JP2005347302A - 基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ボイドを発生させることなく、結合強度の高い結合基板を得ること。
【解決手段】 第1の基板101の結合面と第2の基板111の結合面とを結合して結合基板を製造する基板の製造方法であって、第1の基板101の結合面及び第2の基板111の結合面の少なくとも一方の結合面を部分的に処理して疎水性領域及び親水性領域151を有する結合面を形成し、第1の基板101の結合面と第2の基板111の結合面とを結合させる。
【選択図】 図1
【解決手段】 第1の基板101の結合面と第2の基板111の結合面とを結合して結合基板を製造する基板の製造方法であって、第1の基板101の結合面及び第2の基板111の結合面の少なくとも一方の結合面を部分的に処理して疎水性領域及び親水性領域151を有する結合面を形成し、第1の基板101の結合面と第2の基板111の結合面とを結合させる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、基板の製造方法に関する。
結合によりSOI基板を製造する方法がいくつか開示されているが、代表的な方法として次の3つの例が挙げられる。
第1の方法は、酸化膜を介して結合した2枚の基板の片側から研削と研磨を行い、酸化膜の上に所望の厚みで基板を残すものである(非特許文献1を参照)。更に、この技術を基本として、基板部分を制御良く薄層化する技術がいくつか提案されている。
第2の方法は、多孔質シリコンを用いる技術である(特許文献1を参照)。これは多孔質シリコン基板上に成長したエピタキシャルシリコン層を、酸化膜を介してもう一方の支持基板上に結合させ、結合強度を高める熱処理を行った後に、前記多孔質シリコン層内部の応力に沿って外力により劈開分離し、支持基板側に移載された層の表面に残る多孔質シリコン層を選択的にエッチングして、SOI基板を得る方法(ELTRAN(登録商標)法)である。また、前記方法において、結合した基板の多孔質形成側の裏面から研削を行い、多孔質シリコン層を露出した後に多孔質層を選択エッチングしても、同様なSOI基板が得られる。
第3の方法は、水素イオン注入を用いる技術である(特許文献2を参照)。この方法は2枚のシリコン基板のうち、少なくとも一方に酸化膜を形成すると共に、一方のシリコン基板の上面から水素イオン又は希ガスイオンを注入し、該基板内部に微小気泡層(封入層)を形成させた後、イオンを注入した方の面を酸化膜を介して他方のシリコン基板(支持基板)と密着させ、その後の熱処理により微小気泡層を劈開面として一方の基板を薄膜状に剥離し、更なる熱処理(結合熱処理)を加えて結合強度を高め、SOI基板とする方法(Smart Cut(登録商標)法)である。
これらの結合SOI基板の製造方法において共通の課題は、基板同士の結合面を如何に制御するかと言う点にある。結合面の制御については、結合強度を向上させることが重要である。結合強度を向上させる手法としては、シリコン面と酸化シリコン面の結合においてシリコン面側を親水性処理することが提案されている(非特許文献2を参照)。また、結合面を活性化することにより、更に結合強度を高める手法も提案されている(非特許文献3及び特許文献3を参照)。なお、非特許文献3及び特許文献3に記載の方法においても、表面は親水性となる。
一方で結合面に存在する水分(物理吸着水、化学結合水等)が過剰にあると、結合工程において過剰な水分が基板の外周部分にトラップされ、外周部分に微小なボイド(空隙)を発生させてしまうという問題も指摘されている。それを解決する手段として、シリコン面とシリコン酸化膜面の結合においてシリコン面を疎水性にする方法が提案されている(特許文献4を参照)。
特開平5−21338号公報
特開平5−211128号公報
特許第3294934号
特開平9−331049号公報
M−Shinbo, K−Furukawa, K.Fukada and K.tanazawa, J.Appl.Phys., vol60, p2987, 1986
Proc.4th International Symposium on Si on Insulator Technology and Devices, May 6−11, 1990, Moutread
