KR101471130B1

KR101471130B1 - 평면 모터 장치 및 이를 이용한 공정 장치

Info

Publication number: KR101471130B1
Application number: KR1020130083765A
Authority: KR
Inventors: 안형준; 김경록
Original assignee: 숭실대학교산학협력단
Priority date: 2013-07-16
Filing date: 2013-07-16
Publication date: 2014-12-11
Also published as: US20150022029A1; US9553498B2

Abstract

본 발명의 평면 모터 장치는 하나 이상의 고정자가 배치된 베이스부, 상기 베이스부의 상부에 배치될 평면 대상체의 상부에 배치되고, 상기 고정자에 의하여 발생되는 자기장에 따라 이동하는 이동자, 상기 이동자에 결합되고, 상기 이동자를 상기 평면 대상체로부터 지지하면서, 상기 자기장의 힘에 따라 상기 이동자를 이동시키는 이동자 지지부 및 상기 고정자에 대한 제어 전류를 공급하여, 상기 이동자의 위치를 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

평면 모터 장치 및 이를 이용한 공정 장치{PLANAR MOTOR AND PROCESSING APPARATUS USING THE SAME}

본 발명은 평면 모터 장치 및 이를 이용한 공정 장치에 관한 것이다.

다양한 산업 환경에서 고정밀도의 위치 결정 능력을 필요로 하는 공정 장비들이 사용되고 있다. 평면 모터도 이러한 장비 중 하나로, 예를 들면, 반도체 제조 공정, 각종 평판 디스플레이 제조 공정, 기타 여러 대상체에 대한 공정을 처리하는 공정 장치에서 사용되고 있다.

평면 모터는 이동자가 이동하기 위하여 별도의 매개물이 필요하지 않기 때문에 진공환경과 같은 특수한 작업환경에서 많이 사용되고 있다.

한편, 기존의 평면 모터는 고정자의 상부에 이동자를 배치하고, 고정자에 인가되는 자기장의 힘을 제어하여 이동자를 이동시킨다. 이때, 이동자의 상부에 공정 대상체를 배치하고, 이동자와는 별도로 구비된 공정 장비를 통해 공정을 수행하게 되므로, 전체 시스템의 구성이 복잡하고 부피가 커지는 단점이 있다.

이와 관련하여, 대한민국 등록특허 제10-0855921호(발명의 명칭: 평면모터장치 및 그 구동 방법, 스테이지 장치 및 그 구동방법, 노광장치 및 노광방법, 그리고 디바이스 및 그 제조방법)는 발자체를 갖는 가동자와 고정자의 위치관계에 따라 변화하는, 고정자를 구성하는 각 코일의 인덕턴스를 인덕턴스 측정기를 사용하여 측정함으로써, 고정자에 있어서의 인덕턴스 분포를 구한다. 그리고, 구해진 인덕턴스 분포에 기초하여 스테이지 부재의 2 차원 위치 및 자세를 검출한다. 이 검출 결과에 기초하여 각 코일로 공급되는 전류의 방향이나 크기를 제어함으로써, 스테이지 부재의 위치제어를 실시한다. 그 결과, 스테이지 부재의 위치나 자세에 관계없이 스테이지 부재의 위치제어를 실시할 수 있게 된다.

본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 고정자와 이동자 사이에 대상체를 배치시킨 구성의 평면 모터 장치 및 이를 이용한 공정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 제 1 측면에 따른 평면 모터 장치는 하나 이상의 고정자가 배치된 베이스부, 상기 베이스부의 상부에 배치될 평면 대상체의 상부에 배치되고, 상기 고정자에 의하여 발생되는 자기장에 따라 이동하는 이동자, 상기 이동자에 결합되고, 상기 이동자를 상기 평면 대상체로부터 지지하면서, 상기 자기장의 힘에 따라 상기 이동자를 이동시키는 이동자 지지부 및 상기 고정자에 대한 제어 전류를 공급하여, 상기 이동자의 위치를 제어하는 제어부를 포함한다.

