位ＶPSを保持して圧力発生室の膨張状態を保持するホールド要素Ｓ２と、最高電位ＶPSから最低電位ＶLSまで電位を変化させて膨張状態の圧力発生室を収縮させてインク滴を吐出させる吐出用収縮要素Ｓ３と、最低電位ＶLSを保持して圧力発生室の収縮状態を保持するホールド要素Ｓ４と、最低電位ＶLSから中間電位Ｖmに変化させて収縮状態にある圧力発生室を初期状態にまで復帰させる膨張要素Ｓ５と、中間電位Ｖmを保持するホールド要素Ｓ６とを含んでいる。

また、液滴吐出装置は、近年、様々な分野で使用されており、いわゆるインクジェットプリンタと称せられる記録装置の他にも、例えば、液滴吐出装置によって有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ／Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置用の基板上に、有機機能材料を有機溶剤中に配合した液状物の液滴をドット状に吐出してＥＬ素子の発光層を形成するなどの用途に用いられている（例えば、特許文献２参照）。
特開２００３−９４６２９号公報 特開２００３−２２９２５６号公報

しかしながら、図１２に示す駆動信号で圧力発生素子を駆動すると、５ｍＰａ・ｓｅｃ程度の液状物の液滴であれば適正に吐出できるが、特許文献２に開示されたような有機ＥＬ装置の発光層を形成するための分散系、溶剤系の液状物や、液晶装置のカラーフィルタを形成するための高濃度の液状物、さらには捺染などの分野で用いる特殊なインクなど、吐出時の粘度が１０ｍＰａ・ｓｅｃ以上の液状物の液滴を吐出すると、吐出した液滴に飛行曲がりが発生しやすく、かつ、ミストも発生しやすいという問題点がある。

また、特許文献２に開示されたような有機ＥＬ装置などを形成する際、同一基板上に、物性の異なる液状物を吐出することがある。例えば、ゲスト材料およびホスト材料を含む発光層を形成する際、これら双方の材料を予め、有機溶剤中に溶解して基板上に吐出する方法を採用すると、使用期間中あるいは保存期間中、液状物の粘度変化が大きいため、液滴を安定した状態に吐出できないので、ゲスト材料を含む液状物と、ホスト材料を含む液状物を各々、基板上の略同一箇所に吐出して基板上で混合する方法を採用することがある。この場合も、ゲスト材料を含む液状物、およびホスト材料を含む液状物との間のうちの一方の粘度が５ｍＰａ・ｓｅｃでも、他方が１０ｍＰａ・ｓｅｃ以上を超えると、上記したように、吐出した液滴に飛行曲がりが発生しやすく、かつ、ミストも発生しやすいという問題点がある。

ここに、本願出願人は、駆動信号の波形を変えることにより、吐出時の粘度が１０ｍＰａ・ｓｅｃ以上の液状物の液滴も好適に吐出できるようにすることを提案するものである。但し、この方法を採用した場合には、吐出時の粘度が１０ｍＰａ・ｓｅｃ未満の液状物の液滴を吐出する際、液滴量がばらつくなど、新たな問題が発生する。

以上の問題点に鑑みて、粘度などの物性が異なる複数種類の液状物のいずれをも媒体上に好適に吐出することのできる液滴吐出方法、この液滴吐出方法を用いた電気光学装置の製造方法、および液滴吐出装置を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明では、ノズル開口が形成された圧力発生室、および該圧力発生室を膨張、収縮させる圧力発生素子を備えた液滴吐出機構によって媒体上に液状物の液滴をドット状に吐出する液滴吐出方法において、前記液滴吐出機構として、少なくとも、物性が相違する液状物の液滴を各々、同一の媒体上に吐出する第１の液滴吐出機構および第２の液滴吐出機構を設け、前記第１の液滴吐出機構の前記圧力発生素子については第１の駆動信号で動作させ、前記第２の液滴吐出機構の前記圧力発生素子については、前記第１の駆動信号と波形の異なる第２の駆動信号で動作させることを特徴とする。

また、本発明では、圧力発生室で開口するノズル開口、および前記圧力発生室を膨張、収縮させる圧力発生素子を備えた液滴吐出機構と、前記圧力発生素子を動作させて前記ノズル開口から液状物の液滴を媒体上にドット状に吐出させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段とを有する液滴吐出装置において、前記液滴吐出機構として、少なくとも、物性が相違する液状物の液滴を各々、同一の媒体上に吐出する第１の液滴吐出機構および第２の液滴吐出機構を有し、前記駆動信号発生手段は、前記駆動信号として、少なくとも、前記第１の液滴吐出機構の前記圧力発生素子を動作させるための第１の駆動信号と、該第1の駆動信号と異なる波形を備え、前記第２の液滴吐出機構の前記圧力発生素子を動作させるための第２の駆動信号とを発生させることを特徴とする。

本発明では、第１の液滴吐出機構および第２の液滴吐出機構は各々、物性の異なる液状物の液滴を吐出するため、それに合わせて、たとえ同一重量の液滴を吐出するときでも、第１の液滴吐出機構の圧力発生素子については第１の駆動信号で動作させ、第２の液滴吐出機構の圧力発生素子については、第１の駆動信号と波形の異なる第２の駆動信号で動作させる。このため、粘度などの物性が異なる複数種類の液状物のいずれをも媒体上に好適に吐出することができる。

本発明において、前記第１の液滴吐出機構と前記第２の液滴吐出機構は、例えば、粘度の異なる液状物の液滴を吐出する。

本発明において、前記第１の液滴吐出機構および前記第２の液滴吐出機構のうちの少なくとも一方の液滴吐出機構によって１滴当たりの重量が異なる液滴を吐出する際、当該液滴吐出機構の前記圧力発生素子については、前記駆動信号、基本波形の異なる駆動信号で動作させることが好ましい。すなわち、本発明に係る液滴吐出装置において、前記駆動信号発生手段は、前記第１の液滴吐出機構および前記第２の液滴吐出機構のうちの少なくとも一方によって１滴当たりの重量が異なる液滴を吐出するために、当該液滴吐出機構で用いる前記駆動信号として、基本波形の異なる駆動信号を発生することが好ましい。ここでいう基本波形とは、互いの波形を比較したとき、膨張要素あるいは収縮要素の有無の違い、波形内における異なる要素同士の相対的な電位レベルが高低入れ替わっている場合を意味する。

また、本発明では、前記第１の液滴吐出機構によって１滴当たりの重量が異なる液滴を吐出する際、前記圧力発生素子については、前記第１の駆動信号として、基本波形の異なる第１の駆動信号で動作させ、前記第２の液滴吐出機構によって１滴当たりの重量が異なる液滴を吐出する際、前記圧力発生素子については、前記第２の駆動信号として、基本波形の異なる第２の駆動信号で動作させてもよい。

本発明において、前記第１の液滴吐出機構および前記第２の液滴吐出機構は、例えば、前記媒体上の略同一箇所に液滴を吐出する。

この場合、前記第１の液滴吐出機構によって吐出した液状物と前記第２の液滴吐出機構によって吐出した液状物とを前記媒体上で混合し合って組成物を形成することが好ましい。このように構成すると、液状物を粘度の経時変化などの面で安定した組成で調製し、保存しておけるので、有機溶剤系の液状物を液滴として吐出する場合でも、使用中あるいは保存中、液状物の特性変化を小さく抑えることができる。それ故、液滴を常に安定した状態で吐出できる。

