JP4139608B2 - 精密加工用ステージ装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、精密加工用ステージ装置に係り、特にＩＣやＬＳＩ等の半導体生産工程における精密加工，配線作業，或いはその検査等で使用される精密加工用ステージ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体産業等では、ＩＣやＬＳＩ等の生産工程で被加工物を精密加工の場に配設し保持するのに、多くは精密移動可能な可動テーブルを備えた加工用ステージ装置が使用されている。
この場合、可動テーブルをＸーＹ面上の任意の位置に精密移動させるには、通常は、まずＸ方向移動機構で可動テーブル全体をＸ方向に移動し、次に（又は同時に）、この可動テーブル及びＸ方向移動機構の全体をＹ方向移動機構にてＹ方向に移動する、という二重重ね構造の移動体保持機構を備えた方式のものが多い。
又、この種の加工用ステージ装置は、可動テーブルをＸ方向およびＹ方向への移動制御に際しては、比較的低速度で駆動し且つ機械的な制動機構を装備したものが多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例のものは、可動テーブルの移動に際しては、上述したように、Ｘ方向へ移動させるＸ方向移動機構とＹ方向へ移動させるＹ方向移動機構とが交差した二重構造の移動体保持機構を備えており、特に精密を要する当接移動部分はすり合わせ構造を備えていることから、加工に多くの手間がかかり、又、組立時の精密調整にも熟練を要するという不都合があった。このため、生産性が悪く、多くは装置全体が高価なものとなっていた。
【０００４】
更に、当該テーブル移動に関するシステムの自動化に際しては、上述した二重構造の駆動機構の連結および位置センサの装備等に多くのスペースをとり、装置全体が大型化するという不都合があった。
また、上記従来例のものは、可動テーブルに元位置復帰用の復帰ばねが併設されているものが多い。この場合、可動テーブルの停止に際しては当該可動テーブルに付加される加速又は減速の駆動力に起因して当該可動テーブルに停止位置での往復微小動作が生じ易く、このため、所定位置での停止に際しては摩擦を利用した機械的な制動装置が不可欠なものとなっていた。
【０００５】
一方、この種の機械的な摩擦制動は作動時に微小振動が生じ易いことからミクロン単位の精密移動には停止時の動作が不安定となり、又当該機械的な制動機構の併設によって装置全体が大型化して可搬性が悪く、保守性も悪いという不都合が常に伴なっていた。
【０００６】
【発明の目的】
本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善し、とくに、同一面上で所定方向に円滑に精密加工用の可動テーブルを精密移動させる機能を備えると共に、組立作業の大幅な改善および装置全体の小型軽量化を可能とし、更に、可動テーブルの停止時の往復動作や微小振動等を有効に抑制し、これによって当該可動テーブルの精密移動をより迅速に且つ円滑になし得る精密加工用ステージ装置を提供することを、その目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明にかかる精密加工用ステージ装置は、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブルを保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備えている。
【０００８】
この内、前記電磁駆動手段は、前記可動テーブル側の所定位置に固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置されたコイル辺を有し且つ前記各被駆動磁石を介して前記可動テーブルに電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、前記駆動コイルを定位置にて保持すると共に前記本体部に固定された固定プレートとを備えて構成されている。
又、前記固定プレートは、前記可動テーブルと前記テーブル保持機構との間に配設されている。更に、前記可動テーブルから前記テーブル保持機構に向けて前記固定プレートを貫通して突設されたテーブル側脚部を介して、前記テーブル保持機構が、前記可動テーブルを空中で安定した状態で保持する構成とした。そして、更に、前記各被駆動磁石の磁極面に近接対向して非磁性金属部材からなる制動用プレートを配設すると共に、この制動用プレートを、前記固定プレートに保持されている前記駆動コイルの端面部分に固着装備する、という構成を採っている（請求項１）。
【０００９】
このため、本発明によると、電磁駆動手段の作動により、まず、当該電磁駆動手段が備えている固定プレート側の駆動コイルと被駆動磁石との間に電磁力が生じ、当該電磁力によって被駆動磁石が可動テーブルと共に所定の方向に移動力が付勢される。この場合、可動テーブルはテーブル保持機構によって同一面内での任意の方向への移動が許容された状態で保持されていることから、上下動することなく所定の方向に円滑に移動し、前述したテーブル保持機構の有する元位置復帰力と電磁駆動手段の電磁力との平衡のとれた位置（即ち、所定の移動停止位置）にて停止する。
【００１０】
一方、この可動テーブルは、その移動／停止に際しては電磁駆動力によって，又はテーブル保持機構の有するばねの復帰力によって急に加速される場合が多い。この場合、可動テーブル自体が急発進／急停止されることとなり、このため、特に停止に際しては可動テーブルの慣性力と前述したテーブル保持機構の有する元位置復帰力との間で停止時に微小往復動作が生じやすい。
【００１１】
かかる場合、被駆動磁石が装備された可動テーブルが急激に移動すると、当該被駆動磁石と非磁性金属部材からなる制動用プレートとの間に相対的な移動速度に比例した大きさの電磁制動（うず電流ブレーキ）が働き、これにより、可動テーブルはその急激な移動動作（振動も含めて）が抑制され、所定方向に安定した状態で且つ円滑に移動することができる。
【００１２】
又、この発明では、制動用プレートを被駆動磁石に対向した状態で固定プレート装備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段も可動テーブルに装備した被駆動磁石とこれに対向して固定プレートに駆動コイルを装備するという簡単な構成であることから、装置全体を小型化および軽量化することが可能となり、可搬性良好であるばかりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要することがないことから、作業性も良好となり、かかる点において二重構造の移動機構を備えた従来のものに比較して生産性を大幅に高めることができる。
【００１３】
更に、駆動コイルの前述した被駆動磁石側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレートは、駆動コイルにより形成される磁束を鎖交する部分がコイルと同等に機能することからトランスの二次側回路と同等の回路を構成し、同時にこの二次側回路は、制動用プレートの電気抵抗成分（うず電流損を生じる）を介して常時短絡された形態を構成する。
【００１４】
このため、この場合の一次側回路を構成する駆動コイルは、二次側回路が開放状態の場合（制動用プレートがない場合）に較べて比較的大きい電流を通電することができ、これがため、前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレートが無い場合に較べて比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
【００１５】
又、この制動用プレートは、放熱板としても機能し、かかる点において駆動コイルの連続運転に伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制して通電電流を長時間ほぼ一定レベルに設定することができ、このため、電磁駆動手段から出力される電磁駆動力に対する外部からの電流制御を安定した状態にて継続することができ、経年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性を、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
【００１６】
ここで、前述した可動テーブルに対向し且つ所定間隔を隔てて平行に補助テーブルを一体的に連結装備すると共に、この補助テーブル側に前述したテーブル保持機構を装備し、更にこの補助テーブルに前述した被駆動磁石を装備すると共に、これに対向するように前述した駆動コイルを固定プレートに配設するように構成しても良い（請求項２）。
【００１７】
このようにすると、補助テーブルに被駆動磁石を装備することから、組立て作業に際しては可動テーブルの損傷事故等の発生を有効に回避することができ、かかる点において当該装置の製造に際しての作業性および生産性の向上を図ることができる。
【００１８】
また、前述した駆動コイルを複数個の田形状駆動コイルにより構成すると共に、この田形状駆動コイルの内側に位置する十字状部分に対応して前述した被駆動磁石を個別に配設するように構成しても良い（請求項３）。
【００１９】
このようにすると、田形状駆動コイルの内側に設定された許容移動範囲内において各被駆動磁石を（ひいては可動テーブル）を所定の方向に自在に且つ精密に移動させることが可能となる。この場合、田形状駆動コイルは、実際には別に装備された駆動制御手段によって例えばＸ方向またはＹ方向の駆動力を対応する各被駆動磁石との間に発生せしめ、全体的にこれを統一制御して当該被駆動磁石を介して可動テーブルを所定の方向に移動させるようになっている。
【００２０】
又、前述した複数の被駆動磁石については、これを永久磁石で構成するようにしてもよい（請求項４）。
【００２１】
この場合、前述した被駆動磁石を永久磁石としたことから電磁石のような通電回路が不要となり、その分、組み立て時及び保守点検時における作業の煩雑さを回避することができ、かかる点において、生産性および保守性の向上を図り、装置全体の耐久性を増すことができて都合がよい。
【００２２】
更に、前述した複数の被駆動磁石を電磁石で構成すると共に当該各被駆動磁石を前述した駆動コイルに連動して順方向又は逆方向或いは通電停止状態に選択的に通電制御するように構成してもよい（請求項５）。
【００２３】
このように、被駆動磁石を電磁石で構成すると、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせることができる。例えば、移動時の加速／減速に際しては駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し得るので、可動テーブルの移動方向の変化に対して迅速に対応し得ることが可能となる。
【００２４】
又、前述した制動用プレートについては、これを、複数の被駆動磁石に対応して個別に装備してもよい（請求項６の場合）。或いはこの場合、制動用プレートを各駆動コイル側の端部に固定してもよい（請求項７の場合）としてもよい。
更に、前述した制動用プレートついては、これを、前述した複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成してもよい（請求項８の場合）。更に、この単一のプレート部材を前記各駆動コイルの各磁石側端部に固着装備してもよい（請求項９の場合）。
【００２５】
このようにしても、前述した各発明と同等の機能を得ることができ、更に、駆動コイル毎に制動用プレートが装備されるので、駆動コイル相互間に空間が設定されることから放熱効果が有効に促進されるほか、保守点検作業の円滑化，即ち保守性の向上を図り得るという利点がある。
【００２６】
又、この場合、制動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成したので、組立作業が単純化され、かかる点において装置全体の生産性の向上および原価低減を図ることができる。
【００２７】
更に、前述した制動用プレートを駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇所に装備してもよい。また、この場合、電磁制動機構は、例えば可動テーブルの背面側の中央部に装備してもよい（請求項１０乃至１１）。
【００２８】
このようにすると、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備し得るので、電磁制動の強さを自由に設定することができ、又、電磁駆動手段側では駆動コイル（固定子側）と被駆動磁石（可動子側）との間の隙間を更に小さく設定し得るので、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生することができるという利点がある。
【００２９】
又、前述した制動用プレートを駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇所に装備してもよい。この場合、電磁制動機構は、例えば可動テーブルと固定プレートとの間に装備してもよい。
この場合、制動用プレートについては固定プレート上に一枚装備し、これに対応して専用の制動用磁石を可動テーブルの背面に装備してもよい。尚、制動用プレートと制動用磁石とは装備箇所を逆にしてもよい（請求項１２乃至１３）。
【００３０】
このようにすると、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備し得るので、電磁制動の強さを自由に設定することができ、又、電磁駆動手段側では駆動コイル（固定子側）と被駆動磁石（可動子側）との間の隙間を更に小さく設定し得るので、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生することができるという利点がある。
【００３１】
更に、前述した制動プレートを各被駆動磁石に対応した単一の制動プレートで構成し、この単一の制動プレートに固定プレートとしても機能させるため本体部に固定し、且つこの単一の制動プレートで前述した駆動コイルを保持するようにしてもよい（請求項１４乃至１６）。
【００３２】
この場合、前述した電磁駆動手段の複数の各被駆動磁石の装備箇所に対応して、前述した可動テーブルの駆動コイル側に、前述した各被駆動磁石と同等に機能する第二の被駆動磁石をそれぞれ装備してもよい（請求項１５）。
このようにしても、前述した請求項２記載の発明と同等の機能を有するほか、制動用プレートにて駆動コイルを保持すると共に固定プレートを削除したことから、装置全体の小型軽量化をより一層促進することが可能となり、これがため汎用性を高めることができ、又構成要素の削減に伴って原価低減を図ることができるという利点も生じる。
【００３３】
更に、上記各発明において、前記可動テーブルが移動した場合にその移動量を容量変化成分として検出する静電形センサを前記可動テーブルの一方の側と他方の側にそれぞれ装備すると共に、前記可動テーブルを介して相互に反対側に位置する前記各静電形センサからの前記移動量にかかる情報を入力しＸ方向信号およびＹ方向信号として差動出力する手段を備えた構成としても良い（請求項１６）。
このようにすると、可動テーブルの移動方向および移動距離にかかる情報が前述した静電形センサで検出され、差動出力する手段を介して常時外部出力されるため、可動テーブルの移動状況を雑音の少ない状態で外部から容易に認識することができる。
もよい。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図に基づいて説明する。
【００３５】
【第１の実施形態】
本発明の第１の実施の形態を図１乃至図１８に示す。
この図１乃至図１８において、符号１は可動テーブルを示し、符号２はテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構２は、図１の下方部分に配設され、前述した可動テーブル１が同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブル１に元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブル１を保持するように構成されている。
【００３６】
このテーブル保持機構２は本体部としてのケース本体３によって支持されている。
ケース本体３は、本実施形態では図１に示すように上方および下方が開放された箱体状に形成されている。付号４は電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段４は、その主要部がケース本体３側に保持され、前述した可動テーブル１に移動力を付勢する機能を備えている。符号３Ａは、ケース本体３の内壁部周囲に突設された駆動手段保持部を示す。
電磁駆動手段４は、本実施形態では可動テーブル１と後述する補助テーブル５との間に配設されている。
【００３７】
又、前述した可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に磁性部材からなる補助テーブル５が連結装備されている。そして、前述したテーブル保持機構２は、この補助テーブル５側に装備され、該補助テーブル５を介して可動テーブル１を保持するように構成されている。
【００３８】
前述した電磁駆動手段４は、補助テーブル５の所定位置に固定装備された四個の正方形形状の被駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対して前述した可動テーブル１の所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持すると共に前述した補助テーブル５の可動テーブル１側に装備された固定プレート８とを備えている。この内、田形状駆動コイル７と磁性部材からなる固定プレート８とによって電磁駆動手段４の要部が構成されている。
【００３９】
更に、上述した田形状駆動コイル７の前述した被駆動磁石６側の端面側には、非磁性金属部材（例えば電気抵抗の少ない銅製部材）からなる制動用プレート９が被駆動磁石６の磁極面に近接して個別に配設されている。この制動用プレート９は前述した固定プレート８側に固着装備されている。
【００４０】
以下、これを更に詳細に説明する。
〔可動テーブルと補助テーブル〕
まず、図１乃至図４において、可動テーブル１は円形状に形成され、補助テーブル５は四角形状に形成されている。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に配置され、その中心部の連結支柱１０を介して前述した可動テーブル１に一体的に連結されている。このため、この可動テーブルは、補助テーブル５と平行状態を維持しつつ一体的に移動し且つ一体的に回転し得るようになっている。
【００４１】
連結支柱１０は、前述したように可動テーブル１と補助テーブル５とを連結する連結部材であって、両端部に鍔部１０Ａ，１０Ｂを備えた断面工字状に形成され、その両端部外側中央には、可動テーブル１と補助テーブル５との各中心部に形成された位置決め孔１ａ，５ａに係合する突起１０ａ，１０ｂが設けられている。
【００４２】
そして、可動テーブル１と補助テーブル５とは、この突起１０ａ，１０ｂと鍔部１０Ａ，１０Ｂとによって位置決めされ当該連結支柱１０に固着され一体化されている。この一体化に際しては本実施形態では接着剤が用いられているが、溶接にて部分的に接合しても、或いは突起１０ａ，１０ｂ部分を位置決め孔１ａ，５ａに圧入し他の部分を接着剤又は溶接等によって一体化してもよい。
【００４３】
又、可動テーブル１或いは補助テーブル５の何れか一方をネジ止めにて前述した連結支柱１０の鍔部１０Ａ又は１０Ｂに着脱自在に固着してもよい。この場合、ネジ止め後に、数本のノックピンを位置決め固定用として係合する両者間に打ち込むとよい（図示せず）。このようにすると、可動テーブル１と補助テーブル５との一体化を更に有効に実現することができて都合がよい。
【００４４】
〔テーブル保持機構〕
前述したテーブル保持機構２は、本実施形態にあっては可動テーブル１を保持しつつ当該可動テーブル１をその高さ位置を変えることなく同一面上のいずれの方向へも自在に移動可能とする機能を備えたものであり、補助テーブル５を介してこれを実行するようにしたものである。
【００４５】
このテーブル保持機構２は、全体的にはリンク機構を三次元空間に応用したもので、所定間隔を隔てて設置される二本のピアノ線（可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材であれば他の部材であってもよい）を一組として予め補助テーブル５の端部周囲のコーナー部分に対応して四組準備し、この四組のピアノ線を組毎に、四角形状の中継プレート２Ｇの各四隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて植設する。そして、内側に位置する四本のピアノ線２Ａで補助テーブル５を下方から保持し、外側に位置する四本のピアノ線２Ｂで中継プレート２Ｇを本体部３から揺動自在に吊り下げたような構成とした。
【００４６】
これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が中継プレート２Ｇと各四本のピアノ線２Ａ，２Ｂとによって空中で安定した様態で保持され、その水平面内での移動は、後述するように同一の高さ位置を維持しつつ何れの方向にも自在に移動可能となっている。同一面内での回転動作もほぼ同様に可能となる。
【００４７】
これを更に詳述する。
前述したテーブル保持機構２は、補助テーブル５の周端部の四隅部分からそれぞれ図１の下方に向けて植設された四本のテーブル側ピアノ線２Ａと、この各テーブル側ピアノ線２Ａの図１における下端部に装備された中継プレート２Ｇと、この中継プレート２Ｇを本体部側から吊り下げるように構成され前述したテーブル側ピアノ線２Ａの外側に装備された本体側ピアノ線２Ｂとを備えている。
【００４８】
この四本のテーブル側ピアノ線２Ａは、図１における上端部が補助テーブル５に固着され、下端部が中継プレート２Ｇに固着されている。符号５Ａ，５Ｂは補助テーブル５の下面側の二箇所に設けられた下方突出部を示す。この下方突出部５Ａ，５Ｂによってテーブル側ピアノ線２Ａの固定位置が設定されている。
【００４９】
又、この四本の各テーブル側ピアノ線２Ａの外側には、所定間隔Ｓを隔てて本体側ピアノ線２Ｂがそれぞれ個別に且つ平行に配設されている。この本体側ピアノ線２Ｂは、その下端部が前述したテーブル側ピアノ線２Ａと同様に中継プレート２Ｇに固着され、その上端部がケース本体３の内壁部に設けられた本体側突出部３Ｂに固着されている。
これらの各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、前述したように可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材によって形成されている。
【００５０】
これにより、前述した可動テーブル１は、まず、補助テーブル５と共に中継プレート２Ｇ上にて内側の４本のテーブル側ピアノ線２Ａによって支持され、当該４本のテーブル側ピアノ線２Ａの弾性限界内においてリンク機構の原理に従ってその平行移動および面内での回転が許容された状態となっている。
【００５１】
一方、中継プレート２Ｇは、当該中継プレート２Ｇ上の外側の４本のテーブル側ピアノ線２Ｂによって本体側突出部３Ｂに吊持されていることから、ケース本体３に対してはその平行移動および面内での回転が同様に許容された状態となっている。
【００５２】
このため、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が、外力に付勢されてその面内で移動し又は回転すると、後述する図１７に示すようにテーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂが同時に弾性変形して中継プレート２Ｇが平行状態を維持しつつ上下動する。即ち、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が外力によってその面内で移動し又は回転すると、その高さ位置の変動は中継プレート２Ｇによって吸収される。
これにより、可動テーブル１は、外力に付勢されて移動しても、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性限界内において何れの方向へも同一高さを維持しつつ移動することが可能となっている。
【００５３】
ここで、テーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは同一の直径を備え同一の弾性を備えたものが使用され、その露出部分の長さＬはそれぞれ全く同一に設定されている。又、各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、例えば図１，図３に示すように本実施形態では左右方向に沿って配設されているが、ＸーＹ面上におけるＸ軸およびＹ軸に対してそれぞれ線対称に成る位置に配設されておれば、図２に示す位置以外の位置に配設してもよい。
【００５４】
そして、上述したように各ピアノ線２Ａ，２Ｂを配置することにより、可動テーブル１の移動に際して各ピアノ線２Ａ，２Ｂには弾性応力がそれぞれ均一に生じることから、可動テーブル１の元位置復帰を含めて可動テーブル１を円滑に移動し得るという利点を得ることができる。
【００５５】
このように、上述したテーブル保持機構２では、例えば補助テーブル５が全体的に同一方向にスライド移動すると、各組の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは全て同一に変形をすることとなる。この場合、本体側ピアノ線２Ｂは端部が保持された状態で弾性変形することから、同様に弾性変形するテーブル側ピアノ線２Ａの変形動作により補助テーブル５の高さ位置は不変となり、代わって、両ピアノ線２Ａ，２Ｂに共通に支持された中継プレート２Ｇの高さ位置が変動する。
【００５６】
換言すると、この中継プレート２Ｇが両ピアノ線２Ａ，２Ｂの変形で生じる高さ位置の変動を吸収することになり、これにより、補助テーブル５（即ち可動テーブル１）は全体的に高さ変動することなく同一面内でスライド移動することとなる。この場合、補助テーブル５から駆動力を開放すると、当該補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用によって一直線に元位置に復帰する。
【００５７】
また、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が同一面内で回転駆動された場合にも、同等の理由から補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は全体的にほぼ同一の高さを維持しつつ同一面内で回転動作することとなる。そして、この場合も駆動力を開放すると、補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用により一直線に元位置に復帰する。
【００５８】
〔電磁駆動手段〕
可動テーブル１と補助テーブル５との間には、前述したように、補助テーブル５を介して可動テーブル１に対し所定の移動力を付勢する電磁駆動手段４が装備されている（図１参照）。
【００５９】
この電磁駆動手段４は、前述したように、本実施形態では補助テーブル５上に装備された四個の被駆動磁石（本実施形態では永久磁石が使用されている）６と、この各被駆動磁石６を介して可動テーブル１に所定の移動方向に向けて所定の電磁力を付勢する四個の田形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７を保持する固定プレート８とを備えている。
【００６０】
この内、固定プレート８は、図１に示すように、補助テーブル５の可動テーブル１側（補助テーブル５と可動テーブル１との間）に装備され、その周囲がケース本体３に固着装備されている。ここで、この固定プレート８については、図１の左右両端部のみがケース本体３に固定装備されるように構成してもよい。この固定プレート８の中央部には、前述した連結支柱１０の所定範囲内での平行移動を許容する貫通穴８Ａが形成されている。この貫通穴８Ａは、本実施形態では円形のものが形成されているが、四角形であっても或いはその他の形状であってもよい。
【００６１】
前述した固定プレート８は、前述したようにその周囲全体が本体側突出部３に保持されている。この場合、固定プレート８と本体側突出部３Ａとは、その一体化を堅牢にするため、ネジ止め後にノックピン等で一体化しても或いは溶接等で一体化してもよい。このようにすると、可動テーブルのミクロン（μ）単位の変位や移動に対しても、固定プレート８がケース本体３に対して位置ずれを生じることなく円滑にこれに対応することができるという利点が生じる。
【００６２】
前述した四個の被駆動磁石６は、本実施形態では図２，図３に示すように、駆動コイルとの対向面が四角形状の永久磁石が使用され、補助テーブル５の上面における直交するＸ軸，Ｙ軸からなるＸーＹ面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上にそれぞれ配設され固着されている。
この四個の被駆動磁石６に対向する位置には、中央部に十字状のコイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６を介して前述した可動テーブル１に所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７が、前述した四個の被駆動磁石６に個別に対応して固定プレート８上の定位置に、固着装備されている。
【００６３】
この場合、四個の被駆動磁石６の向きは、田形状駆動コイル７に面する側の磁極が、本実施形態ではＸ軸上のものはＮ極に、Ｙ軸上のものはＳ極に、それぞれ設定されている（図２，図３参照）。
【００６４】
このため、十字状のコイル辺の縦方向又は横方向に生じる電流と被駆動磁石６とのあいだに発生する電磁力は、常にＸ軸方向又はＹ軸方向に統一され、その合力が常に最大値となるように設定されている。このため、発生する電磁力を効率良く可動テーブル１に対する駆動力として出力することが出来て都合がよい。
【００６５】
また、前述した、田形状駆動コイル７については、その大きさは内側に有する十字状コイル辺の領域が前述した被駆動磁石６の最大移動範囲を許容する大きさに設定されている。
【００６６】
このため、四個の被駆動磁石６との間に生じる電磁力は、田形状駆動コイル７が固定プレート８上の定位置に固定されていることにより、当該被駆動磁石６を介して補助テーブル５に対する所定方向への移動力として確実に出力されることとなる。
【００６７】
〔田形状駆動コイル〕
電磁駆動手段４の主要部を成す田形状駆動コイル７は、例えば図５に示すように、実際にはそれぞれ独立して通電可能な四個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄにより構成されている。
【００６８】