또한, 본 발명의 제 2 측면에 따른 평면 대상체에 대한 공정 장치는 하나 이상의 고정자가 배치된 베이스부, 상기 베이스부의 상부에 배치될 평면 대상체의 상부에 배치되고, 상기 고정자에 의하여 발생되는 자기장에 따라 이동하는 이동자, 상기 이동자의 상부에 배치되고, 상기 평면 대상체에 대한 공정 처리를 수행하는 공정 처리부, 상기 이동자에 결합되고, 상기 이동자를 상기 평면 대상체로부터 지지하면서, 상기 자기장의 힘에 따라 상기 이동자를 이동시키는 이동자 지지부, 상기 고정자에 대한 제어 전류를 공급하여, 상기 이동자의 위치를 제어하는 제어부를 포함한다.

본 발명은 이동자와 고정자 사이에 평면 대상체를 배치하는 평면 모터 장치를 제공함으로써, 장비의 복잡성과 크기를 감소시킬 수 있다. 특히, 본 발명의 구조에 따라 대면적의 평면 대상체에 대해서도 용이하게 공정을 수행할 수 있도록 한다.

도 1은 본원 발명의 일 실시예에 따른 평면 모터 장치를 도시한 도면이고,
도 2는 본원 발명의 일 실시예에 따른 평면 모터 장치의 단면을 도시한 도면이다.
도 3은 본원 발명의 일 실시예에 따른 제어부의 세부 구성을 도시한 블록도이다.
도 4는 본원 발명의 일 실시예에 따른 평면 모터 장치를 이용한 공정 수행 방법을 도시한 도면이다.
도 5는 본원 발명의 다른 실시예에 따른 평면 모터 장치를 도시한 도면이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

도 1은 본원 발명의 일 실시예에 따른 평면 모터 장치를 도시한 도면이고, 도 2는 본원 발명의 일 실시예에 따른 평면 모터 장치의 단면을 도시한 도면이다.

도시된 바와 같이, 평면 모터 장치(10)는 베이스부(20), 이동자(30), 제어부(40), 고정자(50)를 포함하며, 평면 대상체(60)가 고정자(50)와 이동자(30) 사이에 배치된다.

베이스부(20)에는 하나 이상의 고정자(50)가 배치된다. 도시된 바와 같이, 사각 평면 형태의 베이스부(20)에 복수의 고정자(50)가 격자 형태로 이격되어 배치될 수 있다. 각 고정자(50)에 인가되는 제어 전류에 따라 각 고정자(50)에 의하여 발생되는 자기장의 상태가 달라지게 되고, 이에 따라 이동자(30)에 가해지는 힘의 크기는 달라질 수 있다. 구체적인 이동자(30)의 위치 제어 방법에 대한 기술은 앞서 소개한 선행문헌이나 기타 관련 선행기술의 내용을 참조하도록 한다.

고정자(50)는 철심 코어(52)와 철심 코어를 중심으로 권선된 코일(54)을 포함하여 이루어 진다. 제어부(40)가 공급하는 제어 전류는 코일(54)에 공급되고, 제어 전류에 따라 코일(54)에 발생되는 자기장의 분포가 조절될 수 있다. 한편, 도면에서는 고정자(50)의 크기가 정사각형 형태로 도시되어 있고, 그 면적도 동일한 것으로 도시되어 있으나, 이는 예시에 해당하는 것으로, 형태나 면적은 서로 상이하게 설계할 수 있다.

한편, 공정의 대상이 되는 평면 대상체(60)의 크기를 고려하여 베이스부(20)의 크기, 베이스부(20)에 배치되는 고정자(50)의 면적, 개수, 이격 거리 등이 조절 될 수 있다. 예를 들어, 격자 형태로 배치된 복수의 고정자(50)에 의하여 커버되는 면적과 평면 대상체(60)의 면적은 대체로 동일하도록 한다.

