JP2005353889A - 高周波多層集積回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】信号間の干渉を増加させることなく積層基板の層数と回路面積を減少させるとともに、良好な信頼性を有する小型の高周波多層集積回路を得る。
【解決手段】高周波信号を取り扱う高周波回路8a,8bと、電源・制御信号を取り扱う電源・制御回路9a,9b,9cとを同じ層の誘電体内に形成し、これら回路を誘電体内の互いに異なる領域に配置する。また、多層基板1の最も外側にある一方の接地導体上に高周波回路素子2を実装し、他方の接地導体上には高周波回路素子と対向した位置に電源・制御回路素子3を実装し、これら2つの素子に挟まれた部位の誘電体の層内に、電源・制御回路を集中して配置する。さらに、多層基板に貫通孔を設けて、一方の開口部を覆うように導体板4を設置するとともに、貫通孔内部にはこの導体板に接触させて高周波回路素子5を配置する。
【選択図】図1
【解決手段】高周波信号を取り扱う高周波回路8a,8bと、電源・制御信号を取り扱う電源・制御回路9a,9b,9cとを同じ層の誘電体内に形成し、これら回路を誘電体内の互いに異なる領域に配置する。また、多層基板1の最も外側にある一方の接地導体上に高周波回路素子2を実装し、他方の接地導体上には高周波回路素子と対向した位置に電源・制御回路素子3を実装し、これら2つの素子に挟まれた部位の誘電体の層内に、電源・制御回路を集中して配置する。さらに、多層基板に貫通孔を設けて、一方の開口部を覆うように導体板4を設置するとともに、貫通孔内部にはこの導体板に接触させて高周波回路素子5を配置する。
【選択図】図1
Description
本発明は、多層基板に高周波素子及び電源・制御素子を実装して高周波信号を処理する高周波多層集積回路に関する。
マイクロ波帯やミリ波帯等の高周波帯域の活用に伴い、集積回路技術や印刷配線板のパターン成形技術を応用することによって、これら帯域の高周波信号を取り扱う集積回路が広く使用されている。この種の集積回路として、各種回路素子を多層基板に実装した高周波多層集積回路が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。
図3は、この特許文献1に開示された、従来の高周波多層集積回路の一例を示す断面図である。この図3において、第1の高周波回路51は、第1の埋め込み誘電体52に埋め込まれている。第1の埋め込み誘電体52の上下に、第1の高周波回路51の上部接地電極53と下部接地電極54が配設されている。また、上部接地電極53の上に上部誘電体55が設けられている。さらに、電源・制御回路接続ビアホール56が、その下端を第1の高周波回路51に接続し、その上端を上部接地電極53を貫通して上部誘電体55の上面まで引き出した状態で、縦方向に形成されている。
上部誘電体55の表面には電源・制御回路素子57が配置され、同じく上部誘電体55の表面に配設された電源・制御回路配線58に接続されている。また、第1の埋め込み誘電体52には第1の高周波回路51の途中が露出するようにキャビティが形成されており、このキャビティ部分には高周波回路素子59が配設され、高周波回路51に接続されている。
下部接地電極54の下には、第2の埋め込み誘電体60が形成され、その中に、第2の高周波回路61が埋め込まれている。さらにその下面には最下部接地電極62が配設されている。また、第1の高周波回路51と第2の高周波回路61とは、層間接続ビアホール63によって接続されている。
このように構成された高周波多層集積回路では、高周波信号は、例えば第1の埋め込み誘電体52内に設けられた第1の高周波回路51の左端から入力され、層間接続ビアホール63、及び第2の埋め込み誘電体60内に設けられた第2の高周波回路61を経由して高周波回路素子59の入力側端子に伝送される。そして、その出力側端子に現れた高周波信号は、再び第1の高周波回路51の右端に向けて進行していく。このときに必要となる電源・制御信号などは、上部誘電体55に設けられた電源・制御回路素子57から電源・制御回路配線58及び電源・制御回路接続ビアホール56を経由して高周波回路素子59の入力側及び出力側端子に供給される。
特開平5−299906号公報(第5ページ、図1)
しかしながら、上述した従来の高周波多層集積回路では、高周波回路と電源・制御回路とを異なる誘電体層に配設しているため、誘電体の層数を削減することが困難という問題があった。また、多層化された誘電体層の片面、すなわち上面のみに素子を配置しているため、小型に集積化することが難しく、回路面積の削減も困難であった。
さらに、キャビティ加工を必要とするため加工費用が増加するとともに、キャビティ内に配置した高周波回路素子の放熱対策が難しく、高周波回路素子の発熱による性能の劣化及び短寿命化などの問題が発生していた。
