JP2005347339A - 太陽電池の製造方法及び太陽電池 - Google Patents
太陽電池の製造方法及び太陽電池 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005347339A JP2005347339A JP2004162403A JP2004162403A JP2005347339A JP 2005347339 A JP2005347339 A JP 2005347339A JP 2004162403 A JP2004162403 A JP 2004162403A JP 2004162403 A JP2004162403 A JP 2004162403A JP 2005347339 A JP2005347339 A JP 2005347339A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solar cell
- insulating film
- main surface
- diffusion layer
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 183
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 116
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 49
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 16
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 12
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 87
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 16
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 14
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 13
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 10
- XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 8
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 8
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 6
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 6
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 6
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1804—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic Table
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/068—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】第一の導電型を有する半導体基板にpn接合を形成して太陽電池を製造する方法であって、少なくとも、前記半導体基板の受光面となる第一主表面と該受光面とは反対側の第二主表面とに前記第一の導電型とは異なる第二の導電型の拡散層を形成する拡散層形成工程と、前記第二主表面に前記拡散層の厚さよりも深い裏面電極溝を形成する裏面電極溝形成工程と、該裏面電極溝を形成した第二主表面に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記第一主表面及び第二主表面の両面に、または前記第二主表面のみに電極を形成する電極形成工程とを具備することを特徴とする太陽電池の製造方法。
【選択図】図1
Description
このように裏面電極溝を形成した第二主表面に絶縁膜を形成する際に、絶縁膜を拡散層上の拡散領域と裏面電極溝の内壁の非拡散領域とに形成し、非拡散領域に形成した絶縁膜の厚さが拡散領域に形成した絶縁膜よりも薄くなるものとすることにより、太陽電池を製造した際に、絶縁膜厚の薄い非拡散領域では絶縁膜を介したトンネル電流が流れるようになり、一方拡散領域では厚い絶縁膜によって拡散層と裏面電極とを絶縁することができる。それにより、この太陽電池裏面の拡散層/絶縁膜界面では、電子と正孔の濃度に差が生じるようになるため、光生成キャリアの再結合が抑えられ、結果的に太陽電池の性能を向上させることができる。
このように750℃以上950℃以下の温度で熱処理を行って絶縁膜を形成することによって、緻密な絶縁膜を短時間で容易に形成することができる。
このように機械的研削手段を用いて裏面電極溝を平行に形成することにより、複数の裏面電極溝を容易にかつ安定して形成することができ、また機械的研削手段としてスライサーまたはダイサーを用いることにより、複数の裏面電極溝を効率良く形成することができる。
このように電極の形成をスクリーン印刷法により行えば、電極を効率的に形成できるため量産性に優れ、低コストの太陽電池を安定して製造することができる。
このように、本発明の太陽電池の製造方法により製造された太陽電池であれば、太陽電池の性能にバラツキがなく、また光電変換効率の高い高品質の太陽電池とすることができるし、さらに、低コストで、量産性にも優れたものとなる。
このように第二主表面の絶縁膜が、拡散層の形成されている拡散領域と裏面電極溝の内壁の非拡散領域とに形成されており、かつ、非拡散領域に形成された絶縁膜の厚さが拡散領域に形成された絶縁膜よりも薄いものであれば、絶縁膜厚の薄い非拡散領域では絶縁膜を介したトンネル電流が流れるようになり、一方拡散領域では厚い絶縁膜によって拡散層と裏面電極とを絶縁することができるものとなる。それによって、太陽電池裏面の拡散層/絶縁膜界面では、電子と正孔の濃度に差が生じるようになるため、光生成キャリアの再結合を抑制することが可能となり、光電変換効率が非常に向上した太陽電池とすることができる。
このように拡散領域上に形成される絶縁膜の厚さが5nm以上60nm以下であり、また、非拡散領域上に形成される絶縁膜の厚さが1nm以上20nm以下であれば、拡散領域上に形成した絶縁膜で拡散層と電極とを確実に絶縁することができるものとなるとともに、非拡散領域上に形成した絶縁膜では電極と非拡散領域とを電気的に容易に接触させることができるものとなる。