이동자(30)는 평면 대상체(60)의 상부에 배치되고, 고정자(50)에 의하여 발생되는 자기장에 따라 이동한다. 이때, 평면 대상체(60)는 베이스부(20)와 고정자(50)의 상부에 배치되므로, 베이스부(20) 및 고정자(50)와 이동자(30) 사이에 평면 대상체(60)가 배치된다. 이때, 평면 대상체(60)는 자기장의 진행에 영향을 주지 않는 비자성체이다.

이동자(30)는 소정 면적을 가진 지지 프레임(32), 지지 프레임(32)의 하부에 결합된 하나 이상의 자석(34) 및 이동자 지지부(35)를 포함한다. 지지 프레임(32)의 면적은 평면 대상체(60)의 면적보다는 작도록 설계되어, 이동자(30)가 평면 대상체(60)의 상부에서 자유롭게 이동할 수 있도록 한다. 이와 같은 구성에 따라, 다양한 면적의 평면 대상체(60)에 대해서도 이동자(30)를 활용할 수 있으며, 특히 대면적의 평면 대상체(60)에 대하여 활용성이 높다.

지지 프레임(32)에는 이후 설명할 공정 처리부(70)와의 결합을 위한 각종 체결 부재(미도시 됨)가 배치될 수 있다. 즉, 다양한 형태의 체결 부재를 통해 공정 처리부(70)를 지지 프레임(32)에 고정시킬 수 있다.

또한, 지지 프레임(32)에는 평면 대상체(60)에 대한 다양한 공정 수행을 위하여, 개구부가 구비될 수 있다. 지지 프레임(32)에 형성된 개구부를 통해 개구부 하부의 영역에 대해서 다양한 공정을 수행할 수 있다.

자석(34)은 영구 자석이 사용될 수 있으며, 하나 이상의 자석이 배치될 수 있다.

이동자 지지부(35)는 지지 프레임(32)의 테두리에 복수개가 결합되어, 이동자(30)가 평면 대상체(60)의 상부에서 자유롭게 이동하도록 한다. 본 발명과 같이, 철심형 코일을 이용하여 평면 모터를 구성하는 경우, 자석(34)이 철심 코어(52)를 끌어당기는 힘(흡인력)이 발생하여, 이동자(30)와 평면 대상체(60) 사이의 마찰력이 증가하게 되고, 이로 인해 이동자(30)가 자유롭게 이동하기 어려울 수 있다. 이러한 문제점을 해소하기 위하여, 이동자 지지부(35)를 배치하여 이동자(30)의 이동을 자유롭게 한다.

이동자 지지부(35)는 지지 프레임 확장부(36) 및 공기 베어링 패드(38)를 포함할 수 있다. 이때, 공기 베어링 패드(38)의 높이는 지지 프레임(32)의 두께와 자석(34)의 두께의 합을 고려하여 설계하도록 한다. 지지 프레임 확장부(36)는 지지 프레임(32)의 테두리에, 지지 프레임(32)과 평행한 방향으로 결합된다. 공기 베어링 패드(38)는 지지 프레임 확장부(36)에 결합되어, 이동자(30)를 평면 대상체(60)의 표면과 수직한 방향으로 지지한다. 공기 베어링 패드(38)는 평면 대상체(60)에 대하여 압축공기를 분사하여, 이동자(30)가 평면 대상체(60)로부터 이격되도록 하여, 이동자(30)와 평면 대상체(60) 사이의 마찰력을 최소화시킨다. 이에 따라, 고정자(50)에 의하여 발생하는 자기장에 따라 이동자(30)가 자유롭게 이동하도록 한다. 한편, 고정자(50)의 견인력이 공기 베어링 패드(38)의 예하중으로 작용하게 되어, 공기 베어링의 강성과 안정성이 크게 증가할 수 있다.

한편, 도면에는 도시되지 않았으나, 공기 베어링 패드(38) 대신 볼 캐스터와 같은 볼 베어링을 활용하여 이동자 지지부(35)를 구성할 수 있다. 볼 캐스터는 구형 형상을 가지므로 평면 대상체(60)와의 접촉 면적을 최소화할 수 있고, 이에 따라 이동자(30)와 평면 대상체(60) 사이의 마찰력을 최소화시킨다.