G.G.Goetz, Electrochemical Society, Bonding Symposium 1991, Extended Abstract p65
シリコン面とシリコン酸化膜面の結合においてシリコン面が親水性であると、高い結合強度が得られ、その後の熱処理工程において比較的低い温度の熱処理で十分な結合強度が得られるというメリットが得られる一方、結合面の外周部分に過剰な表面吸着水分に起因するボイドが発生しやすい。
シリコン面が疎水性である場合には、基板の外周部分にボイドが発生しないというメリットがあるものの、高い結合強度が得られない分、この後の熱処理温度を比較的高めに設定する必要が出てくる。
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、十分に高い結合強度を保ったまま、ボイドを発生させることなく結合基板を形成する技術を提供することを目的とする。
本発明は、第1の基板の結合面と第2の基板の結合面とを結合して結合基板を製造する基板の製造方法に係り、前記第1の基板の結合面及び前記第2の基板の結合面の少なくとも一方の結合面を部分的に処理して疎水性領域及び親水性領域を有する結合面を形成する工程と、前記第1の基板の結合面と前記第2の基板の結合面とを結合させる工程と、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、ボイドを発生させることなく、結合強度の高い結合基板を得ることができる。
結合強度を向上させる手法として、シリコン面と酸化シリコン面との結合において、シリコン面側を親水性に処理することが提案されている。親水性に処理された表面(以下「親水面」という。)は、O又はOH等の親水基で終端される(図11の923,924を参照)。また、疎水性に処理された表面(以下「疎水面」という。)は、H、F、Si等で終端される(図11の922を参照)。したがって、疎水面には、結合水分がほとんど存在しない。
親水基で終端された親水面では、基板表面に水分が過剰に存在するため、基板の外周部分の水分が基板外部に押し出されずにトラップされうる。その結果、基板の外周部分の結合界面に図8に示すようなボイド(空隙)801が多く発生するという問題がある。
また、室温でのシリコン面とシリコン面との結合では、親水面同士及び疎水面同士の結合エネルギー(結合強度)は、それぞれ10、150[erg/cm2]であり15倍もの差がある。これらの結合エネルギーは、結合反応速度(例えば、特開平10−256107号公報に開示された装置において、基板同士を重ねて1点を押し、連鎖的に結合させたときの結合速度)にも関係すると考えられる。実際、200cmのシリコン基板において、結合所要時間(片端から結合反応を開始し、反対の端が完全に結合するまでの時間)は、それぞれ疎水面で180sec、親水面で10secと大きな差があることが確認された。すなわち、親水面では結合反応速度が速過ぎるため、水分が基板外部に押し出される前に、結合が進行し水分が取り残されると考えられる。
以上の結果を踏まえて、結合前のシリコン基板の外周部分を疎水面として結合を試みた。図14(a)は、外周部分を疎水面としたシリコン基板の結合反応の途中での反応状況を透過観察した赤外線カメラ写真を示す図である。図14(a)では、加圧ピン1001でシリコン基板1002上を加圧し、シリコン基板1002の外周方向に水分1003が徐々に押し出されて、基板同士の密着部分1005が拡大する様子が示されている。シリコン基板1002の外周部分1004を疎水性にした場合では、外周部分1004での結合反応速度が中心部より極端に遅くなっていることが分かる。
これに対し、図14(b)は、全面を親水面としたシリコン基板1102の結合反応の途中での反応状況を透過観察した赤外線カメラ写真を示す図である。図14(b)では、加圧ピン1101でシリコン基板1102上を加圧し、シリコン基板1102の外周方向に水分1103が徐々に押し出されて、基板同士の密着部分1105が拡大する様子が示されている。シリコン基板1102の全面を親水性にした場合では、外周部分1004での結合反応速度が中心部より極端に遅くなることがないことが分かる。
上記方法にて製造した基板のボイドを観察したところ、外周部分を疎水面としたシリコン基板の場合では、図8に示すような外周ボイド801は確認されなかったのに対し、シリコン基板1102の全面を親水性にした場合では、図8に示すような外周ボイド801が確認された。
