JP2023526837A - 磁石アセンブリ、コイルアセンブリ、平面モータ、位置決めデバイス及びリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2020年5月20日に出願された欧州特許出願公開第20175785.3号の優先権を主張するものであり、この特許出願は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
- 外周の内側にあり、及び矩形パターンなどの平面パターンで配置された第1の複数の超伝導(SC)コイル、
- 平面パターンの外側境界に沿って配置された第2の複数のSCコイルであって、第1の複数のSCコイルのうちのコイルは、第1の面内形状を有し、及び第2の複数のSCコイルのうちのコイルは、第1の面内形状と異なる第2の面内形状を有し、第2の複数のSCコイルは、外周の内側に少なくとも部分的に配置される、第2の複数のSCコイル
を含む磁石アセンブリが提供される。
- 平面パターンで配置された第1の複数の超伝導(SC)コイルと、
- 平面パターンの外側境界に沿って配置された第2の複数のSCコイルであって、第1の複数のSCコイルのうちのコイルは、第1の面内形状を有し、及び第2の複数のSCコイルのうちのコイルは、第1の面内形状と異なる第2の面内形状を有する、第2の複数のSCコイルと
を含むと説明され得る。
- その長さに沿って実質的に一定の高さを有するテープ状の超伝導体を用いてSCコイルを巻くことと、
- SCコイルを巻いた後、所望の断面形状になるように余分な材料を除去することと
によって得ることもできる。
[00096] 本発明の他の態様は、以下の番号付けされた条項のように定められる。
[条項1]
平面電磁モータのための磁石アセンブリであって、
外周の内側にあり、及び矩形パターンなどの平面パターンで配置された第1の複数の超伝導(SC)コイル、
前記平面パターンの外側境界に沿って配置された第2の複数のSCコイルであって、前記第1の複数のSCコイルのうちのコイルは、第1の面内形状を有し、及び前記第2の複数のSCコイルのうちのコイルは、前記第1の面内形状と異なる第2の面内形状を有し、前記第2の複数のSCコイルは、前記外周の内側に少なくとも部分的に配置される、第2の複数のSCコイル
を含む磁石アセンブリ。
[条項2]
前記第2の複数のSCコイルは、使用時、前記第1のセットのコイルによって使用時に発生された磁界の不均一性を少なくとも部分的に補償し、前記不均一性は、前記平面パターンの前記外側境界又はその付近で発生する、条項1に記載の磁石アセンブリ。
[条項3]
前記第1の複数のSCコイルは、二次元空間交番磁界を発生させる、条項1又は2に記載の磁石アセンブリ。
[条項4]
前記第1の面内形状の外側境界又は前記第2の面内形状の外側境界は、実質的に多角形の形状を有する、条項1~3の何れか一項に記載の磁石アセンブリ。
[条項5]
前記第1の面内形状の前記外側境界は、実質的に矩形、八角形又は六角形の形状を有する、条項4に記載の磁石アセンブリ。
[条項6]
前記第2の面内形状の前記外側境界は、実質的に三角形の形状を有する、条項4又は5に記載の磁石アセンブリ。
[条項7]
前記第1の複数のコイルのうちのコイルの外幅(Wo)は、前記平面パターンの平面に実質的に垂直な軸方向(AD)に沿って変化する、条項1~6の何れか一項に記載の磁石アセンブリ。
[条項8]
前記第1の複数のコイルのうちのコイルの断面は、前記平面パターンの前記平面に実質的に垂直な平面においてテーパ形状を含む、条項7に記載の磁石アセンブリ。
[条項9]
前記コイルの内幅(Wi)は、前記軸方向(AD)に沿って実質的に一定であり、前記コイルの外幅(Wo)は、前記軸方向に沿って増加する、条項7又は8に記載の磁石アセンブリ。
[条項10]
前記第1の複数のコイルのうちのコイル又は前記第2の複数のコイルのうちのコイルは、複数のSCコイルを含む、条項1~9の何れか一項に記載の磁石アセンブリ。
[条項11]
平面電磁モータの磁石アセンブリのための超伝導(SC)コイルアセンブリであって、複数のSCコイルを含む超伝導(SC)コイルアセンブリ。
[条項12]
前記複数のSCコイルは、一致する縦軸を有する、条項11に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項13]
内側SCコイル及び外側SCコイルを含む、条項11又は12に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項14]
前記内側SCコイルの高さは、前記外側SCコイルの高さと異なる、条項13に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項15]
前記内側SCコイルの前記高さは、前記外側SCコイルの前記高さよりも大きい、条項14に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項16]
前記内側SCコイルの上面は、前記外側SCコイルの上面と実質的に同一平面である、条項14又は15に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項17]
前記内側SCコイルの面内形状は、前記外側SCコイルの面内形状と異なる、条項13~16の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項18]
前記外側SCコイルの前記面内形状は、実質的に多角形の境界を含む、条項17に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項19]
前記外側SCコイルの前記面内形状は、三角形、矩形、六角形又は八角形の境界など、実質的に多角形の内側境界を含む、条項18に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項20]
前記内側SCコイルの前記面内形状は、実質的に円形の境界を含む、条項18又は19に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項21]
前記内側SCコイルの巻線特性は、前記外側SCコイルの巻線特性と異なる、条項13~20の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項22]