제어부(40)는 고정자에 대한 제어 전류를 공급하여, 이동자(30)의 위치를 제어한다. 또한, 제어부(40)는 이동자(30)의 위치 정보를 기초로 이동자(30)의 위치를 제어하기 위한 제어 전류를 설정할 수 있다.

도 3은 본원 발명의 일 실시예에 따른 제어부의 세부 구성을 도시한 블록도이다.

도시된 바와 같이 제어부(40)는 위치 정보 수신부(410) 및 제어 전류 설정부(420)를 포함한다. 참고로, 본 발명의 실시예에 따라 도 3에 도시된 구성 요소들은 소프트웨어 또는 FPGA(Field Programmable Gate Array) 또는 ASIC(Application Specific Integrated Circuit)와 같은 하드웨어 구성 요소를 의미하며, 소정의 역할들을 수행한다.

그렇지만 '구성 요소들'은 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니며, 각 구성 요소는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다.

따라서, 일 예로서 구성 요소는 소프트웨어 구성 요소들, 객체지향 소프트웨어 구성 요소들, 클래스 구성 요소들 및 태스크 구성 요소들과 같은 구성 요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함한다.

구성 요소들과 해당 구성 요소들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성 요소들로 결합되거나 추가적인 구성 요소들로 더 분리될 수 있다.

먼저, 이동자(30)의 위치 정보를 감지하기 위하여 센서(미도시 됨)가 베이스부(20) 또는 베이스부(20)밖의 구조물에 배치될 수 있으며, 센서가 전송하는 이동자(30)의 위치 정보가 위치 정보 수신부(410)를 통해 수집된다. 예를 들어, 센서는 격자 형태로 배치된 고정자(50) 들의 사이 또는 교차지점 등에 균등하게 배치되어, 이동자(30)의 위치 정보를 감지한다. 이러한 센서로는 자석 배열 이동자(30)의 위치를 측정하는 홀센서 배열 등이 사용될 수 있다. 또한, 베이스부(20) 밖의 구조물에 배치되는 센서로는 레이저 변위 센서가 있을 수 있으며, 이를 위하여 측정 대상체인 평면 미러를 이동자(30)에 설치하는 구성을 사용할 수 있다.

제어 전류 설정부(420)는 위치 정보를 고려하여, 제어 전류 설정에 활용한다. 예를 들어, 사용자에 의하여 입력된 공정의 순서, 각 공정의 수행 위치, 각 위치에서 공정의 수행 시간에 대한 정보를 고려하여, 현재 시점에서 감지된 이동자(30)의 위치 정보에 따라 이동자(30)의 현재 위치를 유지시켜야 하는지, 이동자(30)의 위치를 이동해야 하는지, 이동해야 하는 경우 어느 위치로 이동자(30)를 이동시킬지에 대한 판단을 수행하도록 하고, 이를 고려하여 제어 전류를 설정한다. 이와 같이 설정된 제어 전류는 베이스부(20)를 통해 각 고정자(50)에 전달되고, 제어 전류에 의하여 결정된 이동자(30)의 위치 정보가 피드백되어 제어 전류 설정에 활용된다.

구체적인 제어 전류 설정 방법은 종래의 평면 모터에서 활용되는 방법과 유사하므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략하도록 한다.

도 4는 본원 발명의 일 실시예에 따른 평면 모터 장치를 이용한 공정 수행 방법을 도시한 도면이다.

먼저, 고정자(50)가 배치된 베이스부(20)에 공정 수행의 대상이 되는 평면 대상체를 배치한다(S100). 이때, 평면 대상체는 비자성체로서 자기장의 영향을 받지 않게 된다.

다음으로, 평면 대상체의 상부에 이동자(30)를 배치한다(S110). 이와 같이, 이동자(30)가 평면 대상체의 상부에서 자유롭게 이동하도록 하는 구조를 채택하여, 대면적의 평면 대상체에 대하여 공정을 더욱 용이하게 수행할 수 있다. 한편, 이동자(30)의 상부에는 공정을 위한 별도의 공정 장비가 배치될 수 있다.