これらの実験に基づいて、本願発明の発明者は、親水面同士の結合強度を保持したままで、外周部分に水分がトラップされない結合構造として、結合前のシリコン基板の外周部分を疎水面とすることが有効であることを見出した。
シリコン基板の外周部分を疎水性にする方法はいくつか考えられる。図9(a)は、シリコン基板の外周部分を疎水性にする第1の方法を模式的に示す図である。表面に酸化膜が形成されたシリコン基板901又は親水面にする洗浄(以下「親水洗浄」という。)が施されたシリコン基板901を回転させながら、シリコン基板901の外周部分902に配置されたノズル903からHF溶液904を供給することによって、シリコン基板901の外周部分902を疎水性にすることができる。この場合、HF溶液904を供給するノズル903の位置を制御することによって、疎水性となるシリコン基板901表面の外周部分902の幅を制御することができる。なお、酸化膜が形成されたシリコン基板901を用いる場合では、外周部分902の酸化膜を除去してシリコン面を露出させる必要がある。
図9(b)は、シリコン基板の外周部分を疎水性にする第2の方法を模式的に示す図である。上記の第1の方法と同様に、シリコン基板901を回転させながら、シリコン基板901の裏面に向けて配置されたノズル903’からHF溶液904’を噴射することによって、HF溶液904’がシリコン基板901の端部から表面に回りこみ、シリコン基板901表面の外周部分902の酸化膜又は親水基をエッチングすることができる。この場合、シリコン基板901の回転数を制御することによって、疎水性となるシリコン基板901表面の外周部分902の幅を制御することができる。
図10は、シリコン基板の外周部分を疎水性にする第3の方法を模式的に示す図である。シリコン基板901は、薬液槽1001内のウエハ回転ローラ1002上に略垂直に置かれる。ウエハ回転ローラ1002には、シリコン基板901を支持するための溝が設けられている。ウエハ回転ローラ1002を回転させることによって、シリコン基板901が回転する。薬液槽1001内には、酸化膜又は親水基をエッチングするためのHF等のHF溶液1003が供給される。HF溶液1003は、シリコン基板901の外周部120がHF溶液1003に浸る程度に供給される。
シリコン基板901の回転中にシリコン基板901の外周部分902以外に回りこむことを防ぐ工夫としては、以下の2つの方法が考えられる。第1の方法は、例えば、シリコン基板901と酸化膜とのエッチング選択比が高いHF溶液1003を用いて、シリコン基板901の回転速度を極力遅くするものである(例えば、1時間辺り1回転程度)。酸化膜を完全にエッチングするので、オーバーエッチングしても問題がない。すなわち、シリコン基板901と酸化膜とのエッチング選択比が高いので、シリコン基板901はほとんどエッチングされない。第2の方法は、シリコン基板901の表面中央部に純水等のカバーリンスを吹き付けると共に、HF溶液1003が薄まらないように薬液槽1001にHF溶液1003を供給するものである。この場合、酸化膜を完全にエッチングするので、エッチング液の濃度はほとんど影響しない。
このようにして、シリコン基板901の外周部分902をHF溶液1003に浸して、シリコン基板901を回転させることによって、シリコン基板901の外周部分902の酸化膜又は親水基をエッチングすることができる。
なお、シリコン基板の外周部分を疎水性にする方法は、上記の方法に限定されない。例えば、シリコン基板を回転させながら、シリコン基板の外周部分に向けて、フッ素系ガス等のエッチングガスを供給すると共に、シリコン基板の中央部に向けて、ノズルからN2等の不活性ガスを供給してもよい。この場合、シリコン基板の中央部に不活性ガスを供給しながらシリコン基板の外周部分にエッチングガスを供給することによって、シリコン基板の中央部がエッチングガスによってエッチングされることを防止することができる。また、シリコン基板の中央部(外周部分を除く領域)にマスクを配置し、マスクが配置されていないシリコン基板の外周部分にHF溶液を供給することによって、シリコン基板表面の外周部分の酸化膜又は親水基をエッチングしてもよい。