本発明は、前記第１の液滴吐出機構および前記第２の液滴吐出機構のうちの少なくとも一方が有機溶剤系の液滴を吐出する場合に適用すると効果的である。本願発明における有機溶剤系の液状物とは、溶媒の主成分（５０％以上）が有機溶剤であることを意味し、その一部に水が用いられている場合も含む意味である。有機溶剤系の液状物の場合、その溶解能などの制約があって粘度などの物性調整が困難であるが、本発明によれば、このような有機溶剤系の液状物の液滴であっても好適に吐出することができる。

本発明に係る液滴吐出方法は、例えば、電気光学装置の製造方法に適用することができる。この場合、電気光学装置用基板上に前記液滴を吐出して、当該電気光学装置用基板上に画素構成要素を形成する。

以下に、図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置の一例を説明する。

（液滴吐出装置の全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。なお、液滴吐出装置によってカラー印刷やカラーの表示装置を製造する場合、通常、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の絵素を形成する必要がある。従って、液滴吐出装置については、１台で各色に対応する液滴を吐出可能に構成するか、所定の色に対応するものを複数台、準備することになるが、以下の説明では、後者において複数、準備した液滴吐出装置のうちの１台を説明する。

図１において、液滴吐出装置１０は、各種の液状物を基板などの媒体上の所望位置に液滴として吐出するものであり、液状物を各種媒体上に液滴として吐出するノズル開口を備える液滴吐出ヘッド２２と、液滴吐出ヘッド２２を保持する共通のキャリッジ２６とを有している。また、液滴吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、媒体としての基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して主走査移動させる主走査駆動手段としての主走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して副走査移動させる副走査駆動手段としての副走査駆動装置２１と、基板１２を液滴吐出装置１０内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、液滴吐出装置１０の全般の制御を司るコントロール装置２４とを有しており、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１によって、液滴吐出ヘッド２２（キャリッジ２６）と基板１２とを相対移動させる移動手段が構成されている。ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１はベース９の上に設置され、それらの各装置は必要に応じてカバー１４によって覆われる。

ヘッド位置制御装置１７は、液滴吐出ヘッド２２を面内回転させるαモータ（図示せず）と、液滴吐出ヘッド２２を副走査方向Ｙと平行な軸線回りに揺動回転させるβモータ（図示せず）と、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向と平行な軸線回りに揺動回転させるγモータ（図示せず）と、そして液滴吐出ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ（図示せず）とを備えている。基板位置制御装置１８は、媒体としての基板１２を載せるテーブル４９と、そのテーブル４９を面内回転させるθモータ（図示せず）とを備えている。主走査駆動装置１９は、主走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを備えている。Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動するときにＸガイドレール５２に沿って主走査方向へ平行移動する。副走査駆動装置２１は、副走査方向Ｙへ延びるＹガイドレール（図示せず）と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを備えている。Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作動するときにＹガイドレールに沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。Ｘスライダ５３およびＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができ、従って、Ｘスライダ５３に支持された液滴吐出ヘッド２２の主走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の副走査方向Ｙ上の位置などを高精細に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド２２やテーブル４９の位置制御は、パルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。

基板供給装置２３は、基板１２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロボット５８とを備えている。ロボット５８は、床、地面などといった設置面に置かれる基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを備えており、吸着パッド６４は、空気吸引などによって基板１２を吸着できる。

また、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、その液滴吐出ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ７９が配置されている。なお、ベース９上に設けた支持装置（図示せず）には基板用カメラ（図示せず）が配置され、基板用カメラは、基板１２を撮影可能である。

ここで、主走査駆動装置１９によって駆動されて主走査移動する液滴吐出ヘッド２２の軌跡下であって副走査駆動装置２１の一方の脇位置には、キャッピング機構７６およびクリーニング機構７７が配置され、キャッピング機構７６は、液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズルの乾燥を防止するための機構である。クリーニング機構７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための機構である。また、副走査駆動装置２１の他方の脇位置には、液滴吐出ヘッド２２内の個々のノズル２７から吐出される液滴の重量を測定する電子天秤７８が配置されている。

（液滴吐出ヘッドの構成）
図２（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、液滴吐出ヘッド２２の構成を示す説明図である。図３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、液滴吐出ヘッド２２の内部構造を模式的に示す説明図、撓み振動モードの圧力発生素子の説明図、および縦振動モードの圧力発生素子の説明図である。なお、液滴吐出装置において、１台で各色に対応する液滴を吐出する場合、各色に対応する液滴吐出ヘッド２２が共通のキャリッジ２６に複数、保持されるか、１つの液滴吐出ヘッド２２の各色分のノズル開口２２が形成されることになる。

図２（Ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、液滴として吐出する液状物Ｍを貯留しておくタンク状、カートリッジ状などの液状物貯留部３７に接続されている。また、液滴吐出ヘッド２２は、多数のノズル開口２７を列状に並べることによって形成されたノズル列２８を備えている。ノズル開口２７の数は、例えば１８０個であり、ノズル開口２７の穴径は例えば２８μｍであり、ノズル開口２７間のノズルピッチは例えば１４１μｍである。なお、液滴吐出ヘッド２２の基板１２に対する主走査方向Ｘおよびそれに直交する副走査方向Ｙは図示の通りである。すなわち、液滴吐出ヘッド２２は、そのノズル列２８が主走査方向Ｘと交差する方向へ延びるように位置設定され、この主走査方向Ｘへ平行移動する間に、液状物を複数のノズル開口２７から選択的に吐出することにより、基板１２内の所定位置に液滴を着弾させる。また、液滴吐出ヘッド２２は副走査方向Ｙへ所定距離だけ平行移動することにより、液滴吐出ヘッド２２による主走査位置を所定の間隔でずらせることができる。

図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、例えば、ステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する弾性板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有している。ノズルプレート２９と弾性板３１との間には、仕切部材３２によって複数の圧力発生室３３、および液溜り３４が形成され、複数の圧力発生室３３と液溜り３４とは液状物流入口３８を介して互いに連通している。弾性板３１の適所には液状物供給穴３６が形成され、この液状物供給穴３６に液状物貯留部３７が接続される。従って、液状物貯留部３７は吐出されることとなる液状物Ｍを液状物供給穴３６へ供給する。供給された液状物Ｍは液溜り３４に充満し、さらに液状物流入口３８を通って圧力発生室３３に充満する。このようにして、液状物貯留部３７と各圧力発生室３３とが連通している。

ノズルプレート２９には、圧力発生室３３から液状物Ｍを液滴Ｍ０として噴射するためのノズル開口２７が設けられており、そのノズル開口２７が開口しているノズル形成面２７１は平坦面とされている。このようにしてノズル開口２７は、圧力発生室３３で開口している。弾性板３１の圧力発生室３３を形成する面の裏面には、この圧力発生室３３に対応させて圧力発生素子３９が取り付けられている。この圧力発生素子３９は、例えば、図３（Ｂ）に示すように、圧電素子４１、およびこの圧電素子４１を挟持する一対の電極４２ａ、４２ｂを備えたたわみ振動モードの圧電素子である。その振動方向を矢印Ｃで示す。なお、図３（Ｃ）に示すように、圧力発生素子３９としては、縦振動モードの圧電素子を用いてもよい。この縦振動モードの圧電素子（圧力発生素子３９）では、伸長方向に平行に圧電材料と導電材料を交互に積層して構成されており、その先端は弾性板３１に固定され、他端は基台２０に固定されている。このような圧力発生素子３９では、充電状態では導電層の積層方向と直角な方向に収縮し、また充電状態が解かれると、導電層と直角な方向に伸長する。

