JP2005353337A - 感歪抵抗ペーストとその製造方法、及びこれを用いた感歪センサとその製造方法 - Google Patents
感歪抵抗ペーストとその製造方法、及びこれを用いた感歪センサとその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】感歪抵抗体として所定の合金粉を焼成してできた金属焼結体を用いた構成にすることにより、安定した感歪特性を得ることができ、これによりノイズの少ない高信頼性のセンサを安価に製造することができる。
【選択図】図1
Description
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項6、8、9、10、11、12、13、14、15、16、21に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項13、17、18、20に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態3を用いて、本発明の特に請求項17、18に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態4を用いて、本発明の特に請求項11に記載の発明について説明する。
以下、実施の形態5を用いて、本発明の特に請求項7に記載の発明について説明する。
図8(a)〜(c)は本実施の形態による金属焼結体のパターンの一例を示した平面図と、この金属焼結体パターンと配線の接続状態を示した断面図であり、同図において109は金属焼結体パターンであり、ジグザグ(またはつづら折り)状に形成されており、このように金属焼結体パターン109の引き回しを長くする(言い換えると配線長さを長く、配線幅を短く)することにより、金属焼結体の抵抗値を高めることができるものである。なお、図8(a)においては、金属焼結体パターン109を覆っている保護層は図示していない。
以下、実施の形態7を用いて、本発明の特に請求項1、2、3、4、5、22、23、24に記載の発明について説明する。
22 ガラス粉
23 樹脂
24 溶剤
25 有機添加剤
26 ビーズ
27 分散装置
28、32、34 矢印
29 メッシュ
30 濾過装置
31 回収タンク
35 攪拌装置
36 攪拌部分
37 三本ロール
100 基板
101 絶縁層
102 配線
103 金属焼結体
104 保護層
105 切断部
106 金属部
107 ガラス部
108 絶縁基板
109 金属焼結体パターン
Claims (24)
- ニッケル、クロム、銅のうち少なくとも1種類以上を含む粒径0.0001μm以上50μm未満の金属粉体が、濃度5wt%以上90wt%未満で樹脂溶液中に0.01ポイズ以上1000ポイズ未満に分散されてなる感歪抵抗ペースト。
- TCRが200ppm/℃以下で粒径0.0001μm以上50μm未満の合金粉もしくは金属粉が、樹脂溶液中に10wt%以上80wt%未満で分散されてなる感歪抵抗ペースト。
- 軟化点が300℃以上900℃未満のガラス粉が0.1wt%以上20wt%未満含まれる請求項1または2に記載の感歪抵抗ペースト。
- 樹脂が0.1wt%以上20wt%未満含まれる請求項1または2に記載の感歪抵抗ペースト。
- ガラス粉を分散して作製したガラスペーストの中に合金粉や金属粉を添加してインキ化する感歪抵抗ペーストの製造方法。
- 基板表面に形成された複数の配線及びこの配線の一部に接するように複数個の金属焼結体が形成されてなる感歪センサ。
- セラミック基板表面に形成された複数の配線及びこの配線に接続された複数個の金属焼結体からなる感歪センサ。
- 金属基板表面に厚み10μm以上500μm未満のガラス絶縁層を介して複数の配線及びこの配線の一部に接続された複数個の金属焼結体が形成されてなる感歪センサ。
- 合金粉またはこれらの酸化物粉が70wt%以上99.9wt%未満、または70Vol%以上99.9Vol%未満含まれてなる複数個の金属焼結体が、基板表面に形成された複数の配線の一部に接するように形成されてなる感歪センサ。
- 金属粉または金属酸化物粉が70wt%以上99.9wt%未満、または70Vol%以上99.9Vol%未満含まれてなる複数個の金属焼結体が、基板表面に形成された複数の配線の一部に接するように形成されてなる感歪センサ。
- 金属粉または合金粉は少なくともNi、Cr、Cu、Mn、Feのうち1種類以上を含む複数の金属焼結体が、基板表面に形成された複数の配線の一部に接するように接続されてなる感歪センサ。
- 粒径が0.001μm以上50μm未満の複数の合金粉、金属粉または酸化物粉よりなる複数個の金属焼結体が、基板表面に形成された複数の配線の一部に接するように形成されてなる感歪センサ。
- ガラス材またはセラミック材が0.1wt%以上30wt%未満、または0.1Vol%以上30Vol%未満含まれた複数の金属焼結体が、基板表面に形成された複数の配線の一部に接するように形成されてなる感歪センサ。
- 厚みが0.001μm以上100μm未満の複数の金属焼結体が基板表面に形成された複数の配線の一部に接するように形成されてなる感歪センサ。
- 複数の金属焼結体が基板表面に形成された複数の配線の一部に接するように形成され、上記金属焼結体の全面と配線の一部が厚み1μm以上500μm未満のガラス絶縁層で覆われてなる感歪センサ。
- 複数の金属焼結体が基板表面に形成された複数の配線の一部に接するように形成され、上記金属焼結体の全面と配線の一部が厚み1μm以上500μm未満の樹脂を主体とする絶縁層で覆われてなる感歪センサ。
- 少なくとも配線の厚みは2μm以上500μm未満で、Agを50wt%以上、Pdを1wt%以上40wt%未満含んでいる請求項6〜16のいずれか一つに記載の感歪センサ。
- 少なくとも配線の厚みは2μm以上500μm未満で、Agを50wt%以上、Pdを1wt%以上30wt%未満含んでいる請求項6〜16のいずれか一つに記載の感歪センサ。
- 金属焼結体が感歪抵抗を形成する請求項6〜16のいずれか一つに記載の感歪センサ。
- 金属焼結体のTCRは−1000ppm/℃以上1000ppm/℃未満である請求項6〜16のいずれか一つに記載の感歪センサ。
- 複数の金属焼結体及びこの金属焼結体に接続された配線はブリッジ回路を形成している請求項6〜16のいずれか一つに記載の感歪センサ。
- 複数の配線が形成された基板上にニッケル、クロム、銅のうち少なくとも1種類以上を含む粒径0.001μm以上50μm未満の金属粉体が、濃度5wt%以上90wt%未満で樹脂溶液中に0.01ポイズ以上1000ポイズ未満で分散されてなる感歪抵抗ペーストパターンを形成した後、これを300℃以上950℃未満で焼成する感歪センサの製造方法。
- 複数の配線が形成された基板上にニッケル、クロム、銅のうち少なくとも1種類以上を含む粒径0.001μm以上50μm未満の合金粉または金属粉が、濃度5wt%以上90wt%未満で樹脂溶液中に0.01ポイズ以上1000ポイズ未満で分散されてなる感歪抵抗ペーストパターンを形成した後、これを300℃以上950℃未満で焼成する感歪センサの製造方法。
- 複数の配線が形成された基板上にTCRが200ppm/℃未満で、粒径0.001μm以上50μm未満の合金粉または金属粉が、濃度5wt%以上90wt%未満で樹脂溶液中に10wt%以上80wt%未満で分散されてなる感歪抵抗ペーストパターンを形成した後、これを300℃以上950℃未満で焼成する感歪センサの製造方法。
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