このため、各角形小コイル７ａ〜７ｄの通電方向を後述する動作制御系によって外部から切り換え制御することにより、例えば田形状駆動コイル７の内部の十字状部分に流れる電流を図中の縦方向又は横方向の何れか一方に限定して通電（正又は逆方向を含めて）することが可能となり、これにより対応して配置された被駆動磁石６に対しては、フレミングの左手の法則に従って当該各被駆動磁石６を所定の方向へ押圧する電磁力（反力）を出力することができる。
【００６９】
この四個の角形小コイル７ａ〜７ｄに生じる電磁力の方向を組み合わせることにより、前述した田形状駆動コイル７の内側に位置する十字状のコイル辺部分に、縦方向又は横方向等の何れか一方への通電状態が設定され、これによって、対応する被駆動磁石６に所定方向への電磁駆動力が出力される。そして、前述した四個の被駆動磁石６に生じる電磁駆動力の合力によって、前述した補助テーブル５に対してＸーＹ軸上で回転動作を含む任意の方向に向けて移動力が付勢されるようになっている。
【００７０】
これら四個の角形小コイル７ａ〜７ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（図６，図８）で詳述する。
又、この四個の角形小コイル７ａ〜７ｄは中空のコイルもよいが、内側にフェライト等の被導電性磁性部材を充填したものであってもよい。
符号９は、被駆動磁石６に近接対向して田形状駆動コイル７側に固定装備された制動用プレートを示す。
【００７１】
〔位置検出センサ機構〕
前述した電磁駆動手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の移動状態は、位置検出センサ機構２５によって検出される。
【００７２】
この位置検出センサ機構２５は、図６に示すように、本実施形態では静電容量型の複数の検出電極（本実施形態では８個）を備えた容量センサ群２６と、この容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を電圧変換すると共に所定の演算をして位置変化情報として後述するテーブル駆動制御手段２１に送り込む位置情報演算回路２７とを備えた構成となっている。
【００７３】
この内、位置情報演算回路２７は、前述した容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を個別に電圧変換する信号変換回路部２７Ａと、この信号変換回路部２７で変換された複数の容量変化成分にかかる電圧信号を所定の演算によりＸーＹ座標上の位置を示すＸ方向位置信号ＶX 及びＹ方向位置信号ＶY に変換し、更には回転角信号θを演算して出力する位置信号演算回路部２７Ｂとにより構成されている。
【００７４】
前述した複数の容量センサ群２６は、図１乃至図４に示すように、補助テーブル５の周囲の下面部分に対向して且つ前述した本体側突出部３Ｂの上面に所定間隔を隔てて配設された８個の角形の容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 ，２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ，２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 と、これに対応して前述した補助テーブル５の周囲の下面部分に設定された比較的幅の広い共通電極（図示せず）とにより構成されている。
【００７５】
そして、上記各容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 ，２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ，２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 の内、容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 が図２，図３の右端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備され、これに対して容量検出電極２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 が図２，図３の左端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
【００７６】
また、上記各容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 ，２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ，２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 の内、容量検出電極２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 が図２，図３の上端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備され、容量検出電極２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 が図２，図３の下端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
【００７７】
そして、例えば前述した補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が電磁駆動手段４に付勢されて図７（Ａ）に示すように矢印Ｆの方向（図中、右上方向）に移動動作した場合、本実施形態では、補助テーブル５の両側に（及び上下方向に）位置する一方の容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 （２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ）と他方の２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 （２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 ）で検出される容量変化成分が、信号変換回路２７Ａで電圧変換された後に位置信号演算回路２７Ｂに送り込まれ、この位置信号演算回路２７Ｂで前述した各変換電圧を入力してＸ方向位置信号ＶX ，Ｙ方向位置信号ＶY として差動出力するように構成されている。
【００７８】
又、前述した補助テーブル５が電磁駆動手段４に付勢されて図７（Ｂ）に示すように矢印方向に回転動作した場合、本実施形態では、上述した場合と同様に各部が作動し同様に機能し、変化成分が電圧変換されて所定の回転角信号θとして差動出力されるように構成されている。
【００７９】
このため、本実施形態にあっては、図３の左右（及び上下）の各容量検出電極に同時に印加されるノイズを差動出力（例えば、Ｘ軸方向の一端部と他端部に配置された容量検出電極に検知される容量変化の差をとること：外部雑音排除機能）によって打ち消すことができ、同時に測定値が電圧変換された後にその変化分が合算されて出力されるので（減少した分がマイナス分として引き算されること、例えばＡ−（−Ａ）＝２Ａの如きもの）、これにより補助テーブル５（可動テーブル１）の位置情報を高感度に出力することができるという利点がある。
【００８０】
〔動作制御系〕
本実施形態にあっては、前述した電磁駆動手段４には、前述した複数の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御して前述した可動テーブル１の移動若しくは回転動作を規制する動作制御系２０が併設されている（図６参照）。
【００８１】
この動作制御系２０は、図６に示すように、前述した電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７を所定の制御モードに従って個別に駆動し前述した可動テーブル１を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１と、このテーブル駆動制御手段２１に併設され前述した可動テーブル１の移動方向，回転方向，およびその動作量等が特定された複数の制御モードにかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
【００８２】
テーブル駆動制御手段２１には、複数の各田形状駆動コイル７に対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。又、このテーブル駆動制御手段２１には、前述した可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前述した位置検出センサ機構２５によって検出され後述するように高感度に演算処理されて送り込まれるようになっている。
【００８３】
上述したテーブル駆動制御手段２１は、本実施形態にあっては、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２から選択し前述した複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電制御する主制御部２１Ａと、この主制御部２１Ａにて設定される制御モードに従って所定の四個の各田形状駆動コイル７，７……を同時に且つ個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１Ｂとを備えている。
【００８４】
又、主制御部２１Ａは、テーブル位置を検出する位置検出センサ機構２５からの入力情報に基づいて前述した可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。
符号４Ｇは、前述した電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電する電源回路部を示す。
【００８５】
更に、上記テーブル駆動制御手段２１は、前述した位置検出センサ機構２５からの情報を入力して所定の演算を行いこれに基づいて予め動作指令入力部２４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する位置ずれ演算機能と、この算定された位置ずれ情報に基づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の基準位置に当該可動テーブル１を移送制御するテーブル位置補正機能とを備えている。
【００８６】
このため、本実施形態にあっては、可動テーブル１の移動方向が外乱等によってずれた場合には当該ずれを修正しながら可動テーブル１を所定の方向に移送制御することとなり、これにより当該可動テーブル１は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送されることとなる。
【００８７】
〔プログラム記憶部〕
前述したテーブル駆動制御手段２１は、プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の通電パターンおよびその選択組合せである所定の制御モード）に従って前述した電磁駆動手段４の四個の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御するように構成されている。
【００８８】
即ち、前述したプログラム記憶部２２には、本実施形態にあっては前述した四個の各田形状駆動コイル７，７，……に対する基本的な四つの通電パターンを実行するためのプログラムが記憶されている（図６，図８参照）。
【００８９】
図８は、田形状駆動コイル７（固定子側）の四個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに対する四種類の通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと、その時に各田形状駆動コイルの十字辺部分に生じる電流の向き、及びこれに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
【００９０】
この図８において、通電パターンＡの場合は、角形小コイル７ａ，７ｂに対しては左回りの電流が，又角形小コイル７ｃ，７ｄに対しては右回りの電流がそれぞれ通電制御され、これによって中央部に位置する十字状のコイル辺部分では、外部に出力される磁束が全体的に加算又は相殺され、その結果としてＸ軸の正方向の電流ＩA のみが通電されたのと同等の状態となる。
【００９１】
又、通電パターンＢでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによってＸ軸の負方向の電流ＩB のみが通電されたのと同等の状態となる。通電パターンＣでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによってＹ軸の正方向の電流ＩC のみが通電されたのと同等の状態となる。同様に、通電パターンＤでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによって、Ｙ軸の負方向の電流ＩD のみが通電されたのと同等の状態となる。
この上記四つの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラムに基づいて実行されるようになっている。
【００９２】
又、図８に開示した白抜き矢印は、これらの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６との間に発生する電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
【００９３】
この場合、対応する各電磁力は田形状駆動コイル７の通電コイル辺部分にフレミングの左手の法則によって発生するが、当該田形状駆動コイル７が固定プレート８上に固定されていることからその反力が電磁駆動力（推力）として被駆動磁石（永久磁石）６側に向けて発生する。
図８に開示した白抜き矢印は、その反力（電磁駆動力）を示すものである。このため、この反力（電磁駆動力）は、被駆動磁石６の磁極Ｎ，Ｓの種類によってその向きが反転する。
【００９４】
更に、このプログラム記憶部２２には、前述した固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸーＹ平面上にて可動テーブル１をＸ軸の正負二方向およびＹ軸の正負二方向にそれぞれ移動せしめる第１乃至第４の制御モードと、ＸーＹ平面上に設定される各象限内の所定方向に可動テーブル１を移動せしめる第５乃至第８の制御モードと、可動テーブル１を所定位置にて時計方向又は反時計方向に回転動作せしめる第９乃至第１０の各制御モードにかかる各動作プログラムが記憶されている。
【００９５】
図９乃至図１３に、それぞれ前述した第１乃至第１０の各制御モードにかかる動作プログラムを実行した場合に生じる各田形状駆動コイル７の機能および補助テーブル（可動テーブル１）の動作状態の一例をそれぞれ示す。
【００９６】
図９（Ａ）（Ｂ）は、第１の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第１の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御される。図９（Ａ）において、記号Ｎ，Ｓは、各被駆動磁石（永久磁石）６の磁極の種類を示す。
【００９７】
その結果、この第１の制御モードでは、各被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦX1，ＦX2，ＦX3，ＦX4の方向に電磁駆動力が発生し、これによって、Ｘ軸上の正の方向（矢印 ＋ＦX ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
【００９８】
図９（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸーＹ座標上に例示したものである。これより、Ｘ軸上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｙ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力を発生させることが重要となる。
【００９９】
第２の制御モードの場合は、Ｘ軸上の負の方向（図示せず）に補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを上述した第１の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第２の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御される。これより、Ｘ軸上の負の方向に補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
【０１００】
図１０（Ａ）（Ｂ）は、第３の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第３の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
【０１０１】
その結果、この第３の制御モードでは、各被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦY1，ＦY2，ＦY3，ＦY4の方向に電磁駆動力が発生し、これによって、Ｙ軸上の正の方向（矢印＋ＦY ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
【０１０２】
図１０（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸーＹ座標上に例示したものである。これより、Ｙ軸上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｘ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力を発生させることが重要となる。
【０１０３】
第４の制御モードの場合は、Ｙ軸上の負の方向に補助テーブル５を移送する場合（図示せず）であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを上述した第３の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第２の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御される。これより、Ｙ軸上の負の方向に補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
【０１０４】
図１１（Ａ）（Ｂ）は、第５の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
【０１０５】
その結果、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦX1，ＦX3の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦY2，ＦY4の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸーＹ軸上の中心点から第１象限方向に向けて（矢印ＦXY）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
【０１０６】
図１１（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸーＹ座標上に例示したものである。これより、ＸーＹ軸上の中心点から第１象限方向に向かう方向（矢印ＦXY）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形状駆動コイル７，７……に通電される電流値の大きさを適当に設定することによって、その移動方向を変化させることができる。かかる通電電流の大きさは前述した主制御部２１Ａで設定制御される。
【０１０７】
第６の制御モードの場合は、ＸーＹ軸上の中心点から第３象限方向（図示せず）に向けて補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを上述した第５の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御される。これより、ＸーＹ軸上の中心点から第３象限方向に向けて補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
【０１０８】
図１２（Ａ）（Ｂ）は、第７の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第７の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
【０１０９】
その結果、この第７の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印−ＦX1，−ＦX3の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦY2，ＦY4の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸーＹ軸上の中心点から第２象限方向に向けて（矢印ＦYX）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
【０１１０】
図１２（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸーＹ座標上に例示したものである。これより、ＸーＹ軸上の中心点から第２象限方向に向かう方向（矢印ＦYX）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形状駆動コイル７，７……に通電される電流値の大きさを適当に設定することによって、その移動方向を変化させることができる。かかる通電電流の大きさは、前述した主制御部２１Ａで設定制御される。
【０１１１】
第８の制御モードの場合は、ＸーＹ軸上の中心点から第４象限方向（図示せず）に向けて補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを上述した第７の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第８の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御される。これより、ＸーＹ軸上の中心点から第４象限方向に向けて補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
【０１１２】
図１３（Ａ）（Ｂ）は、第９の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第９の制御モードでは、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）を所定角度θ分、回転動作させるためのもので、この制御動作では、所定の許容範囲内において中心軸を有しない補助テーブル５を左回りの円運動をさせ所定位置での静止動作が可能としたものである。
【０１１３】
即ち、この図１３（Ａ）に示す第９の制御モードでは、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＡの手法によって、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＢの手法によって、Ｙ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＤの手法によって、又Ｙ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＣの手法によって、それぞれ通電制御される。
【０１１４】
その結果、この第９の制御モードでは、各田形状駆動コイル７，７，……に対応した各被駆動磁石（永久磁石）６には、図１１に示すようにそれぞれ左回りの方向に沿って各軸に直交する方向ＦY1，−ＦX2，−ＦY3，又はＦX4に向けてそれぞれ電磁駆動力が発生する。
【０１１５】
このため、図１３（Ａ）に開示したように、当該各被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力の大きさをそれぞれ同一の大きさＰに設定制御することにより、補助テーブル５は所定の許容範囲内において中心軸を有しない状態でも左回りの円運動をし所定位置での静止動作が可能となる。
【０１１６】
この場合、円運動後の停止位置は、全体の電磁駆動力と前述したテーブル保持機構２のバネ作用による元位置復帰力とのバランス点（所定角度θ分、回転した位置）となり、かかる位置は設定回転角度と上述した電磁駆動力との関係として予め実験的に特定され、検索可能に図表化（マップ化）されて前述したデータ記憶部２３に記憶されるようになっている。
【０１１７】
図１３（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸーＹ座標上に例示したものである。これより、ＸーＹ軸上の中心点Ｏを回転中心として補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は所定角度θだけ左回りに回転し停止することとなる。
この場合、回転後の停止位置を設定する回転角度θの大きさは、各田形状駆動コイル７，７・・に通電される同一の電流値の大きさを適当に設定制御することにより、その回転角度θが定められる。かかる通電電流の大きさは前述した主制御部２１Ａで設定制御される。
【０１１８】
第１０の制御モードの場合は、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）を右回りに回転させる場合である。このため、この第１０の制御モードでは、前述した各田形状駆動コイル７，７……に通電される同一の電流の向きを逆方向に設定すればよい。
【０１１９】
即ち、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＢの手法により、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＡの手法により、Ｙ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＣの手法により、そしてＹ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＤの手法により、それぞれ通電制御される。
これより、ＸーＹ軸上で、補助テーブル５は右回りに所定角度θ分だけ、円滑に回転制御されることとなる（図示せず）。
【０１２０】
これらの各通電パターンおよび各制御動作にかかる動作プログラムは、テーブル駆動制御手段２１に併設された動作プログラム記憶部２２に出力可能に記憶されている。そして、テーブル駆動制御手段２１は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて前述した各動作プログラムの何れかを選択し、これに基づいて前述した電磁駆動手段４を駆動制御するようになっている。
【０１２１】
〔制動用プレート〕
前述した四個の各田形状駆動コイル７の被駆動磁石６に対向した側の端面部分には、図１４に示すように、非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９が、周囲から絶縁された状態で各被駆動磁石６の磁極面に対向し且つ近接してそれぞれ固着装備されている。
【０１２２】
この各制動用プレート９は、補助テーブル５（可動テーブル１）の急激な移動動作に対してこれを抑制しつつ当該補助テーブル５（可動テーブル１）を緩やかに移動させる機能を備えている。
ここで、図１４（Ａ）は、図１の制動用プレート９部分を示す部分断面図である。また、図１４（Ｂ）は、図１４（Ａ）の矢印ＡーＡ線に沿って見た平面図を示す。
【０１２３】
即ち、四個の被駆動磁石６が装備された補助テーブル５又は可動テーブル１が急激な移動動作をした場合には、当各該被駆動磁石６とこれに対応した各制動用プレート９との間に、電磁制動（うず電流ブレーキ）が働く。これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は急激な移動動作が抑制されて徐々に移動することとなる。
【０１２４】
図１５（Ａ）（Ｂ）に、上記電磁制動（うず電流ブレーキ）の発生について示す。
この図において、制動用プレート９は、被駆動磁石６のＮ極に対向して田形状駆動コイル７の端部に固着されている。
いま、補助テーブル５が図の右方向に速度ｖ1 で急激に移動すると、金属製の制動用プレート９は（固定されているため）、相対的に図の左方向に同一の速度ｖ2 （＝ｖ1 ）で急激に移動することになる。これにより、制動用プレート９内にはフレミングの右手の法則に従って速度ｖ2 に比例した大きさの起電力ＥV が図１５（Ｂ）に示す方向（図中、上向き）に発生し、これにより同矢印の方向に左右対象の渦電流が流れる。
【０１２５】
次に、起電力ＥV の発生領域にはＮ極からの磁束が存在することから、この被駆動磁石６の磁束と制動用プレート９内の（起電力ＥV 方向の）渦電流との間にフレミングの左手の法則に従って所定の移動力ｆ1 が、制動用プレート９内に（図の右方向に向けて）発生する。
一方、制動用プレート９は固定プレート８上で固定されているため、移動力ｆ1 の反力ｆ2 が被駆動磁石６上に制動力として発生し、その向きは移動力ｆ1 の向きとは逆の向きになる。即ち、この制動力ｆ2 は、被駆動磁石６（即ち補助テーブル５）の最初の急激な移動方向とは逆の方向となり、しかもその大きさは当該補助テーブル５の移動速度に比例した大きさとなることから、当該補助テーブル５はその急激な移動が適度の制動力ｆ2 によって抑制され、安定した状態で円滑に移動することとなる。
他の制動用プレート９の箇所でも全く同様に所定の制動力ｆ2 が発生する。
【０１２６】
このため、被駆動磁石６を備えた補助テーブル５では、例えば急激な停止動作に際しては当該停止箇所にて往復動作が生じ易いが、これに対してはその動作が適度に抑制されて円滑に緩やかに移動することとなる。このため、全体的にはこの各制動用プレート９が有効に機能して、補助テーブル５（可動テーブル１）を安定した状態で移動させることができる。又、外部からの振動によって補助テーブル５が往復微小振動した場合にも、同様に機能してかかる往復微小振動は有効に抑制される。
【０１２７】
この各田形状駆動コイルの端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の各制動用プレート９は、図１６に示すように、各田形状駆動コイル７との関係ではトランスの二次側回路を構成し、且つ所定の低抵抗ｒ（うず電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
【０１２８】