いずれの圧電素子を用いた場合も、電極間に印加される駆動信号によって変形し、圧力発生室３３を膨張、収縮させる。なお、ノズル開口２７の周辺部には、液滴Ｍ０の飛行曲がりやノズル開口２７の穴詰まりなどを防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥液状物層４３が設けられる。

（制御系および駆動系の構成）
図４は、図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図５および図６は、図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドのヘッド駆動部の電気的構成を示す説明図、およびヘッド駆動部を構成する素子の説明図である。なお、図４に示す例では、制御系をコンピュータ本体部側に構成した例を示してあるが、その一部については、液滴吐出装置本体側に構成してもよい。

図１に示すコントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、入力装置６７としてのキーボードと、表示装置としてのＣＲＴディスプレイ６８とを有している。上記プロセッサは、図４に示すように、演算などの処理を行うＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ／ヘッド制御手段）６９と、各種情報を記憶するメモリすなわち情報記憶媒体７１とを有しており、図１を参照して説明したヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、副走査駆動装置２１、および液滴吐出ヘッド２２内の圧力発生素子３９（図３（Ｂ）、（Ｃ）を参照）を駆動するヘッド駆動部８などは、入出力インターフェース７３およびバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。

ヘッド駆動部８は、複数の液滴吐出ヘッド２２と表示装置用基板１２との相対移動に連動して、所定のビットマップに基づいて圧力発生素子３９を作動させ、液滴吐出ヘッド２２の各ノズル開口２７から液滴を吐出させて表示装置用基板１２に所定のパターンを描画する。なお、基板供給装置２３、入力装置６７、ＣＲＴディスプレイ６８、電子天秤７８、クリーニング装置７７およびキャッピング装置７６なども、入出力インターフェース７３およびバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。

情報記憶媒体７１としてのメモリは、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体などといった外部記憶装置などを含む概念であり、機能的には、液滴吐出装置１０の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域、液状物の表示装置用基板１２上における吐出位置（ビットマップ）を座標データとして記憶するためのビットマップ記憶領域、副走査方向Ｙへの表示装置用基板１２の副走査移動量を記憶するための記憶領域、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域などの各種記憶領域が設定されている。

ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメモリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、表示装置用基板１２に表面の所定位置に液状物を吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部、電子天秤を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部、および液滴吐出によって所定のパターンを描画するための演算を行う描画演算部などを備えている。この描画演算部を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド２２を描画のための初期位置へセットするための描画開始位置演算部、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部、表示装置用基板１２を副走査方向Ｙへ所定の副走査量だけずらせるための制御を演算する副走査制御演算部、および液滴吐出ヘッドの複数のノズル開口２７のうちのいずれを作動させて液状物を吐出するかを制御するためビットマップを形成するための演算を行うビットマップ演算部（ノズル吐出制御演算部）などといった各種の機能演算部を有している。

図５に示すように、ヘッド駆動部８は、所定の電源を生成する電源生成部８７と、コンピュータ本体部６６から出力された制御信号、および電源生成部８７から供給される電源に基づいて駆動信号ＣＯＭを形成する駆動信号発生回路８８（駆動信号発生手段）とを備えている。また、ヘッド駆動部８は、シフトレジスタ８０、ラッチ回路８１、レベルシフタ８２、およびスイッチ回路８４を備えており、スイッチ回路８４に圧力発生素子２２が接続されている。ここで、シフトレジスタ８０、ラッチ回路８１、レベルシフタ８２、スイッチ回路８３、および圧力発生素子３９はそれぞれ、図６に示すように、液滴吐出ヘッド２２の各ノズル開口２７毎に設けたシフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎ、ラッチ素子８１Ａ〜８１Ｎ、レベルシフタ素子８２Ａ〜８２Ｎ、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎ、圧力発生素子３９Ａ〜３９Ｎから構成され、シフトレジスタ８０、ラッチ回路８１、レベルシフタ８２、スイッチ回路８３、圧力発生素子３９の順で電気的に接続されている。

このようなヘッド駆動部８により、圧力発生素子３９に駆動信号ＣＯＭを印加して液滴を吐出させる制御について説明する。なお、以下の説明ではドットパターンデータを構成する吐出データ（１ドットデータに相当）を、複数ビットで構成した場合について説明する。まず、ヘッド駆動部８では、コンピュータ本体部６６の発振回路（図示せず）からのクロック信号（ＣＬＫ）に同期して、コンピュータ本体部６６から出力された吐出データ（ＳＩ）の内の最上位ビットのデータを、順次シフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットする。全ノズル開口分の吐出データがシフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットされると、コンピュータ本体部６６は、所定のタイミングでラッチ回路８１、すなわち、ラッチ素子８１Ａ〜８１Ｎへラッチ信号（ＬＡＴ）を出力する。このラッチ信号により、ラッチ素子８１Ａ〜８１Ｎは、シフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットされた吐出データをラッチする。このラッチされた吐出データは、電圧増幅器であるレベルシフタ８２、すなわち、レベルシフタ素子８２Ａ〜８２Ｎに供給される。各レベルシフタ素子８２Ａ〜８２Ｎは、吐出データが例えば「１」の場合に、スイッチ回路４３が駆動可能な電圧、例えば、数十ボルトまでこの吐出データを昇圧する。そして、この昇圧された吐出データはスイッチ回路８３、すなわち、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎに印加され、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎは、当該吐出データにより接続状態になる。ここで、各スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎには、駆動信号発生回路８８から駆動信号（ＣＯＭ）が印加されており、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎが接続状態になると、このスイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎに接続された圧力発生素子３９Ａ〜３９Ｎに駆動信号が供給される。なお、吐出データが例えば「０」の場合には、対応する各レベルシフタ素子３９Ａ〜３９Ｎは昇圧を行わない。そして、最上位ビットのデータに基づいて駆動信号を印加すると、続いて、コンピュータ本体部６６は、１ビット下位のデータをシリアル伝送させてシフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットする。そして、シフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにデータがセットされたならば、ラッチ信号を印加させることにより、セットされたデータをラッチさせ、駆動信号を圧力発生素子３９Ａ〜３９Ｎに供給させる。以後は、１ビットずつ吐出データを下位ビットにシフトしながら最下位ビットまで同様の動作を繰り返し行う。

このように、圧力発生素子３９に駆動信号を供給するか否かを、吐出データによって制御できる。すなわち、吐出データを「１」にすることにより駆動信号ＣＯＭを圧力発生素子３９に供給でき、吐出データを「０」にすることにより駆動信号ＣＯＭの圧力発生素子３９への供給を遮断することができる。なお、吐出データを「０」にした場合、圧力発生素子３９は直前の電荷（電位）を保持する。

