JP2005340357A - 基板収納容器、基板移載装置及び基板移載方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 大型の基板であっても基板が撓むことなく収納することができ、基板収納容器のサイズの大型化及び重量増加を抑えることができる基板収納容器、基板移載装置及び基板移載方法を提供すること。
【解決手段】 開口部５２から基板Ｇを出し入れする基板収納容器５０であって、基板保持部６０は、開口部５２に直交する方向に延在する第１のくし歯材６１を備え、前記開口部５２から前記容器本体５１の外方に進退可能とされることを特徴とする。
また、基板移載装置１０は、第１のくし歯材６１に挿通可能に配設される第２のくし歯材１２を有する装置側保持部１１と、前記容器本体５１の開口部５２に対して進退可能とされ、かつ前記基板保持部６０に着脱自在な取付部２０を有する移動機構１８と、前記第２のくし歯材１２を前記移動機構１８の前記取付部２０の間にて昇降可能とする昇降機構とを備えることを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

この発明は、基板収納容器、基板移載装置及び基板移載方法に係り、特に、液晶基板をはじめとするガラス状の大型の基板を取り扱うのに好適な技術に関する

従来、ガラス状の大型の基板、例えば、液晶基板を格納する場合、基板収納容器が用いられている。従来技術の基板収納容器にあっては、液晶基板を片持ち状態で支持して、上下方向に沿い複数格納できるようにされている。このような液晶基板は、基板収納容器から取り出すとき、ロボットハンドが基板収納容器内に進入して把持した後、基板とともに後退して液晶基板が収納容器から取り出されることが一般に行われる。

図１０は、基板収納容器の例を示したものであるが、図１０（ａ）に示す基板収納容器１は、その内部の両側に基板支持梁２が上下方向に所定間隔をもって複数配設されている。これら基板支持梁２は、図１０（ｂ）に示すように、水平方向にも間欠的に複数設けられている。この基板収納容器１は、内部に多数の基板支持梁２が配設された箱形構造とされており、対応する基板支持梁２間に液晶基板Ｇを載せることで、複数の液晶基板Ｇを上下多段に格納できるようにしている。

このような基板収納容器１に対しては、ロボットなどからなる基板移載装置によって基板の搬入出が行われており、基板移載装置は、例えばアームを介して進退自在に構成されたピック部を有しており、ピック部が進退することで液晶基板を基板収納容器内に入れたり、出したりするようになっている。
この基板移載装置によって基板を搬送する装置として、例えば特許文献１に記載された技術が提案されている。
特開２００３−２６１２２１号公報（第１−３頁、図１）

ところで、従来の基板収納容器は、液晶基板を片持ち梁状態で収納するので、液晶基板が自重で下方に撓んでしまう。また、図１０（ａ）に示すような液晶基板Ｇの両側を基板支持梁２で支える従来技術に係る基板収納容器においても、液晶基板Ｇが自重で下方に撓んでしまう虞があった。
このように基板が下方に撓んだ場合、基板が大型化している今日、そのサイズが大きくなるにつれて、撓み量の程度も大きくなり、基板移載装置のピック部が基板に接触することなく挿入され、把持できる程度に、各基板間の上下方向の距離を大きくしなければならない。

しかしながら、基板間の間隔を大きくすると、それだけ基板収納容器を大きくしなければならず、重量がそれだけ増加するという問題があった。
また、基板移載装置のピック部が基板収納容器内に進入し、大型化した液晶基板の先端側を把持して基板収納容器から出したり入れたりすると、液晶基板を片持ち梁状態で把持することとなり、そのため、基板が撓んでしまうので、基板の搬入出を良好に行うことができなくなるというおそれもあった。
一方、特許文献１に記載されたものは、ロボットが容器内で基板を把持し、把持解除を行うために容器内に進入する必要があり、ロボットが把持及び把持解除を行うためのスペース確保のため各基板間の距離を大きくすることが必要となり、基板収納容器自体が大型化するという点で問題があった。

この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、大型の基板であっても基板が撓むことなく収納することができ、その結果として、基板収納容器のサイズの大型化及び重量増加を抑えるとともに、基板収納容器からの基板の出し入れを良好に行うことができる基板収納容器、基板移載方法及びその装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、容器本体内に基板を収納する基板保持部を備え、前記容器本体の前方に設けられた開口部から基板を出し入れ可能に収納する基板収納容器であって、前記基板保持部は、開口部に直交する方向に延在し適宜の間隔に配設された第１のくし歯材を備え、前記開口部から前記容器本体の外方に進退可能とされることを特徴とする。

請求項１に係る発明によれば、基板収納容器内において、基板はくし歯材により支持点間の間隔が短い基板保持部によって支持されているので撓みが発生しにくい。また、基板を引き出す際に、基板保持部に載置されたままで移動されるので安定して移動される。
また、基板保持部を引出す場合に、基板保持部の開口部側が、容器本体の開口部側の棚に載った状態であり、背面側との間において半ば両持梁状態となっているので、前後方向における撓みも抑制される。したがって、基板が大型化しても、基板が撓むことなく支持することができ、基板収納容器が大きくなるのを抑制することができるとともに、容器全体の重量が増大するのを抑えることができる。

請求項２に係る発明は、請求項１記載の容器本体の開口部の前方に設置され、該前方にて前記基板保持部との間で基板を移載する基板移載装置であって、前記基板保持部の前記第１のくし歯材に挿通可能に配設される第２のくし歯材を有する装置側保持部と、前記容器本体の開口部に対して進退可能とされ、かつ前記基板保持部に着脱自在な取付部を有する移動機構と、前記第２のくし歯材を前記移動機構の前記取付部の間にて昇降可能とする昇降機構とを備えることを特徴とする。

請求項２に係る発明によれば、基板を収納容器から取り出す際には、基板は基板保持部に載置したまま容器本体から取り出され、基板保持部のくし歯材に対して装置側保持部のくし歯材を昇降させて、基板保持部から装置側保持部に基板を移し替えるので、撓み発生を抑制することができる。また、基板を収納容器に収納する際は、逆の動作が行われ、同様の作用が得られる。
その結果、装置側保持部のくし歯材を基板収納容器内に挿入することが不要になり、基板収納容器から基板を出し入れするときに、基板が撓むのを確実に防止することができ、基板の大型化に容易に対処することができる。

請求項３に係る発明は、基板収納容器の開口部を介して、基板収納容器の前方に設置された基板移載装置の装置側保持部との間で基板を移載する基板移載方法であって、
Ａ）基板収納容器の開口部に面し開口部に直交する方向に延在する第１のくし歯材の上面に基板を載置した基板保持部に対して、基板移載装置の移動機構が前進し、基板保持部を保持する工程と、
Ｂ）基板を載置した前記基板保持部を保持した移動機構が装置側保持部の後端部まで後退し、基板保持部を装置側保持部の第１のくし歯に挿通可能な第２のくし歯材の上方の所定の位置まで引出す工程と、
Ｃ）装置側保持部の第２のくし歯材が上昇し、基板を第２のくし歯材の上面に移載する工程と、
Ｄ）移動機構が基板保持部とともに前進し、基板収納容器の所定の位置に収納された後に、前記取付部が、基板保持部の保持状態を解除する工程とを有することを特徴とする。

請求項４に係る発明は、請求項３記載の基板移載方法であって、
Ｅ）基板収納容器の開口部に面し開口部に直交する方向に延在するとともに基板が載置された第１のくし歯材下方に基板を載置した基板保持部に対して、基板移載装置の移動機構が前進し、基板保持部を保持する工程と、
Ｆ）基板を載置した前記基板保持部を保持した移動機構が装置側保持部の後端部まで後退し、基板保持部を、装置側保持部の第１のくし歯に挿通可能な第２のくし歯材の下方の所定の位置まで引出す工程と、
Ｇ）装置側保持部の第２のくし歯材が下降し、基板を第１のくし歯材の上面に移載する工程と、
Ｈ）移動機構が基板保持部とともに前進し、基板収納容器の所定の位置に収納された後に、前記取付部が、基板保持部の保持状態を解除する工程とを有することを特徴とする。
ここで、請求項３に係る発明は、基板収納容器から基板移載装置への基板移載方法であり、請求項４に係る発明は基板移載装置から基板収納容器への基板移載方法である。

請求項３又は請求項４に係る発明によれば、基板収納容器に基板を収納しているときはもちろん、基板収納容器から基板を出し入れし、基板収納容器及び装置側保持部間で基板を移載する場合においても、基板を支持する間隔が小さいので自重が集中し難く、撓が発生するのを抑制することができる。

請求項１に係る発明によれば、大型の基板であっても基板が撓むことなく収納することができるので、収納容器の大型化及び重量増加を抑制することができる。
請求項２に係る発明によれば、基板収納容器から基板を出し入れするときに、基板が撓むのを防止することができるので、基板の大型化に容易に対処することができ、収納容器の大型化及び重量増加を抑制することができる。
請求項３又は請求項４に係る発明によれば、基板が基板収納容器に収納されているときは勿論、基板の出し入れ、移載する際にも基板に発生する撓みが小さく、基板収納容器に対して基板を良好に出し入れすることができる。

以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。図１〜図４はこの発明の一実施の形態を示す図であって、図１は基板移載装置と基板収納容器との要部を示す平面図、図２は基板収納容器を開口部側から見た一部破断の斜視図、図３は基板収納容器におけるくし歯材を示す図、図４は基板移載装置を示す正面図である。
図１において、符号１０は、この実施形態の基板移載装置を示し、５０は基板収納容器を示す。この基板移載装置１０は、液晶基板を基板収納容器５０から引き出したり入れたりするものである。

まず、上記基板収納容器５０について説明する。
基板収納容器５０は、図１及び図２に示すように、前方が開口された容器本体５１と、複数の基板保持部６０とを備えている。容器本体５１は、図２に示すように、複数の枠部材（符示せず）が組み付けられることで前方に設けられた開口部５２を有する箱形形状をなしており、この例においては、３つの棚５３〜５５が開口部５２の上下方向に沿って横設されている。

図１及び図２において、容器本体５１は右側が開口部５２とされ、容器本体５１の左側が背面部とされるとともに、液晶基板Ｇを載置する３つの基板保持部６０が３つの棚５３〜５５上に配置され、前方の開口部５２から出し入れできるようになっている。
基板保持部６０は、図１及び図２に示すように、同一平面上に適宜の間隔を隔てて平行に配設された複数（例えば５本）の第１のくし歯材６１と、これら第１のくし歯材６１の奥行き方向の端部を連結する連結部材６６とを備えており、第１のくし歯材６１は開口部５２側において開放されている。

また、基板保持部６０は、その両側面に、例えば上下２列のローラ列からなる摺動部材７０、７１を備えており、容器本体５１の内側側面のローラ列に対応する位置に配置されたガイドレール７３、７４を上下から挟んで摺動自在、かつ基板保持部６０の連結部材６６以外のほとんどが開口部５２から引出しのように前進した状態でも基板保持部６０が浮き上ることなく、略水平を保つことができるようになっている。

基板保持部６０は、容器本体５１の棚５３〜５５の上面で摺動しながら水平方向に移動させることで容器本体５１に対して挿入、引き抜いて容器本体５１に収容又は取り出すことができるようになっている。
容器本体５１の背面部には、基板保持部６０の連結部材６６の背面側に対応して上下方向に沿って３つの図示しない係合部材が設けられており連結部材６６と係合、取り付けられるようになっている。

図３（ａ）に示すように、上記基板保持部６０は、各第１のくし歯材６１の上面にその長さ方向に沿い支持突起６７が所望間隔をおいて複数設けられ、この支持突起６７を介して液晶基板を各部材６１に載置できるようになっており、液晶基板Ｇの移載に際して液晶基板Ｇが傷付かないようになっている。つまり、基板保持部６０は、図３（ｂ）及び図２に示すように各第１のくし歯材６１上に液晶基板Ｇを載置した状態で、容器本体５１から引き出し、又は挿入できるようになっている。

一方、基板移載装置１０は、装置側保持部１１と、移動機構１８と、装置側保持部１１を昇降させる昇降機構２７とを備えている。
装置側保持部１１は、図１に示すように、平面視して第１のくし歯材６１と互い違いに配置される第２のくし歯材１２、１５を備えており、第２のくし歯材１２、１５は、基板保持部６０の各第１のくし歯材６１間を通過可能な板幅及び長さをもつ４本の部材から構成され、その基部が支持板１３、１６に連結されている。第２のくし歯材１２、１５は、図４に示すように、その両側が後述する昇降機構２７の昇降部２８に支柱部材１４、１７を介して取り付けられ、昇降機構２７によって昇降可能となっている。
ここで、第２のくし歯材１５は、第２のくし歯材１２の下方に設けられている。

移動機構１８は、基板保持部６０に脱着可能な取付部２０、及び容器本体５１に対して出し入れする移動機構本体１９から構成されている。移動機構本体１９は、基板保持部６０の各第１のくし歯材６１に対応して５個設けられており、装置側保持部１１の第２のくし歯材１２及び第２くし歯材１５間を容器本体５１に対して進退可能とされるとともに、昇降機構２７が上下する際、第２のくし歯材１２、１５の間を通過可能とされている。
図４に示すように、移動機構本体１９は、連動板２２の下部に設けられた脚部２３がローラ２４を介してベース２５上に設けられ、図示しない駆動源の駆動によってローラ２４がベース２５上を転動することで、移動機構本体１９が容器本体５１に対して進退移動するようになっている。

ベース２５は、容器本体５１の開口部５２の前方に設置されていて、移動機構１８を進退可能とする駆動源としては、例えばシリンダ、モータ、若しくはリニアモータを用いることができ、昇降機構２７としては、シリンダやそれ以外の駆動源によるリフタ等を用いることができる。

また、取付部２０は、その先端面に図示しない吸着パッドが設けられ、図示しない真空源に接続されていて、移動機構１８が基板収納容器５０内の基板保持部６０に向かって前進移動したとき、基板保持部６０の第１のくし歯材６１の先端部を吸着し、移動機構１８が装置側保持部１１の後端側まで後退し、基板保持部６０を第２のくし歯材１２又は第２のくし歯材１５の上方の所定の位置まで引出し可能とされている。
真空吸着パッド以外にシリンダー、ソレノイド等で機械的にピンを挿入する方法により引出す方法でもよい。

昇降機構２７は、図４に示すように、ベース２５上の両側に設けられた段差部２６に設置されており、図５に示すように、底部２９と、その底部２９に対してパンタグラフ部３０を介して取り付けられた昇降部２８と、パンタグラフ部３０を駆動して昇降部２８を上下方向に移動させる駆動源（図示せず）とを備えている。昇降部２８上には、図４に示すように装置側保持部１１を支持する支柱部材１４、１７が取り付けられている。

つぎに、上記実施の形態に係る基板移載装置１０を用いた基板移載方法について、図５〜図９をもとに以下に説明する。
まず、基板収納容器５０の容器本体５１内には、予め、液晶基板Ｇを載置した複数の基板保持部６０が開口部に横設された棚５３、５４、５５に開口部側を支持された状態で上下方向に収納される（図１及び図２参照）。
液晶基板Ｇは、第１のくし歯材６１が幅方向に小さな間隔で複数配設された第１のくし歯材６１に載置されているので、液晶基板Ｇが撓むことがない。

次に、図５、図６に示すように、基板収納容器５０の開口部５２に面し、開口部５２に直交する方向に延在する第１のくし歯材６１の上面に液晶基板Ｇを載置した基板保持部６０に対して、基板移載装置１０の移動機構１８が前進し、基板保持部６０を保持する。
引き続き、図７に示すように、液晶基板Ｇを載置した基板保持部６０を保持した移動機構１８が装置側保持部１１の後端部まで後退し、基板保持部６０を装置側保持部１１の第１のくし歯６１に挿通可能な第２のくし歯材１２の上方の所定の位置まで引出す。
次いで、図８に示すように、装置側保持部１１の第２のくし歯材１２が上昇し、液晶基板Ｇを第２のくし歯材１２の上面に移載し、その後、図９に示すように移動機構１８が基板保持部６０とともに前進し、基板収納容器５０の所定の位置に収納された後に、取付部２０が、基板保持部６０の保持状態を解除する。

この基板保持部６０の引き出しにおいて、第１のくし歯材６１の先端部が脱着部２０によって保持されると共に、図示していないが、第１のくし歯材６１底部が棚５４上を摺接しながら引き出されるので、基板保持部６０が撓むおそれがなく、液晶基板Ｇが基板保持部６０に載置されたままの状態となることから、基板自体が撓むことがない。

また、図７に示すように第１のくし歯材６１の引き出しのように移動し、連結部材６６以外が棚５４の外方に移動し棚５４から外れ場合、基板保持部６０が片持ち梁状態となるが、基板保持部６０は先端部が脱着部２０によって保持されたままとなっており、かつ第１のくし歯材６１の背面部が連結部材６６によって連結されていることから、基板保持部６０及び液晶基板Ｇが撓むことがない。

このように、液晶基板Ｇが容器本体５１の前方に引き出された基板保持部６０から装置側保持部１１に移し替えられると、今度は、装置側保持部１１の第２のくし歯材１２が液晶基板Ｇをその幅方向に沿って載置するので、液晶基板Ｇが何等撓むことがない。
このようにして液晶基板Ｇを装置側保持部１１に移載した後、空の状態となった基板保持部６０を元の位置に戻すこととなる。

即ち、まず、昇降機構２７の駆動によって昇降部２８が図８に示す矢印Ｘのように上昇され、それに伴って装置側保持部１１の第２のくし歯材１２が上昇して液晶基板Ｇを持ち上げる。その後、基板保持部６０の第１のくし歯材６１を移動機構１８とともに前進させて収納容器５０内に挿入、元の位置に収納する。

なお、上記と逆の動作を行うことで、基板移載装置１０上の液晶基板Ｇが基板保持部６０に移載され、その基板保持部６０が容器本体５１内に挿入されることで、液晶基板Ｇが基板収納容器５０に収納される。
具体的には、まず、基板収納容器５０の第１のくし歯材６１を有する基板保持部６０に対して、基板移載装置１０の移動機構１８が前進し、基板保持部６０を保持する。
次に、液晶基板Ｇを載置した基板保持部６０を保持した移動機構１８が装置側保持部１１の後端部まで後退し、装置側保持部６０の第１のくし歯材６１に挿通可能な第２のくし歯材１２の下方の所定の位置まで引出す。

次いで、装置側保持部１１の第２のくし歯材１２が下降し、液晶基板Ｇを第１のくし歯材６１の上面に移載し、移動機構１８が基板保持部６０とともに前進し、基板保持部６０を基板収納容器５０の所定の位置に収納した後に、取付部２０が、基板保持部６０の保持状態を解除する。
この場合、基板保持部６０の各第１のくし歯材６１が棚５４と摺接しながら挿入されると共に、各第１のくし歯材６１の先端部が脱着部２０によって保持されているので、基板保持部６０が撓むことがない。

また、この基板移載方法によれば、液晶基板Ｇを載置した基板保持部６１を容器本体５１の開口部５２から外部に引き出した後、その液晶基板Ｇを装置側保持部１１に移し替えると共に、基板保持部６１を容器本体５１内の元の位置に戻す基板搬出工程と、液晶基板Ｇを載置した装置側保持部１１から基板保持部６１に移し替えた後、その液晶基板Ｇを有する基板保持部６１を容器本体５１内の所定位置に挿入する基板搬入工程とを有するので、液晶基板Ｇが基板収納容器５０及び基板移載装置１０間での移載作業において撓むことがない。

つまり、基板収納容器５０に液晶基板Ｇを収納しているときは勿論、基板収納容器５０から液晶基板Ｇを出し入れするとき、また、基板収納容器５０及び装置側保持部１１間での液晶基板Ｇの移載作業においても、液晶基板Ｇが撓むのを防止することができる。
そして、この実施形態の基板移載装置１０によれば、液晶基板Ｇを載置した基板保持部６０を容器本体５１から引き出し、その基板保持部６０を下降させることで、基板保持部６０から装置側保持部１１に液晶基板Ｇを移し替えるように構成したので、装置側保持部の第２のくし歯材１２を基板収納容器５０内に挿入することが不要になる。

そのため、従来技術のように基板収納容器から液晶基板Ｇを出し入れするときに、収納容器５０内の中央における液晶基板Ｇの撓みを考慮する必要がなく、液晶基板Ｇの大型化に容易に対処することができる。
さらに、基板移載装置１０によれば、容器本体５１の前方に設置され、容器本体５１内に入り込んで液晶基板Ｇを把持することが不要になるので、基板収納容器５０が大型化するのを抑えることができる。

なお、上記実施の形態においては、基板保持部６０が３つの場合について説明したが、基板保持部６０が３つ以上の複数でもよいのは当然である。
また、第１のくし歯材６１と第２のくし歯材１２との間における液晶基板Ｇの移載について説明したが、昇降機構２７による昇降位置を代えて、第１のくし歯材６１と第２のくし歯材１５との間で液晶基板Ｇの移載を行ってもよい。