図１６において、Ｋ1 は田形状駆動コイル７を表す一次側巻線を示し、Ｋ2 は制動用プレート９に相当する二次側巻線を示す。図１６（Ａ）は、制動用プレート９内の電気抵抗成分（低抵抗ｒ：うず電流損を生じる）を介して当該二次側巻線部分が短絡された状態を示す。この場合、制動用プレート９内には、二次側巻線の短絡状態と同等の電流（即ち、駆動コイル７の磁束の大小に比例したうず電流）が流れる。他の制動用プレート９が付された箇所も全く同様の状態となっている。又、図１６（Ｂ）は、制動用プレート９が無い状態（二次側巻線部分が開放された状態）を示す。
【０１２９】
このため、この場合の一次側回路を構成する各田形状駆動コイル７は、起動時の立ち上がり時（過渡状態）におけるコイルのインダクタンス成分による大きな抵抗が存在してもに二次側短絡によりその影響を有効に低減することができ、この点において、起動時から比較的大きい電流を通電することができ、これがため、前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレート９が無い場合に比較して電磁駆動力を迅速に出力することができる。
【０１３０】
又、上記各制動用プレート９は、各田形状駆動コイル７の駆動時に生じる熱を放熱する機能を兼ね備えている。かかる点において駆動コイルの連続運転に伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制して通電電流を長時間ほぼ一定レベルに設定することができ、このため、電磁駆動手段から出力される電磁駆動力に対する外部からの電流制御を安定した状態にて継続することができ、径年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性を、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
【０１３１】
尚、上述した制動用プレート９については、本実施形態では各田形状駆動コイル７毎に装備した場合を例示したが、二個以上の田形状駆動コイル７を対象としてこれを一枚の制動用プレートで覆うように構成したものであってもよい。
【０１３２】
〔上記実施形態の全体的な動作〕
次に、上記第１の実施形態の全体的な動作について説明する。
図６において、まず動作指令入力部２４から、可動テーブル１を所定位置へ移動させるための動作指令が入力されると、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択し、続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを付勢し、電磁駆動手段４の四つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
【０１３３】
図１７，図１８に、可動テーブル１をＸ軸の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入力部２４から入力され、これに基づいて装置全体が作動した状態を示す。
この事例では、制御モードとしては図９に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各四つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図９に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作したことを示す。
【０１３４】
この場合、前述したステージ保持機構４では、補助テーブル５が電磁駆動手段４によって図の右方に付勢されると、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性力（元位置復帰力）に抗して当該補助テーブル５が移動する。そして、この補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において停止する。
【０１３５】
図１７，図１８において、符号Ｔは移動した距離を示す。
又、図１８において、斜線部分は補助テーブル５の移動によって前述した他方の容量検出電極２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 の容量成分が減少した部分を示し、交差斜線部分は前述した一方の容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 の容量成分が増加した部分を示す。尚、この図１８にあっては、Ｙ軸方向への位置ずれが無い場合が示されている。
【０１３６】
そして、動作中に、外乱等によって補助テーブル５の移動位置が目標位置からずれた場合には、この容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 の容量成分の増加減少の情報に基づいて前述したように実際の移動後の位置が検出され、位置ずれ防止用のフィードバック制御か行われるようになっている。
一方、かかる状態から補助テーブル５に印加されている電磁駆動力が開放されると、補助テーブル５はピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力に付勢されて元位置に復帰する。
【０１３７】
かかる一連の動作にあって、補助テーブル５の移動動作は、通常は電磁駆動力の印加制御又は開放制御が何れの場合でも急激に行われる。このため、かかる場合、補助テーブル５（又は可動テーブル１）には、移動先での停止時又は元位置復帰に際しての停止位置において、慣性力及びばね力に起因した繰り返し動作（往復動作）が生じる。
しかしながら、本実施形態にあっては、かかる繰り返し動作（往復動作）は前述したように制動用プレートと被駆動磁石との間に生じる電磁制動（うず電流ブレーキ）によって抑制され、所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
【０１３８】
動作指令入力部２４から、可動テーブル１を上記以外の他の所定位置へ移動させるための動作指令が入力された場合にも、上述した場合と同様にテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを付勢し、電磁駆動手段４の四つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
【０１３９】
そして、この場合も、上述した場合と同様の制御動作および制動用プレートによる制動動作が実行され、補助テーブル５（可動テーブル１）は所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
【０１４０】
このように、上記第１の実施形態にあっては、従来より必要としていた重厚な二重構造のＸーＹ軸移動保持機構を用いることなく、補助テーブル５（可動テーブル１）を、中心位置から（所定範囲内において）同一の高さ位置を維持しつつＸーＹ平面上のいずれの方向に対しても円滑に移動させ或いは同一面内での回転駆動を実行させることができる。
【０１４１】
これがため、上記第１の実施形態によると、構造が簡単なので、装置全体の小型化軽量化が可能となり、かかる点において可搬性を著しく改善することができ、従来例に比較して部品点数も少なくなり、かかる点において耐久性を著しく向上させることができ、組立て時の調整に熟練を必要としないため生産性を高めることができる。
【０１４２】
又、被駆動磁石が装備された補助テーブル５（可動テーブル１）が急激に動作変化しても、前述したように当該被駆動磁石６と非磁性金属部材からなる制動用プレート９との間に急激な変化に比例した大きさの電磁制動（うず電流ブレーキ）力が働くことから、これにより、可動テーブル１はその急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で円滑に移動することができる。
【０１４３】
この制動用プレート９については各被駆動磁石６に対向した状態で個別に田形状駆動コイル７に装備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段４も補助テーブル５に装備した被駆動磁石６とこれに対向して固定プレート８に田形状駆動コイル７を装備するという簡単な構成であることから、かかる点においても、装置全体の小型化および軽量化が可能となり、可搬性が良好となるばかりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要することが無いことから、作業性も良好となる。
【０１４４】
更に、駆動コイルの前述した被駆動磁石６側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレートは、駆動コイルとの関係ではトランスの二次側回路と同等の回路を構成し、且つ制動用プレートの電気抵抗成分（うず電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
【０１４５】
このため、この場合の一次側回路を構成する田形状駆動コイル７は、二次側回路が開放状態の場合に較べて比較的大きい電流を通電することができ、これがため、前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレートが無い場合に比較して比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
【０１４６】
又、この制動用プレート９は、放熱板としても機能し、かかる点において田形状駆動コイル７の連続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができ、かかる点においても装置全体の耐久性を増大することができ、その結果、装置全体の信頼性を高めることができる。
【０１４７】
尚、上記第１の実施形態にあっては、被駆動磁石６を補助テーブル５に装備した場合を例示したが、被駆動磁石６を可動テーブル１側に装備すると共に、これに対向して固定テーブル８上の所定位置に前述した各田形状駆動コイル７を配設してもよい。この場合、固定テーブル８を貫通した状態で各田形状駆動コイル７を装備すると共に、この各田形状駆動コイル７の対向して、被駆動磁石６を可動テーブル１側と補助テーブル５側の両方に装備してもよい。
【０１４８】
更に、上記第１の実施形態では、駆動コイルとして田形状駆動コイル７を装備した場合を例示したが、本発明では駆動コイルを必ずしも田形状駆動コイルに限定するものではなく、同等に機能するものであれば、他の形態の駆動コイルであってもよい。
【０１４９】
【第２の実施の形態】
図１９〜図２０にこれを示す。
この図１９〜図２０に示す第２の実施形態は、前述した第１の実施形態において装備した補助テーブル５を削除し、可動テーブル３１をテーブル保持機構２で直接保持すると共に、テーブル駆動制御手段２１によって可動テーブル３１を直接駆動するように構成した点に特徴を備えている。
【０１５０】
この図１９至図２０において、符号３１は四角形状の可動テーブルを示す。この可動テーブル３１は、上面に円形の平坦作業面３１Ａを備えている。
符号２は前述した第１実施形態におけるテーブル保持機構と同一のテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構２は、前述した第１実施形態と同様に図１９の下方部分に配設され、可動テーブル３１の同一面内での任意方向への移動を許容すると共に、当該可動テーブル３１に元位置復帰力を付加し得る状態で当該可動テーブル３１を保持している。
【０１５１】
即ち、この第２の実施形態にあっては、可動テーブル３１は、本体部としてのケース本体３３の内側に配設されたこのテーブル保持機構２を介して、上述したようにケース本体３３に支持されている。
又、上記可動テーブル３１とケース本体３３の後述する駆動手段保持部（本体側突出部）３３Ａとの間に、可動テーブル３１の移動位置を常時検出する容量型の位置検出センサが前述した第１の実施形態の場合と同様に装備されている。
即ち、可動テーブル３１の図１９における下面（底面）の端部周囲には、所定幅の平坦面を備えた口字状のスペーサ３１Ｂが装備され、その下面部分に、容量型の位置検出センサの共通電極３１Ｂａが設けられている。又、この共通電極３１Ｂａに対向して前述した第１実施形態における容量検出電極と同一の容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 ，２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ，２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 が、前述した第１の実施形態の場合と同様に設けられ、後述する駆動手段保持部（本体側突出部）３３Ａの上面に装備されている。
【０１５２】
テーブル保持機構２は、前述した第１実施形態におけるテーブル保持機構２と同様に、所定間隔を隔てて設置される二本のピアノ線（可動テーブル３１を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材であれば他の部材であってもよい）２Ａ，２Ｂを一組として予め可動テーブル３１の周端部に対応して四組準備し、この四組のピアノ線２Ａ，２Ｂを組毎に、四角形状の中継部材２Ｇの各四隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて植設する。
【０１５３】
そして、内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａで可動テーブル３１を下方から保持し、外側に位置する本体側の四本のピアノ線２Ｂで中継部材２Ｇをケース本体３３から揺動自在に吊り下げたような構造となっている。
【０１５４】
これにより、可動テーブル３１は、前述した第１実施形態の場合と同様に高さ位置を変えることなく同一面内においていずれの方向へも移動することができ、同時に許容された範囲内での回転動作も可能となっている。
【０１５５】
ケース本体（本体部）３３は、本実施形態では図１９に示すように上方および下方が開放された箱体状に形成されている。
付号３４は電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段３４は、前述した第１の実施形態における電磁駆動手段４と同一に形成され、可動テーブル３１の図１９における下側に配置されてケース本体３３側に保持され、前述した可動テーブル３１に移動力を付勢する機能を備えている。
又、符号３３Ａは、ケース本体３３の内壁部周囲に突設された本体側突出部としての駆動手段保持部を示す。電磁駆動手段３４は、この駆動手段保持部３３Ａを介してケース本体３３に保持されている。
この駆動手段保持部３３Ａの図１９における上面は前述したように平坦面を成し、この平坦面上に、可動テーブル３１の位置情報を外部出力する容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 ，２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ，２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 が前述した第１の実施形態の場合と同様に装備され、同様に機能するようになっている。
【０１５６】
前述した電磁駆動手段３４は、前述した第１実施形態の場合と同様に、可動テーブル３１の図１９における下面部分の所定位置に固定装備された四個の被駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対して前述した可動テーブル３１の所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持する固定プレート３８とを備えている。
【０１５７】
この固定プレート３８は、前述した可動テーブル３１に所定間隔を隔てて平行に設定され、可動テーブル３１の図１９における下方に配設されてその周囲がケース本体３３の駆動手段保持部３３Ａに保持されている。
【０１５８】
更に、田形状駆動コイル７の前述した被駆動磁石６側の端面側には、前述した第１の実施形態の場合と同様に、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が被駆動磁石６の磁極面に近接して個別に配設されている。
【０１５９】
この制動用プレート９は、本実施形態では田形状駆動コイル７の端面部分に固着され、この田形状駆動コイル７を介して前述した固定プレート３８側に固定された状態となっている。
尚、この制動用プレート９については、田形状駆動コイル７の端面部分に当接したた状態を維持しつつ、他のスペーサ部材（図示せず）を介して固定プレート３８に固定するように構成してもよい。この点は前述した第１実施形態の場合も同様である。
【０１６０】
可動テーブル３１は、前述したように、内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａによって保持されている。符号３１Ｃは、この四本のテーブル側ピアノ線２Ａに係合するために可動テーブル３１の図１９における下面から下方に向けて突設された四本のテーブル側脚部を示す。この四本のテーブル側脚部３１Ｃを介して、前述した可動テーブル３１が四本のテーブル側ピアノ線２Ａに連結され保持されている。
【０１６１】
ここで、この四本のテーブル側脚部３１Ｃの長さは、前述した内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａが外側に位置する四本のピアノ線２Ｂとその露出長さＬを同一にし得る長さに設定されている。
【０１６２】
前述した固定プレート３８の四隅部分には、所定の大きさの貫通穴３８Ａがそれぞれ形成されている。この貫通穴３８Ａは、本実施形態では四角形状に形成されているが、前述した可動テーブル３１の動作を許容し得る大きさであれば、その形状については、円形等，他の形状であってもよい。
【０１６３】
そして、この貫通穴３８Ａを前述した四本のテーブル側脚部３１Ｃがそれぞれ個別に貫挿し、これによって、図１９の上方部分に位置する可動テーブル１が同図の下方部分に位置するテーブル保持機構２の四本のテーブル側ピアノ線２Ａによって保持された構造となっている。
その他の構成及び機能は前述した第１の実施形態の場合と同一となっている。
【０１６４】
このようにしても、この第２の実施形態は、前述した第１の実施形態とほぼ同様の作用効果を有するほか、特に前述した第１の実施形態において装備した補助テーブル５を削除して可動テーブル３１をテーブル保持機構２で直接保持すると共にテーブル駆動制御手段２１によって可動テーブル３１を直接駆動するように構成したので、構造がより一層単純化され、その分、小型軽量化が可能となり、可動テーブル１側の重量が軽減されるので、テーブル保持機構２の耐久性向上を図ることができ、装置全体の可搬性の向上を図ることができ、更には、補助テーブル５を可動テーブル３１に連結し且つ組み込むという作業工程が不要となるので、生産性および保守性を著しく向上させることができ、装置全体の原価低減を図ることができるという利点がある。
【０１６５】
【第３の実施の形態】
図２１に第３の実施形態の一例を示す。
この第３の実施形態は、前述した第１の実施形態において、各被駆動磁石に対向して複数の田形状駆動コイルの端部に個別に装備した制動用プレート９を、一枚の板状部材を使用して共用とした点に構造上の特徴を備えている。
【０１６６】
この図２１では、前述した第１実施形態に装備した四枚の制動用プレート９に代えて同一材質からなる１枚の制動用プレート３９を装備した場合を示す。
この場合、制動用プレート３９の中央部には、図１に開示した連結支柱１０の挿通を許容し且つ当該連結支柱１０が補助テーブル５（及び可動テーブル１）と共に図２１の直交軸ＸーＹの平面内において移動するのを許容する程度の大きさの貫通穴３９Ａが形成されている。
【０１６７】
尚、この制動用プレート３９は、図２１（Ａ）では、複数の各田形状駆動コイル７の各端部に当接した状態で当該各田形状駆動コイル７を介して固定プレート８に装着した場合を例示してある。一方、この制動用プレート３９については、各田形状駆動コイル７の端面部分に当接した状態を維持しつつ、他のスペーサ部材（図示せず）を介して固定プレート８に固定するように構成してもよい。
その他の構成は前述した第１の実施形態と同一となっている。
【０１６８】
このようにしても、前述した第１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更に制動用プレート３９の組立作業が前述した第１実施形態の場合に比較して著しく単純化され、制動用プレート３９の全体の表面積が大きくなるので放熱板としても有効に機能し、かかる点において生産性および装置の耐久性の向上を図ることができるという利点がある。
【０１６９】
尚、この第３の実施形態は、前述した前述した第１の実施形態において複数の制動用プレート９に代えて同一材質の一枚の板状部材を装備するように構成した場合を例示したが、前述した第２の実施形態において、同様に、複数の制動用プレート９に代えて同一材質の一枚の板状部材を単一の制動用プレート３９として装備するように構成してもよい。
【０１７０】
又、上記第１〜第３の各実施形態にあっては、被駆動磁石６として永久磁石を装備した場合を例示したが、永久磁石に代えて電磁石を装備したものであってもよい。この場合、この電磁石の駆動制御については、前述したテーブル駆動制御手段２１が担当し、前述した各田形状駆動コイル７の動作に連動してその順方向又は逆方向或いは通電停止状態が選択され所定の通電制御が成されるようになっている（図示せず）。
【０１７１】
このため、この被駆動磁石６として電磁石を装備した場合にあっては、前述した請求項１，２又は３記載の記載の発明とほぼ同等の機能を有するほか、被駆動磁石を電磁石としたことから、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせることができる。
【０１７２】
例えば、移動時の加速／減速に際しては各駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し得るので、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅速に対応し得ることが可能となる。又、被駆動磁石の磁束密度（磁石強度）を必要に応じて自由に設定し得るので、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変化させることができるという利点がある。
【０１７３】
【第４の実施の形態】
図２２に第４の実施形態を示す。
この図２２に示す第４の実施形態は、前述した図１に示す第１の実施形態において、制動用プレート９に代えて電磁制動機構４１を装備すると共に、この電磁制動機構４１を前述した電磁駆動手段４から切り離して別に（独立して）装備するように構成した点に特徴を備えている。
【０１７４】
即ち、図２２において、電磁制動機構４１は固定プレート８の上面部分の同一円周上に等間隔に固定装備された四枚の制動用プレート４９と、この各制動用プレート４９に近接し対向して前述した可動プレート１の下面部分に固定装備された四個の制動用磁石４６とによって構成されている。
ここで、四枚の各制動用プレート４９と四個の各制動用磁石４６は、何れも、前述した電磁駆動手段４の四個の各田形状駆動コイル７および各被駆動磁石６に対応した位置に装備されている。
【０１７５】
この四枚の各制動用プレート４９は非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。又、四個の各制動用磁石４６は、その磁極の極性Ｎ，Ｓが、一つ置きに逆に（隣接する磁石の極性が異なるように）配置され、これによって可動プレート１と固定プレート８を介して磁気回路が円滑に形成されるようになっている。
その他の構成は前述した図１に示す第１の実施形態とほぼ同一となっている。
【０１７６】
このようにしても、その作用効果は前述した図１に示す第１の実施形態の場合とほぼ同等の作用効果を得ることができ、特に電磁制動機構４１についても、前述した図１（第１の実施形態）に開示した制動用プレート９と被駆動磁石６との関係で生じる電磁制動（うず電流制動）と同等若しくはそれ以上の電磁制動を得ることができる。
【０１７７】
更に、本実施形態にあっては、制動用プレート９を電磁駆動手段４領域から削除したことから、各田形状駆動コイル７と各被駆動磁石６との間の隙間（間隔）を小さく（狭く）設定することができ、このため、前述した第１実施形態の場合に比較して電磁駆動力を更に大きく設定することができるという利点がある。
【０１７８】
尚、上記実施形態にあっては、前述した第１の実施形態（図１）における制動用プレート９を削除した場合を例示したが、実際上は制動用プレート９をそのまま装備した状態で新たに上記電磁制動機構４１を追加装備した状態で使用してもよい。
【０１７９】
又、この電磁制動機構４１については、制動用磁石４６の数と制動用プレート４９の数及びその装備箇所を特定した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものではない。制動用磁石４６については三個以上の任意に数を装備しても、また制動用プレート４９については各制動用磁石４６に対応した大きさで所定形状の１枚の制動用プレートを装備してもよい。
更に、制動用磁石４６と制動用プレート４９とは、その装備位置を入れ換えても同等に機能する電磁制動機構４１を得ることができる。
【０１８０】
【第５の実施の形態】
図２３に第５の実施形態を示す。
この図２３に示す第５の実施形態は、前述した図１９に示す第２の実施形態において、制動用プレート９に代えて電磁制動機構５１を装備すると共に、この電磁制動機構５１を、前述した電磁駆動手段３４から切り離して別に（独立して）装備した点に特徴を備えている。
【０１８１】
この場合、電磁制動機構５１は、図２３に示すように固定プレート３８の上面中央部分に装備された二個の制動用磁石５６と、この制動用磁石５６に近接し且つ対向して前述した可動プレート１の下面部分に固定装備された一枚の制動用プレート５９とによって構成されている。
【０１８２】
ここで、一枚の制動用プレート５９と二個の各制動用磁石５６は、何れも、前述した電磁駆動手段４の四個の各田形状駆動コイル７および各被駆動磁石６とは全く無関係に装備されている。制動用プレート５９は、非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。又、二個の各制動用磁石５６は、その磁極の極性Ｎ，Ｓが、逆に（隣接する磁石の極性が異なるように）配置され、これによって可動プレート１と固定プレート３８を介して磁気回路が円滑に形成されるようになっている。
その他の構成は、前述した図１９に示す第２の実施形態とほぼ同一となっている。
【０１８３】
このようにしても、前述した図１９に示す第２の実施形態とほぼ同等の作用効果を得ることができるほか、更に、この第５実施形態にあっては、制動用プレート９を電磁駆動手段４領域から削除したので、各田形状駆動コイル７と各被駆動磁石６との間の隙間（間隔）を小さく（狭く）設定することができ、このため、前述した第２実施形態の場合に比較して、電磁駆動力を更に大きく設定することができるという利点がある。
【０１８４】
尚、上記第５の実施形態にあっては、前述した第２の実施形態（図１９）における制動用プレート９を削除した場合を例示したが、実際上は制動用プレート９をそのまま装備した状態で使用してもよい。
又、電磁制動機構５１については、制動用磁石５６の数と制動用プレート５９の数及びその装備箇所を特定した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものではない。制動用磁石５６については三個以上の任意に数を装備しても、また制動用プレート５９については各制動用磁石５６に対応して個別に独立して装備してもよい。
【０１８５】
【第６の実施の形態】
図２４に第６の実施形態の一例を示す。
この図２４に示す第６の実施形態は、前述した図２１に示す第３の実施形態において、制動用プレート３９に代えて、当該制動用プレート３９の周囲を大きく延設して本体ケース３（図１参照）に固着してなる構造の新たな制動用プレート６９を固着装備すると共に、固定プレート８を削除した点に特徴を備えている。符号６９Ａは制動用プレート６９の中央部に形成された貫通穴を示す。この貫通穴６９Ａは、連結支柱１０の移行動作を許容する大きさに形成されている。
ここで、制動用プレート６９は、非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。
【０１８６】
この図２４に示す第６の実施形態では、固定プレート８の削除によって、各田形状駆動コイル７は、その下面側が制動用プレート６９に保持された形態となっている。
このため、この第６の実施形態では、電磁駆動手段６４は、制動用プレート６９と、この制動用プレート６９上に固着された各田形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７に対応して制動用プレート６９および所定の隙間を介して補助テーブル５上に装備された状態の各被駆動磁石６とにより構成されている。
【０１８７】
更に、符号６６は四個の他の被駆動磁石を示す。この四個の他の被駆動磁石６６は、前述した各田形状駆動コイル７の図２４における上面（可動テーブル１側の端面）に対向して可動テーブル１にそれぞれ固着装備され、これによって電磁駆動手段６４の駆動力が強化された状態となっている。
ここで、新たに追加した各被駆動磁石６６の磁極については、前述した各被駆動磁石６に対向した面がそれぞれ異る磁極（Ｎ極とＳ極とが対向する形態）と成るように設定されている。その他の構成は、前述した図２１に示す第３の実施形態と同一となっている。
【０１８８】
このようにしても、前述した図２１に示す第３の実施形態と同一の作用効果を備えており、特に制動用プレート６９と被駆動磁石６との位置関係は前述した第３実施形態（図２１）の場合と同一状態に維持されていることから、制動用プレート６９による制動機能も前述した第３実施形態（図２１）の場合と全く同一となっている。その他の作用効果については、固定プレート８を削除したことから、装置全体を更に小型化し軽量化することが可能となるという利点がある。
ここで、新たに追加した被駆動磁石６６については、例えば鉄材等による通常の磁性部材で構成してもよい。この場合、被駆動磁石６６に代わる磁性部材は、磁気回路形成部材として有効に機能する。
尚、この第６実施形態において、前述した新たな被駆動磁石６６については削除してもよい。このようにすると、装置全体の小型化および軽量化を更に推進することができ、装置の汎用性を更に高めることができて都合がよい。
【０１８９】
【その他の実施形態】
〔駆動コイルに関する他の実施形態〕
上述した各駆動コイル７に関する他の実施形態例を開示し、制動プレートとの関係を示す。この場合、駆動コイル以外の他の構成部分は、それぞれ前述した各実施形態のものと同等に構成されており、ここではその説明を省略する。
【０１９０】
（１）．田形駆動コイルに関する他の技術的手法