上記のような方法を用いて、シリコン基板の外周部分を疎水性として結合SOI基板を製造する代表的な例を、図11及び図12を用いて説明する。また、外周部分に疎水性領域がない親水面同士の結合によって結合SOI基板を製造する従来の例を、図13を用いて説明する。
図11は、シリコン基板の外周部分を疎水性として結合SOI基板を製造する第1の方法を示す図である。図11に示すように、親水洗浄によって表面が親水性となったシリコン基板921を準備する。次いで、図9(a)、図9(b)等に示す方法を用いて、シリコン基板921の外周から約2mmの領域に存在する親水基をエッチングし、シリコン基板921の表面に疎水性領域922と親水性領域923とを形成する。また、熱酸化によって酸化膜が形成されたシリコン基板926を準備する。このシリコン基板926は、表面が全面親水領域924となっている。次いで、2枚のシリコン基板921及び926の鏡面同士を接合し、結合基板927を製造する。この結合の結合反応の途中での反応状況を透過観察した赤外線カメラ写真を図14(a)に示す。疎水性領域922であるシリコン基板の外周部分1004で結合反応速度が低下している様子が確認できる。
図12は、シリコン基板の外周部分を疎水性として結合SOIを製造する第2の方法を示す図である。図12に示すように、親水洗浄によって全表面が親水性933となったシリコン基板931を準備する。また、熱酸化によって酸化膜が形成されたシリコン基板936を準備する。上記と同様の方法を用いて、酸化膜が形成されたシリコン基板936の外周から約2mmの領域に存在する酸化膜をエッチングし、疎水性領域935を形成する。その他の部分はシリコン酸化膜なので、親水性領域934となっている。次いで、2枚のシリコン基板931及び936の鏡面同士を接合して結合基板937を製造する。
図13は、親水面同士の結合によって結合SOI基板を製造する従来の例を示す図である。図13に示すように、親水洗浄によって全表面が親水性943となったシリコン基板941を準備する。また、熱酸化によって酸化膜が形成されたシリコン基板946を準備する。このシリコン基板946は、表面が全面親水性領域944となっている。次いで、2枚のシリコン基板941及び946の鏡面同士を接合して結合基板947を製造する。この結合の結合反応の途中での反応状況を透過観察した赤外線カメラ写真を図14(b)に示す。図14(b)では、シリコン基板1102の外周部分1104でも結合反応速度が極端に遅くなることがないことが確認できる。
このように、図14(a)では、外周部分1004の結合反応速度が中央部1005の結合反応速度よりも遅いために、水分1003がシリコン基板の外部に押し出されて、外周部分1004にボイドが発生しないことが分かる。これに対し、図14(b)では、水分1103が十分に押し出されずに、外周部分1104に水分がトラップされることが分かる。
次いで、結合基板927、937、947の各々に対し、800〜1000℃の熱処理を行う。熱処理後に各シリコン基板を赤外線カメラで透過観察すると、外周部分を疎水性にしないで結合を行ったシリコン基板947(図13)だけに、外周から約3〜5mmの位置に数百μm程度のボイド(図8の801)が無数に発生した。これに対し、シリコン基板の片面の外周部分を疎水性に処理して結合を行ったシリコン基板927及び937(図11及び図12)では、外周部分にボイドは見られなかった。
このように、基板の外周部分に疎水面の領域を形成して結合を行うことによって、ボイドを発生させることなく、結合強度の高い結合基板を得ることができる。なお、本実施形態では、ボイドの発生が顕著である基板の外周部分に疎水面の領域を形成したが、本発明はこれに限定されず、例えば、ボイドが発生する領域に応じて、基板の外周部分以外の部分に疎水面の領域を形成してもよい。
以下、本発明を実施例に基づき説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されない。
図1は、本実施例に係るSOI基板の製造方法の実施例1を示す工程断面図である。
725μmの厚みを持つシリコン基板101を準備し、熱酸化を行い、表面に75nmのSiO2層102を形成した(図1(a))。
次に、SiO2膜102の外周部分151を0.7%フッ化水素酸溶液で10分間エッチングし、外周部分151(本実施例では、外周から2mmの領域)にシリコン基板101の表面を露出させ、疎水面となる領域151を形成した(図1(b))。