本発明は、上述の事情を考慮してなされたものであり、信号間の干渉を増加させることなく積層基板の層数と回路面積を減少させるとともに、良好な信頼性を有する小型の高周波多層集積回路を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の高周波多層集積回路は、n層(nは2以上の整数)の接地導体の間にn−1層の誘電体が積層された多層基板と、前記多層基板の最も外側の接地導体の一方にこの接地導体と同層に形成された第1の高周波回路及び第1の電源・制御回路と、前記n−1層の誘電体の少なくとも1層の内部に形成され前記第1の高周波回路に前記多層基板の内部で接続された第2の高周波回路と、前記多層基板の最も外側の接地導体の他方にこの接地導体と同層に形成された第2の電源・制御回路と、前記n−1層の誘電体の少なくとも1層の内部の前記第2の高周波回路の存在しない領域に形成され、前記第1の電源・制御回路及び前記第2の電源・制御回路と前記多層基板の内部で接続された第3の電源・制御回路とを有することを特徴とする。
また、前記第1の高周波回路及び前記第1の電源・制御回路を形成した側の接地導体上に実装され、前記第1の高周波回路及び第1の電源・制御回路と接続された第1の高周波回路素子と、前記第2の電源・制御回路を形成した側の接地導体上に前記第1の高周波回路素子と対向して実装され、前記第2の電源・制御回路と接続された電源・制御回路素子を有することを特徴とする。
さらに、前記多層基板に設けられた貫通孔と、前記貫通孔を覆うように前記第2の電源・制御回路を形成した側の接地導体上にこの接地導体に接触させて実装された導体板と、前記貫通孔の内部に前記導体板に接触させて実装され、前記第1の高周波回路及び前記第1の電源・制御回路と接続された第2の高周波回路素子を有することを特徴とする。
本発明によれば、信号間の干渉を増加させることなく積層基板の層数と回路面積を減少させることができるとともに、良好な信頼性を有する小型の高周波多層集積回路を得ることができる。
以下に、本発明に係る高周波多層集積回路を実施するための最良の形態について、図1及び図2を参照して説明する。
図1は、本発明に係る高周波多層集積回路の一実施例を示す平面図であり、図1(a)はこの高周波多層集積回路の上面からの平面図、図1(b)は下面からの平面図である。また、図2は、図1に例示した高周波多層集積回路の各部の断面図であり、図2(a)はA−Aに沿った断面図、図2(b)はB−Bに沿った断面図、図2(c)はC−Cに沿った断面図、図2(d)はD−Dに沿った断面図である。本実施例においては、接地導体の層数を3層とし、その間に2層の誘電体を積層して多層基板を形成している。
図1及び図2に示すように、この高周波多層集積回路は、多層基板1、第1の高周波回路素子2、電源・制御回路素子3、導体板4、及び第2の高周波回路素子5から構成されている。
多層基板1は、3層の接地導体6a、6b、及び6cと、これらの接地導体の間に配置された2層の誘電体7a、及び7bから成り、これら各層は順次積層されている。この多層基板1の最も外側の接地導体の一方である6aと同層には、この接地導体6aと切り離されて、第1の高周波回路8a、及び第1の電源・制御回路9aが形成されている。また、誘電体7a、及び7bの内部には、第2の高周波回路8bが形成されており、第1の高周波回路8aと第2の高周波回路8bとは、多層基板1の内部で接続導体10により接続されている。
多層基板1の最も外側にある、もう一方の接地導体6cと同層には、この接地導体6aと切り離されて、第2の電源・制御回路9bが形成されている。また、誘電体7a、及び7bの内部で、第2の高周波回路8bの存在しない領域には、第3の電源・制御回路9cが形成されており、第1の電源・制御回路9a、第2の電源・制御回路9b、及び第3の電源・制御回路9cとは、多層基板1の内部で接続導体11により互いに接続されている。
第1の高周波回路素子2は、多層基板1の接地導体6aの表面に、この接地導体6aと接触させて実装されている。この第1の高周波回路素子2は、高周波信号を入出力するための複数の高周波端子2a、及び電源・制御信号を入出力するための複数の電源・制御端子2bを備えている。そして、高周波端子2aは第1の高周波回路8aに、また電源・制御端子2bは第1の電源・制御回路9aにそれぞれ接続されている。
多層基板1の接地導体6cの表面で、第1の高周波素子2と対向する位置には、接地導体6cと接触させて電源・制御回路素子3が実装されている。この電源・制御回路素子3は、電源・制御信号を入出力するための複数の電源・制御端子3aを備えており、これらの端子は第2の電源・制御回路9bに接続されている。
また、多層基板1には、積層した接地導体6a、6b、及び6c、ならびに誘電体7a、及び7bを貫通した貫通孔12が設けられている。この貫通孔12の接地導体6c側の開口部には、この開口部を覆うように接地導体6cと接触させて平板状の導体板4が実装されており、貫通孔12の内部には、導体板4に接触させて第2の高周波回路素子5が実装されている。この第2の高周波回路素子5は、高周波信号を入出力するための複数の高周波端子5a、及び電源・制御信号を入出力するための複数の電源・制御端子5bを備えている。そして、高周波端子5aは第1の高周波回路8aに、また電源・制御端子5bは第1の電源・制御回路9aにそれぞれ接続されている。