（液滴吐出系の系列化）
本形態では、図２（Ａ）に示すように、本形態の液滴吐出装置１０では、液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９などによって液滴吐出機構が構成されているが、本形態では、液滴吐出機構として、２系列の第１の液滴吐出機構１１Ａおよび第２の液滴吐出機構１１Ｂが構成され、それに伴って、図３（Ａ）に示す液状物Ｍの流路、図５および図６に示す駆動回路の一部も系列化されている。

ここで、第１の液滴吐出機構１１Ａおよび第２の液滴吐出機構１１Ｂには、液状物Ｍとして、組成の異なる液状物ＭＡ、ＭＢが貯留されており、液滴吐出機構１１Ａ、１１Ｂのノズル開口２７は各々、液滴Ｍ０として、異なる組成の液滴ＭＡ０、ＭＢ０を基板（図１の基板１２）上の略同一箇所にドット状に吐出し、基板上で液滴同士を混合させる。

例えば、後述する有機ＥＬ素子の発光層を形成する場合には、第１の液滴吐出機構１１Ａは、例えば、ゲスト材料の有機溶剤系の液状物ＭＡを吐出するための系列として利用され、第２の液滴吐出機構１１Ｂは、例えば、ホスト材料の有機溶剤系の液状物ＭＢを基板上に吐出するための系列として利用される。そして、基板上で液滴ＭＡ０、ＭＢ０同士を混合させた後、焼成すると、有機ＥＬ素子の発光層（組成物）を形成することができる。

ここで、液状物ＭＡ、ＭＢの溶媒としては、キシレン、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等が用いられており、本形態では、液状物ＭＡ、ＭＢの粘度（物性）は、以下に示すように、
液状物ＭＡの粘度＞１０ｍＰａ・ｓｅｃ＞液状物ＭＢの粘度
であり、液状物ＭＡの粘度は、液状物ＭＢの粘度よりもかなり高い。なお、使用する材料によっては、ゲスト材料の有機溶剤系の液状物の方が粘度が低い場合もあるが、いずれの場合も、粘度が高い方を液状物ＭＡとし、粘度が低い方を液状物ＭＢとして本発明を適用すればよい。

また、有機ＥＬ素子の発光層としては、生成した一重項の励起子による発光をそのまま利用することができるが、本形態では、発光層で生成した一重項の励起子のエネルギーを他の材料に移動して発光させるため、ホスト材料とゲスト材料を用いている。この場合、最初に一重項の励起子となる材料をホスト材料、一重項の励起子からのエネルギー移動により励起され、発光する材料をゲスト材料という。ホスト材料およびゲスト材料の組み合わせとしては、例えば、アルミニウムキノリノール錯体をホスト材料として用い、ＤＣＭ２をゲスト材料として用いる。また、ペリレンテトラカルボン酸二無水物をホスト材料として用い、ペンタセンをゲスト材料として用いることができる。

ここで、ゲスト材料およびホスト材料を一緒に有機溶剤に配合して吐出しても、有機ＥＬ素子の発光層を形成できるが、かかる有機溶剤系の溶液は、使用期間中あるいは保存期間中の粘度変化が大きいため、液滴を安定した状態に吐出できない。これに対して、本形態のように、発光層を形成するための液状物として、ゲスト材料吐出用の液状物ＭＡと、ホスト材料吐出用の液状物ＭＢとに分けて調製すると、各々最適な組成で液状物ＭＡ、ＭＢを調製できるので、各々の液状物ＭＡ、ＭＢは、例えば、温度が１０℃から４０℃の条件下での３０日の保存期間中の粘度変化を１％以内に抑えることができる。

（液滴の吐出条件の一例）
図７は、図１に示す液滴吐出装置によって、基板上の矩形領域に液滴を吐出する様子の一例を示す説明図である。図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、図１に示す液滴吐出装置において、第１の液滴吐出機構によって、粘度の高い液状物を吐出するのに用いた第１の駆動信号の波形図である。図９（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、図１に示す液滴吐出装置において、第２の液滴吐出機構によって、粘度の高い液状物を吐出するのに用いた第２の駆動信号の波形図である。なお、図８および図９において、中間電位については最高電位に対する％表示で表してあるが、かかる数値は、あくまで中間電位同士の相対的な高低を表すものであり、その数値自体に格別の意味があるものではない。

本形態の液滴吐出装置１０を用いて液滴ＭＡ０、ＭＢ０を基板（図１の基板１２）上の略同一箇所にドット状に吐出し、基板上で液滴同士を混合させる際、例えば、図７に示すように、画素５１５ｐを形成すべき矩形領域をバンク層５０５で囲み、バンク層５０５で囲まれた内に液滴ＭＡ０、ＭＢ０を複数滴、吐出する。但し、バンク層５０５で囲まれた矩形領域の隅々まで液状物ＭＡ、ＭＢを展開させるために、ここに示す例では、矩形領域に対して、液滴ＭＡ０、ＭＢ０を１滴当たりの液滴重量が大の大ドットとして２滴吐出するとともに、大ドットの液滴ＭＡ０、ＭＢ０の吐出位置の間に、液滴ＭＡ０、ＭＢ０より小さい中ドットの液滴ＭＡ０′、液滴ＭＢ０′を１滴吐出する。さらに矩形領域の各隅に対して、さらに小さい小ドットの液滴ＭＡ０″、液滴ＭＢ０″を１滴ずつ吐出している。このように構成すると、画素５１５ｐとして機能する矩形領域全体に対して一定厚の発光層を形成するという利点がある。

このように、本形態では、基板上の略同一箇所に、粘度の高い液状物ＭＡをサイズの異なる液滴ＭＡ０、ＭＡ０′、ＭＡ０″として吐出し、かつ、粘度の低い液状物ＭＢをサイズの異なる液滴ＭＢ０、ＭＢ０′、ＭＢ０″として吐出する。そこで、本形態では、図５に示す駆動信号発生回路８８は、第１の液滴吐出機構１１Ａによって、粘度の高い液状物ＭＡの液滴ＭＡ０、ＭＡ０′、ＭＡ０″を吐出するための駆動信号ＣＯＭとして、図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、基本波形が相違する３つの第１の駆動信号ＣＯＭＡ、ＣＯＭＡ′、ＣＯＭＡ″を発生させ、これらの第１の駆動信号ＣＯＭＡ、ＣＯＭＡ′、ＣＯＭＡ″によって、第１の液滴吐出機構１１Ａの圧力発生素子３９が動作する。ここで、第１の駆動信号ＣＯＭＡは大ドットの液滴ＭＡ０を吐出するための駆動信号であり、第１の駆動信号ＣＯＭＡ′は中ドットの液滴ＭＡ０′を吐出するための駆動信号であり、第１の駆動信号ＣＯＭＡ″は小ドットの液滴ＭＡ０″を吐出するための駆動信号である。

また、図５に示す駆動信号発生回路８８は、第２の液滴吐出機構１１Ｂによって、粘度の低い液状物ＭＢの液滴ＭＢ０、ＭＢ０′、ＭＢ０″を吐出するための駆動信号ＣＯＭとして、図９（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、基本波形が相違する３つの第２の駆動信号ＣＯＭＢ、ＣＯＭＢ′、ＣＯＭＢ″を発生させ、これらの第２の駆動信号ＣＯＭＢ、ＣＯＭＢ′、ＣＯＭＢ″によって、第２の液滴吐出機構１１Ｂの圧力発生素子３９が動作する。ここで、第２の駆動信号ＣＯＭＢは大ドットの液滴ＭＢ０を吐出するための駆動信号であり、第２の駆動信号ＣＯＭＢ′は中ドットの液滴ＭＢ０′を吐出するための駆動信号であり、第２の駆動信号ＣＯＭＢ″は小ドットの液滴ＭＢ０″を吐出するための駆動信号である。

なお、本形態において、大ドットは１滴当たりの重量が１０ｎｇ以上を意味し、中ドットは１滴当たりの重量が５〜１０ｎｇを意味し、小ドットは１滴当たりの重量が５ｎｇ未満を意味する。

また、本形態では、以下に説明するように、第１の液滴吐出機構１１Ａによって、粘度の高い液状物ＭＡの液滴ＭＡ０、ＭＡ０′、ＭＡ０″を吐出するための第１の駆動信号ＣＯＭＡ、ＣＯＭＡ′、ＣＯＭＡ″は、第２の液滴吐出機構１１Ｂによって、粘度の低い液状物ＭＢの液滴ＭＢ０、ＭＢ０′、ＭＢ０″を吐出するための第２の駆動信号ＣＯＭＢ、ＣＯＭＢ′、ＣＯＭＢと波形が完全に相違している。

まず、図８（Ａ）に示す高粘度大ドット用の第１の駆動信号ＣＯＭＡは、中間電位Ｖ３０を保持した後、中間電位Ｖ３０から最低電位Ｖ０まで直線的に下降する吐出前収縮要素ＳＡ１、最低電位Ｖ０を保持するホールド要素ＳＡ２、最低電位Ｖ０から最高電位Ｖ１００まで直線的に上昇する吐出用膨張要素ＳＡ３、最高電位Ｖ１００を保持するホールド要素ＳＡ４、最高電位Ｖ１００から最低電位Ｖ０まで直線的に下降する吐出用収縮要素ＳＡ５、最低電位Ｖ０を保持するホールド要素ＳＡ６、最低電位Ｖ０から中間電位Ｖ３０まで直線的に上昇する膨張要素ＳＡ７がこの順に続き、しかる後に、初期の中間電位Ｖ３０でのホールド要素ＳＡ８が続く。このような駆動信号ＣＯＭＡによれば、中間電位Ｖ３０から最低電位Ｖ０まで直線的に下降する吐出前収縮要素ＳＡ１を備えているので、例えば、液滴として吐出される際の粘度が５ｍＰａ・ｓｅｃの液状物、１０ｍＰａ・ｓｅｃの液状物、１５ｍＰａ・ｓｅｃの液状物をそれぞれ、図１２に示す駆動信号ＣＯＭ′（従来例）で吐出した場合と比較したところ、大ドットを形成した際、以下の吐出結果
本形態の駆動信号ＣＯＭＡ
５ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト無し、飛行曲がり無し
１０ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト無し、飛行曲がり無し
１５ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト無し、飛行曲がり無し
図１２に示す駆動信号（従来例）
５ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト無し、飛行曲がり無し
１０ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト有り、飛行曲がり無し
１５ｍＰａ・ｓｅｃ ミスト有り、飛行曲がり有り
が得られた。

図８（Ｂ）に示す高粘度中ドット用の第１の駆動信号ＣＯＭＡ′は、最低電位Ｖ０を保持した後、最低電位Ｖ０から最高電位Ｖ１００まで直線的に上昇する吐出用膨張要素ＳＡ３′、最高電位Ｖ１００を保持するホールド要素ＳＡ４′、最高電位Ｖ１００から最低電位Ｖ０まで直線的に下降する吐出用収縮要素ＳＡ５′、最低電位Ｖ０を保持するホールド要素ＳＡ６′、最低電位Ｖ０から中間電位Ｖ２０まで直線的に上昇する膨張要素ＳＡ７′、中間電位Ｖ２０を保持するホールド要素ＳＡ７１′、中間電位Ｖ２０から最低電位Ｖ０まで直線的に下降する収縮要素ＳＡ７２′がこの順に続き、しかる後に、初期の最低電位Ｖ０でのホールド要素ＳＡ８′が続く。

図８（Ｃ）に示す高粘度小ドット用の第１の駆動信号ＣＯＭＡ″は、中間電位Ｖ４０を保持した後、中間電位Ｖ４０から最高電位Ｖ１００まで直線的に上昇する吐出用膨張要素ＳＡ３″、最高電位Ｖ１００を保持するホールド要素ＳＡ４″、最高電位Ｖ１００から中間電位Ｖ２０まで直線的に下降する吐出用収縮要素ＳＡ５″、中間電位Ｖ２０を保持するホールド要素ＳＡ６″、中間電位Ｖ２０から中間電位Ｖ５０まで直線的に上昇する膨張要素ＳＡ７″、中間電位Ｖ５０を保持するホールド要素ＳＡ７１″、中間電位Ｖ５０から最低電位Ｖ０まで直線的に下降する収縮要素ＳＡ７２″、最低電位Ｖ０を保持するホールド要素ＳＡ７３″、最低電位Ｖ０から中間電位Ｖ４０まで直線的に上昇する膨張要素ＳＡ７４″がこの順に続き、しかる後に、初期の中間電位Ｖ４０でのホールド要素ＳＡ８″が続く。

これに対して、図９（Ａ）に示す低粘度大ドット用の第２の駆動信号ＣＯＭＢは、中間電位Ｖ１５を保持した後、中間電位Ｖ１５から最高電位Ｖ１００まで直線的に上昇する吐出用膨張要素ＳＢ３、最高電位Ｖ１００を保持するホールド要素ＳＢ４、最高電位Ｖ１００から最低電位Ｖ０まで直線的に下降する吐出用収縮要素ＳＢ５、最低電位Ｖ０を保持するホールド要素ＳＢ６、最低電位Ｖ０から中間電位Ｖ１５まで直線的に上昇する膨張要素ＳＢ７がこの順に続き、しかる後に、初期の中間電位Ｖ１５でのホールド要素ＳＢ８が続く。

図９（Ｂ）に示す低粘度中ドット用の第２の駆動信号ＣＯＭＢ′は、中間電位Ｖ３０を保持した後、中間電位Ｖ３０から最高電位Ｖ１００まで直線的に上昇する吐出用膨張要素ＳＢ３′、最高電位Ｖ１００を保持するホールド要素ＳＢ４′、最高電位Ｖ１００から中間電位Ｖ３０まで直線的に下降する吐出用収縮要素ＳＢ５′、中間電位Ｖ３０を保持するホールド要素ＳＢ６′、中間電位Ｖ３０から最低電位Ｖ０まで直線的に下降する収縮要素ＳＢ７０′、最低電位Ｖ０を保持するホールド要素ＳＢ７１′、最低電位Ｖ０から中間電位Ｖ３０まで直線的に上昇する膨張要素ＳＢ７２′がこの順に続き、しかる後に、初期の中間電位Ｖ３０でのホールド要素ＳＢ８′が続く。

図９（Ｃ）に示す低粘度小ドット用の第２の駆動信号ＣＯＭＢ″は、最低電位Ｖ０を保持した後、最低電位Ｖ０から最高電位Ｖ１００まで直線的に上昇する吐出用膨張要素ＳＢ３″、最高電位Ｖ１００を保持するホールド要素ＳＢ４″、最高電位Ｖ１００から中間電位Ｖ３０まで直線的に下降する吐出用収縮要素ＳＢ５″、中間電位Ｖ３０を保持するホールド要素ＳＢ６″、中間電位Ｖ３０から最低電位Ｖ０まで直線的に下降する収縮要素ＳＢ７０″がこの順に続き、しかる後に、初期の最低電位Ｖ０でのホールド要素ＳＢ８″が続く。

（本形態の主な効果）
このように本形態では、第１の液滴吐出機構１１Ａおよび第２の液滴吐出機構１１Ｂが各々、物性の異なる液状物ＭＡ、ＭＢの液滴ＭＡ０、ＭＡ０′、ＭＡ０″、ＭＢ０、ＭＢ０′、ＭＢ０″を吐出するため、それに合わせて、たとえ同一重量の液滴を吐出するときでも、第１の液滴吐出機構１１Ａの圧力発生素子３９については第１の駆動信号ＣＯＭＡ、ＣＯＭＡ′、ＣＯＭＡ″で動作させ、第２の液滴吐出機構１１Ｂの圧力発生素子３９については、第１の駆動信号ＣＯＭＡ、ＣＯＭＡ′、ＣＯＭＡ″と波形の異なる第２の駆動信号ＣＯＭＢ、ＣＯＭＢ′、ＣＯＭＢ″で動作させる。このため、粘度などの物性が異なる複数種類の液状物ＭＡ、ＭＢのいずれをも基板上に好適に吐出することができる。

特に、有機溶剤系の液状物ＭＡ、ＭＢの場合、その溶解能などの制約があって粘度などの物性調整が困難であるが、本形態によれば、このような有機溶剤系の液状物ＭＡ、ＭＢの液滴ＭＡ０、ＭＡ０′、ＭＡ０″、ＭＢ０、ＭＢ０′、ＭＢ０″であっても好適に吐出することがきる。

（液滴吐出系の系列化の変形例）
図２（Ａ）に示す形態では、１つの液滴吐出ヘッド２２に第１の液滴吐出機構１１Ａの圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９と、第２の液滴吐出機構１１Ｂの圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９とが構成されている例であったが、図２（Ｂ）に示すように、第１の液滴吐出機構１１Ａの圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９と、第２の液滴吐出機構１１Ｂの圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９とが各々、別の液滴吐出ヘッド２２Ａ、２２Ｂに構成されている構成を採用してもよい。この場合も、２つの吐出ヘッド２２Ａ、２２Ｂを共通のキャリッジ２６（図１参照）に搭載しておけばよい。但し、２つの吐出ヘッド２２Ａ、２２Ｂが各々、別のキャリッジ２６に搭載されている構成を採用してもよい。また、本形態では、液状物ＭＡ、ＭＢの溶媒が全て有機溶剤であったが、溶媒の一部として水を用いた場合に本発明を適用してもよい。

［電気光学装置の構成、および製造方法の例］
電気光学装置の一例として、有機ＥＬ表示装置の構成およびその製造工程を説明する。図１０（Ａ）、（Ｂ）は、電気光学物質として電荷注入型の有機薄膜を用いたＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置のブロック図、およびその画素の構成を示す断面図である。図９は、有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す製造工程断面図であり、図１０（Ｂ）に示す有機ＥＬ表示装置の１画素分の断面に相当する。

図１０（Ａ）において、有機ＥＬ表示装置５００ｐは、有機半導体膜に駆動電流が流れることによって発光するＥＬ素子をＴＦＴで駆動制御する表示装置であり、このタイプの表示装置に用いられる発光素子はいずれも自己発光するため、バックライトを必要とせず、また、視野角依存性が少ないなどの利点がある。ここに示す電気光学装置５００ｐでは、複数の走査線５６３ｐと、この走査線５６３ｐの延設方向に対して交差する方向に延設された複数のデータ線５６４と、これらのデータ線５６４に並列する複数の共通給電線５６５と、データ線５６４と走査線５６３ｐとの交差点に対応する画素５１５ｐとが構成され、画素５１５ｐは、画像表示領域にマトリクス状に配置されている。データ線５６４に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ線駆動回路５５１ｐが構成されている。走査線５６３ｐに対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを備える走査線駆動回路５５４ｐが構成されている。また、画素５１５ｐの各々には、走査線５６３ｐを介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ５０９と、このスイッチング薄膜トランジスタ５０９を介してデータ線５６４から供給される画像信号を保持する保持容量５３３ｐと、この保持容量５３３ｐによって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ５１０と、カレント薄膜トランジスタ５１０を介して共通給電線５６５に電気的に接続したときに共通給電線５６５から駆動電流が流れ込む発光素子５１３とが構成されている。

発光素子５１３は、図１０（Ｂ）に示すように、陽極としての画素電極５１１の上層側に、正孔注入層５１３ａおよび発光層５１３ｂを備えた有機機能層を備えており、この有機機能層の上層に対向電極５１２が形成された構造を有している。

このような構成の有機ＥＬ表示装置５００ｐを製造するには、基板（媒体／電気光学装置用基板／有機ＥＬ表示装置用基板）を用意する。ここで、有機ＥＬ表示装置５００ｐでは、後述する発光層による発光光を基板側から取り出すことも可能であり、また基板と反対側から取り出す構成とすることも可能である。発光光を基板側から取り出す構成とする場合、基板材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明なものが用いられるが、特にガラスが好適に用いられる。また、基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む色変換膜、あるいは誘電体反射膜を配置して、発光色を制御するようにしてもよい。なお、基板と反対側から発光光を取り出す構成の場合、基板は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。

本例では、図１１（Ａ）に示すように、基板としてガラスからなる透明基板５０２（媒体）を用意し、透明基板５０２に対して、必要に応じてＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）や酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約２００〜５００ｎｍのシリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず）を形成する。

次に、透明基板５０２の温度を約３５０℃に設定して、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により厚さ約３０〜７０ｎｍのアモルファスシリコン膜からなる半導体膜５２０ａを形成する。次に、半導体膜５２０ａに対してレーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を行い、半導体膜５２０ａをポリシリコン膜に結晶化する。レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビームの長寸が４００ｍｍのラインビームを用い、その出力強度は、例えば２００ｍＪ／ｃｍ^２とする。ラインビームについては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の９０％に相当する部分が各領域毎に重なるようにラインビームを走査する。

次に、図１１（Ｂ）に示すように、半導体膜（ポリシリコン膜）５２０ａをパターニングして島状の半導体膜５２０ｂとし、その表面に対して、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約６０〜１５０ｎｍのシリコン酸化膜または窒化膜からなるゲート絶縁膜５２１ａを形成する。なお、半導体膜５２０ｂは、図１０（Ａ）に示したカレント薄膜トランジスタ５１０のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜トランジスタ５０９のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となる半導体膜も形成されている。つまり、製造工程では二種類のトランジスタ５０９、５１０が同時に作られるのであるが、同じ手順で作られるため、以下の説明ではトランジスタに関しては、カレント薄膜トランジスタ５１０についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジスタ５０９についてはその説明を省略する。

