JP2003264974A

JP2003264974A - 精密加工用ステージ装置

Info

Publication number: JP2003264974A
Application number: JP2002065069A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Kano; 快男鹿野; Junichi Onozaki; 純一小野崎
Original assignee: Tamura Corp; Japan Science and Technology Corp
Current assignee: Japan Science and Technology Agency; Tamura Corp
Priority date: 2002-03-11
Filing date: 2002-03-11
Publication date: 2003-09-19
Anticipated expiration: 2022-03-11
Also published as: JP4139608B2

Abstract

(57)【要約】【課題】可動テーブルの移動停止時に生じ易い往復動
作を排除し、テーブル移動の円滑化と装置の小型化を図
った精密加工用ステージ装置を提供すること。【解決手段】同一面上にて任意の方向に移動可能に配設
された可動テーブル１と、この可動テーブル１の移動を
許容し該可動テーブル１を元位置復帰力を付加した状態
で保持するテーブル保持機構２と、この可動テーブル１
に移動力を付勢する電磁駆動手段４，３４とを有する。
電磁駆動手段４，３４は、可動テーブル１側に装備され
た複数の被駆動磁石６と、各被駆動磁石６に対向して配
置されたコイル辺を有し各被駆動磁石６を介して可動テ
ーブル１に電磁駆動力を付勢する駆動コイル７と、この
駆動コイル７を保持する手段とにより構成し、可動テー
ブル１側に制動用プレートを装備し、可動テーブル１の
円滑な動作を確保した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、精密加工用ステー
ジ装置に係り、特にＩＣやＬＳＩ等の半導体生産工程に
おける精密加工，配線作業，或いはその検査等で使用さ
れる精密加工用ステージ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体産業等では、ＩＣやＬ
ＳＩ等の生産工程で被加工物を精密加工の場に配設し保
持するのに、多くは精密移動可能な可動テーブルを備え
た加工用ステージ装置が使用されている。この場合、可
動テーブルをＸーＹ面上の任意の位置に精密移動させる
には、通常は、まずＸ方向移動機構で可動テーブル全体
をＸ方向に移動し、次に（又は同時に）、この可動テー
ブル及びＸ方向移動機構の全体をＹ方向移動機構にてＹ
方向に移動する、という二重重ね構造の移動体保持機構
を備えた方式のものが多い。又、この種の加工用ステー
ジ装置は、可動テーブルをＸ方向およびＹ方向への移動
制御に際しては、比較的低速度で駆動し且つ機械的な制
動機構を装備したものが多い。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例のものは、可動テーブルの移動に際しては、上述し
たように、Ｘ方向へ移動させるＸ方向移動機構とＹ方向
へ移動させるＹ方向移動機構とが交差した二重構造の移
動体保持機構を備えており、特に精密を要する当接移動
部分はすり合わせ構造を備えていることから、加工に多
くの手間がかかり、又、組立時の精密調整にも熟練を要
するという不都合があった。このため、生産性が悪く、
多くは装置全体が高価なものとなっていた。

【０００４】更に、当該テーブル移動に関するシステム
の自動化に際しては、上述した二重構造の駆動機構の連
結および位置センサの装備等に多くのスペースをとり、
装置全体が大型化するという不都合があった。また、上
記従来例のものは、可動テーブルに元位置復帰用の復帰
ばねが併設されているものが多い。この場合、可動テー
ブルの停止に際しては当該可動テーブルに付加される加
速又は減速の駆動力に起因して当該可動テーブルに停止
位置での往復微小動作が生じ易く、このため、所定位置
での停止に際しては摩擦を利用した機械的な制動装置が
不可欠なものとなっていた。

【０００５】一方、この種の機械的な摩擦制動は作動時
に微小振動が生じ易いことからミクロン単位の精密移動
には停止時の動作が不安定となり、又当該機械的な制動
機構の併設によって装置全体が大型化して可搬性が悪
く、保守性も悪いという不都合が常に伴なっていた。

【０００６】

【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくに、同一面上で所定方向に円滑に精密加
工用の可動テーブルを精密移動させる機能を備えると共
に、組立作業の大幅な改善および装置全体の小型軽量化
を可能とし、更に、可動テーブルの停止時の往復動作や
微小振動等を有効に抑制し、これによって当該可動テー
ブルの精密移動をより迅速に且つ円滑になし得る精密加
工用ステージ装置を提供することを、その目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可
動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の
方向への移動を許容すると共に当該可動テーブルに元位
置復帰力を付加した状態で当該可動テーブルを保持する
テーブル保持機構と、このテーブル保持機構を支持する
本体部と、この本体部側に装備され前述した可動テーブ
ルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備えている。