従来の太陽電池の製造では、半導体基板の受光面となる基板表面に拡散層を形成する際には、受光面とは反対側の基板裏面に不純物が拡散しないようにするために、前述のように、基板の裏面に窒化膜や酸化膜等の拡散防止膜を形成して拡散処理を行ったり、2枚の半導体基板を裏面で互いに重ね合わせた状態で拡散処理(重ね合わせ拡散)を行う必要があった。したがって、拡散防止膜の形成やエッチングなどの工程が別途に行われるため生産性の低下や製造コストの増大を招いたり、また重ね合わせ拡散等では基板裏面へのドーパントの回り込みを確実に防止できないため、太陽電池の性能の低下や性能のバラツキが生じるといった問題があった。
始めに、第一の導電型を有する半導体基板として、図1の工程(a)に示したように、例えばホウ素あるいはガリウムをドープしたp型の単結晶シリコン基板1を準備する。このp型の単結晶シリコン基板を作製する方法は、特に限定されるものではないが、例えば、以下のような方法で作製することができる。すなわち、高純度シリコンにホウ素あるいはガリウムのような3族元素をドープして比抵抗を0.1〜5Ω・cm程度とした方位{100}の単結晶を育成し、この育成した単結晶をスライスしてウエーハに加工する。このとき、単結晶の育成方法は、チョクラルスキー法(CZ法)やフローティングゾーン法(FZ法)等の何れの方法を用いることもできるが、機械的強度の面からCZ法を用いることが望ましい。その後、スライス加工時にシリコン基板の表面及び裏面に生じたダメージ層を、濃度5〜60%の水酸化ナトリウムや水酸化カリウムのような高濃度のアルカリ溶液、もしくはフッ酸と硝酸の混酸などを用いて基板をエッチングすることによって除去する。
また、上記のように機械的切削手段を用いて裏面電極溝を形成した場合、溝形成部には機械的なダメージが残るため、例えば高濃度のアルカリやフッ酸と硝酸の混酸などの溶液に5〜120秒間浸漬し、ダメージ層をエッチング除去することが好ましい。尚、このエッチングの際に、前記の拡散層形成時に基板に形成されたリンガラスも同時に除去することができる。
例えば、絶縁膜を形成したシリコン基板に、図1の工程(e)に示すように、裏面電極5をスクリーン印刷法を用いて形成する。すなわち、シリコン基板の裏面に、アルミニウム粉末を有機物バインダで混合したペーストをスクリーン印刷し、その後、700〜800℃の温度で5〜30分間焼成することにより裏面電極を効率的に形成することができる。
図3に示すような工程の異なるフローに基づいて太陽電池を3種類製造し、太陽電池の能力を測定してそれらの比較を行った。尚、図3に示した方法Aは、本発明に係る太陽電池の製造を示しており(実施例)、方法Bは、重ね合わせ拡散を利用した太陽電池の製造を示しており(比較例1)、方法Cは、基板裏面に拡散防止膜を形成して太陽電池を製造する場合を示している(比較例2)。それぞれの製造条件の詳細を以下に説明する。
CZ法によりホウ素をドープした比抵抗0.5Ω・cm、方位{100}の単結晶を育成し、この育成した単結晶をスライスしてウエーハに加工した後、濃水酸化カリウム水溶液によるエッチングを行ってダメージ層を除去し、水酸化カリウム/2−プロパノール水溶液中に浸漬してテクスチャ形成を行い、引き続き塩酸/過酸化水素混合溶液中で洗浄を行うことによって、p型の単結晶シリコン基板を準備した。
続いて、シリコン基板の裏面に、深さ50μm、幅60μm、周期2mmの裏面電極溝を、ダイサーを用いて平行に複数形成した後、濃水酸化カリウム水溶液によるエッチングを行ってダメージ除去を行い、さらに塩酸/過酸化水素混合溶液による洗浄を行った。
上記実施例と同様のp型単結晶シリコン基板を準備した後、2枚のシリコン基板の裏面を重ね合わせた状態で、オキシ塩化リン雰囲気下、850℃で熱処理する重ね合わせ拡散を行うことによって、基板表面に厚さが330nmのn型拡散層を形成した。このとき、形成したn型拡散層のシート抵抗を測定した結果、約60Ω/□であった。
次に、シリコン基板の端面をポリッシャーで研磨して、以下で形成する裏面電極とn型拡散層が導通しないように端面接合分離を行った後、フッ酸による洗浄を行った。その後、上記実施例と同様にして、裏面電極、反射防止膜、表面電極を順次形成して、太陽電池Bを製造した。
上記実施例と同様のp型単結晶シリコン基板を準備した後、プラズマCVD法により基板裏面に拡散防止膜として窒化シリコン膜を約60nm堆積した。次に、拡散防止膜を形成したp型単結晶シリコン基板を、オキシ塩化リン雰囲気下、850℃で熱処理することによって、基板表面に厚さが330nmのn型拡散層を形成した。このとき、形成したn型拡散層のシート抵抗を測定した結果、約60Ω/□であった。
続いて、n型拡散層を形成した基板をフッ酸に約20分間浸漬して、基板裏面の窒化シリコン膜を完全に除去し、その後、上記実施例と同様にして、裏面電極、反射防止膜、表面電極を順次形成して、太陽電池Cを製造した。
4a…非拡散領域に形成した絶縁膜、 4b…拡散領域に形成した絶縁膜、
5,5a,5b…裏面電極、 6…反射防止膜、 7…表面電極、
8…基板表面に形成した酸化膜、 9…太陽電池。
Claims (10)
- 第一の導電型を有する半導体基板にpn接合を形成して太陽電池を製造する方法であって、少なくとも、前記半導体基板の受光面となる第一主表面と該受光面とは反対側の第二主表面とに前記第一の導電型とは異なる第二の導電型の拡散層を形成する拡散層形成工程と、前記第二主表面に前記拡散層の厚さよりも深い裏面電極溝を形成する裏面電極溝形成工程と、該裏面電極溝を形成した第二主表面に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記第一主表面及び第二主表面の両面に、または前記第二主表面のみに電極を形成する電極形成工程とを具備することを特徴とする太陽電池の製造方法。
- 前記絶縁膜形成工程において、前記絶縁膜を、前記拡散層上の拡散領域と前記裏面電極溝の内壁の非拡散領域とに形成し、該非拡散領域に形成した絶縁膜の厚さが拡散領域に形成した絶縁膜よりも薄くなるものとすることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記絶縁膜を、750℃以上950℃以下の温度で熱処理することによって形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記裏面電極溝を、機械的研削手段を用いて平行に複数形成することを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記機械的研削手段をスライサーまたはダイサーとすることを特徴とする請求項4に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記電極の形成をスクリーン印刷法により行うことを特徴とする請求項1ないし請求項5の何れか一項に記載の太陽電池の製造方法。
