JP2005328682A - ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の磁石を有する可動子と、可動子に固定されたステージと、磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイル1〜3,14が可動子を2次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、各層に対応するコイルの発熱量に応じて、コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させた。
【選択図】 図1
Description
[第1の実施形態]
図1は、第1の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
[第2の実施形態]
図2は、第2の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
[第3の実施形態]
図3は、第3の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
[第4の実施形態]
図4は、第4の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
[露光装置への適用例]
次に、上記各実施形態の平面モータを、物体を位置決めするステージ装置のステージ駆動に適用し、このステージ装置を半導体デバイス製造に用いられる露光装置に搭載した例を説明する。
[デバイス製造方法]
次に、上述した露光装置を利用したデバイス製造方法の実施形態を説明する。
Claims (14)
- 複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を2次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、
前記各層に対応するコイルの発熱量に応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とするステージ装置。 - 前記各層のコイルにおける前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、発熱量の小さなコイルに対して相対的に大きくしたことを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を2次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、
前記各層のコイルと前記磁石との磁気ギャップに応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とするステージ装置。 - 前記各層のコイルにおける前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、磁気ギャップの小さいコイルに対して相対的に大きくしたことを特徴とする請求項3に記載のステージ装置。
- 所定のコイルのコイル厚を変えることで、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 所定のコイルを厚さ方向に分割することで、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を2次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、
前記各層のコイルの発熱量に応じて、当該コイルの表面積を変化させることを特徴とするステージ装置。 - 所定のコイルの表面積を、発熱量の小さいコイルよりも相対的に大きくしたことを特徴とする請求項7に記載のステージ装置。
- 所定のコイルを厚さ方向に分割することで、コイルの表面積を変化させることを特徴とする請求項7又は8に記載のステージ装置。
- 請求項1乃至9のいずれか1項に記載のステージ装置を備え、
前記ステージ装置によって、原版と基板とを相対的に走査して当該原版上のパターンを基板上に露光する露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置を用いて半導体デバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
- 複数の磁石を有する可動子と、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を2次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させる平面モータにおいて、
前記各層に対応するコイルの発熱量に応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とする平面モータ。 - 複数の磁石を有する可動子と、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を2次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させる平面モータにおいて、
前記各層のコイルと前記磁石との磁気ギャップに応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とする平面モータ。 - 複数の磁石を有する可動子と、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を2次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させる平面モータにおいて、
前記各層のコイルの発熱量に応じて、当該コイルの表面積を変化させることを特徴とする平面モータ。
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