このような構成において、例えば図1(a)の右端側にある第2の高周波回路8bの端部I点から高周波信号が入力されると、この高周波信号は第2の高周波回路8bを伝搬し、接続導体10を経由してさらに第1の高周波回路8aを伝搬し、第1の高周波回路素子2に入力されて所定の機能処理が施される。第1の高周波回路素子2から出力された高周波信号は、再び第1の高周波回路8aを図1(a)上で左方向に伝搬し、第2の高周波回路素子5に入力され、所定の機能処理が施される。その後、第2の高周波回路素子5から出力された高周波信号は、再び第1の高周波回路8aを左方向に伝搬し、接続導体10を経由してさらに第2の高周波回路8bを伝搬して、図1(a)の左端側の高周波回路8bの端部O点に現れる。
また、第1の高周波回路素子2、及び第2の高周波回路素子5が高周波信号に対して所定の機能処理を施すのに必要な電源・制御信号は、電源・制御回路素子3から第2の電源・制御回路9b、接続導体11、第3の電源・制御回路9c、及び第1の電源・制御回路9aを経由して、第1の高周波回路素子2、及び第2の高周波回路素子5と授受される。さらに、電源・制御回路素子3と外部との電源・制御信号の授受は、第3の電源制御回路9cの端部である図2(b)のP点及びQ点を経由して行なわれる。
上述したように、本実施例における高周波多層集積回路においては、取り扱う信号の種類に対応させて誘電体の層を設けるのではなく、高周波信号を取り扱う高周波回路と、電源・制御信号を取り扱う電源・制御回路とを同じ層の誘電体内に形成している。しかも、これら回路を誘電体内の互いに異なる領域に配置して、信号間の干渉を低減している。これにより、異なる性質を持った多数の種類の信号を取り扱う場合においても、信号間の干渉を増加させることなく、誘電体の層数を減らすことができる。
また、多層基板の最も外側にある一方の接地導体上に高周波回路素子を実装し、他方の接地導体上には高周波回路素子と対向した位置に電源・制御回路素子を実装している。そして、これら2つの素子に挟まれた部位の誘電体の層内に、電源・制御回路を集中して配置している。これにより、平面的な占有面積を減少させて、小型な高周波多層集積回路を得ることができる。
さらに、多層基板に貫通孔を設けて、一方の開口部を覆うように導体板を設置するとともに、貫通孔内部にはこの導体板に接触させて高周波回路素子を配置している。ここで、高周波回路素子が、例えば増幅機能素子のような発熱量の多い素子の場合には、高周波回路素子が発する熱が導体板に効率よく伝導されて良好な放熱効果が得られ、高周波回路素子の特性劣化や短寿命化を防止して信頼性を向上させることができる。同時に、開口部にはキャビティ加工を必要としないため、機械的な信頼性も向上させることができ、加工費用も削減することができる。
なお、本実施例においては、接地導体の層数を3層とし、誘電体の層数を2層としているが、これら層数は、本実施例における層数に限定されるものではない。また、導体板4は平板状としたが、例えば一部を凸状とし、この凸部を開口部に勘合させる構造にするなど、種々の変形が可能である。
1 多層基板
2、5 高周波回路素子
3 電源・制御回路素子
4 導体板
6a、6b、6c 接地導体
7a、7b 誘電体
8a、8b 高周波回路
9a、9b、9c 電源・制御回路
10、11 接地導体
12 貫通孔
2、5 高周波回路素子
3 電源・制御回路素子
4 導体板
6a、6b、6c 接地導体
7a、7b 誘電体
8a、8b 高周波回路
9a、9b、9c 電源・制御回路
10、11 接地導体
12 貫通孔
Claims (3)
- n層(nは2以上の整数)の接地導体の間にn−1層の誘電体が積層された多層基板と、
前記多層基板の最も外側の接地導体の一方にこの接地導体と同層に形成された第1の高周波回路及び第1の電源・制御回路と、
前記n−1層の誘電体の少なくとも1層の内部に形成され前記第1の高周波回路に前記多層基板の内部で接続された第2の高周波回路と、
前記多層基板の最も外側の接地導体の他方にこの接地導体と同層に形成された第2の電源・制御回路と、
前記n−1層の誘電体の少なくとも1層の内部の前記第2の高周波回路の存在しない領域に形成され、前記第1の電源・制御回路及び前記第2の電源・制御回路と前記多層基板の内部で接続された第3の電源・制御回路と
を有することを特徴とする高周波多層集積回路。 - 前記第1の高周波回路及び前記第1の電源・制御回路を形成した側の接地導体上に実装され、前記第1の高周波回路及び第1の電源・制御回路と接続された第1の高周波回路素子と、
前記第2の電源・制御回路を形成した側の接地導体上に前記第1の高周波回路素子と対向して実装され、前記第2の電源・制御回路と接続された電源・制御回路素子を有することを特徴とする請求項1に記載の高周波多層集積回路。 - 前記多層基板に設けられた貫通孔と、
前記貫通孔を覆うように前記第2の電源・制御回路を形成した側の接地導体上にこの接地導体に接触させて実装された導体板と、
前記貫通孔の内部に前記導体板に接触させて実装され、前記第1の高周波回路及び前記第1の電源・制御回路と接続された第2の高周波回路素子を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の高周波多層集積回路。
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