- 請求項1ないし請求項6の何れか一項に記載の太陽電池の製造方法により製造されたことを特徴とする太陽電池。
- 第一の導電型を有する半導体基板にpn接合を形成して成る太陽電池であって、少なくとも、前記半導体基板の受光面となる第一主表面と該受光面とは反対側の第二主表面とに前記第一の導電型とは異なる第二の導電型の拡散層が形成されており、前記第二主表面には前記拡散層の厚さよりも深い裏面電極溝が形成されており、該裏面電極溝が形成されている第二主表面には絶縁膜が形成されており、さらに、前記第一主表面及び第二主表面の両面に、または前記第二主表面のみに電極が形成されているものであることを特徴とする太陽電池。
- 前記第二主表面の絶縁膜は、前記拡散層の形成されている拡散領域と前記裏面電極溝の内壁の非拡散領域とに形成されており、該非拡散領域に形成された絶縁膜の厚さが拡散領域に形成された絶縁膜よりも薄いものであることを特徴とする請求項8に記載の太陽電池。
- 前記絶縁膜の厚さは、前記拡散層の形成されている拡散領域上で5nm以上60nm以下であり、前記裏面電極溝の内壁の非拡散領域上で1nm以上20nm以下であることを特徴とする請求項8または請求項9に記載の太陽電池。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004162403A JP4832727B2 (ja) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | 太陽電池の製造方法及び太陽電池 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004162403A JP4832727B2 (ja) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | 太陽電池の製造方法及び太陽電池 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005347339A true JP2005347339A (ja) | 2005-12-15 |
JP4832727B2 JP4832727B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=35499464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004162403A Expired - Fee Related JP4832727B2 (ja) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | 太陽電池の製造方法及び太陽電池 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4832727B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010251343A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池およびその製造方法 |
JP2013004618A (ja) * | 2011-06-14 | 2013-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | シリコン基板のエッチング方法および太陽電池の発電素子 |
JP2014082430A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-05-08 | Kyocera Corp | 太陽電池素子の製造方法 |
KR20170040366A (ko) * | 2010-07-02 | 2017-04-12 | 선파워 코포레이션 | 터널 유전체층을 갖는 태양 전지의 제조 방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103904146A (zh) * | 2014-04-14 | 2014-07-02 | 上海电机学院 | 一种底部具有金属凹槽结构的硅基薄膜太阳能电池 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0575149A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-26 | Hitachi Ltd | 太陽電池素子とその製造方法 |
JP2001217443A (ja) * | 2000-02-04 | 2001-08-10 | Sony Corp | 半導体素子およびその製造方法、太陽電池およびその製造方法ならびに半導体素子を用いた光学素子 |
JP2001257371A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Hitachi Ltd | 太陽電池作製方法及び太陽電池並びに集光型太陽電池モジュール |
JP2001267610A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Hitachi Ltd | 太陽電池 |
JP2002270869A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-20 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 太陽電池 |
-
2004
- 2004-05-31 JP JP2004162403A patent/JP4832727B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0575149A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-26 | Hitachi Ltd | 太陽電池素子とその製造方法 |
JP2001217443A (ja) * | 2000-02-04 | 2001-08-10 | Sony Corp | 半導体素子およびその製造方法、太陽電池およびその製造方法ならびに半導体素子を用いた光学素子 |
JP2001257371A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Hitachi Ltd | 太陽電池作製方法及び太陽電池並びに集光型太陽電池モジュール |