上述した各実施形態にあっては、電磁駆動手段４，３４，６４の主要部をなす駆動コイルとしての田形状駆動コイル７をＸーＹ軸上に限定装備した場合を例示したが、図２５に示すようにＸーＹ軸上からはずれた位置に田形状駆動コイル７を装備したものであってもよい。
【０１９１】
この場合、被駆動磁石６（又は６６）は、田形状駆動コイル７に対応した位置で前述した田形状駆動コイル７側に固着されている。
又、この図２５の場合を含めて、当該田形状駆動コイル７の内側に位置する十字状コイル辺の配置については、上述した各実施形態にあってはその縦又は横のコイル辺部分が前述したＸーＹ軸に沿って配置された場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定されず、Ｘ軸又はＹ軸に対して所定の傾きをもって配置したものであってもよい。
【０１９２】
この田形駆動コイル７については図２５では四個装備した場合を例示したが、同等に機能するものであれば、三個であっても五個以上であってもよい。
更に、この田形駆動コイル７については、その外径が四角形以外の形状であってもよい。
【０１９３】
（２）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その１）
上記各実施形態にあっては、電磁駆動手段の主要部をなす駆動コイルとして田形状駆動コイル７を装備した場合を例示したが、これは例示的記載であり、同等に機能するものであれば、これに代えて他の駆動コイルを装備したものであってもよい。
【０１９４】
図２６（Ａ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的大きい単一の口状駆動コイル７１を使用し、この口状駆動コイル７１の四辺部分に対向して磁極のＮ，Ｓが個別に可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で４個の電磁石８１を個別に配置し、これによって、電磁駆動手段４（又は３４）を構成した場合を示す。
【０１９５】
この事例では、口状駆動コイル７１および各電磁石８１への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、可動プレート１（又は３１）の回転動作を除いて全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。口状駆動コイル７１の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
【０１９６】
（３）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その２）
図２６（Ｂ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的小さい四個の口状駆動コイル７２と八個の電磁石８２を使用した事例を示す。
【０１９７】
この図２３（Ｂ）の事例では、四個の各口状駆動コイル７２をＸーＹ軸と交差する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。又この各口状駆動コイル７２がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差する箇所に位置する各口状駆動コイル７２のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８２を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４（又は３４）を構成する。
【０１９８】
この事例でも、前述した図２６（Ａ）の場合と同様に、各口状駆動コイル７２及び各電磁石８２への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、可動プレート１（又は３１）の回転動作を除く全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。
この場合も、口状駆動コイル７２の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
【０１９９】
（４）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その３）
図２７（Ａ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的小さい四個の口状駆動コイル７３と八個の電磁石８３を使用した事例を示す。
【０２００】
この図２７（Ａ）の事例では、四個の各口状駆動コイル７３をＸーＹ軸と交差する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。又この各口状駆動コイル７３がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差しない箇所に位置する各口状駆動コイル７３のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８３を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４又は３４を構成する。
【０２０１】
この事例では、口状駆動コイル７３および電磁石８３への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、前述した第１乃至第３の各実施形態の場合と同様に、回転動作および全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。この場合、口状駆動コイル７３の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
【０２０２】
（５）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その４）
図２７（Ｂ）は、駆動コイルとして単一の白抜き十字状に形成された十字状枠型駆動コイル７４と八個の電磁石８４とを使用した事例を示す。
【０２０３】
この図２７（Ａ）の事例では、十字状枠型駆動コイル７４の縦方向及び横方向の中心線部分がＸーＹ軸上に位置する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。そして、この十字状枠型駆動コイル７４がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差しない箇所に位置する十字状枠型駆動コイル７４のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８４を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４又は３４を構成する。
【０２０４】
この事例でも、十字状枠型駆動コイル７４および八個の電磁石８４への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、前述した第１乃至第３の各実施形態の場合と同様に、回転動作及び全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。
【０２０５】
そして、上述した（２）乃至（５）の各事例にあって、各駆動コイル７１，７２，７３又は７４の所定のコイル辺部分に当接し且つ対応する各被駆動磁石６に個別に対向して前述した各制動用プレート９が各被駆動磁石毎に前述した駆動コイル側に固着装備されている。
又、この場合も上述した第３の実施形態の場合（図２１参照）と同様に、複数の各制動用プレート９に代えて同一部材からなる単一の板状部材を制動用プレート３９（図示せず）として装備してもよい。
【０２０６】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成され機能するので、これによると、特に精密加工用の可動テーブルを、同一面上で（高さ位置を変化させることなく）所定方向に自在に且つ円滑に精密移動させ若しくは元位置に復帰させることができ、前述したようにテーブル保持機構として同一面上で任意の方向に可動テーブルを移動可能としたものを装備したので、従来必要としていた二重構造の摺動機構が不要となり、このため、特別な精密加工等が不要となったことから加工組立作業の大幅な改善が可能となり、前述したように固定プレートにより駆動コイル等を有効に保持するように構成したので、装置全体の小型軽量化が可能となり、更に、テーブル駆動用の電磁駆動手段の一部を構成する複数の磁石に対向して非磁性部材からなる導電性の制動プレートを装備したので、可動テーブルの停止時の往復移動動作の繰り返しや周囲の振動等に起因して同一面内での微小振動等が発生しても、これを有効に抑制することが可能となり、これがため、当該可動テーブルの精密移動を円滑になし得るという従来にない優れた精密加工用ステージ装置を提供することができる。
【０２０７】
ここで、前述した各請求項の各構成にかかる動作およびその効果等について説明する。 まず、請求項１に記載の発明は、前述したように構成されている。このため、電磁駆動手段が作動すると、まず、当該電磁駆動手段が備えている固定プレート側の駆動コイルと被駆動磁石との間に電磁力が生じ、被駆動磁石が可動テーブルと共に所定の方向に移動力が付勢される。
【０２０８】
この場合、可動テーブルはテーブル保持機構によって同一面内での任意の方向への移動が許容された状態で保持されていることから、上下動することなく所定の方向に円滑に移動し、前述したテーブル保持機構の有する元位置復帰力と電磁駆動手段の電磁力との平衡のとれた位置（即ち、所定の移動停止位置）にて停止する。
【０２０９】
一方、この可動テーブルは、その移動／停止に際して急加速又は急減速されると、可動テーブル自体が急発進／急停止され、特に停止に際しては前述したテーブル保持機構の有する元位置復帰力との相互作用で繰り返し往復移動を起こしやすい。
【０２１０】
かかる場合、可動テーブルの急激な動作変化により当該被駆動磁石と制動用プレートとの間に電磁制動（うず電流ブレーキ）が働き、これにより、可動テーブルはその急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で徐々に円滑に移動することができる。
【０２１１】
又、この請求項１記載の発明では、制動用プレートを被駆動磁石に対向した状態で固定プレートに装備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段も、可動テーブルに装備した被駆動磁石とこれに対向して固定プレートに駆動コイルを装備するという簡単な構成としたので、二重構造の移動機構を備えた従来のものと比較して、装置全体の小型化および軽量化が可能となり、可搬性良好であるばかりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要することが無いことから、作業性も良好となり、生産性を高めることが可能となる。
【０２１２】
更に、駆動コイルの前述した被駆動磁石側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレートは、駆動コイルとの関係ではトランスの二次側回路と同等の回路を構成し、且つ制動用プレートの電気抵抗成分（うず電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
このため、この場合の一次側回路を構成する駆動コイルは、二次側回路が開放状態の場合に較べて比較的大きい電流を通電することができ、これがため、前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレートが無い場合に比較して比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
【０２１３】
又、この制動用プレートは、放熱板としても機能し、かかる点において駆動コイルの連続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊等）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性および信頼性を高めることができる。
【０２１４】
請求項２記載の発明では、前述した請求項１記載の発明で開示した可動テーブルに対して、これに対向し且つ所定間隔を隔てて補助テーブルを平行に一体的に連結装備すると共に、この補助テーブル側に前述したテーブル保持機構を装備し、更にこの補助テーブルに前述した被駆動磁石を装備する、という構成を採っている。
【０２１５】
このため、この請求項２記載の発明では、補助テーブルを介して可動テーブルを駆動するほかは前述した請求項１記載の発明と同等の機能を備えたものとなっており、更に、補助テーブルに被駆動磁石を装備したことから、組立て作業に際しては可動テーブルの損傷事故等の発生を有効に回避することができ、かかる点において当該装置の製造に際しての作業性および生産性の向上を図ることができる。
【０２１６】
請求項３記載の発明では、前述した請求項１又は２記載の精密加工用ステージ装置において、駆動コイルを複数個の田形状駆動コイルにより構成すると共に、この田形状駆動コイルの内側に位置する十字状部分に対応して前述した被駆動磁石を個別に配設する、という構成を採っている。
【０２１７】
このため、この請求項３記載の発明では、前述した請求項１又は２記載の発明と同等の機能を有するほか、田形状駆動コイルの内側に設定された許容移動範囲内において各被駆動磁石を（ひいては可動テーブル）を所定の方向に自在に且つ精密に移動させることが可能となる。
この場合、田形状駆動コイルは、実際には別に装備された駆動制御手段によって例えばＸ方向又はＹ方向の駆動力を対応する各被駆動磁石との間に発生せしめ、全体的にこれを統一制御して当該被駆動磁石を介して可動テーブルを所定の方向に移動させることが可能となっている。
【０２１８】
請求項４記載の発明では、前述した請求項３記載の精密加工用ステージ装置において、複数の被駆動磁石を永久磁石で構成する、という構成を採っている。
【０２１９】
このため、この請求項４記載の発明では、前述した請求項３記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、被駆動磁石を永久磁石としたことから電磁石のような通電回路が不要となり、その分、組み立て時及び保守点検時における作業の煩雑さを回避することができ、かかる点において、生産性および保守性の向上を図り、装置全体の耐久性を増すことができて都合がよい。
【０２２０】
請求項５記載の発明では、前述した請求項１，２又は３記載の精密加工用ステージ装置において、前述した複数の被駆動磁石を電磁石で構成すると共に、この各被駆動磁石を前述した駆動コイルに連動して順方向又は逆方向或いは通電停止状態に選択的に通電制御するように構成する、という手法を採っている。
【０２２１】
このため、この請求項５記載の発明では、前述した請求項１，２又は３記載の記載の発明とほぼ同等の機能を有するほか、更に、被駆動磁石を電磁石で構成したので、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせることができる。例えば、移動時の加速／減速に際しては駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し得るので、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅速に対応し得ることができる。被駆動磁石の磁束密度も自由に設定し得るので、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変えることができる。
【０２２２】
請求項６乃至７記載の各発明では、前述した制動用プレートを、複数の被駆動磁石に対応して個別に装備してもよいとし（請求項６）、又制動用プレートを各駆動コイル側の端部に固定してもよいとした（請求項７）。
更に、請求項８乃至９記載の各発明では、前述した制動用プレートを、前述した複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成してもよいとし（請求項８）、更に、この単一のプレート部材を前記各駆動コイルの各磁石側端部に固着装備してもよいとした（請求項９）。
【０２２３】
このようにしても、前述した各発明と同等の機能を有するほか、更に請求項６乃至７記載の各発明では、駆動コイル毎に制動用プレートが装備されるので、駆動コイル相互間に空間が設定されることから、保守点検作業の円滑化，即ち保守性の向上を図り得る。
【０２２４】
又、請求項８乃至９記載の各発明では、制動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成したので、組立作業が単純化され、かかる点において装置全体の生産性及び耐久性の向上および原価低減を図ることが可能となっている。
【０２２５】
又、上述した請求項８乃至９記載の各発明では、制動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成したので、組立作業が単純化され、かかる点において装置全体の生産性の向上および原価低減を図ることができる。
【０２２６】
請求項１０乃至１１記載の各発明では、前述した請求項１記載の発明で備えている制動用プレートを駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇所に装備した。
【０２２７】
このため、この請求項１０乃至１１記載の各発明は、前述した請求項１記載の発明と同等の作用効果を有するほか、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備したので、電磁制動の強さを自由に設定することができ、又、電磁駆動手段側では駆動コイル（固定子側）と被駆動磁石（可動子側）との間の隙間を更に小さく設定し得るので、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生させることが可能となっている。
【０２２８】
請求項１２乃至１３記載の各発明では、前述した請求項２記載の発明で備えている制動用プレートを駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇所に装備した。
【０２２９】
このため、この請求項１２乃至１３記載の各発明は、前述した請求項２記載の発明と同等の作用効果を有するほか、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備し得るので、前述した請求項１０〜１１の場合と同様に電磁制動の強さを自由に設定することができ、又、電磁駆動手段側では駆動コイル（固定子側）と被駆動磁石（可動子側）との間の隙間を更に小さく設定し得るので、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生することが可能となっている。
【０２３０】
請求項１４乃至１５に記載の各発明では、前述した請求項２記載の発明において、制動プレートを各被駆動磁石に対応した単一の制動プレートで構成し、この単一の制動プレートを本体部に固定し、且つこの単一の制動プレートで前述した駆動コイルを保持するようにし、そして、前述した請求項２記載の発明における固定プレートを削除した。
【０２３１】
このため、この請求項１４乃至１５に記載の各発明は、前述した請求項２記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、制動用プレートにて駆動コイルを保持すると共に固定プレートを削除したことから、装置全体の小型軽量化をより一層促進することが可能となり、これがためより一層の可搬性および汎用性を高めることができ、又構成要素の削減に伴って原価低減を図り得るという効果を奏する。
【０２３２】
請求項１６の発明では、前述した各発明において、前述した可動テーブルが移動した場合にその移動量を容量変化成分として検出する静電形センサを前記可動テーブルの一方と他方の側にそれぞれ装備すると共に、前記可動テーブルを介して相互に反対側に位置する前記各静電形センサからの前記移動量にかかる情報を入力しＸ方向信号およびＹ方向信号として差動出力する手段を備えたことを特徴とする。
このため、これによると、可動テーブルの移動情報を外部で用意に得ることができるので、装置の動作状況をリアルタイムで把握することができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２】図１の一部切り欠いた平面図である。
【図３】図１のＡーＡ線に沿った概略断面図である。
【図４】図１の下方からみた一部切り欠いた底面図である。
【図５】図１に開示した田形状駆動コイルと被駆動磁石および制動用プレートとの位置関係を示す説明図である。
【図６】図１の各構成部分とその動作制御系との関係を示すブロック図である。
【図７】図６に開示した動作制御系に付勢されて作動する補助プレート（可動プレート）の動作例を示す図で、図７（Ａ）は右上４５°の方向に補助プレート（可動プレート）が平面移動した場合を示す説明図、図７（Ｂ）は補助プレート（可動プレート）が角度θだけ回動した場合を示す説明図である。
【図８】図１乃至図４に開示した田形状駆動コイルの四つの角形小コイルに通電される四つの通電パターン（通電プログラムは予めプログラム記憶部に記憶される）とその機能とを示す図表である。
【図９】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図９（Ａ）は第１の制御モードと補助プレート（可動プレート）のＸ軸（正）方向への動作を示す説明図、図９（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１０】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１０（Ａ）は第３の制御モードと補助プレート（可動プレート）のＹ軸（正）方向への動作を示す説明図、図１０（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１１】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１１（Ａ）は第５の制御モードと補助プレート（可動プレート）のＸーＹ座標上の第１象限方向への動作を示す説明図、図１１（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１２】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１２（Ａ）は第７の制御モードと補助プレート（可動プレート）のＸーＹ座標上の第２象限方向への動作を示す説明図、図１２（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１３】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１３（Ａ）は第９の制御モードと補助プレート（可動プレート）のＸーＹ座標上の原点を中心として回動する場合を示す説明図、図１３（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１４】図１に開示した制動プレートと四つの田形状駆動コイル及び被駆動磁石との位置関係を示す図で、図１４（Ａ）は制動プレートを含む部分の構造を示す部分断面図、図１４（Ｂ）は図１４（Ａ）中のＡーＡ線に沿って見た平面図である。
【図１５】図１に開示した制動プレートの制動力発生原理を示す図で、図１５（Ａ）は図１の制動プレート部分を示す拡大部分断面図、図１５（Ｂ）はこの場合の図１４（Ａ）中のＡーＡ線に沿って見た制動プレートに生じるうず電流制動の発生状況をす説明図である。
【図１６】図１に開示した田形状駆動コイルと制動プレートとの電気的な関係を示す図で、図１６（Ａ）は両者を連結された場合の状態を示す等価回路、図１６（Ｂ）は制動プレートが無い場合の田形状駆動コイルの状態を示す等価回路である。
【図１７】図１に開示した第１実施形態の全体的な動作例を示す説明図である。
【図１８】図１７の動作例を平面的に見た場合の一例を示す説明図である。
【図１９】本発明の第２の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２０】図１９の一部切り欠いた平面図である。
【図２１】本発明の第３の実施形態を示す図で、図２１（Ａ）は一部省略した概略部分断面図、図２１（Ｂ）は図２１（Ａ）の矢印ＡーＡ線に沿ってみた一部省略した平面図である。
【図２２】本発明の第４の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２３】本発明の第５の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２４】本発明の第６の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２５】本発明の各実施形態で開示した四つの田形状駆動コイルの固定プレート上における他の配置例と被駆動磁石との関係を示す説明図である。
【図２６】本発明における電磁駆動手段の他の例を示す図で、図２６（Ａ）は単一の口状駆動コイルと四個の被駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図、図２６（Ｂ）は四個の口状駆動コイルと八個の被駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図である。
【図２７】本発明における電磁駆動手段の他の例を示す図で、図２７（Ａ）は単一の口状駆動コイルと四個の被駆動磁石とを備えた場合の他の例を示す説明図、図２７（Ｂ）は十字状枠型に形成されたの十字状枠形駆動コイルと八個の被駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図である。
【符号の説明】
１，３１ 可動テーブル
２ テーブル保持機構
２Ａ，２Ｂ ピアノ線
３，３３ 本体部としてのケース本体
４，３４．６４ 電磁駆動手段
５ 補助テーブル
６，６６ 被駆動磁石
７ 田形状駆動コイル
８，３８ 固定プレート
９，３９，４９，５９，６９ 制動用プレート
４１，５１ 電磁制動機構
４６，５６ 制動用磁石
７１，７２，７３ 口状駆動コイル
７４，十字枠状駆動コイル
８１，８２，８３，８４ 被駆動磁石としての電磁石
【発明の属する技術分野】
本発明は、精密加工用ステージ装置に係り、特にＩＣやＬＳＩ等の半導体生産工程における精密加工，配線作業，或いはその検査等で使用される精密加工用ステージ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体産業等では、ＩＣやＬＳＩ等の生産工程で被加工物を精密加工の場に配設し保持するのに、多くは精密移動可能な可動テーブルを備えた加工用ステージ装置が使用されている。
この場合、可動テーブルをＸーＹ面上の任意の位置に精密移動させるには、通常は、まずＸ方向移動機構で可動テーブル全体をＸ方向に移動し、次に（又は同時に）、この可動テーブル及びＸ方向移動機構の全体をＹ方向移動機構にてＹ方向に移動する、という二重重ね構造の移動体保持機構を備えた方式のものが多い。
又、この種の加工用ステージ装置は、可動テーブルをＸ方向およびＹ方向への移動制御に際しては、比較的低速度で駆動し且つ機械的な制動機構を装備したものが多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例のものは、可動テーブルの移動に際しては、上述したように、Ｘ方向へ移動させるＸ方向移動機構とＹ方向へ移動させるＹ方向移動機構とが交差した二重構造の移動体保持機構を備えており、特に精密を要する当接移動部分はすり合わせ構造を備えていることから、加工に多くの手間がかかり、又、組立時の精密調整にも熟練を要するという不都合があった。このため、生産性が悪く、多くは装置全体が高価なものとなっていた。
【０００４】
更に、当該テーブル移動に関するシステムの自動化に際しては、上述した二重構造の駆動機構の連結および位置センサの装備等に多くのスペースをとり、装置全体が大型化するという不都合があった。
また、上記従来例のものは、可動テーブルに元位置復帰用の復帰ばねが併設されているものが多い。この場合、可動テーブルの停止に際しては当該可動テーブルに付加される加速又は減速の駆動力に起因して当該可動テーブルに停止位置での往復微小動作が生じ易く、このため、所定位置での停止に際しては摩擦を利用した機械的な制動装置が不可欠なものとなっていた。
【０００５】
一方、この種の機械的な摩擦制動は作動時に微小振動が生じ易いことからミクロン単位の精密移動には停止時の動作が不安定となり、又当該機械的な制動機構の併設によって装置全体が大型化して可搬性が悪く、保守性も悪いという不都合が常に伴なっていた。
【０００６】
【発明の目的】
本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善し、とくに、同一面上で所定方向に円滑に精密加工用の可動テーブルを精密移動させる機能を備えると共に、組立作業の大幅な改善および装置全体の小型軽量化を可能とし、更に、可動テーブルの停止時の往復動作や微小振動等を有効に抑制し、これによって当該可動テーブルの精密移動をより迅速に且つ円滑になし得る精密加工用ステージ装置を提供することを、その目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明にかかる精密加工用ステージ装置は、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブルを保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備えている。
【０００８】
この内、前記電磁駆動手段は、前記可動テーブル側の所定位置に固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置されたコイル辺を有し且つ前記各被駆動磁石を介して前記可動テーブルに電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、前記駆動コイルを定位置にて保持すると共に前記本体部に固定された固定プレートとを備えて構成されている。
又、前記固定プレートは、前記可動テーブルと前記テーブル保持機構との間に配設されている。更に、前記可動テーブルから前記テーブル保持機構に向けて前記固定プレートを貫通して突設されたテーブル側脚部を介して、前記テーブル保持機構が、前記可動テーブルを空中で安定した状態で保持する構成とした。そして、更に、前記各被駆動磁石の磁極面に近接対向して非磁性金属部材からなる制動用プレートを配設すると共に、この制動用プレートを、前記固定プレートに保持されている前記駆動コイルの端面部分に固着装備する、という構成を採っている（請求項１）。
【０００９】