前記内側SCコイルは、並列に接続された複数の巻線を含む、条項21に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項23]
前記内側SCコイル及び前記外側SCコイルは、直列に接続される、条項13~22の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項24]
前記内側SCコイル及び前記外側SCコイルは、異なる電源によって電力供給される、条項13~22の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項25]
上部SCコイル及び下部SCコイルを含む、条項11~24の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項26]
前記上部SCコイル及び前記下部SCコイルは、共通の縦方向を有する、条項25に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項27]
前記上部SCコイルの高さは、下部SCコイルと異なる、条項25又は26に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項28]
前記上部SCコイルと前記下部SCコイルとの間において、前記上部SCコイル及び前記下部SCコイルの軸方向(AD)に沿って配置された中間SCコイルを更に含む、条項25~27の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項29]
前記中間SCコイルは、内側SCコイル及び外側SCコイルを含む、条項28に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項30]
前記上部SCコイルに適用された超伝導体は、前記下部SCコイル又は前記中間SCコイルに適用された超伝導体と異なる粒子配向を有する、条項25~29の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項31]
前記複数のコイルの1つ又は複数は、非絶縁型又は金属絶縁型の超伝導体を含む、条項11~30の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
[条項32]
平面電磁モータのための磁石アセンブリであって、使用時に二次元空間交番磁界を発生させるための、条項11~31の何れか一項に記載の複数のSCコイルアセンブリを含む磁石アセンブリ。
[条項33]
前記SCコイルの上面は、実質的に同一平面である、条項1~10又は32の何れか一項に記載の磁石アセンブリ。
[条項34]
前記上面は、使用中に前記平面電磁モータのコイルアセンブリに面する前記磁石アセンブリの平面を画定する、条項33に記載の磁石アセンブリ。
[条項35]
前記上面に配置された導電性の層、箔又はプレートを更に含む、条項33又は34に記載の磁石アセンブリ。
[条項36]
条項1~10又は32~35の何れか一項に記載の磁石アセンブリと、コイルアセンブリであって、前記磁石アセンブリと協働し、それにより、使用中、前記磁石アセンブリに対して前記コイルアセンブリを変位させるための電磁力を発生させるコイルアセンブリとを含む平面電磁モータ。
[条項37]
オブジェクトテーブルと、前記オブジェクトテーブルを変位させるための、条項36に記載の平面電磁モータとを含む位置決めデバイス。
[条項38]
前記磁石アセンブリの前記SCコイルに電流を供給するための電源を更に含む、条項37に記載の位置決めデバイス。
[条項39]
前記オブジェクトテーブルの位置を特定する位置測定システムを更に含む、条項38に記載の位置決めデバイス。
[条項40]
前記位置測定システムからのフィードバック信号に基づいて、前記電磁モータの前記電磁力を制御する制御システムを更に含み、前記フィードバック信号は、前記オブジェクトテーブルの前記位置を表す、条項39に記載の位置決めデバイス。
[条項41]
基板を位置決めするための、条項40に記載の位置決めデバイスを含むリソグラフィ装置。
Claims (41)
- 平面電磁モータのための磁石アセンブリであって、
外周の内側にあり、及び矩形パターンなどの平面パターンで配置された第1の複数の超伝導(SC)コイル、
前記平面パターンの外側境界に沿って配置された第2の複数のSCコイルであって、前記第1の複数のSCコイルのうちのコイルは、第1の面内形状を有し、及び前記第2の複数のSCコイルのうちのコイルは、前記第1の面内形状と異なる第2の面内形状を有し、前記第2の複数のSCコイルは、前記外周の内側に少なくとも部分的に配置される、第2の複数のSCコイル
を含む磁石アセンブリ。 - 前記第2の複数のSCコイルは、使用時、前記第1のセットのコイルによって使用時に発生された磁界の不均一性を少なくとも部分的に補償し、前記不均一性は、前記平面パターンの前記外側境界又はその付近で発生する、請求項1に記載の磁石アセンブリ。
- 前記第1の複数のSCコイルは、二次元空間交番磁界を発生させる、請求項1又は2に記載の磁石アセンブリ。
- 前記第1の面内形状の外側境界又は前記第2の面内形状の外側境界は、実質的に多角形の形状を有する、請求項1~3の何れか一項に記載の磁石アセンブリ。
- 前記第1の面内形状の前記外側境界は、実質的に矩形、八角形又は六角形の形状を有する、請求項4に記載の磁石アセンブリ。
- 前記第2の面内形状の前記外側境界は、実質的に三角形の形状を有する、請求項4又は5に記載の磁石アセンブリ。
- 前記第1の複数のコイルのうちのコイルの外幅(Wo)は、前記平面パターンの平面に実質的に垂直な軸方向(AD)に沿って変化する、請求項1~6の何れか一項に記載の磁石アセンブリ。
- 前記第1の複数のコイルのうちのコイルの断面は、前記平面パターンの前記平面に実質的に垂直な平面においてテーパ形状を含む、請求項7に記載の磁石アセンブリ。
- 前記コイルの内幅(Wi)は、前記軸方向(AD)に沿って実質的に一定であり、前記コイルの外幅(Wo)は、前記軸方向に沿って増加する、請求項7又は8に記載の磁石アセンブリ。