다음으로, 제어부(40)를 통해 인가되는 제어 전류에 의하여 이동자(30)의 위치가 이동된다(S120). 앞서 설명한 바와 같이, 공정의 세부 요건에 따라 현재 시점에서의 위치하여야 할 이동자(30)의 위치를 고려하여 제어 전류가 결정되고, 그에 따라 이동자(30)가 이동하게 된다.

다음으로, 이동자(30)가 이동된 위치에서 미리 약속된 공정을 수행한다(S130). 예를 들면, 평면 대상체에 대한 검사 공정 또는 평면 대상체에 대한 각종 표면 처리 공정을 수행하게 된다. 이때, 각 공정을 수행하는 공정 처리부는 이동자(30)의 상부에 배치될 수 있다.

다음으로, 공정의 종료 여부를 판단하고, 공정이 종료되지 경우에는 다른 위치로 이동자를 이동시킨다(S140). 제어부(40)는 사용자에 의하여 입력된 공정의 순서, 각 공정의 수행 위치, 각 위치에서 공정의 수행 시간에 대한 정보를 고려하여, 현재 시점에서 감지된 이동자(30)의 위치 정보에 따라 어느 위치로 이동자(30)를 이동시킬지에 대한 판단을 수행하도록 하고, 이를 고려하여 제어 전류를 설정한다.

도 5는 본원 발명의 다른 실시예에 따른 평면 모터 장치를 도시한 도면이다.

도시된 실시예에서는 베이스부(20)에 이동자 가이드부(22)가 추가로 결합된다. 본 발명의 구조에 따르면, 이동자(30)가 평면 대상체(60)의 상부에서 이동하는 과정 중 제어 오류 또는 기타 원인에 따라 평면 대상체(60)에서 이탈할 수 있다. 특히, 어느 하나의 이동자 지지부(35)가 이탈하더라도, 이동자(30)의 자유로운 이동을 보장할 수 없게 된다. 이를 방지하기 위하여, 평면 대상체(60)의 주변을 둘러싸는 형태로 이동자 가이드부(22)를 배치한다. 이때, 이동자 가이드부(22)의 높이는 이동자(30) 전체 높이와 같거나 더 높을 수 있으나, 경우에 따라 이동자(30) 높이 보다 다소 낮더라도 이동자(30)의 이탈을 방지할 수 있다.

한편, 이동자(30)의 지지 프레임(32)의 상부면에는 공정 처리부(70)가 배치될 수 있다. 도시된 공정 처리부(70)의 형상은 육면체의 형상을 가진 것이나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태의 공정 처리부(70)가 배치될 수 있다. 공정 처리부(70)는 예를 들면, 평면 대상체(60)에 대한 검사 공정 또는 평면 대상체에 대한 각종 표면 처리 공정을 수행할 수 있다. 즉, 인쇄 공정, 미세 패턴 형성 공정, 각종 측정 공정을 수행할 수 있으며, 미세 패턴 형성 공정은 각종 물리적/화학적 식각 공정이나, 다양한 형태의 증착 공정을 포함할 수 있다.

또한, 공정 처리부(70)는 다자유도의 미세 운동이 가능한 소형 스테이지의 형태로 구현될 수 있다. 이를 통해, 이동자(30)와 공정 처리부(70)로 이루어지는 이중 스테이지 시스템을 구축할 수 있다. 한편, 평면 대상체에 대한 각종 공정의 세부 정보는 공정 처리부(70)를 통해 입력, 관리될 수 있으며, 이러한 세부 공정 정보는 제어부(40)로 전달되어, 제어 전류 설정시에 참조될 수 있다. 즉, 제어부(40)는 공정 처리부(70)로부터 공정의 순서, 각 공정의 수행 위치, 각 위치에서 공정의 수행 시간에 대한 정보를 수신하고, 이에 기초하여 제어 전류를 설정할 수 있다.

