JP2005332873A - 半導体ウェハ加工用保護シート、及び半導体ウェハの裏面研削方法 - Google Patents
半導体ウェハ加工用保護シート、及び半導体ウェハの裏面研削方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 半導体ウェハ加工用保護シート10は、半導体ウェハの裏面を研削する際に、パターン形成された半導体ウェハ表面を保護するために用いるものであって、前記保護シート10は、基材11の少なくとも一方の側に粘着剤層12が積層されており、かつ、気温40℃、相対湿度90%の環境下で24時間放置した場合の寸法膨張率が0.05%以下であることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明の実施の形態について、図を参照しながら以下に説明する。但し、説明に不要な部分は省略し、また説明を容易にする為に拡大または縮小等して図示した部分がある。
本発明にかかる保護シートの他の実施の形態について、図2を用いて説明する。なお、前記実施の形態1の保護シートと同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
粘着剤層上に透湿度が4.0g/m2・24h・atm以下のポリ塩化ビニリデンフィルムを貼り合わせた半導体ウェハ加工用保護シートに、約300mmの間隔となる様にカッターでキズを付けた。このときの値をLiとした。次いで、40℃、相対湿度90%の環境下で24時間放置した後、前記の間隔を再び測定した。このときの値をLeとした。更に、下記式により保護シートの吸水寸法膨張率を算出した。
JIS Z 0208の透湿度試験 (カップ法)に準じて、90%の相対湿度差で、厚さ0.1mm、面積1m2の試料を24時間に通過する水蒸気のg数である。使用した雰囲気の温湿度条件は、40℃で相対湿度90%とした。
アクリル酸メチル70部、アクリル酸ブチル30部、及びアクリル酸5部からなる配合組成物をトルエン中で共重合させて、アクリル系共重合ポリマー(数平均分子量30万)を含む溶液を得た。このアクリル系共重合ポリマーの溶液(固形分)100部に対して、光硬化型ウレタンオリゴマー70部、ポリイソシアネート系架橋剤(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン(株)製)5部、光重合開始剤(イルガキュア184)5部を混合して粘着剤組成物を調製した。
前記実施例1にて作製した粘着剤組成物を、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(商品名:ルミラー、東レ(株)製、厚さ50μm、引張り弾性率3.0GPa)上に塗布し乾燥することで粘着層(厚さ5μm)を形成した。
前記実施例1にて作製した粘着剤組成物を、PETフィルム(商品名:ルミラー、東レ(株)製、厚さ50μm、引張り弾性率3.0GPa)上に塗布し乾燥することで粘着層(厚さ5μm)を形成した。
前記実施例1にて作製した粘着剤組成物を、PETフィルム(商品名:ルミラー、東レ(株)製、厚さ50μm、引張り弾性率3.0GPa)上に塗布し乾燥することで粘着層(厚さ5μm)を形成した。
基材としてPETフィルム(厚さ50μm、引張り弾性率3.0GPa)を用いた以外は、前記実施例1と同様にして比較例1に係る半導体ウェハ加工用保護シートを作製した。
バックグラインド後のウェハの逆反りの量は、図3に示すように、研削後のウェハを保護シートを貼り付けた状態で測定した。即ち、ウェハ31を保護シート32が下側になる様に平板33上に載置し、平板33上から最も浮いている保護シート32の端部の高さ、即ち反り量hを測定した。結果を下記表1に示す。
11 基材
11a 内層
11b 最外層
12 粘着剤層
20 半導体ウェハ加工用保護シート
Claims (5)
- 半導体ウェハの裏面を研削する際に、パターン形成された半導体ウェハ表面を保護するために用いる半導体ウェハ加工用保護シートであって、
前記保護シートは、基材の少なくとも一方の側に粘着剤層が積層されており、
かつ、気温40℃、相対湿度90%の環境下で24時間放置した場合の寸法膨張率が0.05%以下であることを特徴とする半導体ウェハ加工用保護シート。 - 前記基材が単層からなる場合には、該基材の23℃における引張り弾性率が0.6GPa以上であり、
前記基材が複数層からなる場合には、少なくとも1層の23℃における引張り弾性率が0.6GPa以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェハ加工用保護シート。 - 前記基材は、23℃に於ける引張り弾性率が0.6GPa以上の内層と、前記基材の粘着剤層が設けられている面と反対側に設けられ、かつ透湿度が20g/m2・24h・atm以下の最外層を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェハ加工用保護シート。
- 半導体ウェハの表面に、請求項1〜3の何れか1項に記載の半導体ウェハ加工用保護シートを貼付した状態で、半導体ウェハの裏面にバックグラインド工程、裏面処理工程を施すことを特徴とする半導体ウェハの裏面研削方法。
- 前記半導体ウェハの直径をa(m)、研削後の半導体ウェハの厚みをb(m)としたとき、b/a(−)の値が少なくとも1.1×10−3以下になるまで半導体ウェハの裏面研削を行うことを特徴とする請求項4に記載の半導体ウェハの裏面研削方法。
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