- 前記第1の複数のコイルのうちのコイル又は前記第2の複数のコイルのうちのコイルは、複数のSCコイルを含む、請求項1~9の何れか一項に記載の磁石アセンブリ。
- 平面電磁モータの磁石アセンブリのための超伝導(SC)コイルアセンブリであって、複数のSCコイルを含む超伝導(SC)コイルアセンブリ。
- 前記複数のSCコイルは、一致する縦軸を有する、請求項11に記載のSCコイルアセンブリ。
- 内側SCコイル及び外側SCコイルを含む、請求項11又は12に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記内側SCコイルの高さは、前記外側SCコイルの高さと異なる、請求項13に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記内側SCコイルの前記高さは、前記外側SCコイルの前記高さよりも大きい、請求項14に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記内側SCコイルの上面は、前記外側SCコイルの上面と実質的に同一平面である、請求項14又は15に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記内側SCコイルの面内形状は、前記外側SCコイルの面内形状と異なる、請求項13~16の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記外側SCコイルの前記面内形状は、実質的に多角形の境界を含む、請求項17に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記外側SCコイルの前記面内形状は、三角形、矩形、六角形又は八角形の境界など、実質的に多角形の内側境界を含む、請求項18に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記内側SCコイルの前記面内形状は、実質的に円形の境界を含む、請求項18又は19に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記内側SCコイルの巻線特性は、前記外側SCコイルの巻線特性と異なる、請求項13~20の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記内側SCコイルは、並列に接続された複数の巻線を含む、請求項21に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記内側SCコイル及び前記外側SCコイルは、直列に接続される、請求項13~22の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記内側SCコイル及び前記外側SCコイルは、異なる電源によって電力供給される、請求項13~22の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
- 上部SCコイル及び下部SCコイルを含む、請求項11~24の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記上部SCコイル及び前記下部SCコイルは、共通の縦方向を有する、請求項25に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記上部SCコイルの高さは、下部SCコイルと異なる、請求項25又は26に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記上部SCコイルと前記下部SCコイルとの間において、前記上部SCコイル及び前記下部SCコイルの軸方向(AD)に沿って配置された中間SCコイルを更に含む、請求項25~27の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記中間SCコイルは、内側SCコイル及び外側SCコイルを含む、請求項28に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記上部SCコイルに適用された超伝導体は、前記下部SCコイル又は前記中間SCコイルに適用された超伝導体と異なる粒子配向を有する、請求項25~29の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
- 前記複数のコイルの1つ又は複数は、非絶縁型又は金属絶縁型の超伝導体を含む、請求項11~30の何れか一項に記載のSCコイルアセンブリ。
- 平面電磁モータのための磁石アセンブリであって、使用時に二次元空間交番磁界を発生させるための、請求項11~31の何れか一項に記載の複数のSCコイルアセンブリを含む磁石アセンブリ。
- 前記SCコイルの上面は、実質的に同一平面である、請求項1~10又は32の何れか一項に記載の磁石アセンブリ。
- 前記上面は、使用中に前記平面電磁モータのコイルアセンブリに面する前記磁石アセンブリの平面を画定する、請求項33に記載の磁石アセンブリ。
- 前記上面に配置された導電性の層、箔又はプレートを更に含む、請求項33又は34に記載の磁石アセンブリ。
- 請求項1~10又は32~35の何れか一項に記載の磁石アセンブリと、コイルアセンブリであって、前記磁石アセンブリと協働し、それにより、使用中、前記磁石アセンブリに対して前記コイルアセンブリを変位させるための電磁力を発生させるコイルアセンブリとを含む平面電磁モータ。
- オブジェクトテーブルと、前記オブジェクトテーブルを変位させるための、請求項36に記載の平面電磁モータとを含む位置決めデバイス。
- 前記磁石アセンブリの前記SCコイルに電流を供給するための電源を更に含む、請求項37に記載の位置決めデバイス。
- 前記オブジェクトテーブルの位置を特定する位置測定システムを更に含む、請求項38に記載の位置決めデバイス。
- 前記位置測定システムからのフィードバック信号に基づいて、前記電磁モータの前記電磁力を制御する制御システムを更に含み、前記フィードバック信号は、前記オブジェクトテーブルの前記位置を表す、請求項39に記載の位置決めデバイス。
- 基板を位置決めするための、請求項40に記載の位置決めデバイスを含むリソグラフィ装置。
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