このため、本発明によると、電磁駆動手段の作動により、まず、当該電磁駆動手段が備えている固定プレート側の駆動コイルと被駆動磁石との間に電磁力が生じ、当該電磁力によって被駆動磁石が可動テーブルと共に所定の方向に移動力が付勢される。この場合、可動テーブルはテーブル保持機構によって同一面内での任意の方向への移動が許容された状態で保持されていることから、上下動することなく所定の方向に円滑に移動し、前述したテーブル保持機構の有する元位置復帰力と電磁駆動手段の電磁力との平衡のとれた位置（即ち、所定の移動停止位置）にて停止する。
【００１０】
一方、この可動テーブルは、その移動／停止に際しては電磁駆動力によって，又はテーブル保持機構の有するばねの復帰力によって急に加速される場合が多い。この場合、可動テーブル自体が急発進／急停止されることとなり、このため、特に停止に際しては可動テーブルの慣性力と前述したテーブル保持機構の有する元位置復帰力との間で停止時に微小往復動作が生じやすい。
【００１１】
かかる場合、被駆動磁石が装備された可動テーブルが急激に移動すると、当該被駆動磁石と非磁性金属部材からなる制動用プレートとの間に相対的な移動速度に比例した大きさの電磁制動（うず電流ブレーキ）が働き、これにより、可動テーブルはその急激な移動動作（振動も含めて）が抑制され、所定方向に安定した状態で且つ円滑に移動することができる。
【００１２】
又、この発明では、制動用プレートを被駆動磁石に対向した状態で固定プレート装備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段も可動テーブルに装備した被駆動磁石とこれに対向して固定プレートに駆動コイルを装備するという簡単な構成であることから、装置全体を小型化および軽量化することが可能となり、可搬性良好であるばかりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要することがないことから、作業性も良好となり、かかる点において二重構造の移動機構を備えた従来のものに比較して生産性を大幅に高めることができる。
【００１３】
更に、駆動コイルの前述した被駆動磁石側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレートは、駆動コイルにより形成される磁束を鎖交する部分がコイルと同等に機能することからトランスの二次側回路と同等の回路を構成し、同時にこの二次側回路は、制動用プレートの電気抵抗成分（うず電流損を生じる）を介して常時短絡された形態を構成する。
【００１４】
このため、この場合の一次側回路を構成する駆動コイルは、二次側回路が開放状態の場合（制動用プレートがない場合）に較べて比較的大きい電流を通電することができ、これがため、前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレートが無い場合に較べて比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
【００１５】
又、この制動用プレートは、放熱板としても機能し、かかる点において駆動コイルの連続運転に伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制して通電電流を長時間ほぼ一定レベルに設定することができ、このため、電磁駆動手段から出力される電磁駆動力に対する外部からの電流制御を安定した状態にて継続することができ、経年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性を、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
【００１６】
ここで、前述した可動テーブルに対向し且つ所定間隔を隔てて平行に補助テーブルを一体的に連結装備すると共に、この補助テーブル側に前述したテーブル保持機構を装備し、更にこの補助テーブルに前述した被駆動磁石を装備すると共に、これに対向するように前述した駆動コイルを固定プレートに配設するように構成しても良い（請求項２）。
【００１７】
このようにすると、補助テーブルに被駆動磁石を装備することから、組立て作業に際しては可動テーブルの損傷事故等の発生を有効に回避することができ、かかる点において当該装置の製造に際しての作業性および生産性の向上を図ることができる。
【００１８】
また、前述した駆動コイルを複数個の田形状駆動コイルにより構成すると共に、この田形状駆動コイルの内側に位置する十字状部分に対応して前述した被駆動磁石を個別に配設するように構成しても良い（請求項３）。
【００１９】
このようにすると、田形状駆動コイルの内側に設定された許容移動範囲内において各被駆動磁石を（ひいては可動テーブル）を所定の方向に自在に且つ精密に移動させることが可能となる。この場合、田形状駆動コイルは、実際には別に装備された駆動制御手段によって例えばＸ方向またはＹ方向の駆動力を対応する各被駆動磁石との間に発生せしめ、全体的にこれを統一制御して当該被駆動磁石を介して可動テーブルを所定の方向に移動させるようになっている。
【００２０】
又、前述した複数の被駆動磁石については、これを永久磁石で構成するようにしてもよい（請求項４）。
【００２１】
この場合、前述した被駆動磁石を永久磁石としたことから電磁石のような通電回路が不要となり、その分、組み立て時及び保守点検時における作業の煩雑さを回避することができ、かかる点において、生産性および保守性の向上を図り、装置全体の耐久性を増すことができて都合がよい。
【００２２】
更に、前述した複数の被駆動磁石を電磁石で構成すると共に当該各被駆動磁石を前述した駆動コイルに連動して順方向又は逆方向或いは通電停止状態に選択的に通電制御するように構成してもよい（請求項５）。
【００２３】
このように、被駆動磁石を電磁石で構成すると、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせることができる。例えば、移動時の加速／減速に際しては駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し得るので、可動テーブルの移動方向の変化に対して迅速に対応し得ることが可能となる。
【００２４】
又、前述した制動用プレートについては、これを、複数の被駆動磁石に対応して個別に装備してもよい（請求項６の場合）。或いはこの場合、制動用プレートを各駆動コイル側の端部に固定してもよい（請求項７の場合）としてもよい。
更に、前述した制動用プレートついては、これを、前述した複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成してもよい（請求項８の場合）。更に、この単一のプレート部材を前記各駆動コイルの各磁石側端部に固着装備してもよい（請求項９の場合）。
【００２５】
このようにしても、前述した各発明と同等の機能を得ることができ、更に、駆動コイル毎に制動用プレートが装備されるので、駆動コイル相互間に空間が設定されることから放熱効果が有効に促進されるほか、保守点検作業の円滑化，即ち保守性の向上を図り得るという利点がある。
【００２６】
又、この場合、制動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成したので、組立作業が単純化され、かかる点において装置全体の生産性の向上および原価低減を図ることができる。
【００２７】
更に、前述した制動用プレートを駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇所に装備してもよい。また、この場合、電磁制動機構は、例えば可動テーブルの背面側の中央部に装備してもよい（請求項１０乃至１１）。
【００２８】
このようにすると、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備し得るので、電磁制動の強さを自由に設定することができ、又、電磁駆動手段側では駆動コイル（固定子側）と被駆動磁石（可動子側）との間の隙間を更に小さく設定し得るので、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生することができるという利点がある。
【００２９】
又、前述した制動用プレートを駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇所に装備してもよい。この場合、電磁制動機構は、例えば可動テーブルと固定プレートとの間に装備してもよい。
この場合、制動用プレートについては固定プレート上に一枚装備し、これに対応して専用の制動用磁石を可動テーブルの背面に装備してもよい。尚、制動用プレートと制動用磁石とは装備箇所を逆にしてもよい（請求項１２乃至１３）。
【００３０】
このようにすると、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備し得るので、電磁制動の強さを自由に設定することができ、又、電磁駆動手段側では駆動コイル（固定子側）と被駆動磁石（可動子側）との間の隙間を更に小さく設定し得るので、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生することができるという利点がある。
【００３１】
更に、前述した制動プレートを各被駆動磁石に対応した単一の制動プレートで構成し、この単一の制動プレートに固定プレートとしても機能させるため本体部に固定し、且つこの単一の制動プレートで前述した駆動コイルを保持するようにしてもよい（請求項１４乃至１６）。
【００３２】
この場合、前述した電磁駆動手段の複数の各被駆動磁石の装備箇所に対応して、前述した可動テーブルの駆動コイル側に、前述した各被駆動磁石と同等に機能する第二の被駆動磁石をそれぞれ装備してもよい（請求項１５）。
このようにしても、前述した請求項２記載の発明と同等の機能を有するほか、制動用プレートにて駆動コイルを保持すると共に固定プレートを削除したことから、装置全体の小型軽量化をより一層促進することが可能となり、これがため汎用性を高めることができ、又構成要素の削減に伴って原価低減を図ることができるという利点も生じる。
【００３３】
更に、上記各発明において、前記可動テーブルが移動した場合にその移動量を容量変化成分として検出する静電形センサを前記可動テーブルの一方の側と他方の側にそれぞれ装備すると共に、前記可動テーブルを介して相互に反対側に位置する前記各静電形センサからの前記移動量にかかる情報を入力しＸ方向信号およびＹ方向信号として差動出力する手段を備えた構成としても良い（請求項１６）。
このようにすると、可動テーブルの移動方向および移動距離にかかる情報が前述した静電形センサで検出され、差動出力する手段を介して常時外部出力されるため、可動テーブルの移動状況を雑音の少ない状態で外部から容易に認識することができる。
もよい。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図に基づいて説明する。
【００３５】
【第１の実施形態】
本発明の第１の実施の形態を図１乃至図１８に示す。
この図１乃至図１８において、符号１は可動テーブルを示し、符号２はテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構２は、図１の下方部分に配設され、前述した可動テーブル１が同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブル１に元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブル１を保持するように構成されている。
【００３６】
このテーブル保持機構２は本体部としてのケース本体３によって支持されている。
ケース本体３は、本実施形態では図１に示すように上方および下方が開放された箱体状に形成されている。付号４は電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段４は、その主要部がケース本体３側に保持され、前述した可動テーブル１に移動力を付勢する機能を備えている。符号３Ａは、ケース本体３の内壁部周囲に突設された駆動手段保持部を示す。
電磁駆動手段４は、本実施形態では可動テーブル１と後述する補助テーブル５との間に配設されている。
【００３７】
又、前述した可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に磁性部材からなる補助テーブル５が連結装備されている。そして、前述したテーブル保持機構２は、この補助テーブル５側に装備され、該補助テーブル５を介して可動テーブル１を保持するように構成されている。
【００３８】
前述した電磁駆動手段４は、補助テーブル５の所定位置に固定装備された四個の正方形形状の被駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対して前述した可動テーブル１の所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持すると共に前述した補助テーブル５の可動テーブル１側に装備された固定プレート８とを備えている。この内、田形状駆動コイル７と磁性部材からなる固定プレート８とによって電磁駆動手段４の要部が構成されている。
【００３９】
更に、上述した田形状駆動コイル７の前述した被駆動磁石６側の端面側には、非磁性金属部材（例えば電気抵抗の少ない銅製部材）からなる制動用プレート９が被駆動磁石６の磁極面に近接して個別に配設されている。この制動用プレート９は前述した固定プレート８側に固着装備されている。
【００４０】
以下、これを更に詳細に説明する。
〔可動テーブルと補助テーブル〕
まず、図１乃至図４において、可動テーブル１は円形状に形成され、補助テーブル５は四角形状に形成されている。この補助テーブル５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平行に配置され、その中心部の連結支柱１０を介して前述した可動テーブル１に一体的に連結されている。このため、この可動テーブルは、補助テーブル５と平行状態を維持しつつ一体的に移動し且つ一体的に回転し得るようになっている。
【００４１】
連結支柱１０は、前述したように可動テーブル１と補助テーブル５とを連結する連結部材であって、両端部に鍔部１０Ａ，１０Ｂを備えた断面工字状に形成され、その両端部外側中央には、可動テーブル１と補助テーブル５との各中心部に形成された位置決め孔１ａ，５ａに係合する突起１０ａ，１０ｂが設けられている。
【００４２】
そして、可動テーブル１と補助テーブル５とは、この突起１０ａ，１０ｂと鍔部１０Ａ，１０Ｂとによって位置決めされ当該連結支柱１０に固着され一体化されている。この一体化に際しては本実施形態では接着剤が用いられているが、溶接にて部分的に接合しても、或いは突起１０ａ，１０ｂ部分を位置決め孔１ａ，５ａに圧入し他の部分を接着剤又は溶接等によって一体化してもよい。
【００４３】
又、可動テーブル１或いは補助テーブル５の何れか一方をネジ止めにて前述した連結支柱１０の鍔部１０Ａ又は１０Ｂに着脱自在に固着してもよい。この場合、ネジ止め後に、数本のノックピンを位置決め固定用として係合する両者間に打ち込むとよい（図示せず）。このようにすると、可動テーブル１と補助テーブル５との一体化を更に有効に実現することができて都合がよい。
【００４４】
〔テーブル保持機構〕
前述したテーブル保持機構２は、本実施形態にあっては可動テーブル１を保持しつつ当該可動テーブル１をその高さ位置を変えることなく同一面上のいずれの方向へも自在に移動可能とする機能を備えたものであり、補助テーブル５を介してこれを実行するようにしたものである。
【００４５】
このテーブル保持機構２は、全体的にはリンク機構を三次元空間に応用したもので、所定間隔を隔てて設置される二本のピアノ線（可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材であれば他の部材であってもよい）を一組として予め補助テーブル５の端部周囲のコーナー部分に対応して四組準備し、この四組のピアノ線を組毎に、四角形状の中継プレート２Ｇの各四隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて植設する。そして、内側に位置する四本のピアノ線２Ａで補助テーブル５を下方から保持し、外側に位置する四本のピアノ線２Ｂで中継プレート２Ｇを本体部３から揺動自在に吊り下げたような構成とした。
【００４６】
これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が中継プレート２Ｇと各四本のピアノ線２Ａ，２Ｂとによって空中で安定した様態で保持され、その水平面内での移動は、後述するように同一の高さ位置を維持しつつ何れの方向にも自在に移動可能となっている。同一面内での回転動作もほぼ同様に可能となる。
【００４７】
これを更に詳述する。
前述したテーブル保持機構２は、補助テーブル５の周端部の四隅部分からそれぞれ図１の下方に向けて植設された四本のテーブル側ピアノ線２Ａと、この各テーブル側ピアノ線２Ａの図１における下端部に装備された中継プレート２Ｇと、この中継プレート２Ｇを本体部側から吊り下げるように構成され前述したテーブル側ピアノ線２Ａの外側に装備された本体側ピアノ線２Ｂとを備えている。
【００４８】
この四本のテーブル側ピアノ線２Ａは、図１における上端部が補助テーブル５に固着され、下端部が中継プレート２Ｇに固着されている。符号５Ａ，５Ｂは補助テーブル５の下面側の二箇所に設けられた下方突出部を示す。この下方突出部５Ａ，５Ｂによってテーブル側ピアノ線２Ａの固定位置が設定されている。
【００４９】
又、この四本の各テーブル側ピアノ線２Ａの外側には、所定間隔Ｓを隔てて本体側ピアノ線２Ｂがそれぞれ個別に且つ平行に配設されている。この本体側ピアノ線２Ｂは、その下端部が前述したテーブル側ピアノ線２Ａと同様に中継プレート２Ｇに固着され、その上端部がケース本体３の内壁部に設けられた本体側突出部３Ｂに固着されている。
これらの各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、前述したように可動テーブル１および補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材によって形成されている。
【００５０】
これにより、前述した可動テーブル１は、まず、補助テーブル５と共に中継プレート２Ｇ上にて内側の４本のテーブル側ピアノ線２Ａによって支持され、当該４本のテーブル側ピアノ線２Ａの弾性限界内においてリンク機構の原理に従ってその平行移動および面内での回転が許容された状態となっている。
【００５１】
一方、中継プレート２Ｇは、当該中継プレート２Ｇ上の外側の４本のテーブル側ピアノ線２Ｂによって本体側突出部３Ｂに吊持されていることから、ケース本体３に対してはその平行移動および面内での回転が同様に許容された状態となっている。
【００５２】
このため、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が、外力に付勢されてその面内で移動し又は回転すると、後述する図１７に示すようにテーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂが同時に弾性変形して中継プレート２Ｇが平行状態を維持しつつ上下動する。即ち、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が外力によってその面内で移動し又は回転すると、その高さ位置の変動は中継プレート２Ｇによって吸収される。
これにより、可動テーブル１は、外力に付勢されて移動しても、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性限界内において何れの方向へも同一高さを維持しつつ移動することが可能となっている。
【００５３】
ここで、テーブル側およびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは同一の直径を備え同一の弾性を備えたものが使用され、その露出部分の長さＬはそれぞれ全く同一に設定されている。又、各ピアノ線２Ａ，２Ｂは、例えば図１，図３に示すように本実施形態では左右方向に沿って配設されているが、ＸーＹ面上におけるＸ軸およびＹ軸に対してそれぞれ線対称に成る位置に配設されておれば、図２に示す位置以外の位置に配設してもよい。
【００５４】
そして、上述したように各ピアノ線２Ａ，２Ｂを配置することにより、可動テーブル１の移動に際して各ピアノ線２Ａ，２Ｂには弾性応力がそれぞれ均一に生じることから、可動テーブル１の元位置復帰を含めて可動テーブル１を円滑に移動し得るという利点を得ることができる。
【００５５】
このように、上述したテーブル保持機構２では、例えば補助テーブル５が全体的に同一方向にスライド移動すると、各組の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは全て同一に変形をすることとなる。この場合、本体側ピアノ線２Ｂは端部が保持された状態で弾性変形することから、同様に弾性変形するテーブル側ピアノ線２Ａの変形動作により補助テーブル５の高さ位置は不変となり、代わって、両ピアノ線２Ａ，２Ｂに共通に支持された中継プレート２Ｇの高さ位置が変動する。
【００５６】
換言すると、この中継プレート２Ｇが両ピアノ線２Ａ，２Ｂの変形で生じる高さ位置の変動を吸収することになり、これにより、補助テーブル５（即ち可動テーブル１）は全体的に高さ変動することなく同一面内でスライド移動することとなる。この場合、補助テーブル５から駆動力を開放すると、当該補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用によって一直線に元位置に復帰する。
【００５７】
また、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が同一面内で回転駆動された場合にも、同等の理由から補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は全体的にほぼ同一の高さを維持しつつ同一面内で回転動作することとなる。そして、この場合も駆動力を開放すると、補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用により一直線に元位置に復帰する。
【００５８】
〔電磁駆動手段〕
可動テーブル１と補助テーブル５との間には、前述したように、補助テーブル５を介して可動テーブル１に対し所定の移動力を付勢する電磁駆動手段４が装備されている（図１参照）。
【００５９】
この電磁駆動手段４は、前述したように、本実施形態では補助テーブル５上に装備された四個の被駆動磁石（本実施形態では永久磁石が使用されている）６と、この各被駆動磁石６を介して可動テーブル１に所定の移動方向に向けて所定の電磁力を付勢する四個の田形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７を保持する固定プレート８とを備えている。
【００６０】
この内、固定プレート８は、図１に示すように、補助テーブル５の可動テーブル１側（補助テーブル５と可動テーブル１との間）に装備され、その周囲がケース本体３に固着装備されている。ここで、この固定プレート８については、図１の左右両端部のみがケース本体３に固定装備されるように構成してもよい。この固定プレート８の中央部には、前述した連結支柱１０の所定範囲内での平行移動を許容する貫通穴８Ａが形成されている。この貫通穴８Ａは、本実施形態では円形のものが形成されているが、四角形であっても或いはその他の形状であってもよい。
【００６１】
前述した固定プレート８は、前述したようにその周囲全体が本体側突出部３に保持されている。この場合、固定プレート８と本体側突出部３Ａとは、その一体化を堅牢にするため、ネジ止め後にノックピン等で一体化しても或いは溶接等で一体化してもよい。このようにすると、可動テーブルのミクロン（μ）単位の変位や移動に対しても、固定プレート８がケース本体３に対して位置ずれを生じることなく円滑にこれに対応することができるという利点が生じる。
【００６２】
前述した四個の被駆動磁石６は、本実施形態では図２，図３に示すように、駆動コイルとの対向面が四角形状の永久磁石が使用され、補助テーブル５の上面における直交するＸ軸，Ｙ軸からなるＸーＹ面上で、中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上にそれぞれ配設され固着されている。
この四個の被駆動磁石６に対向する位置には、中央部に十字状のコイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６を介して前述した可動テーブル１に所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７が、前述した四個の被駆動磁石６に個別に対応して固定プレート８上の定位置に、固着装備されている。
【００６３】
この場合、四個の被駆動磁石６の向きは、田形状駆動コイル７に面する側の磁極が、本実施形態ではＸ軸上のものはＮ極に、Ｙ軸上のものはＳ極に、それぞれ設定されている（図２，図３参照）。
【００６４】
このため、十字状のコイル辺の縦方向又は横方向に生じる電流と被駆動磁石６とのあいだに発生する電磁力は、常にＸ軸方向又はＹ軸方向に統一され、その合力が常に最大値となるように設定されている。このため、発生する電磁力を効率良く可動テーブル１に対する駆動力として出力することが出来て都合がよい。
【００６５】
また、前述した、田形状駆動コイル７については、その大きさは内側に有する十字状コイル辺の領域が前述した被駆動磁石６の最大移動範囲を許容する大きさに設定されている。
【００６６】
このため、四個の被駆動磁石６との間に生じる電磁力は、田形状駆動コイル７が固定プレート８上の定位置に固定されていることにより、当該被駆動磁石６を介して補助テーブル５に対する所定方向への移動力として確実に出力されることとなる。
【００６７】
〔田形状駆動コイル〕
電磁駆動手段４の主要部を成す田形状駆動コイル７は、例えば図５に示すように、実際にはそれぞれ独立して通電可能な四個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄにより構成されている。
【００６８】
このため、各角形小コイル７ａ〜７ｄの通電方向を後述する動作制御系によって外部から切り換え制御することにより、例えば田形状駆動コイル７の内部の十字状部分に流れる電流を図中の縦方向又は横方向の何れか一方に限定して通電（正又は逆方向を含めて）することが可能となり、これにより対応して配置された被駆動磁石６に対しては、フレミングの左手の法則に従って当該各被駆動磁石６を所定の方向へ押圧する電磁力（反力）を出力することができる。
【００６９】
この四個の角形小コイル７ａ〜７ｄに生じる電磁力の方向を組み合わせることにより、前述した田形状駆動コイル７の内側に位置する十字状のコイル辺部分に、縦方向又は横方向等の何れか一方への通電状態が設定され、これによって、対応する被駆動磁石６に所定方向への電磁駆動力が出力される。そして、前述した四個の被駆動磁石６に生じる電磁駆動力の合力によって、前述した補助テーブル５に対してＸーＹ軸上で回転動作を含む任意の方向に向けて移動力が付勢されるようになっている。
【００７０】
これら四個の角形小コイル７ａ〜７ｄに対する一連の通電制御の手法については、後述するプログラム記憶部２２の説明箇所（図６，図８）で詳述する。
又、この四個の角形小コイル７ａ〜７ｄは中空のコイルもよいが、内側にフェライト等の被導電性磁性部材を充填したものであってもよい。
符号９は、被駆動磁石６に近接対向して田形状駆動コイル７側に固定装備された制動用プレートを示す。
【００７１】
〔位置検出センサ機構〕
前述した電磁駆動手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）の移動状態は、位置検出センサ機構２５によって検出される。
【００７２】
この位置検出センサ機構２５は、図６に示すように、本実施形態では静電容量型の複数の検出電極（本実施形態では８個）を備えた容量センサ群２６と、この容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を電圧変換すると共に所定の演算をして位置変化情報として後述するテーブル駆動制御手段２１に送り込む位置情報演算回路２７とを備えた構成となっている。
【００７３】
この内、位置情報演算回路２７は、前述した容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を個別に電圧変換する信号変換回路部２７Ａと、この信号変換回路部２７で変換された複数の容量変化成分にかかる電圧信号を所定の演算によりＸーＹ座標上の位置を示すＸ方向位置信号ＶX 及びＹ方向位置信号ＶY に変換し、更には回転角信号θを演算して出力する位置信号演算回路部２７Ｂとにより構成されている。
【００７４】
前述した複数の容量センサ群２６は、図１乃至図４に示すように、補助テーブル５の周囲の下面部分に対向して且つ前述した本体側突出部３Ｂの上面に所定間隔を隔てて配設された８個の角形の容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 ，２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ，２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 と、これに対応して前述した補助テーブル５の周囲の下面部分に設定された比較的幅の広い共通電極（図示せず）とにより構成されている。
【００７５】
そして、上記各容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 ，２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ，２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 の内、容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 が図２，図３の右端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備され、これに対して容量検出電極２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 が図２，図３の左端部に上下に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
【００７６】
また、上記各容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 ，２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ，２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 の内、容量検出電極２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 が図２，図３の上端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備され、容量検出電極２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 が図２，図３の下端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備されている。