そして、シリコン基板101とシリコン基板111とを結合させた。外周部分151が疎水面であることによって、外周部分151にボイドが発生すること無く、結合を行うことができた(図1(c))。
次いで、1000℃、130分の熱処理を行ってシリコン基板101とシリコン基板111とを完全に接着した(図1(d))。
その後、シリコン基板101側から表面グラインダーを用いて715μm研削した。次いで、コロイダルシリカを砥粒として鏡面研磨を行い、SiO2層102の上にシリコン膜101が2μmの厚みで残るようにした。その結果、外周部分151にボイドの無いSOI基板を得ることができた(図1(e))。
図2は、本実施例に係るSOI基板の製造方法の実施例2を示す工程断面図である。
親水洗浄により全表面が親水性となっている725μmの厚みを持つシリコン基板211を準備し(図2(a))、外周部分251を0.7%フッ化水素酸溶液で10分間エッチングし、外周部分251(本実施例では、外周から2mmの領域)を疎水面とした(図2(b))。
725μmの厚みを持つシリコン基板201を準備し、熱酸化を行い、表面に75nmのSiO2層202を形成した。そして、シリコン基板201とシリコン基板211とを結合させた。シリコン基板211の外周部分251が疎水面であることによって、外周部分251にボイドが発生すること無く、結合を行うことができた(図2(c))。
次いで、1000℃、130分の熱処理を行ってシリコン基板201とシリコン基板211とを完全に接着した(図2(d))。
その後、シリコン基板201側から表面グラインダーを用いて715μm研削した。次いで、コロイダルシリカを砥粒として鏡面研磨を行い、SiO2層202の上にシリコン膜201が2μmの厚みで残るようにした。その結果、外周部分251にボイドの無いSOI基板を得ることができた(図2(e))。
図3は、本実施例に係るSOI基板の製造方法の実施例3を示す工程断面図である。
シリコン基板311を準備し、シリコン基板311表面に活性化処理352を行った(図3(b))。その後、外周部分351を0.7%フッ化水素酸溶液で10分間エッチングし、外周部分351(本実施例では、外周から2mmの領域)を疎水面とした(図3(c))。
次に、725μmの厚みを持つシリコン基板301を準備し、熱酸化を行い、表面に75nmのSiO2層302を形成した。そして、シリコン基板301とシリコン基板311とを結合させた。シリコン311の外周部分351が疎水面であることによって、外周部分351にボイドが発生することが無く、結合を行うことができた(図3(d))。
次いで、1000℃、130分の熱処理を行ってシリコン基板301とシリコン基板311とを完全に接着した(図3(e))。
その後、シリコン基板301側から表面グラインダーを用いて715μm研削した。次いで、コロイダルシリカを砥粒として鏡面研磨を行い、SiO2層302の上にシリコン膜101が2μmの厚みで残るようにした。その結果、外周部分351にボイドの無いSOI基板を得ることができた(図3(f))。
図4は、本実施例に係るSOI基板の製造方法の実施例4を示す工程断面図である。
725μmの厚みを持つシリコン基板401、411を2枚準備し、熱酸化を行い、表面に75nmのSiO2層402、412を形成した(図4(a))。
次に、それぞれのSiO2膜402、412の外周部分451を0.7%フッ化水素酸溶液で10分間エッチングし、外周部分451(本実施例では、外周から2mmの領域)でシリコン基板401、411の表面を露出させ、疎水面となる領域451を形成した(図4(b))。
次いで、それぞれの基板同士の結合を行った。外周部分451が疎水面であることによって、外周部分451にボイドが発生すること無く、結合を行うことができた(図4(c))。
次いで、1000℃、130分の熱処理を行ってシリコン基板401とシリコン基板411とを完全に接着した(図4(d))。
その後、シリコン基板401側から表面グラインダーを用いて715μm研削した。次いで、コロイダルシリカを砥粒として鏡面研磨を行い、SiO2層402、412の上にシリコン膜401が2μmの厚みで残るようにした。その結果、外周部分451にボイドの無いSOI基板を得ることができた(図4(e))。
図5は、本実施例に係るSOI基板の製造方法の実施例5を示す工程断面図である。
