JP2005342864A - 微細凹部加工装置及び微細凹部加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外周面9aに微細な凹凸9bを有する加工ローラ9と、この加工ローラ9の外周面9aを円筒部材Wに押し付けて微細凹部Wbを形成するステッピングモータ2,ボールねじ3,スライダ4,ハウジング5及びコイルスプリング6から成るローラ押圧機構としての弾性体押圧機構と、この弾性体押圧機構による加工ローラ9の押圧力を検出する荷重検出手段10と、加工ローラ9の外周面9aを円筒部材Wに押し付けて微細凹部Wbを形成している間に荷重検出手段10からの荷重検出信号を受けて弾性体押圧機構による加工ローラ9の押圧力をコントロールする制御手段11を備えた。
【選択図】 図1
Description
図1に示すように、この微細凹部加工装置1は、ステッピングモータ2と、このステッピングモータ2の作動によりボールねじ3とともにX軸方向に移動して円筒部材Wに対して進退するスライダ4と、このスライダ4に固定した弾性体支持部としてのハウジング5と、このハウジング5内に設けたコイルスプリング6と、このコイルスプリング6に上端を連結すると共に下端にアーム8を連結したシャフト7と、外周面9aに微細な凹凸9b(図2参照)を具備してアーム8に回転自在に支持された加工ローラ9と、ハウジング5内に設けられてコイルスプリング6による加工ローラ9の円筒部材Wに対する押圧力を検出する荷重検出手段10と、この荷重検出手段10及びステッピングモータ2に電気的に接続する制御手段11を備えており、ステッピングモータ2,ボールねじ3,スライダ4,ハウジング5及びコイルスプリング6でローラ押圧機構としての弾性体押圧機構を構成していると共に、NC工作機械の制御部を制御手段11としている。
図7は、本発明の微細凹部加工装置の他の実施例を示しており、この実施例では、ステッピングモータ2を取り付ける図示しないヘッド部に、アダプタ13を介して表面硬度測定手段としての表面硬度検出器12を取り付けるようにしている。
図8は、本発明の微細凹部加工装置のさらに他の実施例を示しており、図8に示すように、この実施例の微細凹部加工装置21は、加工ローラ9を支持して一体で移動するローラ支持部としてのアーム28に、先の実施例の表面硬度検出器12を取り付けている。
2 ステッピングモータ(弾性体押圧機構)
3 ボールねじ(弾性体押圧機構)
4 スライダ(弾性体押圧機構)
5 ハウジング(弾性体支持部;弾性体押圧機構)
6 コイルスプリング(弾性体押圧機構)
9 加工ローラ
9a 外周面
9b 微細な凹凸
10 荷重検出手段
11 制御手段
12 表面硬度検出器(表面硬度測定手段)
28 アーム(ローラ支持部)
W 円筒部材
Wa 円筒部材の外周面
Wb 微細凹部
Claims (11)
- 外周面に微細な凹凸を有する加工ローラと、この加工ローラの外周面を被加工物に押し付けて微細凹部を形成するローラ押圧機構と、このローラ押圧機構による加工ローラの押圧力を検出する荷重検出手段と、上記加工ローラの外周面を被加工物に押し付けて微細凹部を形成している間に上記荷重検出手段からの荷重検出信号を受けて上記ローラ押圧機構による加工ローラの押圧力をコントロールする制御手段を備えたことを特徴とする微細凹部加工装置。
- 被加工物の表面硬度を測定する表面硬度測定手段を備えている請求項1に記載の微細凹部加工装置。
- 加工ローラを支持して一体で移動するローラ支持部に表面硬度測定手段を設けた請求項2に記載の微細凹部加工装置。
- 制御手段は、被加工物の表面加工位置における表面硬さ分布情報と、表面硬さ及び加工ローラの押圧力の大きさに対応して形成される微細凹部の深さ情報とを記憶して、表面硬さ分布情報及び微細凹部の深さ情報に基づいて、上記加工ローラの押圧力を被加工物の表面硬さに対応させるべくコントロールする請求項1〜3のいずれか一つの項に記載の微細凹部加工装置。
- NC工作機械に搭載可能とし、制御手段を上記NC工作機械の制御部とした請求項1〜4のいずれか一つの項に記載の微細凹部加工装置。
- 流体圧を用いて加工ローラの外周面を被加工物に押し付ける流体圧押圧機構をローラ押圧機構とした請求項1〜5のいずれか一つの項に記載の微細凹部加工装置。
- 弾性体を用いて加工ローラの外周面を被加工物に押し付ける弾性体押圧機構をローラ押圧機構とした請求項1〜5のいずれか1つの項に記載の微細凹部加工装置。
- 弾性体を支持する弾性体支持部を備え、この弾性体支持部を被加工物に接近離間させることで加工ローラの押圧力を変化させる請求項7に記載の微細凹部加工装置。
- 請求項1に記載の微細凹部加工装置を用いて被加工物に微細凹部を形成するに際して、ローラ押圧機構により加工ローラの外周面を被加工物に押し付けると共に、上記被加工物を回転又は直線的に移動させるのに伴って加工ローラを連れ回りさせて微細凹部の加工を開始し、この微細凹部の加工を行っている間に、制御手段において、荷重検出手段からの荷重検出信号に基づいて上記ローラ押圧機構による加工ローラの押圧力をコントロールすることを特徴とする微細凹部加工方法。
- 請求項2に記載の微細凹部加工装置を用いて被加工物に微細凹部を形成するに際して、ローラ押圧機構により加工ローラの外周面を被加工物に押し付けると共に、上記被加工物を回転又は直線的に移動させるのに伴って加工ローラを連れ回りさせて微細凹部の加工を開始し、この微細凹部の加工を行っている間に、制御手段において、表面硬度測定手段により被加工物の表面硬度を測定して得た表面硬さ分布情報及び荷重検出手段からの荷重検出信号に基づいて上記ローラ押圧機構による加工ローラの押圧力をコントロールすることを特徴とする微細凹部加工方法。
- 被加工物の表面加工位置における表面硬さ分布情報と、表面硬さ及び加工ローラの押圧力の大きさに対応して形成される微細凹部の深さ情報とを制御手段にあらかじめ記憶させておき、この制御手段では、表面硬さ分布情報及び微細凹部の深さ情報に基づいて、上記加工ローラの押圧力を被加工物の表面硬さに対応させるべくコントロールする請求項10に記載の微細凹部加工方法。
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