【００７７】
そして、例えば前述した補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）が電磁駆動手段４に付勢されて図７（Ａ）に示すように矢印Ｆの方向（図中、右上方向）に移動動作した場合、本実施形態では、補助テーブル５の両側に（及び上下方向に）位置する一方の容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 （２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ）と他方の２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 （２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 ）で検出される容量変化成分が、信号変換回路２７Ａで電圧変換された後に位置信号演算回路２７Ｂに送り込まれ、この位置信号演算回路２７Ｂで前述した各変換電圧を入力してＸ方向位置信号ＶX ，Ｙ方向位置信号ＶY として差動出力するように構成されている。
【００７８】
又、前述した補助テーブル５が電磁駆動手段４に付勢されて図７（Ｂ）に示すように矢印方向に回転動作した場合、本実施形態では、上述した場合と同様に各部が作動し同様に機能し、変化成分が電圧変換されて所定の回転角信号θとして差動出力されるように構成されている。
【００７９】
このため、本実施形態にあっては、図３の左右（及び上下）の各容量検出電極に同時に印加されるノイズを差動出力（例えば、Ｘ軸方向の一端部と他端部に配置された容量検出電極に検知される容量変化の差をとること：外部雑音排除機能）によって打ち消すことができ、同時に測定値が電圧変換された後にその変化分が合算されて出力されるので（減少した分がマイナス分として引き算されること、例えばＡ−（−Ａ）＝２Ａの如きもの）、これにより補助テーブル５（可動テーブル１）の位置情報を高感度に出力することができるという利点がある。
【００８０】
〔動作制御系〕
本実施形態にあっては、前述した電磁駆動手段４には、前述した複数の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御して前述した可動テーブル１の移動若しくは回転動作を規制する動作制御系２０が併設されている（図６参照）。
【００８１】
この動作制御系２０は、図６に示すように、前述した電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７を所定の制御モードに従って個別に駆動し前述した可動テーブル１を所定の方向に移動制御するテーブル駆動制御手段２１と、このテーブル駆動制御手段２１に併設され前述した可動テーブル１の移動方向，回転方向，およびその動作量等が特定された複数の制御モードにかかる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶部２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを備えている。
【００８２】
テーブル駆動制御手段２１には、複数の各田形状駆動コイル７に対する所定の制御動作を指令する動作指令入力部２４が併設されている。又、このテーブル駆動制御手段２１には、前述した可動テーブル１の移動中および移動後の位置情報が、前述した位置検出センサ機構２５によって検出され後述するように高感度に演算処理されて送り込まれるようになっている。
【００８３】
上述したテーブル駆動制御手段２１は、本実施形態にあっては、動作指令入力部２４からの指令に基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２２から選択し前述した複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電制御する主制御部２１Ａと、この主制御部２１Ａにて設定される制御モードに従って所定の四個の各田形状駆動コイル７，７……を同時に且つ個別に駆動制御するコイル選択駆動制御部２１Ｂとを備えている。
【００８４】
又、主制御部２１Ａは、テーブル位置を検出する位置検出センサ機構２５からの入力情報に基づいて前述した可動テーブル１の位置を算定し或いはその他の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。
符号４Ｇは、前述した電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイル７に所定の電流を通電する電源回路部を示す。
【００８５】
更に、上記テーブル駆動制御手段２１は、前述した位置検出センサ機構２５からの情報を入力して所定の演算を行いこれに基づいて予め動作指令入力部２４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する位置ずれ演算機能と、この算定された位置ずれ情報に基づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の基準位置に当該可動テーブル１を移送制御するテーブル位置補正機能とを備えている。
【００８６】
このため、本実施形態にあっては、可動テーブル１の移動方向が外乱等によってずれた場合には当該ずれを修正しながら可動テーブル１を所定の方向に移送制御することとなり、これにより当該可動テーブル１は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送されることとなる。
【００８７】
〔プログラム記憶部〕
前述したテーブル駆動制御手段２１は、プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラム（所定の通電パターンおよびその選択組合せである所定の制御モード）に従って前述した電磁駆動手段４の四個の田形状駆動コイル７を個別に駆動制御するように構成されている。
【００８８】
即ち、前述したプログラム記憶部２２には、本実施形態にあっては前述した四個の各田形状駆動コイル７，７，……に対する基本的な四つの通電パターンを実行するためのプログラムが記憶されている（図６，図８参照）。
【００８９】
図８は、田形状駆動コイル７（固定子側）の四個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに対する四種類の通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと、その時に各田形状駆動コイルの十字辺部分に生じる電流の向き、及びこれに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
【００９０】
この図８において、通電パターンＡの場合は、角形小コイル７ａ，７ｂに対しては左回りの電流が，又角形小コイル７ｃ，７ｄに対しては右回りの電流がそれぞれ通電制御され、これによって中央部に位置する十字状のコイル辺部分では、外部に出力される磁束が全体的に加算又は相殺され、その結果としてＸ軸の正方向の電流ＩA のみが通電されたのと同等の状態となる。
【００９１】
又、通電パターンＢでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによってＸ軸の負方向の電流ＩB のみが通電されたのと同等の状態となる。通電パターンＣでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによってＹ軸の正方向の電流ＩC のみが通電されたのと同等の状態となる。同様に、通電パターンＤでは、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、これによって、Ｙ軸の負方向の電流ＩD のみが通電されたのと同等の状態となる。
この上記四つの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、プログラム記憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラムに基づいて実行されるようになっている。
【００９２】
又、図８に開示した白抜き矢印は、これらの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６との間に発生する電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。
【００９３】
この場合、対応する各電磁力は田形状駆動コイル７の通電コイル辺部分にフレミングの左手の法則によって発生するが、当該田形状駆動コイル７が固定プレート８上に固定されていることからその反力が電磁駆動力（推力）として被駆動磁石（永久磁石）６側に向けて発生する。
図８に開示した白抜き矢印は、その反力（電磁駆動力）を示すものである。このため、この反力（電磁駆動力）は、被駆動磁石６の磁極Ｎ，Ｓの種類によってその向きが反転する。
【００９４】
更に、このプログラム記憶部２２には、前述した固定プレート８上の中央部を原点として想定されるＸーＹ平面上にて可動テーブル１をＸ軸の正負二方向およびＹ軸の正負二方向にそれぞれ移動せしめる第１乃至第４の制御モードと、ＸーＹ平面上に設定される各象限内の所定方向に可動テーブル１を移動せしめる第５乃至第８の制御モードと、可動テーブル１を所定位置にて時計方向又は反時計方向に回転動作せしめる第９乃至第１０の各制御モードにかかる各動作プログラムが記憶されている。
【００９５】
図９乃至図１３に、それぞれ前述した第１乃至第１０の各制御モードにかかる動作プログラムを実行した場合に生じる各田形状駆動コイル７の機能および補助テーブル（可動テーブル１）の動作状態の一例をそれぞれ示す。
【００９６】
図９（Ａ）（Ｂ）は、第１の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第１の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御される。図９（Ａ）において、記号Ｎ，Ｓは、各被駆動磁石（永久磁石）６の磁極の種類を示す。
【００９７】
その結果、この第１の制御モードでは、各被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦX1，ＦX2，ＦX3，ＦX4の方向に電磁駆動力が発生し、これによって、Ｘ軸上の正の方向（矢印 ＋ＦX ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
【００９８】
図９（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸーＹ座標上に例示したものである。これより、Ｘ軸上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｙ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力を発生させることが重要となる。
【００９９】
第２の制御モードの場合は、Ｘ軸上の負の方向（図示せず）に補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを上述した第１の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第２の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御される。これより、Ｘ軸上の負の方向に補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
【０１００】
図１０（Ａ）（Ｂ）は、第３の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第３の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
【０１０１】
その結果、この第３の制御モードでは、各被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦY1，ＦY2，ＦY3，ＦY4の方向に電磁駆動力が発生し、これによって、Ｙ軸上の正の方向（矢印＋ＦY ）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
【０１０２】
図１０（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸーＹ座標上に例示したものである。これより、Ｙ軸上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｘ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力を発生させることが重要となる。
【０１０３】
第４の制御モードの場合は、Ｙ軸上の負の方向に補助テーブル５を移送する場合（図示せず）であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを上述した第３の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第２の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御される。これより、Ｙ軸上の負の方向に補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
【０１０４】
図１１（Ａ）（Ｂ）は、第５の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
【０１０５】
その結果、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦX1，ＦX3の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦY2，ＦY4の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸーＹ軸上の中心点から第１象限方向に向けて（矢印ＦXY）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
【０１０６】
図１１（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸーＹ座標上に例示したものである。これより、ＸーＹ軸上の中心点から第１象限方向に向かう方向（矢印ＦXY）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形状駆動コイル７，７……に通電される電流値の大きさを適当に設定することによって、その移動方向を変化させることができる。かかる通電電流の大きさは前述した主制御部２１Ａで設定制御される。
【０１０７】
第６の制御モードの場合は、ＸーＹ軸上の中心点から第３象限方向（図示せず）に向けて補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを上述した第５の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御される。これより、ＸーＹ軸上の中心点から第３象限方向に向けて補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
【０１０８】
図１２（Ａ）（Ｂ）は、第７の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第７の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるようになっている。
【０１０９】
その結果、この第７の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印−ＦX1，−ＦX3の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印ＦY2，ＦY4の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸーＹ軸上の中心点から第２象限方向に向けて（矢印ＦYX）に向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。
【０１１０】
図１２（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向きをＸーＹ座標上に例示したものである。これより、ＸーＹ軸上の中心点から第２象限方向に向かう方向（矢印ＦYX）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形状駆動コイル７，７……に通電される電流値の大きさを適当に設定することによって、その移動方向を変化させることができる。かかる通電電流の大きさは、前述した主制御部２１Ａで設定制御される。
【０１１１】
第８の制御モードの場合は、ＸーＹ軸上の中心点から第４象限方向（図示せず）に向けて補助テーブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流パターンを上述した第７の制御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。
即ち、この第８の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法で通電制御される。これより、ＸーＹ軸上の中心点から第４象限方向に向けて補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せず）。
【０１１２】
図１３（Ａ）（Ｂ）は、第９の制御モードを実行した場合の状態を示すものである。この図に示すように、この第９の制御モードでは、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）を所定角度θ分、回転動作させるためのもので、この制御動作では、所定の許容範囲内において中心軸を有しない補助テーブル５を左回りの円運動をさせ所定位置での静止動作が可能としたものである。
【０１１３】
即ち、この図１３（Ａ）に示す第９の制御モードでは、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＡの手法によって、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＢの手法によって、Ｙ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＤの手法によって、又Ｙ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＣの手法によって、それぞれ通電制御される。
【０１１４】
その結果、この第９の制御モードでは、各田形状駆動コイル７，７，……に対応した各被駆動磁石（永久磁石）６には、図１１に示すようにそれぞれ左回りの方向に沿って各軸に直交する方向ＦY1，−ＦX2，−ＦY3，又はＦX4に向けてそれぞれ電磁駆動力が発生する。
【０１１５】
このため、図１３（Ａ）に開示したように、当該各被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動力の大きさをそれぞれ同一の大きさＰに設定制御することにより、補助テーブル５は所定の許容範囲内において中心軸を有しない状態でも左回りの円運動をし所定位置での静止動作が可能となる。
【０１１６】
この場合、円運動後の停止位置は、全体の電磁駆動力と前述したテーブル保持機構２のバネ作用による元位置復帰力とのバランス点（所定角度θ分、回転した位置）となり、かかる位置は設定回転角度と上述した電磁駆動力との関係として予め実験的に特定され、検索可能に図表化（マップ化）されて前述したデータ記憶部２３に記憶されるようになっている。
【０１１７】
図１３（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸーＹ座標上に例示したものである。これより、ＸーＹ軸上の中心点Ｏを回転中心として補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は所定角度θだけ左回りに回転し停止することとなる。
この場合、回転後の停止位置を設定する回転角度θの大きさは、各田形状駆動コイル７，７・・に通電される同一の電流値の大きさを適当に設定制御することにより、その回転角度θが定められる。かかる通電電流の大きさは前述した主制御部２１Ａで設定制御される。
【０１１８】
第１０の制御モードの場合は、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）を右回りに回転させる場合である。このため、この第１０の制御モードでは、前述した各田形状駆動コイル７，７……に通電される同一の電流の向きを逆方向に設定すればよい。
【０１１９】
即ち、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＢの手法により、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＡの手法により、Ｙ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＣの手法により、そしてＹ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＤの手法により、それぞれ通電制御される。
これより、ＸーＹ軸上で、補助テーブル５は右回りに所定角度θ分だけ、円滑に回転制御されることとなる（図示せず）。
【０１２０】
これらの各通電パターンおよび各制御動作にかかる動作プログラムは、テーブル駆動制御手段２１に併設された動作プログラム記憶部２２に出力可能に記憶されている。そして、テーブル駆動制御手段２１は、動作指令入力部２４からの指令に基づいて前述した各動作プログラムの何れかを選択し、これに基づいて前述した電磁駆動手段４を駆動制御するようになっている。
【０１２１】
〔制動用プレート〕
前述した四個の各田形状駆動コイル７の被駆動磁石６に対向した側の端面部分には、図１４に示すように、非磁性部材からなる金属製の制動用プレート９が、周囲から絶縁された状態で各被駆動磁石６の磁極面に対向し且つ近接してそれぞれ固着装備されている。
【０１２２】
この各制動用プレート９は、補助テーブル５（可動テーブル１）の急激な移動動作に対してこれを抑制しつつ当該補助テーブル５（可動テーブル１）を緩やかに移動させる機能を備えている。
ここで、図１４（Ａ）は、図１の制動用プレート９部分を示す部分断面図である。また、図１４（Ｂ）は、図１４（Ａ）の矢印ＡーＡ線に沿って見た平面図を示す。
【０１２３】
即ち、四個の被駆動磁石６が装備された補助テーブル５又は可動テーブル１が急激な移動動作をした場合には、当各該被駆動磁石６とこれに対応した各制動用プレート９との間に、電磁制動（うず電流ブレーキ）が働く。これにより、補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は急激な移動動作が抑制されて徐々に移動することとなる。
【０１２４】
図１５（Ａ）（Ｂ）に、上記電磁制動（うず電流ブレーキ）の発生について示す。
この図において、制動用プレート９は、被駆動磁石６のＮ極に対向して田形状駆動コイル７の端部に固着されている。
いま、補助テーブル５が図の右方向に速度ｖ1 で急激に移動すると、金属製の制動用プレート９は（固定されているため）、相対的に図の左方向に同一の速度ｖ2 （＝ｖ1 ）で急激に移動することになる。これにより、制動用プレート９内にはフレミングの右手の法則に従って速度ｖ2 に比例した大きさの起電力ＥV が図１５（Ｂ）に示す方向（図中、上向き）に発生し、これにより同矢印の方向に左右対象の渦電流が流れる。
【０１２５】
次に、起電力ＥV の発生領域にはＮ極からの磁束が存在することから、この被駆動磁石６の磁束と制動用プレート９内の（起電力ＥV 方向の）渦電流との間にフレミングの左手の法則に従って所定の移動力ｆ1 が、制動用プレート９内に（図の右方向に向けて）発生する。
一方、制動用プレート９は固定プレート８上で固定されているため、移動力ｆ1 の反力ｆ2 が被駆動磁石６上に制動力として発生し、その向きは移動力ｆ1 の向きとは逆の向きになる。即ち、この制動力ｆ2 は、被駆動磁石６（即ち補助テーブル５）の最初の急激な移動方向とは逆の方向となり、しかもその大きさは当該補助テーブル５の移動速度に比例した大きさとなることから、当該補助テーブル５はその急激な移動が適度の制動力ｆ2 によって抑制され、安定した状態で円滑に移動することとなる。
他の制動用プレート９の箇所でも全く同様に所定の制動力ｆ2 が発生する。
【０１２６】
このため、被駆動磁石６を備えた補助テーブル５では、例えば急激な停止動作に際しては当該停止箇所にて往復動作が生じ易いが、これに対してはその動作が適度に抑制されて円滑に緩やかに移動することとなる。このため、全体的にはこの各制動用プレート９が有効に機能して、補助テーブル５（可動テーブル１）を安定した状態で移動させることができる。又、外部からの振動によって補助テーブル５が往復微小振動した場合にも、同様に機能してかかる往復微小振動は有効に抑制される。
【０１２７】
この各田形状駆動コイルの端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の各制動用プレート９は、図１６に示すように、各田形状駆動コイル７との関係ではトランスの二次側回路を構成し、且つ所定の低抵抗ｒ（うず電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
【０１２８】
図１６において、Ｋ1 は田形状駆動コイル７を表す一次側巻線を示し、Ｋ2 は制動用プレート９に相当する二次側巻線を示す。図１６（Ａ）は、制動用プレート９内の電気抵抗成分（低抵抗ｒ：うず電流損を生じる）を介して当該二次側巻線部分が短絡された状態を示す。この場合、制動用プレート９内には、二次側巻線の短絡状態と同等の電流（即ち、駆動コイル７の磁束の大小に比例したうず電流）が流れる。他の制動用プレート９が付された箇所も全く同様の状態となっている。又、図１６（Ｂ）は、制動用プレート９が無い状態（二次側巻線部分が開放された状態）を示す。
【０１２９】
このため、この場合の一次側回路を構成する各田形状駆動コイル７は、起動時の立ち上がり時（過渡状態）におけるコイルのインダクタンス成分による大きな抵抗が存在してもに二次側短絡によりその影響を有効に低減することができ、この点において、起動時から比較的大きい電流を通電することができ、これがため、前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレート９が無い場合に比較して電磁駆動力を迅速に出力することができる。
【０１３０】
又、上記各制動用プレート９は、各田形状駆動コイル７の駆動時に生じる熱を放熱する機能を兼ね備えている。かかる点において駆動コイルの連続運転に伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制して通電電流を長時間ほぼ一定レベルに設定することができ、このため、電磁駆動手段から出力される電磁駆動力に対する外部からの電流制御を安定した状態にて継続することができ、径年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性を、ひいては装置全体の信頼性を高めることができる。
【０１３１】
尚、上述した制動用プレート９については、本実施形態では各田形状駆動コイル７毎に装備した場合を例示したが、二個以上の田形状駆動コイル７を対象としてこれを一枚の制動用プレートで覆うように構成したものであってもよい。
【０１３２】
〔上記実施形態の全体的な動作〕
次に、上記第１の実施形態の全体的な動作について説明する。
図６において、まず動作指令入力部２４から、可動テーブル１を所定位置へ移動させるための動作指令が入力されると、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択し、続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを付勢し、電磁駆動手段４の四つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
【０１３３】
図１７，図１８に、可動テーブル１をＸ軸の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入力部２４から入力され、これに基づいて装置全体が作動した状態を示す。
この事例では、制御モードとしては図９に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各四つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図９に示す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作したことを示す。
【０１３４】
この場合、前述したステージ保持機構４では、補助テーブル５が電磁駆動手段４によって図の右方に付勢されると、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性力（元位置復帰力）に抗して当該補助テーブル５が移動する。そして、この補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力と当該補助テーブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバランス点（移動目標位置）において停止する。
【０１３５】
図１７，図１８において、符号Ｔは移動した距離を示す。
又、図１８において、斜線部分は補助テーブル５の移動によって前述した他方の容量検出電極２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 の容量成分が減少した部分を示し、交差斜線部分は前述した一方の容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 の容量成分が増加した部分を示す。尚、この図１８にあっては、Ｙ軸方向への位置ずれが無い場合が示されている。
【０１３６】
そして、動作中に、外乱等によって補助テーブル５の移動位置が目標位置からずれた場合には、この容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 の容量成分の増加減少の情報に基づいて前述したように実際の移動後の位置が検出され、位置ずれ防止用のフィードバック制御か行われるようになっている。