또한, 지지 프레임(32)에는 하부의 평면 대상체(60)를 노출시키는 개구부(33)가 배치될 수 있다. 개구부(33)를 통해 평면 대상체(60)의 표면에 대하여 검사 공정 또는 기타 표면 처리 공정을 편리하게 수행할 수 있도록 한다. 즉, 공정 처리부(70)의 일 구성요소가 개구부(33)를 통해 평면 대상체(60)에 직접 접근하도록 하거나, 개구부(33)의 상부에 공정 처리부(70) 자체를 배치하여, 평면 대상체(60)와 수직한 방향으로 다양한 공정을 수행할 수 있도록 한다.

개구부(33)의 형상은 설계자의 선택에 따라 원형외에 다양한 형태로 변경될 수 있으며, 크기나 개수 역시 설계 변경될 수 있다. 또한, 개구부(33)의 크기에 맞게 투명 부재를 배치하여, 표면에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 목적으로도 사용될 수 있다.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10: 평면 모터 장치 20: 베이스부
30: 이동자 40: 제어부
50: 고정자 60: 평면 대상체
70: 공정 처리부

Claims

평면 모터 장치에 있어서,
평면 대상체를 지지하고, 하나 이상의 고정자가 배치된 베이스부,
상기 베이스부의 상부에 배치될 평면 대상체의 상부에 배치되고, 상기 고정자에 의하여 발생되는 자기장에 따라 이동하는 이동자,
상기 이동자에 결합되고, 상기 이동자를 상기 평면 대상체로부터 지지하면서, 상기 자기장의 힘에 따라 상기 이동자를 이동시키는 이동자 지지부,
상기 고정자에 대한 제어 전류를 공급하여, 상기 이동자의 위치를 제어하는 제어부 및
상기 이동자의 상부면에 배치되고, 상기 평면 대상체에 대한 공정 처리를 수행하는 공정 처리부를 포함하는 평면 모터 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 공정 처리부는 상기 평면 대상체에 대하여 수행할 공정 정보를 관리하고, 상기 제어부는 상기 공정 정보를 참조하여 상기 제어 전류를 설정하는 평면 모터 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 베이스부에 배치되어, 상기 이동자의 위치를 감지하는 센서부를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 이동자의 위치에 따라 상기 제어 전류를 설정하는 평면 모터 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 고정자는 철심 코어 및 상기 철심 코어를 중심으로 권선된 코일을 포함하고,
복수의 고정자가 상기 베이스부에 격자 형태로 배치된 평면 모터 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 이동자는
소정 면적을 가진 지지 프레임,
상기 지지 프레임의 하부에 결합된 하나 이상의 자석 및
상기 지지 프레임의 테두리에 결합된 복수의 이동자 지지부를 포함하는 평면 모터 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 평면 대상체는 비자성체인 평면 모터 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 지지 프레임은 상기 평면 대상체를 노출시키는 개구부를 포함하는 평면 모터 장치.
제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,
상기 이동자 지지부는 상기 평면 대상체의 표면에서 상기 이동자를 이격시킨 상태에서 상기 이동자를 상기 대상체의 표면과 수직한 방향으로 지지하는 공기베어링 패드를 포함하는 평면 모터 장치.
제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,
상기 이동자 지지부는 상기 이동자를 상기 대상체의 표면과 수직한 방향으로 지지하는 볼 캐스터를 포함하는 평면 모터 장치.
평면 대상체에 대한 공정 장치에 있어서,
상기 평면 대상체를 지지하고, 하나 이상의 고정자가 배치된 베이스부,
상기 베이스부의 상부에 배치될 평면 대상체의 상부에 배치되고, 상기 고정자에 의하여 발생되는 자기장에 따라 이동하는 이동자,
상기 이동자의 상부면에 배치되고, 상기 평면 대상체에 대한 공정 처리를 수행하는 공정 처리부,
상기 이동자에 결합되고, 상기 이동자를 상기 평면 대상체로부터 지지하면서, 상기 자기장의 힘에 따라 상기 이동자를 이동시키는 이동자 지지부,
상기 고정자에 대한 제어 전류를 공급하여, 상기 이동자의 위치를 제어하는 제어부를 포함하는 공정 장치.