【０００８】この内、電磁駆動手段は、少なくとも前述
した可動テーブル側の所定位置に固定装備された複数の
被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置された
コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石を介して可動テー
ブルに所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を
付勢する駆動コイルと、この駆動コイルを定位置にて保
持する固定プレートとにより構成されている。そして、
駆動コイルの前述した被駆動磁石側の対向する面の端面
部分には、被駆動磁石に対向して非磁性金属部材からな
る制動用プレートが被駆動磁石の磁極面に近接して配設
され、この制動用プレートを固定プレート側に固定す
る、という構成を採っている。

【０００９】このため、この請求項１記載の発明では、
電磁駆動手段が作動すると、まず、当該電磁駆動手段が
備えている固定プレート側の駆動コイルと被駆動磁石と
の間に電磁力が生じ、当該電磁力によって被駆動磁石が
可動テーブルと共に所定の方向に移動力が付勢される。
この場合、可動テーブルはテーブル保持機構によって
同一面内での任意の方向への移動が許容された状態で保
持されていることから、上下動することなく所定の方向
に円滑に移動し、前述したテーブル保持機構の有する元
位置復帰力と電磁駆動手段の電磁力との平衡のとれた位
置（即ち、所定の移動停止位置）にて停止する。

【００１０】一方、この可動テーブルは、その移動／停
止に際しては電磁駆動力によって，又はテーブル保持機
構の有するばねの復帰力によって急に加速される場合が
多い。この場合、可動テーブル自体が急発進／急停止さ
れることとなり、このため、特に停止に際しては可動テ
ーブルの慣性力と前述したテーブル保持機構の有する元
位置復帰力との間で停止時に微小往復動作が生じやす
い。

【００１１】かかる場合、被駆動磁石が装備された可動
テーブルが急激に移動すると、当該被駆動磁石と非磁性
金属部材からなる制動用プレートとの間に相対的な移動
速度に比例した大きさの電磁制動（うず電流ブレーキ）
が働き、これにより、可動テーブルはその急激な移動動
作（振動も含めて）が抑制され、所定方向に安定した状
態で且つ円滑に移動することができる。

【００１２】又、この請求項１記載の発明では、制動用
プレートを被駆動磁石に対向した状態で固定プレート装
備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生さ
せる電磁駆動手段も可動テーブルに装備した被駆動磁石
とこれに対向して固定プレートに駆動コイルを装備する
という簡単な構成であることから、装置全体を小型化お
よび軽量化することが可能となり、可搬性良好であるば
かりでなく、組立作業に際しても特に熟練を要すること
がないことから、作業性も良好となり、かかる点におい
て二重構造の移動機構を備えた従来のものに比較して生
産性を大幅に高めることができる。

【００１３】更に、駆動コイルの前述した被駆動磁石側
の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制
動用プレートは、駆動コイルにより形成される磁束を鎖
交する部分がコイルと同等に機能することからトランス
の二次側回路と同等の回路を構成し、同時にこの二次側
回路は、制動用プレートの電気抵抗成分（うず電流損を
生じる）を介して常時短絡された形態を構成する。

【００１４】このため、この場合の一次側回路を構成す
る駆動コイルは、二次側回路が開放状態の場合（制動用
プレートがない場合）に較べて比較的大きい電流を通電
することができ、これがため、前述した被駆動磁石との
間には当該制動用プレートが無い場合に較べて比較的大
きい電磁力を出力することが可能となっている。

【００１５】又、この制動用プレートは、放熱板として
も機能し、かかる点において駆動コイルの連続運転に伴
って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下（即
ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制して通電電流を長
時間ほぼ一定レベルに設定することができ、このため、
電磁駆動手段から出力される電磁駆動力に対する外部か
らの電流制御を安定した状態にて継続することができ、
経年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制することが
でき、装置全体の耐久性を、ひいては装置全体の信頼性
を高めることができる。

【００１６】請求項２記載の発明では、前述した請求項
１記載の発明で開示した可動テーブルに対して、これに
対向し且つ所定間隔を隔てて補助テーブルを平行に一体
的に連結装備すると共に、この補助テーブル側に前述し
たテーブル保持機構を装備し、更にこの補助テーブルに
前述した被駆動磁石を装備すると共に、これに対向する
ように前述した駆動コイルを固定プレートに配設した点
に特徴を備えている。その他の構成は、前述した請求項
１記載の発明と同一となっている。