JP2001267610A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Hitachi Ltd | 太陽電池 |
JP2002270869A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-20 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 太陽電池 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010251343A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池およびその製造方法 |
KR20170040366A (ko) * | 2010-07-02 | 2017-04-12 | 선파워 코포레이션 | 터널 유전체층을 갖는 태양 전지의 제조 방법 |
CN106847937A (zh) * | 2010-07-02 | 2017-06-13 | 太阳能公司 | 用于制造具有隧道电介质层的太阳能电池的方法 |
KR101758952B1 (ko) * | 2010-07-02 | 2017-07-17 | 선파워 코포레이션 | 터널 유전체층을 갖는 태양 전지의 제조 방법 |
KR20180014831A (ko) * | 2010-07-02 | 2018-02-09 | 선파워 코포레이션 | 터널 유전체층을 갖는 태양 전지의 제조 방법 |
KR102007102B1 (ko) * | 2010-07-02 | 2019-08-02 | 선파워 코포레이션 | 터널 유전체층을 갖는 태양 전지의 제조 방법 |
KR102100065B1 (ko) * | 2010-07-02 | 2020-04-10 | 선파워 코포레이션 | 터널 유전체층을 갖는 태양 전지의 제조 방법 |
JP2013004618A (ja) * | 2011-06-14 | 2013-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | シリコン基板のエッチング方法および太陽電池の発電素子 |
JP2014082430A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-05-08 | Kyocera Corp | 太陽電池素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4832727B2 (ja) | 2011-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6246744B2 (ja) | 太陽電池セルの製造方法 | |
JP2004193350A (ja) | 太陽電池セルおよびその製造方法 | |
KR20100138565A (ko) | 태양전지 및 그 제조방법 | |
JP2010186900A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
JP6199727B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP6410951B2 (ja) | 太陽電池セルおよび太陽電池セルの製造方法 | |
JP5338702B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP6440853B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
WO2014174613A1 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP5830143B1 (ja) | 太陽電池セルの製造方法 | |
TWI656655B (zh) | Solar cell manufacturing method and solar cell obtained by the manufacturing method | |
JP2013225619A (ja) | 太陽電池用ウェーハの製造方法および太陽電池セルの製造方法 | |
JP4832727B2 (ja) | 太陽電池の製造方法及び太陽電池 | |
JP6139466B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
CN110444637B (zh) | 一种太阳能电池片及其制作方法 | |
JP6114108B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP2012256713A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
KR101024322B1 (ko) | 태양전지용 웨이퍼 제조 방법, 그 방법으로 제조된 태양전지용 웨이퍼 및 이를 이용한 태양전지 제조 방법 | |
CN103367526A (zh) | 一种背面局部接触硅太阳电池的制造方法 | |
WO2017187623A1 (ja) | 太陽電池の製造方法および太陽電池 | |
JP2006024757A (ja) | 太陽電池および太陽電池の製造方法 | |
JP2010027744A (ja) | 基板の拡散層形成方法 | |
JP6392717B2 (ja) | 太陽電池セルの製造方法 | |
JP2014003340A (ja) | 半導体デバイスの製造方法 | |
WO2017018300A1 (ja) | 太陽電池および太陽電池の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090908 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090915 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100921 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101021 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110906 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110921 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4832727 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |