JP2005335990A - 表面被覆セラミック焼結体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミック基体の表面に、第一中間層と第二中間層とを介して前記セラミック基体よりも熱膨張係数の大きな表面層とがこの順に設けられてなり、前記第一中間層の熱膨張係数が、前記セラミック基体の熱膨張係数よりも大きく、且つ前記表面層の熱膨張係数よりも小さく、第二中間層が前記第一中間層よりも小さい熱膨張係数を有することを特徴とし、前記中間層が、さらに前記セラミック基体と略同一の熱膨張係数を有する第三中間層を具備し、該第三中間層が前記セラミック基体と前記第一中間層との間に設けられてなることが好ましい。
【選択図】図1
Description
へ段階的に、又は連続的に大きくなる場合、セラミック基体2と表面層5との間の熱応力緩和が効果的に促進され、表面層5の剥離を抑制する効果が大きくなる。
2・・・セラミック基体
3・・・第一中間層
4・・・第ニ中間層
5・・・表面層
6・・・第三中間層
Claims (7)
- セラミック基体の表面に、第一中間層と、第二中間層と、前記セラミック基体よりも熱膨張係数の大きな表面層とがこの順に設けられてなり、前記第一中間層の熱膨張係数が、前記セラミック基体の熱膨張係数よりも大きく、且つ前記表面層の熱膨張係数よりも小さく、第二中間層が前記第一中間層よりも小さい熱膨張係数を有することを特徴とする表面被覆セラミック焼結体。
- 前記セラミック基体と略同一の熱膨張係数を有する第三中間層が、前記セラミック基体と前記第一中間層との間に設けられてなることを特徴とする請求項1記載の表面被覆セラミック焼結体。
- 前記第一中間層が前記第三中間層の主成分と、前記表面層の主成分との混合材料からなることを特徴とする請求項2記載の表面被覆セラミック焼結体。
- 前記第一中間層が、セラミック基体の主成分と、前記表面層の主成分との混合材料からなることを特徴とする請求項1又は2記載の表面被覆セラミック焼結体。
- 前記第一中間層の熱膨張係数が、セラミック基体側から表面層側へ傾斜的に大きくなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の表面被覆セラミック焼結体。
- 前記第一及び/又は第二中間層が、耐食性セラミックス又は体摩耗性セラミックスからなることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の表面被覆セラミック焼結体。
- 前記表面層が、クラックを具備することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の表面被覆セラミック焼結体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004155199A JP4632692B2 (ja) | 2004-05-25 | 2004-05-25 | 表面被覆セラミック焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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JP2005335990A true JP2005335990A (ja) | 2005-12-08 |
JP4632692B2 JP4632692B2 (ja) | 2011-02-16 |
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ID=35489958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004155199A Expired - Fee Related JP4632692B2 (ja) | 2004-05-25 | 2004-05-25 | 表面被覆セラミック焼結体 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4632692B2 (ja) |
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