【００１７】このため、この請求項２記載の発明では、
補助テーブルを介して可動テーブルを駆動するほかは前
述した請求項１記載の発明とほぼ同等の機能を備えたも
のとなっており、更に、補助テーブルに被駆動磁石を装
備したことから、組立て作業に際しては可動テーブルの
損傷事故等の発生を有効に回避することができ、かかる
点において当該装置の製造に際しての作業性および生産
性の向上を図ることができる。

【００１８】請求項３記載の発明では、前述した請求項
１又は２記載の精密加工用ステージ装置において、駆動
コイルを複数個の田形状駆動コイルにより構成すると共
に、この田形状駆動コイルの内側に位置する十字状部分
に対応して前述した被駆動磁石を個別に配設する、とい
う構成を採っている。

【００１９】このため、この請求項３記載の発明では、
前述した請求項１又は２記載の発明と同等の機能を有す
るほか、田形状駆動コイルの内側に設定された許容移動
範囲内において各被駆動磁石を（ひいては可動テーブ
ル）を所定の方向に自在に且つ精密に移動させることが
可能となる。この場合、田形状駆動コイルは、実際には
別に装備された駆動制御手段によって例えばＸ方向また
はＹ方向の駆動力を対応する各被駆動磁石との間に発生
せしめ、全体的にこれを統一制御して当該被駆動磁石を
介して可動テーブルを所定の方向に移動させるようにな
っている。

【００２０】請求項４記載の発明では、前述した請求項
３記載の精密加工用ステージ装置において、複数の被駆
動磁石を永久磁石で構成する、という構成を採ってい
る。

【００２１】このため、この請求項４記載の発明では、
前述した請求項３記載の発明と同等の機能を有するほ
か、更に、被駆動磁石を永久磁石としたことから電磁石
のような通電回路が不要となり、その分、組み立て時及
び保守点検時における作業の煩雑さを回避することがで
き、かかる点において、生産性および保守性の向上を図
り、装置全体の耐久性を増すことができて都合がよい。

【００２２】請求項５記載の発明では、前述した請求項
１，２又は３記載の精密加工用ステージ装置において、
前述した複数の被駆動磁石を電磁石で構成すると共に、
この各被駆動磁石を前述した駆動コイルに連動して順方
向又は逆方向或いは通電停止状態に選択的に通電制御す
るように構成する、という手法を採っている。

【００２３】このため、この請求項５記載の発明では、
前述した請求項１，２又は３記載の記載の発明と同等の
機能を有するほか、更に、被駆動磁石を電磁石で構成し
たので、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもたせる
ことができる。例えば、移動時の加速／減速に際しては
駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し
得るので、可動テーブルの移動方向の変化に対して迅速
に対応し得ることが可能となる。

【００２４】請求項６乃至７記載の各発明では、前述し
た制動用プレートを、複数の被駆動磁石に対応して個別
に装備してもよい（請求項６の場合）とし、又この場
合、制動用プレートを各駆動コイル側の端部に固定して
もよい（請求項７の場合）とした。更に、請求項８乃至
９記載の各発明では、前述した制動用プレートを、前述
した複数の被駆動磁石全体を対象として単一のプレート
部材により構成してもよい（請求項８の場合）とし、更
に、この単一のプレート部材を前記各駆動コイルの各磁
石側端部に固着装備してもよい（請求項９の場合）とし
た。

【００２５】このようにしても、前述した各発明と同等
の機能を得ることができ、更に請求項６乃至７記載の各
発明では、駆動コイル毎に制動用プレートが装備される
ので、駆動コイル相互間に空間が設定されることから放
熱効果が有効に促進されるほか、保守点検作業の円滑
化，即ち保守性の向上を図り得るという利点がある。

【００２６】又、上述した請求項８乃至９記載の各発明
では、制動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象と
して単一のプレート部材により構成したので、組立作業
が単純化され、かかる点において装置全体の生産性の向
上および原価低減を図ることができる。

【００２７】請求項１０乃至１１記載の各発明では、前
述した請求項１記載の発明で備えている制動用プレート
を駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と
共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇
所に装備した点に特徴を備えている。この場合、電磁制
動機構は、例えば可動テーブルの背面側の中央部に装備
してもよい。

【００２８】このようにしても、前述した請求項１記載
の発明と同等の機能を有するほか、電磁制動機構を電磁
駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備し得るので、
電磁制動の強さを自由に設定することができ、又、電磁
駆動手段側では駆動コイル（固定子側）と被駆動磁石
（可動子側）との間の隙間を更に小さく設定し得るの
で、駆動コイルと被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力
を効率良く発生することができるという利点がある。