725μmの厚みを持つシリコン基板501、511を2枚準備し、熱酸化を行い、表面に75nmのSiO2層502、512を形成した(図5(a))。
次に、両基板又は一方の基板に活性化処理552を行った(図5(b))。その後、それぞれのSiO2膜502、512の外周部分551を0.7%フッ化水素酸溶液で10分間エッチングし、外周部分551(本実施例では、外周から2mmの領域)でシリコン基板501、511の表面を露出させ、疎水面となる領域551を形成した(図5(c))。
次いで、それぞれの基板同士の結合を行った。外周部分551が疎水面であることによって、外周部分551のボイドが発生すること無く、結合を行うことができた(図5(d))。
次いで、1000℃、130分の熱処理を行ってシリコン基板501とシリコン基板511とを完全に接着した(図5(e))。
その後、シリコン基板501側から表面グラインダーを用いて715μm研削した。次いで、コロイダルシリカを砥粒として鏡面研磨を行い、SiO2層502、512の上にシリコン膜501が2μmの厚みで残るようにした。その結果、外周部分551にボイドの無いSOI基板を得ることができた(図5(f))。
図6は、本実施例に係るSOI基板の製造方法の実施例6を示す工程断面図である。
シリコン基板601としては、P型(100)の比抵抗0.01Ωcmシリコン基板601を使用し、シリコン基板601を洗浄した後、陽極化成を行った。陽極化成は49%フッ化水素酸溶液とアルコール溶液を1:1の割合で混合した。このシリコン基板601を溶液中で14分間、電流密度10mA/cm2で陽極化成反応を行った。多孔質化されたシリコン層602の厚みは15μmであった(図6(a))。
次に、酸素雰囲気で400℃、60分間の熱処理を行い多孔質シリコン層602の表面を安定化させた。その後、多孔質シリコン層602上にシリコンのエピタキシャル成長を行い、1μmのエピタキシャルシリコン層603を形成した。このエピタキシャル層603の結晶の品質を調べるためにseccoエッチング等の結晶欠陥の評価を行ったが、欠陥は観察されなかった。
次に、移設されるエピタキシャルシリコン層603を熱酸化し、エピタキシャルシリコン層603上に75nmのSiO2膜604を形成した(図6(b))。
次に、SiO2膜604の外周部分651を0.7%フッ化水素酸溶液で10分間エッチングし、外周部分651(本実施例では、外周から2mmの領域)でエピタキシャルシリコン層603表面を露出させ、疎水面となる領域を形成した。651は本発明の特徴となる接着領域である(図6(c))。
この処理は、シリコン基板側611に行ったり(実施例2の結合方法)、表面を活性化処理した後におこなったりしても(実施例3の結合方法)同様の効果が得られ、シリコン基板側611にSiO2層を持つ場合にも適用可能(実施例4,5の結合方法)である。
そして、シリコン基板611と結合を行った。外周部分651が疎水面であることによって、外周部分651にボイドが発生することが無く、結合を行うことができた(図6(d))。
次いで、1000℃、130分の熱処理を行って両基板を完全に接着した。その後、ウオータージェットによる流体楔で多孔質シリコン層の部分で2枚のウエハを分離し、多孔質シリコン層−エピタキシャルシリコン層−熱酸化膜層−シリコン基板となる構造をもつ(図6(e))の基板を得た。
次いで、フッ化水素酸溶液と過酸化水素水溶液の混合液を用い、外部から超音波を与えて、多孔質シリコン層602をエッチングした。この溶液での多孔質シリコン層602とエピタキシャルシリコン層603とのエッチング速度差は約10万倍程度であり、エピタキシャルシリコン層603にダメージを与えることなく多孔質シリコン層602をエッチングできた。その結果、均一なエピタキシャルシリコン層603を持った、外周部分651にボイドの無いSOI基板を得ることができた(図6(f))。
図7は、本実施例に係るSOI基板の製造方法の実施例7を示す工程断面図である。
725μmの厚みを持つシリコン基板701を準備し、熱酸化を行い、表面に500nmのSiO2層704を形成した(図8(a))。
この基板の表面から、水素イオン706を注入した。その際に、イオンの加速エネルギーを適当に制御することにより、シリコン基板701の所定の深さに微小気泡層702を形成した。このとき、シリコン基板701の表層部分はシリコン層703となる(図7(b))。