一方、かかる状態から補助テーブル５に印加されている電磁駆動力が開放されると、補助テーブル５はピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力に付勢されて元位置に復帰する。
【０１３７】
かかる一連の動作にあって、補助テーブル５の移動動作は、通常は電磁駆動力の印加制御又は開放制御が何れの場合でも急激に行われる。このため、かかる場合、補助テーブル５（又は可動テーブル１）には、移動先での停止時又は元位置復帰に際しての停止位置において、慣性力及びばね力に起因した繰り返し動作（往復動作）が生じる。
しかしながら、本実施形態にあっては、かかる繰り返し動作（往復動作）は前述したように制動用プレートと被駆動磁石との間に生じる電磁制動（うず電流ブレーキ）によって抑制され、所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
【０１３８】
動作指令入力部２４から、可動テーブル１を上記以外の他の所定位置へ移動させるための動作指令が入力された場合にも、上述した場合と同様にテーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プログラムを選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１Ｂを付勢し、電磁駆動手段４の四つの田形状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。
【０１３９】
そして、この場合も、上述した場合と同様の制御動作および制動用プレートによる制動動作が実行され、補助テーブル５（可動テーブル１）は所定位置に向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。
【０１４０】
このように、上記第１の実施形態にあっては、従来より必要としていた重厚な二重構造のＸーＹ軸移動保持機構を用いることなく、補助テーブル５（可動テーブル１）を、中心位置から（所定範囲内において）同一の高さ位置を維持しつつＸーＹ平面上のいずれの方向に対しても円滑に移動させ或いは同一面内での回転駆動を実行させることができる。
【０１４１】
これがため、上記第１の実施形態によると、構造が簡単なので、装置全体の小型化軽量化が可能となり、かかる点において可搬性を著しく改善することができ、従来例に比較して部品点数も少なくなり、かかる点において耐久性を著しく向上させることができ、組立て時の調整に熟練を必要としないため生産性を高めることができる。
【０１４２】
又、被駆動磁石が装備された補助テーブル５（可動テーブル１）が急激に動作変化しても、前述したように当該被駆動磁石６と非磁性金属部材からなる制動用プレート９との間に急激な変化に比例した大きさの電磁制動（うず電流ブレーキ）力が働くことから、これにより、可動テーブル１はその急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で円滑に移動することができる。
【０１４３】
この制動用プレート９については各被駆動磁石６に対向した状態で個別に田形状駆動コイル７に装備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段４も補助テーブル５に装備した被駆動磁石６とこれに対向して固定プレート８に田形状駆動コイル７を装備するという簡単な構成であることから、かかる点においても、装置全体の小型化および軽量化が可能となり、可搬性が良好となるばかりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要することが無いことから、作業性も良好となる。
【０１４４】
更に、駆動コイルの前述した被駆動磁石６側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレートは、駆動コイルとの関係ではトランスの二次側回路と同等の回路を構成し、且つ制動用プレートの電気抵抗成分（うず電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
【０１４５】
このため、この場合の一次側回路を構成する田形状駆動コイル７は、二次側回路が開放状態の場合に較べて比較的大きい電流を通電することができ、これがため、前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレートが無い場合に比較して比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
【０１４６】
又、この制動用プレート９は、放熱板としても機能し、かかる点において田形状駆動コイル７の連続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することができ、かかる点においても装置全体の耐久性を増大することができ、その結果、装置全体の信頼性を高めることができる。
【０１４７】
尚、上記第１の実施形態にあっては、被駆動磁石６を補助テーブル５に装備した場合を例示したが、被駆動磁石６を可動テーブル１側に装備すると共に、これに対向して固定テーブル８上の所定位置に前述した各田形状駆動コイル７を配設してもよい。この場合、固定テーブル８を貫通した状態で各田形状駆動コイル７を装備すると共に、この各田形状駆動コイル７の対向して、被駆動磁石６を可動テーブル１側と補助テーブル５側の両方に装備してもよい。
【０１４８】
更に、上記第１の実施形態では、駆動コイルとして田形状駆動コイル７を装備した場合を例示したが、本発明では駆動コイルを必ずしも田形状駆動コイルに限定するものではなく、同等に機能するものであれば、他の形態の駆動コイルであってもよい。
【０１４９】
【第２の実施の形態】
図１９〜図２０にこれを示す。
この図１９〜図２０に示す第２の実施形態は、前述した第１の実施形態において装備した補助テーブル５を削除し、可動テーブル３１をテーブル保持機構２で直接保持すると共に、テーブル駆動制御手段２１によって可動テーブル３１を直接駆動するように構成した点に特徴を備えている。
【０１５０】
この図１９至図２０において、符号３１は四角形状の可動テーブルを示す。この可動テーブル３１は、上面に円形の平坦作業面３１Ａを備えている。
符号２は前述した第１実施形態におけるテーブル保持機構と同一のテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構２は、前述した第１実施形態と同様に図１９の下方部分に配設され、可動テーブル３１の同一面内での任意方向への移動を許容すると共に、当該可動テーブル３１に元位置復帰力を付加し得る状態で当該可動テーブル３１を保持している。
【０１５１】
即ち、この第２の実施形態にあっては、可動テーブル３１は、本体部としてのケース本体３３の内側に配設されたこのテーブル保持機構２を介して、上述したようにケース本体３３に支持されている。
又、上記可動テーブル３１とケース本体３３の後述する駆動手段保持部（本体側突出部）３３Ａとの間に、可動テーブル３１の移動位置を常時検出する容量型の位置検出センサが前述した第１の実施形態の場合と同様に装備されている。
即ち、可動テーブル３１の図１９における下面（底面）の端部周囲には、所定幅の平坦面を備えた口字状のスペーサ３１Ｂが装備され、その下面部分に、容量型の位置検出センサの共通電極３１Ｂａが設けられている。又、この共通電極３１Ｂａに対向して前述した第１実施形態における容量検出電極と同一の容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 ，２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ，２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 が、前述した第１の実施形態の場合と同様に設けられ、後述する駆動手段保持部（本体側突出部）３３Ａの上面に装備されている。
【０１５２】
テーブル保持機構２は、前述した第１実施形態におけるテーブル保持機構２と同様に、所定間隔を隔てて設置される二本のピアノ線（可動テーブル３１を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材であれば他の部材であってもよい）２Ａ，２Ｂを一組として予め可動テーブル３１の周端部に対応して四組準備し、この四組のピアノ線２Ａ，２Ｂを組毎に、四角形状の中継部材２Ｇの各四隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて植設する。
【０１５３】
そして、内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａで可動テーブル３１を下方から保持し、外側に位置する本体側の四本のピアノ線２Ｂで中継部材２Ｇをケース本体３３から揺動自在に吊り下げたような構造となっている。
【０１５４】
これにより、可動テーブル３１は、前述した第１実施形態の場合と同様に高さ位置を変えることなく同一面内においていずれの方向へも移動することができ、同時に許容された範囲内での回転動作も可能となっている。
【０１５５】
ケース本体（本体部）３３は、本実施形態では図１９に示すように上方および下方が開放された箱体状に形成されている。
付号３４は電磁駆動手段を示す。この電磁駆動手段３４は、前述した第１の実施形態における電磁駆動手段４と同一に形成され、可動テーブル３１の図１９における下側に配置されてケース本体３３側に保持され、前述した可動テーブル３１に移動力を付勢する機能を備えている。
又、符号３３Ａは、ケース本体３３の内壁部周囲に突設された本体側突出部としての駆動手段保持部を示す。電磁駆動手段３４は、この駆動手段保持部３３Ａを介してケース本体３３に保持されている。
この駆動手段保持部３３Ａの図１９における上面は前述したように平坦面を成し、この平坦面上に、可動テーブル３１の位置情報を外部出力する容量検出電極２６Ｘ1 ，２６Ｘ2 ，２６Ｘ3 ，２６Ｘ4 ，２６Ｙ1 ，２６Ｙ2 ，２６Ｙ3 ，２６Ｙ4 が前述した第１の実施形態の場合と同様に装備され、同様に機能するようになっている。
【０１５６】
前述した電磁駆動手段３４は、前述した第１実施形態の場合と同様に、可動テーブル３１の図１９における下面部分の所定位置に固定装備された四個の被駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対して前述した可動テーブル３１の所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持する固定プレート３８とを備えている。
【０１５７】
この固定プレート３８は、前述した可動テーブル３１に所定間隔を隔てて平行に設定され、可動テーブル３１の図１９における下方に配設されてその周囲がケース本体３３の駆動手段保持部３３Ａに保持されている。
【０１５８】
更に、田形状駆動コイル７の前述した被駆動磁石６側の端面側には、前述した第１の実施形態の場合と同様に、非磁性金属部材からなる制動用プレート９が被駆動磁石６の磁極面に近接して個別に配設されている。
【０１５９】
この制動用プレート９は、本実施形態では田形状駆動コイル７の端面部分に固着され、この田形状駆動コイル７を介して前述した固定プレート３８側に固定された状態となっている。
尚、この制動用プレート９については、田形状駆動コイル７の端面部分に当接したた状態を維持しつつ、他のスペーサ部材（図示せず）を介して固定プレート３８に固定するように構成してもよい。この点は前述した第１実施形態の場合も同様である。
【０１６０】
可動テーブル３１は、前述したように、内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａによって保持されている。符号３１Ｃは、この四本のテーブル側ピアノ線２Ａに係合するために可動テーブル３１の図１９における下面から下方に向けて突設された四本のテーブル側脚部を示す。この四本のテーブル側脚部３１Ｃを介して、前述した可動テーブル３１が四本のテーブル側ピアノ線２Ａに連結され保持されている。
【０１６１】
ここで、この四本のテーブル側脚部３１Ｃの長さは、前述した内側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａが外側に位置する四本のピアノ線２Ｂとその露出長さＬを同一にし得る長さに設定されている。
【０１６２】
前述した固定プレート３８の四隅部分には、所定の大きさの貫通穴３８Ａがそれぞれ形成されている。この貫通穴３８Ａは、本実施形態では四角形状に形成されているが、前述した可動テーブル３１の動作を許容し得る大きさであれば、その形状については、円形等，他の形状であってもよい。
【０１６３】
そして、この貫通穴３８Ａを前述した四本のテーブル側脚部３１Ｃがそれぞれ個別に貫挿し、これによって、図１９の上方部分に位置する可動テーブル１が同図の下方部分に位置するテーブル保持機構２の四本のテーブル側ピアノ線２Ａによって保持された構造となっている。
その他の構成及び機能は前述した第１の実施形態の場合と同一となっている。
【０１６４】
このようにしても、この第２の実施形態は、前述した第１の実施形態とほぼ同様の作用効果を有するほか、特に前述した第１の実施形態において装備した補助テーブル５を削除して可動テーブル３１をテーブル保持機構２で直接保持すると共にテーブル駆動制御手段２１によって可動テーブル３１を直接駆動するように構成したので、構造がより一層単純化され、その分、小型軽量化が可能となり、可動テーブル１側の重量が軽減されるので、テーブル保持機構２の耐久性向上を図ることができ、装置全体の可搬性の向上を図ることができ、更には、補助テーブル５を可動テーブル３１に連結し且つ組み込むという作業工程が不要となるので、生産性および保守性を著しく向上させることができ、装置全体の原価低減を図ることができるという利点がある。
【０１６５】
【第３の実施の形態】
図２１に第３の実施形態の一例を示す。
この第３の実施形態は、前述した第１の実施形態において、各被駆動磁石に対向して複数の田形状駆動コイルの端部に個別に装備した制動用プレート９を、一枚の板状部材を使用して共用とした点に構造上の特徴を備えている。
【０１６６】
この図２１では、前述した第１実施形態に装備した四枚の制動用プレート９に代えて同一材質からなる１枚の制動用プレート３９を装備した場合を示す。
この場合、制動用プレート３９の中央部には、図１に開示した連結支柱１０の挿通を許容し且つ当該連結支柱１０が補助テーブル５（及び可動テーブル１）と共に図２１の直交軸ＸーＹの平面内において移動するのを許容する程度の大きさの貫通穴３９Ａが形成されている。
【０１６７】
尚、この制動用プレート３９は、図２１（Ａ）では、複数の各田形状駆動コイル７の各端部に当接した状態で当該各田形状駆動コイル７を介して固定プレート８に装着した場合を例示してある。一方、この制動用プレート３９については、各田形状駆動コイル７の端面部分に当接した状態を維持しつつ、他のスペーサ部材（図示せず）を介して固定プレート８に固定するように構成してもよい。
その他の構成は前述した第１の実施形態と同一となっている。
【０１６８】
このようにしても、前述した第１の実施形態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更に制動用プレート３９の組立作業が前述した第１実施形態の場合に比較して著しく単純化され、制動用プレート３９の全体の表面積が大きくなるので放熱板としても有効に機能し、かかる点において生産性および装置の耐久性の向上を図ることができるという利点がある。
【０１６９】
尚、この第３の実施形態は、前述した前述した第１の実施形態において複数の制動用プレート９に代えて同一材質の一枚の板状部材を装備するように構成した場合を例示したが、前述した第２の実施形態において、同様に、複数の制動用プレート９に代えて同一材質の一枚の板状部材を単一の制動用プレート３９として装備するように構成してもよい。
【０１７０】
又、上記第１〜第３の各実施形態にあっては、被駆動磁石６として永久磁石を装備した場合を例示したが、永久磁石に代えて電磁石を装備したものであってもよい。この場合、この電磁石の駆動制御については、前述したテーブル駆動制御手段２１が担当し、前述した各田形状駆動コイル７の動作に連動してその順方向又は逆方向或いは通電停止状態が選択され所定の通電制御が成されるようになっている（図示せず）。
【０１７１】
このため、この被駆動磁石６として電磁石を装備した場合にあっては、前述した請求項１，２又は３記載の記載の発明とほぼ同等の機能を有するほか、被駆動磁石を電磁石としたことから、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせることができる。
【０１７２】
例えば、移動時の加速／減速に際しては各駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し得るので、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅速に対応し得ることが可能となる。又、被駆動磁石の磁束密度（磁石強度）を必要に応じて自由に設定し得るので、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変化させることができるという利点がある。
【０１７３】
【第４の実施の形態】
図２２に第４の実施形態を示す。
この図２２に示す第４の実施形態は、前述した図１に示す第１の実施形態において、制動用プレート９に代えて電磁制動機構４１を装備すると共に、この電磁制動機構４１を前述した電磁駆動手段４から切り離して別に（独立して）装備するように構成した点に特徴を備えている。
【０１７４】
即ち、図２２において、電磁制動機構４１は固定プレート８の上面部分の同一円周上に等間隔に固定装備された四枚の制動用プレート４９と、この各制動用プレート４９に近接し対向して前述した可動プレート１の下面部分に固定装備された四個の制動用磁石４６とによって構成されている。
ここで、四枚の各制動用プレート４９と四個の各制動用磁石４６は、何れも、前述した電磁駆動手段４の四個の各田形状駆動コイル７および各被駆動磁石６に対応した位置に装備されている。
【０１７５】
この四枚の各制動用プレート４９は非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。又、四個の各制動用磁石４６は、その磁極の極性Ｎ，Ｓが、一つ置きに逆に（隣接する磁石の極性が異なるように）配置され、これによって可動プレート１と固定プレート８を介して磁気回路が円滑に形成されるようになっている。
その他の構成は前述した図１に示す第１の実施形態とほぼ同一となっている。
【０１７６】
このようにしても、その作用効果は前述した図１に示す第１の実施形態の場合とほぼ同等の作用効果を得ることができ、特に電磁制動機構４１についても、前述した図１（第１の実施形態）に開示した制動用プレート９と被駆動磁石６との関係で生じる電磁制動（うず電流制動）と同等若しくはそれ以上の電磁制動を得ることができる。
【０１７７】
更に、本実施形態にあっては、制動用プレート９を電磁駆動手段４領域から削除したことから、各田形状駆動コイル７と各被駆動磁石６との間の隙間（間隔）を小さく（狭く）設定することができ、このため、前述した第１実施形態の場合に比較して電磁駆動力を更に大きく設定することができるという利点がある。
【０１７８】
尚、上記実施形態にあっては、前述した第１の実施形態（図１）における制動用プレート９を削除した場合を例示したが、実際上は制動用プレート９をそのまま装備した状態で新たに上記電磁制動機構４１を追加装備した状態で使用してもよい。
【０１７９】
又、この電磁制動機構４１については、制動用磁石４６の数と制動用プレート４９の数及びその装備箇所を特定した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものではない。制動用磁石４６については三個以上の任意に数を装備しても、また制動用プレート４９については各制動用磁石４６に対応した大きさで所定形状の１枚の制動用プレートを装備してもよい。
更に、制動用磁石４６と制動用プレート４９とは、その装備位置を入れ換えても同等に機能する電磁制動機構４１を得ることができる。
【０１８０】
【第５の実施の形態】
図２３に第５の実施形態を示す。
この図２３に示す第５の実施形態は、前述した図１９に示す第２の実施形態において、制動用プレート９に代えて電磁制動機構５１を装備すると共に、この電磁制動機構５１を、前述した電磁駆動手段３４から切り離して別に（独立して）装備した点に特徴を備えている。
【０１８１】
この場合、電磁制動機構５１は、図２３に示すように固定プレート３８の上面中央部分に装備された二個の制動用磁石５６と、この制動用磁石５６に近接し且つ対向して前述した可動プレート１の下面部分に固定装備された一枚の制動用プレート５９とによって構成されている。
【０１８２】
ここで、一枚の制動用プレート５９と二個の各制動用磁石５６は、何れも、前述した電磁駆動手段４の四個の各田形状駆動コイル７および各被駆動磁石６とは全く無関係に装備されている。制動用プレート５９は、非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。又、二個の各制動用磁石５６は、その磁極の極性Ｎ，Ｓが、逆に（隣接する磁石の極性が異なるように）配置され、これによって可動プレート１と固定プレート３８を介して磁気回路が円滑に形成されるようになっている。
その他の構成は、前述した図１９に示す第２の実施形態とほぼ同一となっている。
【０１８３】
このようにしても、前述した図１９に示す第２の実施形態とほぼ同等の作用効果を得ることができるほか、更に、この第５実施形態にあっては、制動用プレート９を電磁駆動手段４領域から削除したので、各田形状駆動コイル７と各被駆動磁石６との間の隙間（間隔）を小さく（狭く）設定することができ、このため、前述した第２実施形態の場合に比較して、電磁駆動力を更に大きく設定することができるという利点がある。
【０１８４】
尚、上記第５の実施形態にあっては、前述した第２の実施形態（図１９）における制動用プレート９を削除した場合を例示したが、実際上は制動用プレート９をそのまま装備した状態で使用してもよい。
又、電磁制動機構５１については、制動用磁石５６の数と制動用プレート５９の数及びその装備箇所を特定した場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものではない。制動用磁石５６については三個以上の任意に数を装備しても、また制動用プレート５９については各制動用磁石５６に対応して個別に独立して装備してもよい。
【０１８５】
【第６の実施の形態】
図２４に第６の実施形態の一例を示す。
この図２４に示す第６の実施形態は、前述した図２１に示す第３の実施形態において、制動用プレート３９に代えて、当該制動用プレート３９の周囲を大きく延設して本体ケース３（図１参照）に固着してなる構造の新たな制動用プレート６９を固着装備すると共に、固定プレート８を削除した点に特徴を備えている。符号６９Ａは制動用プレート６９の中央部に形成された貫通穴を示す。この貫通穴６９Ａは、連結支柱１０の移行動作を許容する大きさに形成されている。
ここで、制動用プレート６９は、非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって形成されている。
【０１８６】
この図２４に示す第６の実施形態では、固定プレート８の削除によって、各田形状駆動コイル７は、その下面側が制動用プレート６９に保持された形態となっている。
このため、この第６の実施形態では、電磁駆動手段６４は、制動用プレート６９と、この制動用プレート６９上に固着された各田形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７に対応して制動用プレート６９および所定の隙間を介して補助テーブル５上に装備された状態の各被駆動磁石６とにより構成されている。
【０１８７】
更に、符号６６は四個の他の被駆動磁石を示す。この四個の他の被駆動磁石６６は、前述した各田形状駆動コイル７の図２４における上面（可動テーブル１側の端面）に対向して可動テーブル１にそれぞれ固着装備され、これによって電磁駆動手段６４の駆動力が強化された状態となっている。
ここで、新たに追加した各被駆動磁石６６の磁極については、前述した各被駆動磁石６に対向した面がそれぞれ異る磁極（Ｎ極とＳ極とが対向する形態）と成るように設定されている。その他の構成は、前述した図２１に示す第３の実施形態と同一となっている。
【０１８８】
このようにしても、前述した図２１に示す第３の実施形態と同一の作用効果を備えており、特に制動用プレート６９と被駆動磁石６との位置関係は前述した第３実施形態（図２１）の場合と同一状態に維持されていることから、制動用プレート６９による制動機能も前述した第３実施形態（図２１）の場合と全く同一となっている。その他の作用効果については、固定プレート８を削除したことから、装置全体を更に小型化し軽量化することが可能となるという利点がある。
ここで、新たに追加した被駆動磁石６６については、例えば鉄材等による通常の磁性部材で構成してもよい。この場合、被駆動磁石６６に代わる磁性部材は、磁気回路形成部材として有効に機能する。
尚、この第６実施形態において、前述した新たな被駆動磁石６６については削除してもよい。このようにすると、装置全体の小型化および軽量化を更に推進することができ、装置の汎用性を更に高めることができて都合がよい。
【０１８９】
【その他の実施形態】
〔駆動コイルに関する他の実施形態〕
上述した各駆動コイル７に関する他の実施形態例を開示し、制動プレートとの関係を示す。この場合、駆動コイル以外の他の構成部分は、それぞれ前述した各実施形態のものと同等に構成されており、ここではその説明を省略する。
【０１９０】
（１）．田形駆動コイルに関する他の技術的手法
上述した各実施形態にあっては、電磁駆動手段４，３４，６４の主要部をなす駆動コイルとしての田形状駆動コイル７をＸーＹ軸上に限定装備した場合を例示したが、図２５に示すようにＸーＹ軸上からはずれた位置に田形状駆動コイル７を装備したものであってもよい。
【０１９１】
この場合、被駆動磁石６（又は６６）は、田形状駆動コイル７に対応した位置で前述した田形状駆動コイル７側に固着されている。
又、この図２５の場合を含めて、当該田形状駆動コイル７の内側に位置する十字状コイル辺の配置については、上述した各実施形態にあってはその縦又は横のコイル辺部分が前述したＸーＹ軸に沿って配置された場合を例示したが、本発明は必ずしもこれに限定されず、Ｘ軸又はＹ軸に対して所定の傾きをもって配置したものであってもよい。
【０１９２】
この田形駆動コイル７については図２５では四個装備した場合を例示したが、同等に機能するものであれば、三個であっても五個以上であってもよい。
更に、この田形駆動コイル７については、その外径が四角形以外の形状であってもよい。
【０１９３】
（２）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その１）
上記各実施形態にあっては、電磁駆動手段の主要部をなす駆動コイルとして田形状駆動コイル７を装備した場合を例示したが、これは例示的記載であり、同等に機能するものであれば、これに代えて他の駆動コイルを装備したものであってもよい。
【０１９４】
図２６（Ａ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的大きい単一の口状駆動コイル７１を使用し、この口状駆動コイル７１の四辺部分に対向して磁極のＮ，Ｓが個別に可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で４個の電磁石８１を個別に配置し、これによって、電磁駆動手段４（又は３４）を構成した場合を示す。
【０１９５】
この事例では、口状駆動コイル７１および各電磁石８１への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、可動プレート１（又は３１）の回転動作を除いて全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。口状駆動コイル７１の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
【０１９６】
（３）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その２）
図２６（Ｂ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的小さい四個の口状駆動コイル７２と八個の電磁石８２を使用した事例を示す。
【０１９７】
この図２３（Ｂ）の事例では、四個の各口状駆動コイル７２をＸーＹ軸と交差する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。又この各口状駆動コイル７２がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差する箇所に位置する各口状駆動コイル７２のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８２を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４（又は３４）を構成する。
【０１９８】
この事例でも、前述した図２６（Ａ）の場合と同様に、各口状駆動コイル７２及び各電磁石８２への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、可動プレート１（又は３１）の回転動作を除く全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。
この場合も、口状駆動コイル７２の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
【０１９９】
（４）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その３）
図２７（Ａ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的小さい四個の口状駆動コイル７３と八個の電磁石８３を使用した事例を示す。
【０２００】
この図２７（Ａ）の事例では、四個の各口状駆動コイル７３をＸーＹ軸と交差する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。又この各口状駆動コイル７３がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差しない箇所に位置する各口状駆動コイル７３のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８３を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４又は３４を構成する。