また、基板移載装置を構成する装置側保持部１１、移動機構１８、昇降機構２７、第１のくし歯材６１、第２のくし歯材１２、基板収納容器５０及び基板支持部６７の具体的構成は、所定の機能が得られればよく図示例に限定されるものではない。
また、基板として液晶基板Ｇに適用した例を示したが、例えばプラズマディスプレイに用いられるガラス製基板や他の可撓性基板にも適用できるのは勿論である。

この発明の一実施の形態に係る基板移載装置を示す図であって、基板移載装置と基板収納容器との要部を示す平面図である。 基板収納容器を開口部側から見た一部破断の斜視図である。 基板収納容器におけるくし歯材を示す図である。 基板移載装置を示す正面図である。 基板移載装置の移動機構が上昇した状態を示す説明図である。 移動機構が基板収納容器内の基板保持部に移動した状態を示す説明図である。 移動機構が基板収納容器から基板保持部を引き出した状態を示す説明図である。 基板収納容器から基板移載装置の装置側保持部に基板を移し替えたときの説明図である。 基板保持部を基板収納容器に戻した状態を示す説明図である。 従来技術の基板収納容器を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。

符号の説明

１０ 基板移載装置
１１ 装置側保持部
１２ 第２のくし歯材
１８ 移動機構
２０ 取付部
２７ 昇降機構
５０ 基板収納容器
５１ 容器本体
５２ 開口部
５３、５４、５５ 棚
６０ 基板保持部
６１ 第１のくし歯材

Claims (4)

1. 容器本体内に基板を収納する基板保持部を備え、前記容器本体の前方に設けられた開口部から基板を出し入れ可能に収納する基板収納容器であって、
   前記基板保持部は、開口部に直交する方向に延在し適宜の間隔に配設された第１のくし歯材を備え、前記開口部から前記容器本体の外方に進退可能とされることを特徴とする基板収納容器。
2. 請求項１記載の容器本体の開口部の前方に設置され、該前方にて前記基板保持部との間で基板を移載する基板移載装置であって、
   前記基板保持部の前記第１のくし歯材に挿通可能に配設される第２のくし歯材を有する装置側保持部と、
   前記容器本体の開口部に対して進退可能とされ、かつ前記基板保持部に着脱自在な取付部を有する移動機構と、
   前記第２のくし歯材を前記移動機構の前記取付部の間にて昇降可能とする昇降機構とを備えることを特徴とする基板移載装置。
3. 基板収納容器の開口部を介して、基板収納容器の前方に設置された基板移載装置の装置側保持部との間で基板を移載する基板移載方法であって、
   Ａ）基板収納容器の開口部に面し開口部に直交する方向に延在する第１のくし歯材の上面に基板を載置した基板保持部に対して、基板移載装置の移動機構が前進し、基板保持部を保持する工程と、
   Ｂ）基板を載置した前記基板保持部を保持した移動機構が装置側保持部の後端部まで後退し、基板保持部を装置側保持部の第１のくし歯に挿通可能な第２のくし歯材の上方の所定の位置まで引出す工程と、
   Ｃ）装置側保持部の第２のくし歯材が上昇し、基板を第２のくし歯材の上面に移載する工程と、
   Ｄ）移動機構が基板保持部とともに前進し、基板収納容器の所定の位置に収納された後に、前記取付部が、基板保持部の保持状態を解除する工程とを有することを特徴とする基板移載方法。
4. 請求項３記載の基板移載方法であって、
   Ｅ）基板収納容器の開口部に面し開口部に直交する方向に延在する第１のくし歯材を有する基板保持部に対して、基板移載装置の移動機構が前進し、基板保持部を保持する工程と、
   Ｆ）前記基板保持部を保持した移動機構が装置側保持部の後端部まで後退し、基板保持部を、装置側保持部の第１のくし歯に挿通可能な第２のくし歯材の下方の所定の位置まで引出す工程と、
   Ｇ）基板を載置した装置側保持部の第２のくし歯材が下降し、基板を第１のくし歯材の上面に移載する工程と、
   Ｈ）移動機構が基板を載置した基板保持部とともに前進し、基板収納容器の所定の位置に収納された後に、前記取付部が、基板保持部の保持状態を解除する工程とを有することを特徴とする基板移載方法。
   
   
   

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