次に、SiO2膜704の外周部分751を0.7%フッ化水素酸溶液で10分間エッチングし、外周部分751(本実施例では、外周から5mmの領域)でシリコン基板701の表面を露出させ、疎水面となる領域を形成した。751は本発明の特徴となる接着領域である(図7(c))。
この処理は、シリコン基板711側に行ったり(実施例2の結合方法)、表面を活性化処理した後に行ったりしても(実施例3の結合方法)同様の効果が得られ、シリコン基板711側にSiO2層を持つ場合にも適用可能(実施例4,5の結合方法)である。
そして、シリコン基板711と結合を行った。外周部分751が疎水面であることによって、外周部分751にボイドが発生することが無く、結合を行うことができた(図7(d))。
次に、結合した基板に450〜550℃の熱処理を加えることによって、微小気泡層702から劈開性分離がおこり、支持基板711側は図7(e)のようなSOI構造となった。このようにして、外周部分751にボイドの無いSOI基板を得ることができた(図7(e))。
以上のように、本発明によれば、十分な結合強度を持つシリコンの親水性表面を結合する場合に、特に、ウエハの外周部分に発生するボイド(空隙)を抑制し、デバイスの製造可能領域を広げ、デバイスの取り数を向上させることができるようになった。
101,111 シリコン基板
151 疎水性領域
151 疎水性領域
Claims (11)
- 第1の基板の結合面と第2の基板の結合面とを結合して結合基板を製造する基板の製造方法であって、
前記第1の基板の結合面及び前記第2の基板の結合面の少なくとも一方の結合面を部分的に処理して疎水性領域及び親水性領域を有する結合面を形成する工程と、
前記第1の基板の結合面と前記第2の基板の結合面とを結合させる工程と、
を含むことを特徴とする基板の製造方法。 - 前記結合面を形成する工程では、
前記第1、第2の基板の少なくとも一方に弗化水素酸を供給する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板の製造方法。 - 前記結合面を形成する工程では、
前記第1、第2の基板の少なくとも一方の裏面から弗化水素酸を供給し、該第1、第2の基板の少なくとも一方の表面に該弗化水素酸を回り込ませる工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板の製造方法。 - 前記第1、第2の基板の少なくとも一方を回転させながら前記弗化水素酸を供給することを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の基板の製造方法。
- 前記疎水性領域は、前記第1の基板の結合面及び前記第2の基板の結合面の少なくとも一方の外周部分に形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
- 前記結合させる工程の後に、前記結合された基板の前記第1の基板側の面を研磨する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
- 前記第1の基板は、分離層を有することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
- 半導体基板の表面を多孔質化して前記分離層を形成する工程と、
前記分離層の表面に半導体層を形成する工程と、
前記半導体層の表面に絶縁体層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする請求項7に記載の基板の製造方法。 - 前記結合させる工程の後に、前記結合された基板を熱処理する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
- 前記分離層は、前記第1の基板中にイオンを注入して形成されるイオン注入層であることを特徴とする請求項7に記載の基板の製造方法。
- 前記結合された基板を前記分離層の部分で分離する工程を含むことを特徴とする請求項7乃至請求項10のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
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