【０２０１】
この事例では、口状駆動コイル７３および電磁石８３への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、前述した第１乃至第３の各実施形態の場合と同様に、回転動作および全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。この場合、口状駆動コイル７３の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。
【０２０２】
（５）．田形状駆動コイル以外の駆動コイル（その４）
図２７（Ｂ）は、駆動コイルとして単一の白抜き十字状に形成された十字状枠型駆動コイル７４と八個の電磁石８４とを使用した事例を示す。
【０２０３】
この図２７（Ａ）の事例では、十字状枠型駆動コイル７４の縦方向及び横方向の中心線部分がＸーＹ軸上に位置する箇所に例えば左右対称と成る位置に配置する。そして、この十字状枠型駆動コイル７４がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差しない箇所に位置する十字状枠型駆動コイル７４のコイル辺部分に対向して、磁極のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部で八個の電磁石８４を個別に配置し、これによって電磁駆動手段４又は３４を構成する。
【０２０４】
この事例でも、十字状枠型駆動コイル７４および八個の電磁石８４への通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、前述した第１乃至第３の各実施形態の場合と同様に、回転動作及び全方向への移動動作に対する駆動制御が可能となっている。
【０２０５】
そして、上述した（２）乃至（５）の各事例にあって、各駆動コイル７１，７２，７３又は７４の所定のコイル辺部分に当接し且つ対応する各被駆動磁石６に個別に対向して前述した各制動用プレート９が各被駆動磁石毎に前述した駆動コイル側に固着装備されている。
又、この場合も上述した第３の実施形態の場合（図２１参照）と同様に、複数の各制動用プレート９に代えて同一部材からなる単一の板状部材を制動用プレート３９（図示せず）として装備してもよい。
【０２０６】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成され機能するので、これによると、特に精密加工用の可動テーブルを、同一面上で（高さ位置を変化させることなく）所定方向に自在に且つ円滑に精密移動させ若しくは元位置に復帰させることができ、前述したようにテーブル保持機構として同一面上で任意の方向に可動テーブルを移動可能としたものを装備したので、従来必要としていた二重構造の摺動機構が不要となり、このため、特別な精密加工等が不要となったことから加工組立作業の大幅な改善が可能となり、前述したように固定プレートにより駆動コイル等を有効に保持するように構成したので、装置全体の小型軽量化が可能となり、更に、テーブル駆動用の電磁駆動手段の一部を構成する複数の磁石に対向して非磁性部材からなる導電性の制動プレートを装備したので、可動テーブルの停止時の往復移動動作の繰り返しや周囲の振動等に起因して同一面内での微小振動等が発生しても、これを有効に抑制することが可能となり、これがため、当該可動テーブルの精密移動を円滑になし得るという従来にない優れた精密加工用ステージ装置を提供することができる。
【０２０７】
ここで、前述した各請求項の各構成にかかる動作およびその効果等について説明する。 まず、請求項１に記載の発明は、前述したように構成されている。このため、電磁駆動手段が作動すると、まず、当該電磁駆動手段が備えている固定プレート側の駆動コイルと被駆動磁石との間に電磁力が生じ、被駆動磁石が可動テーブルと共に所定の方向に移動力が付勢される。
【０２０８】
この場合、可動テーブルはテーブル保持機構によって同一面内での任意の方向への移動が許容された状態で保持されていることから、上下動することなく所定の方向に円滑に移動し、前述したテーブル保持機構の有する元位置復帰力と電磁駆動手段の電磁力との平衡のとれた位置（即ち、所定の移動停止位置）にて停止する。
【０２０９】
一方、この可動テーブルは、その移動／停止に際して急加速又は急減速されると、可動テーブル自体が急発進／急停止され、特に停止に際しては前述したテーブル保持機構の有する元位置復帰力との相互作用で繰り返し往復移動を起こしやすい。
【０２１０】
かかる場合、可動テーブルの急激な動作変化により当該被駆動磁石と制動用プレートとの間に電磁制動（うず電流ブレーキ）が働き、これにより、可動テーブルはその急激な動作が抑制され、所定方向に安定した状態で徐々に円滑に移動することができる。
【０２１１】
又、この請求項１記載の発明では、制動用プレートを被駆動磁石に対向した状態で固定プレートに装備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生させる電磁駆動手段も、可動テーブルに装備した被駆動磁石とこれに対向して固定プレートに駆動コイルを装備するという簡単な構成としたので、二重構造の移動機構を備えた従来のものと比較して、装置全体の小型化および軽量化が可能となり、可搬性良好であるばかりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要することが無いことから、作業性も良好となり、生産性を高めることが可能となる。
【０２１２】
更に、駆動コイルの前述した被駆動磁石側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制動用プレートは、駆動コイルとの関係ではトランスの二次側回路と同等の回路を構成し、且つ制動用プレートの電気抵抗成分（うず電流損を生じる）を介して短絡された形態を構成する。
このため、この場合の一次側回路を構成する駆動コイルは、二次側回路が開放状態の場合に較べて比較的大きい電流を通電することができ、これがため、前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレートが無い場合に比較して比較的大きい電磁力を出力することが可能となっている。
【０２１３】
又、この制動用プレートは、放熱板としても機能し、かかる点において駆動コイルの連続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊等）を有効に抑制することができ、装置全体の耐久性および信頼性を高めることができる。
【０２１４】
請求項２記載の発明では、前述した請求項１記載の発明で開示した可動テーブルに対して、これに対向し且つ所定間隔を隔てて補助テーブルを平行に一体的に連結装備すると共に、この補助テーブル側に前述したテーブル保持機構を装備し、更にこの補助テーブルに前述した被駆動磁石を装備する、という構成を採っている。
【０２１５】
このため、この請求項２記載の発明では、補助テーブルを介して可動テーブルを駆動するほかは前述した請求項１記載の発明と同等の機能を備えたものとなっており、更に、補助テーブルに被駆動磁石を装備したことから、組立て作業に際しては可動テーブルの損傷事故等の発生を有効に回避することができ、かかる点において当該装置の製造に際しての作業性および生産性の向上を図ることができる。
【０２１６】
請求項３記載の発明では、前述した請求項１又は２記載の精密加工用ステージ装置において、駆動コイルを複数個の田形状駆動コイルにより構成すると共に、この田形状駆動コイルの内側に位置する十字状部分に対応して前述した被駆動磁石を個別に配設する、という構成を採っている。
【０２１７】
このため、この請求項３記載の発明では、前述した請求項１又は２記載の発明と同等の機能を有するほか、田形状駆動コイルの内側に設定された許容移動範囲内において各被駆動磁石を（ひいては可動テーブル）を所定の方向に自在に且つ精密に移動させることが可能となる。
この場合、田形状駆動コイルは、実際には別に装備された駆動制御手段によって例えばＸ方向又はＹ方向の駆動力を対応する各被駆動磁石との間に発生せしめ、全体的にこれを統一制御して当該被駆動磁石を介して可動テーブルを所定の方向に移動させることが可能となっている。
【０２１８】
請求項４記載の発明では、前述した請求項３記載の精密加工用ステージ装置において、複数の被駆動磁石を永久磁石で構成する、という構成を採っている。
【０２１９】
このため、この請求項４記載の発明では、前述した請求項３記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、被駆動磁石を永久磁石としたことから電磁石のような通電回路が不要となり、その分、組み立て時及び保守点検時における作業の煩雑さを回避することができ、かかる点において、生産性および保守性の向上を図り、装置全体の耐久性を増すことができて都合がよい。
【０２２０】
請求項５記載の発明では、前述した請求項１，２又は３記載の精密加工用ステージ装置において、前述した複数の被駆動磁石を電磁石で構成すると共に、この各被駆動磁石を前述した駆動コイルに連動して順方向又は逆方向或いは通電停止状態に選択的に通電制御するように構成する、という手法を採っている。
【０２２１】
このため、この請求項５記載の発明では、前述した請求項１，２又は３記載の記載の発明とほぼ同等の機能を有するほか、更に、被駆動磁石を電磁石で構成したので、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせることができる。例えば、移動時の加速／減速に際しては駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し得るので、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅速に対応し得ることができる。被駆動磁石の磁束密度も自由に設定し得るので、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変えることができる。
【０２２２】
請求項６乃至７記載の各発明では、前述した制動用プレートを、複数の被駆動磁石に対応して個別に装備してもよいとし（請求項６）、又制動用プレートを各駆動コイル側の端部に固定してもよいとした（請求項７）。
更に、請求項８乃至９記載の各発明では、前述した制動用プレートを、前述した複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成してもよいとし（請求項８）、更に、この単一のプレート部材を前記各駆動コイルの各磁石側端部に固着装備してもよいとした（請求項９）。
【０２２３】
このようにしても、前述した各発明と同等の機能を有するほか、更に請求項６乃至７記載の各発明では、駆動コイル毎に制動用プレートが装備されるので、駆動コイル相互間に空間が設定されることから、保守点検作業の円滑化，即ち保守性の向上を図り得る。
【０２２４】
又、請求項８乃至９記載の各発明では、制動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成したので、組立作業が単純化され、かかる点において装置全体の生産性及び耐久性の向上および原価低減を図ることが可能となっている。
【０２２５】
又、上述した請求項８乃至９記載の各発明では、制動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成したので、組立作業が単純化され、かかる点において装置全体の生産性の向上および原価低減を図ることができる。
【０２２６】
請求項１０乃至１１記載の各発明では、前述した請求項１記載の発明で備えている制動用プレートを駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇所に装備した。
【０２２７】
このため、この請求項１０乃至１１記載の各発明は、前述した請求項１記載の発明と同等の作用効果を有するほか、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備したので、電磁制動の強さを自由に設定することができ、又、電磁駆動手段側では駆動コイル（固定子側）と被駆動磁石（可動子側）との間の隙間を更に小さく設定し得るので、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生させることが可能となっている。
【０２２８】
請求項１２乃至１３記載の各発明では、前述した請求項２記載の発明で備えている制動用プレートを駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇所に装備した。
【０２２９】
このため、この請求項１２乃至１３記載の各発明は、前述した請求項２記載の発明と同等の作用効果を有するほか、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備し得るので、前述した請求項１０〜１１の場合と同様に電磁制動の強さを自由に設定することができ、又、電磁駆動手段側では駆動コイル（固定子側）と被駆動磁石（可動子側）との間の隙間を更に小さく設定し得るので、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生することが可能となっている。
【０２３０】
請求項１４乃至１５に記載の各発明では、前述した請求項２記載の発明において、制動プレートを各被駆動磁石に対応した単一の制動プレートで構成し、この単一の制動プレートを本体部に固定し、且つこの単一の制動プレートで前述した駆動コイルを保持するようにし、そして、前述した請求項２記載の発明における固定プレートを削除した。
【０２３１】
このため、この請求項１４乃至１５に記載の各発明は、前述した請求項２記載の発明と同等の機能を有するほか、更に、制動用プレートにて駆動コイルを保持すると共に固定プレートを削除したことから、装置全体の小型軽量化をより一層促進することが可能となり、これがためより一層の可搬性および汎用性を高めることができ、又構成要素の削減に伴って原価低減を図り得るという効果を奏する。
【０２３２】
請求項１６の発明では、前述した各発明において、前述した可動テーブルが移動した場合にその移動量を容量変化成分として検出する静電形センサを前記可動テーブルの一方と他方の側にそれぞれ装備すると共に、前記可動テーブルを介して相互に反対側に位置する前記各静電形センサからの前記移動量にかかる情報を入力しＸ方向信号およびＹ方向信号として差動出力する手段を備えたことを特徴とする。
このため、これによると、可動テーブルの移動情報を外部で用意に得ることができるので、装置の動作状況をリアルタイムで把握することができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２】図１の一部切り欠いた平面図である。
【図３】図１のＡーＡ線に沿った概略断面図である。
【図４】図１の下方からみた一部切り欠いた底面図である。
【図５】図１に開示した田形状駆動コイルと被駆動磁石および制動用プレートとの位置関係を示す説明図である。
【図６】図１の各構成部分とその動作制御系との関係を示すブロック図である。
【図７】図６に開示した動作制御系に付勢されて作動する補助プレート（可動プレート）の動作例を示す図で、図７（Ａ）は右上４５°の方向に補助プレート（可動プレート）が平面移動した場合を示す説明図、図７（Ｂ）は補助プレート（可動プレート）が角度θだけ回動した場合を示す説明図である。
【図８】図１乃至図４に開示した田形状駆動コイルの四つの角形小コイルに通電される四つの通電パターン（通電プログラムは予めプログラム記憶部に記憶される）とその機能とを示す図表である。
【図９】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図９（Ａ）は第１の制御モードと補助プレート（可動プレート）のＸ軸（正）方向への動作を示す説明図、図９（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１０】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１０（Ａ）は第３の制御モードと補助プレート（可動プレート）のＹ軸（正）方向への動作を示す説明図、図１０（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１１】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１１（Ａ）は第５の制御モードと補助プレート（可動プレート）のＸーＹ座標上の第１象限方向への動作を示す説明図、図１１（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１２】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１２（Ａ）は第７の制御モードと補助プレート（可動プレート）のＸーＹ座標上の第２象限方向への動作を示す説明図、図１２（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１３】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１３（Ａ）は第９の制御モードと補助プレート（可動プレート）のＸーＹ座標上の原点を中心として回動する場合を示す説明図、図１３（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図である。
【図１４】図１に開示した制動プレートと四つの田形状駆動コイル及び被駆動磁石との位置関係を示す図で、図１４（Ａ）は制動プレートを含む部分の構造を示す部分断面図、図１４（Ｂ）は図１４（Ａ）中のＡーＡ線に沿って見た平面図である。
【図１５】図１に開示した制動プレートの制動力発生原理を示す図で、図１５（Ａ）は図１の制動プレート部分を示す拡大部分断面図、図１５（Ｂ）はこの場合の図１４（Ａ）中のＡーＡ線に沿って見た制動プレートに生じるうず電流制動の発生状況をす説明図である。
【図１６】図１に開示した田形状駆動コイルと制動プレートとの電気的な関係を示す図で、図１６（Ａ）は両者を連結された場合の状態を示す等価回路、図１６（Ｂ）は制動プレートが無い場合の田形状駆動コイルの状態を示す等価回路である。
【図１７】図１に開示した第１実施形態の全体的な動作例を示す説明図である。
【図１８】図１７の動作例を平面的に見た場合の一例を示す説明図である。
【図１９】本発明の第２の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２０】図１９の一部切り欠いた平面図である。
【図２１】本発明の第３の実施形態を示す図で、図２１（Ａ）は一部省略した概略部分断面図、図２１（Ｂ）は図２１（Ａ）の矢印ＡーＡ線に沿ってみた一部省略した平面図である。
【図２２】本発明の第４の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２３】本発明の第５の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２４】本発明の第６の実施形態を示す一部省略した概略断面図である。
【図２５】本発明の各実施形態で開示した四つの田形状駆動コイルの固定プレート上における他の配置例と被駆動磁石との関係を示す説明図である。
【図２６】本発明における電磁駆動手段の他の例を示す図で、図２６（Ａ）は単一の口状駆動コイルと四個の被駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図、図２６（Ｂ）は四個の口状駆動コイルと八個の被駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図である。
【図２７】本発明における電磁駆動手段の他の例を示す図で、図２７（Ａ）は単一の口状駆動コイルと四個の被駆動磁石とを備えた場合の他の例を示す説明図、図２７（Ｂ）は十字状枠型に形成されたの十字状枠形駆動コイルと八個の被駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図である。
【符号の説明】
１，３１ 可動テーブル
２ テーブル保持機構
２Ａ，２Ｂ ピアノ線
３，３３ 本体部としてのケース本体
４，３４．６４ 電磁駆動手段
５ 補助テーブル
６，６６ 被駆動磁石
７ 田形状駆動コイル
８，３８ 固定プレート
９，３９，４９，５９，６９ 制動用プレート
４１，５１ 電磁制動機構
４６，５６ 制動用磁石
７１，７２，７３ 口状駆動コイル
７４，十字枠状駆動コイル
８１，８２，８３，８４ 被駆動磁石としての電磁石
Claims (16)
- 同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブルを保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備え、
前記電磁駆動手段を、前記可動テーブル側の所定位置に固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置されたコイル辺を有し且つ前記各被駆動磁石を介して前記可動テーブルに所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、前記駆動コイルを定位置にて保持すると共に前記本体部に固定された固定プレートとにより構成すると共に、
前記固定プレートは、前記可動テーブルと前記テーブル保持機構との間に配設された構成とし、
前記可動テーブルから前記テーブル保持機構に向けて前記固定プレートを貫通して突設されたテーブル側脚部を介して、前記テーブル保持機構が、前記可動テーブルを空中で安定した状態で保持する構成とし、
前記各被駆動磁石の磁極面に対向して非磁性金属部材からなる制動用プレートを配設すると共に、この制動用プレートを、前記固定プレートに保持されている前記駆動コイルの端面部分に固着装備したこと
を特徴とする精密加工用ステージ装置。 - 同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブルを保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備え、
前記可動テーブルに対向し且つ所定間隔を隔てて当該可動テーブルに平行に補助テーブルを連結装備して両者を一体化すると共に、この補助テーブルと前記可動テーブルとの間に前記電磁駆動手段を配設し、
前記テーブル保持機構は、この補助テーブルを介して前記可動テーブルを空中で安定した状態で保持すると共に、
前記電磁駆動手段を、少なくとも前記可動テーブル又は補助テーブルの何れか一方の所定位置に固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置されたコイル辺を有し且つ前記各被駆動磁石を介して前記可動テーブルに所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、この駆動コイルを定位置にて保持すると共に前記本体部に保持された固定プレートとを備えた構成とし、
前記固定プレートは、前記可動テーブルと前記補助テーブルとの間に配設された構成とし、
前記各被駆動磁石の磁極面に対向して非磁性金属部材からなる制動用プレートを配設すると共に、この制動用プレートを、前記固定プレートに保持されている前記駆動コイルの端面部分に固着装備したこと
を特徴とする精密加工用ステージ装置。 - 前記駆動コイルを複数個の田形状駆動コイルにより構成すると共に、この田形状駆動コイルの内側に位置する十字状部分に対応して前記被駆動磁石を個別に配設したことを特徴とする請求項１又は２に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記複数の被駆動磁石を永久磁石で構成したことを特徴とする請求項３に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記複数の被駆動磁石を電磁石で構成すると共に、この各被駆動磁石を前述した駆動コイルに連動して順方向又は逆方向或いは通電停止状態に選択的に通電制御する構成としたことを特徴とする請求項１，２又は３に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記制動用プレートを、前記複数の被駆動磁石に対応して個別に装備したことを特徴とする請求項１，２，３，４又は５に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記制動用プレートを、前記駆動コイルの前記各被駆動磁石側の端部に個別に固定装備したことを特徴とする請求項１，２，３，４又は５に記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記制動用プレートを、前記複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成したことを特徴とする請求項３又は４記載の精密加工用ステージ装置。
- 前記制動用プレートを、前記複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成し、この単一のプレート部材を前記各駆動コイルの各磁石側端部に固着装備したことを特徴とする請求項３又は４記載の精密加工用ステージ装置。
- 同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブルを保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備え、
前記電磁駆動手段を、前記可動テーブルの所定位置に固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置されたコイル辺を有し且つ前記各被駆動磁石を介して前記可動テーブルに所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、この駆動コイルを定位置にて保持すると共に前記本体部に固定された固定プレートとにより構成し、
前記固定プレートは、前記可動テーブルと前記テーブル保持機構との間に配設された構成とし、
前記可動テーブルから前記固定プレートを貫通して前記テーブル保持機構に向けて突設されたテーブル側脚部を介して、前記テーブル保持機構が前記可動テーブルを空中で安定した状態に保持する構成とし、
前記可動テーブルと前記固定プレートとの間に、前記可動テーブルに所定の制動力を付勢する電磁制動機構を装備すると共に、
この電磁制動機構を、前記可動テーブルの所定位置に装備され非磁性部材で且つ導電性を備えた制動用プレートと、この制動用プレートに所定の電磁制動力を付勢すると共に前記固定プレートに固着された制動用磁石とにより構成したこと
を特徴とした精密加工用ステージ装置。 - 前記電磁制動機構を、前記可動テーブルの中央部に装備したことを特徴とする請求項１０記載の精密加工用ステージ装置。
- 同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブルを保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備え、
前記可動テーブルに対向し且つ所定間隔を隔てて当該可動テーブルに平行に補助テーブルを連結装備すると共に、この補助テーブル側に前記テーブル保持機構を装備し、
前記電磁駆動手段を、前記補助テーブルの所定位置に固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置されたコイル辺を有し且つ前記各被駆動磁石を介して前記可動テーブルに所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、この駆動コイルを定位置にて保持すると共に前記補助テーブルと可動テーブルとの間に配設された固定プレートとを備えた構成とし、
前記駆動コイルの端面部分に、非磁性金属部材からなる制動用プレートを、前記被駆動磁石の磁極面に近接した状態に配設して固着すると共に、
前記可動テーブルと固定プレートとの間に、前記可動テーブルに所定の制動力を付勢する電磁制動機構を配設し、
この電磁制動機構を、前記可動テーブルに固着された一又は二以上の制動用磁石と、こ の制動用磁石に対応して前記固定プレート上に装備された非磁性部材で且つ導電性を備えた一又は二以上の制動用プレートとにより構成したことを特徴とする精密加工用ステージ装置。 - 前記制動用磁石を前記被駆動磁石に対応して四個設けると共に、この各制動用磁石に共通に対応する形態の制動用プレートを、前記固定プレート上に一枚装備したことを特徴とする請求項１２記載の精密加工用ステージ装置。
- 同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テーブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブルを保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備え、
前記可動テーブルに対向し且つ所定間隔を隔てて当該可動テーブルに平行に補助テーブルを連結装備して両者を一体化すると共にこの補助テーブルと前記可動テーブルとの間に前記電磁駆動手段を配設し、
前記テーブル保持機構を、前記補助テーブルを介して前記可動テーブルを空中で安定した状態に保持する構成とし、
前記電磁駆動手段を、前記補助テーブルの所定位置に固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置されたコイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石を介して前記可動テーブルに所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、この駆動コイルを定位置にて保持すると共に前記補助テーブル側の前記各被駆動磁石に対向して配設され非磁性金属部材からなり且つ本体部に保持された制動プレートとを備えた構成とし、
前記制動プレートを、前記本体部に保持された状態で前記可動テーブルと補助テーブルとの間に配設したことを特徴とする精密加工用ステージ装置。 - 前記請求項１４記載の精密加工用ステージ装置において、
前記制動プレート上の複数の各駆動コイルに対応して前記可動テーブル上に、前記被駆動磁石と同等に機能する他の被駆動磁石を装備したことを特徴とする精密加工用ステージ装置。 - 前記請求項１乃至１５の何れか一つに記載の精密加工用ステージ装置において、
前記可動テーブルが移動した場合にその移動量を容量変化成分として検出する静電形センサを前記可動テーブルの一方の側と他方の側にそれぞれ装備すると共に、前記可動テーブルを介して相互に反対側に位置する前記各静電形センサからの前記移動量にかかる情報を入力しＸ方向信号およびＹ方向信号として差動出力する手段を備えたことを特徴とする精密加工用ステージ装置。
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