次に、図１１（Ｃ）に示すように、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどの金属膜からなる導電膜をスパッタ法により形成した後、これをパターニングし、ゲート電極５１０ｇを形成する。次に、この状態で高濃度のリンイオンを打ち込み、半導体膜５２０ｂに、ゲート電極５１０ｇに対して自己整合的にソース・ドレイン領域５１０ａ、５１０ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域５１０ｃとなる。

次に、図１１（Ｄ）に示すように、層間絶縁膜５２２を形成した後、コンタクトホール５２３、５２４を形成し、これらコンタクトホール５２３、５２４内に中継電極５２６、５２７を埋め込む。次に、層間絶縁膜５２２上に信号線、共通給電線及び走査線（図示せず）を形成する。ここで、中継電極５２７と各配線とは、同一工程で形成してもよく、その場合、中継電極５２６は、後述するＩＴＯ膜で形成されることになる。

次に、図１１（Ｅ）に示すように、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜５３０を形成した後、層間絶縁膜５３０に対して中継電極５２６に対応する位置にコンタクトホール５３２を形成する。次に、コンタクトホール５３２を埋めるようにＩＴＯ膜を形成し、さらにそのＩＴＯ膜をパターニングして、信号線、共通給電線及び走査線に囲まれた所定位置に、ソース・ドレイン領域５１０ａに電気的に接続する画素電極５１１を形成する。ここで、信号線及び共通給電線、さらには走査線に挟まれた部分が、後述する正孔注入層や発光層の形成場所となる。

次に、図１１（Ｆ）に示すように、正孔注入層や発光層の形成場所を囲むように隔壁５０５を形成する。この隔壁５０５は、仕切り部材として機能するものであり、例えばポリイミド等の絶縁性有機材料で形成するのが好ましい。隔壁５０５の膜厚については、例えば１〜２μｍの高さとなるように形成する。また、隔壁５０５は、上述した液滴吐出ヘッド２２から吐出される液状物に対して撥液性を示すものが好ましい。隔壁５０５に撥液性を発現させるためには、例えば隔壁５０５の表面をフッ素系化合物などで表面処理するといった方法が採用される。フッ素化合物としては、例えばＣＦ４、ＳＦ５、ＣＨＦ３などがあり、表面処理としては、例えばプラズマ処理、ＵＶ照射処理などが挙げられる。このようにして、正孔注入層や発光層の形成場所、すなわち、これらの形成材料の塗布位置とその周囲の隔壁５０５との間には、十分な高さの段差５３５が形成される。

次に、図１１（Ｇ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、正孔注入層の形成材料５４０ａを、上述した液滴吐出装置１０の液滴吐出ヘッド２２と同様な液滴吐出ヘッドより、前記隔壁５０５に囲まれた塗布位置、すなわち隔壁５０５内に選択的に塗布する。その際、形成材料５４０ａは、流動性が高いため水平方向に広がろうとするが、塗布された位置を囲んで隔壁５０５が形成されているので、形成材料５４０ａは隔壁５０５を越えてその外側に広がることがない。ここで、正孔注入層の形成材料５４０ａとしては、ポリオレフィン誘導体である３，４−ポリエチレンジオシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を正孔注入材料として用い、これを有機溶剤を主溶媒として分散させてなる分散液が好適に用いられる。但し、正孔注入材料としては、前記のものに限定されることなく、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ、Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等を用いることもできる。

このようにして形成材料５４０ａを液滴吐出ヘッドから吐出して所定位置に配置した後、液状の形成材料５４０ａに対して乾燥処理を行い、形成材料５４０ａ中の分散媒を蒸発させる。その結果、図１１（Ｈ）に示すように、画素電極５１１上に固形の正孔注入層５１３ａが形成される。

次に、図１１（Ｉ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、上述した液滴吐出ヘッド２２の第１の液滴吐出機構１１Ａのノズル開口２７から、ゲスト材料吐出用の液状物ＭＡを隔壁５０５内の正孔注入層５１３ａ上に液滴ＭＡ０、ＭＡ０′ＭＡ０″として順次、吐出する（図７参照）。

次に、図１１（Ｊ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、上述した液滴吐出ヘッド２２の第２の液滴吐出機構１１Ｂのノズル開口２２から、ホスト材料吐出用の液状物ＭＢを隔壁５０５内に液滴ＭＢ０、ＭＢ０′ＭＢ０″として順次、吐出する（図７参照）。

このようにして赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）に各々について、ゲスト材料吐出用の液状物ＭＡの液滴ＭＡ０、ＭＡ０′ＭＡ０″と、ホスト材料吐出用の液状物ＭＢ、ＭＢ０′ＭＢ０″の液滴ＭＢ０とを透明基板５０２上の略同一箇所にドット状に吐出して、液滴ＭＡ０、ＭＡ０′ＭＡ０″、ＭＢ、ＭＢ０′ＭＢ０″を透明基板５０２上で混合させた後、乾燥処理を行い、液状物ＭＡ、ＭＢに配合されていた有機溶剤を蒸発、乾燥させる。その結果、図１１（Ｋ）に示すように、正孔層注入層５１３ａ上に固形の発光層５１３ｂ（画素構成要素）がドット状に形成される。

なお、液状物ＭＡ、ＭＢの乾燥処理については、それに配合したゲスト材料やホスト材料のガラス転移点未満の温度、例えば１００°未満の温度で加熱することにより、乾燥するのが好ましい。このような温度で乾燥することにより、結城溶剤の蒸発速度を比較的低く抑え、発光層５１３ｂを均一な厚さに形成するができる。また、発光層５１３ｂを形成するの乾燥処理によって生じる熱的ダメージが、発光層５１３ｂだけでなく正孔注入層５１３ａに対しても小さくなり、初期輝度の低下などによる表示性能の低下が抑制される。

次に、図１０（Ｂ）に示すように透明基板５０２の表面全体に、あるいはストライプ状に、ＬｉＦ／Ａｌ（ＬｉＦとＡｌとの積層膜）やＭｇＡｇ、あるいはＬｉＦ／Ｃａ／Ａｌ（ＬｉＦとＣａとＡｌとの積層膜）を蒸着法等によって成膜し、対向電極５１２を形成する。その後、封止を行った後、さらに配線等の各種要素を形成することにより、有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置５００ｐ（電気光学装置）を製造する。

（その他の適用例）
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などは一例に過ぎず、適宜変更が可能である。従って、ＥＬ表示装置や液晶装置の他、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ及びＳｕｒｆａｃｅ‐Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ‐Ｅｍｉｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｙ等）などの各種電気光学装置の製造に本発明を適用してもよい。また、本発明を適用した電気光学装置については、携帯電話機、パーソナルコンピュータやＰＤＡなど、様々な電子機器において表示装置として用いることができる。上記形態では、本発明を有機ＥＬ表示装置の製造工程に用いた例であったが、液晶表示装置のカラーフィルタ（画素構成要素）の形成などに本発明を適用してもよい。

