JP4418710B2 - ステージ装置 - Google Patents
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Description
[第1の実施形態]
図1は、第1の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
[第2の実施形態]
図2は、第2の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
[第3の実施形態]
図3は、第3の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
[第4の実施形態]
図4は、第4の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
[露光装置への適用例]
次に、上記各実施形態の平面モータを、物体を位置決めするステージ装置のステージ駆動に適用し、このステージ装置を半導体デバイス製造に用いられる露光装置に搭載した例を説明する。
[デバイス製造方法]
次に、上述した露光装置を利用したデバイス製造方法の実施形態を説明する。
Claims (7)
- 複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置された複数のコイル列を積層して構成される固定子と、前記複数のコイル列のうち駆動方向に応じたコイル列を構成するコイルに通電することで、前記ステージを複数の駆動方向に駆動する制御手段と、前記複数のコイル列を冷媒により一括冷却する冷却手段とを備えるステージ装置において、
各コイル列を構成する各コイルの巻線方向を法線とする断面の導体面積を、前記各コイル列と前記磁石との磁気ギャップに応じて互いに異ならせ、
前記各コイル列に通電することで前記可動子に所定の力を与えたときの発熱量の差が、前記各コイル列において前記導体面積が同じである場合に比べて小さくなるように構成したことを特徴とするステージ装置。 - 前記各コイル列の厚さが、互いに異なることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記複数のコイル列の少なくとも1つは、分割された2つのコイル列からなることを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置された複数のコイル列を積層して構成される固定子と、前記複数のコイル列のうち駆動方向に応じたコイル列を構成するコイルに通電することで、前記ステージを複数の駆動方向に駆動する制御手段と、前記複数のコイル列を冷媒により一括冷却する冷却手段とを備えるステージ装置において、
各コイル列を構成する各コイルの表面積を、前記各コイル列と前記磁石との磁気ギャップに応じて互いに異ならせ、
前記各コイル列に通電することで前記可動子に所定の力を与えたときの温度の差が、前記各コイル列において前記各コイルの表面積が同じである場合に比べて小さくなるように構成したことを特徴とするステージ装置。 - 前記複数のコイル列の少なくとも1つは、分割された2つのコイル列からなることを特徴とする請求項4に記載のステージ装置。
- 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のステージ装置を備え、
前記ステージ装置によって、原版と基板とを相対的に走査して当該原版上のパターンを基板上に露光する露光装置。 - 請求項6に記載の露光装置を用いて半導体デバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
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