例えば、第１の液滴吐出機構１１Ａと第２の液滴吐出機構１１Ｂとの間で駆動信号の波形を異ならせる構成は、各色の発光層を形成する材料の粘度が相違する場合において、粘度が相違する発光層形成材料を吐出するときに採用してもよい。また、第１の液滴吐出機構１１Ａと第２の液滴吐出機構１１Ｂとの間で駆動信号の波形を異ならせる構成は、発光層と正孔注入層を形成する材料の粘度が相違する場合において、粘度が相違する発光層形成材料と正孔注入層形成材料を吐出するときに採用してもよい。

また、インクジェットプリンタと称せられる液滴吐出装置に本発明を適用してもよい。すなわち、第１の液滴吐出機構１１Ａと第２の液滴吐出機構１１Ｂとの間で駆動信号の波形を異ならせる構成は、各色のインク材料の粘度が相違する場合において、粘度が相違するインク材料発光層形成材料を吐出するときに採用してもよい。また、第１の液滴吐出機構１１Ａと第２の液滴吐出機構１１Ｂとの間で駆動信号の波形を異ならせる構成は、インク材料と、このインク材料と反応する反応液を紙などの媒体上に吐出して混合させる場合、粘度の相違するインク材料と反応液を吐出するときに採用してもよい。

なお、上記形態では、第１の液滴吐出機構１１Ａと第２の液滴吐出機構１１Ｂが吐出する液状物の粘度が相違する場合を説明したが、液状物の表面張力や沸点などの物性が相違する場合に本発明を適用してもよい。

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。 （Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの構成を示す説明図である。 （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの内部構造を模式的に示す説明図、撓み振動モードの圧力発生素子の説明図、および縦振動モードの圧力発生素子の説明図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの制御系、駆動系の構成を示す説明図である。 図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドのヘッド駆動部の電気的構成を示す説明図である。 図５に示すヘッド駆動部を構成する素子の説明図である。 図１に示す液滴吐出装置によって、基板上の矩形領域に液滴を吐出する様子の一例を示す説明図である。 図１に示す液滴吐出装置において、第１の液滴吐出機構によって、粘度の高い液状物を吐出するのに用いた第１の駆動信号の波形図である。 図１に示す液滴吐出装置において、第２の液滴吐出機構によって、粘度の高い液状物を吐出するのに用いた第２の駆動信号の波形図である。 （Ａ）、（Ｂ）は、電気光学物質として電荷注入型の有機薄膜を用いたＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置のブロック図、およびその画素の構成を示す断面図である。 有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。 従来の液滴吐出装置で用いられている駆動信号の波形図である。

符号の説明

１０・・液滴吐出装置、１２、５０２・・基板（媒体）、１１Ａ・・第１の液滴吐出機構、１１Ｂ・・第２の液滴吐出機構、２２・・液滴吐出ヘッド、２７・・ノズル開口、３３・・圧力発生室、３７・・液状物貯留部、３９・・圧力発生素子、ＣＯＭ・・駆動信号、ＣＯＭＡ、ＣＯＭＡ′、ＣＯＭＡ″・・第１の駆動信号、ＣＯＭＢ、ＣＯＭＢ′、ＣＯＭＢ″・・第２の駆動信号、ＭＡ・・粘度の高い液状物、ＭＡ０、ＭＡ０′、ＭＡ０″・・粘度の高い液状物の液滴、ＭＢ・・粘度の低い液状物、ＭＢ０、ＭＢ０′、ＭＢ０″・・粘度の低い液状物の液滴

Claims (11)

1. ノズル開口が形成された圧力発生室、および該圧力発生室を膨張、収縮させる圧力発生素子を備えた液滴吐出機構によって媒体上に液状物の液滴を吐出する液滴吐出方法において、
   前記液滴吐出機構として、少なくとも、物性が相違する液状物の液滴を各々、同一の媒体上に吐出する第１の液滴吐出機構および第２の液滴吐出機構を設け、
   前記第１の液滴吐出機構の前記圧力発生素子については第１の駆動信号で動作させ、前記第２の液滴吐出機構の前記圧力発生素子については、前記第１の駆動信号と波形の異なる第２の駆動信号で動作させることを特徴とする液滴吐出方法。
2. 請求項１において、前記第１の液滴吐出機構と前記第２の液滴吐出機構は、粘度の異なる液状物の液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
3. 請求項１または２において、前記第１の液滴吐出機構および前記第２の液滴吐出機構のうちの少なくとも一方の液滴吐出機構によって１滴当たりの重量が異なる液滴を吐出する際、当該液滴吐出機構の前記圧力発生素子については、前記駆動信号として、基本波形の異なる駆動信号で動作させることを特徴とする液滴吐出方法。
4. 請求項１または２において、前記第１の液滴吐出機構によって１滴当たりの重量が異なる液滴を吐出する際、前記圧力発生素子については、前記第１の駆動信号として、基本波形の異なる駆動信号で動作させ、前記第２の液滴吐出機構によって１滴当たりの重量が異なる液滴を吐出する際、前記圧力発生素子については、前記第２の駆動信号として、基本波形の異なる駆動信号で動作させることを特徴とする液滴吐出方法。
5. 請求項１ないし４のいずれかにおいて、前記第１の液滴吐出機構および前記第２の液滴吐出機構は、前記媒体上の略同一箇所に液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
6. 請求項５において、前記第１の液滴吐出機構によって吐出した液状物と前記第２の液滴吐出機構によって吐出した液状物とは、前記媒体上で混合し合って組成物を形成することを特徴とする液滴吐出方法。
7. 請求項１ないし６のいずれかにおいて、前記第１の液滴吐出機構および前記第２の液滴吐出機構のうちの少なくとも一方は、有機溶剤系の液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
8. 請求項１ないし７のいずれかに規定する液滴吐出方法を用いて電気光学装置用基板上に前記液滴を吐出して、当該電気光学装置用基板上に画素構成要素を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
9. 圧力発生室で開口するノズル開口、および前記圧力発生室を膨張、収縮させる圧力発生素子を備えた液滴吐出機構と、前記圧力発生素子を動作させて前記ノズル開口から液状物の液滴を媒体上にドット状に吐出させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段とを有する液滴吐出装置において、
   前記液滴吐出機構として、少なくとも、物性が相違する液状物の液滴を各々、同一の媒体上に吐出する第１の液滴吐出機構および第２の液滴吐出機構を有し、
   前記駆動信号発生手段は、前記駆動信号として、少なくとも、前記第１の液滴吐出機構の前記圧力発生素子を動作させるための第１の駆動信号と、該第１の駆動信号と異なる波形を備え、前記第２の液滴吐出機構の前記圧力発生素子を動作させるための第２の駆動信号とを発生させることを特徴とする液滴吐出装置。
10. 請求項９において、前記第１の液滴吐出機構と前記第２の液滴吐出機構は、粘度の異なる液状物の液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
11. 請求項９において、前記駆動信号発生手段は、前記第１の液滴吐出機構および前記第２の液滴吐出機構のうちの少なくとも一方によって１滴当たりの重量が異なる液滴を吐出するために、当該液滴吐出機構で用いる前記駆動信号として、基本波形の異なる駆動信号を発生することを特徴とする液滴吐出装置。

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