【００２９】請求項１２乃至１３記載の各発明では、前
述した請求項２記載の発明で備えている制動用プレート
を駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と
共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇
所に装備した点に特徴を備えている。この場合、電磁制
動機構は、例えば可動テーブルと固定プレートとの間に
装備してもよい。この場合、制動用プレートについては
固定プレート上に一枚装備し、これに対応して専用の制
動用磁石を可動テーブルの背面に装備してもよい。尚、
制動用プレートと制動用磁石とは装備箇所を逆にしても
よい。

【００３０】このようにしても、前述した請求項２記載
の発明と同等の機能を有するほか、電磁制動機構を電磁
駆動手段とは切り離して任意の箇所に装備し得るので、
前述した請求項１０〜１１の場合と同様に電磁制動の強
さを自由に設定することができ、又、電磁駆動手段側で
は駆動コイル（固定子側）と被駆動磁石（可動子側）と
の間の隙間を更に小さく設定し得るので、駆動コイルと
被駆動磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生す
ることができるという利点がある。

【００３１】請求項１４乃至１６記載の各発明では、前
述した請求項２記載の発明において、制動プレートを各
被駆動磁石に対応した単一の制動プレートで構成し、こ
の単一の制動プレートを本体部に固定し、且つこの単一
の制動プレートで前述した駆動コイルを保持するように
し、そして、前述した請求項２記載の発明における固定
プレートを削除した点に特徴を備えている。

【００３２】この場合、電磁駆動手段の駆動コイルを田
形状駆動コイルにより構成してもよい（請求項１５）。
又、前述した電磁駆動手段の複数の各被駆動磁石の装備
箇所に対応して、前述した可動テーブルの駆動コイル側
に、前述した各被駆動磁石と同等に機能する第２の被駆
動磁石をそれぞれ装備してもよい（請求項１６）。

【００３３】このようにしても、前述した請求項２記載
の発明と同等の機能を有するほか、制動用プレートにて
駆動コイルを保持すると共に固定プレートを削除したこ
とから、装置全体の小型軽量化をより一層促進すること
が可能となり、これがため汎用性を高めることができ、
又構成要素の削減に伴って原価低減を図ることができる
という利点も生じる。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図に基づいて説明する。

【００３５】

【第１の実施形態】本発明の第１の実施の形態を図１乃
至図１８に示す。この図１乃至図１８において、符号１
は可動テーブルを示し、符号２はテーブル保持機構を示
す。このテーブル保持機構２は、図１の下方部分に配設
され、前述した可動テーブル１が同一面内での任意の方
向への移動を許容すると共に当該可動テーブル１に元位
置復帰力を付加した状態で当該可動テーブル１を保持す
るように構成されている。

【００３６】このテーブル保持機構２は本体部としての
ケース本体３によって支持されている。ケース本体３
は、本実施形態では図１に示すように上方および下方が
開放された箱体状に形成されている。付号４は電磁駆動
手段を示す。この電磁駆動手段４は、その主要部がケー
ス本体３側に保持され、前述した可動テーブル１に移動
力を付勢する機能を備えている。符号３Ａは、ケース本
体３の内壁部周囲に突設された駆動手段保持部を示す。
電磁駆動手段４は、本実施形態では可動テーブル１と後
述する補助テーブル５との間に配設されている。

【００３７】又、前述した可動テーブル１に対向し且つ
所定間隔を隔てて平行に磁性部材からなる補助テーブル
５が連結装備されている。そして、前述したテーブル保
持機構２は、この補助テーブル５側に装備され、該補助
テーブル５を介して可動テーブル１を保持するように構
成されている。

【００３８】前述した電磁駆動手段４は、補助テーブル
５の所定位置に固定装備された四個の正方形形状の被駆
動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置された
十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対して
前述した可動テーブル１の所定の移動方向に沿って電磁
的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７と、こ
の田形状駆動コイル７を定位置にて保持すると共に前述
した補助テーブル５の可動テーブル１側に装備された固
定プレート８とを備えている。この内、田形状駆動コイ
ル７と磁性部材からなる固定プレート８とによって電磁
駆動手段４の要部が構成されている。

【００３９】更に、上述した田形状駆動コイル７の前述
した被駆動磁石６側の端面側には、非磁性金属部材（例
えば電気抵抗の少ない銅製部材）からなる制動用プレー
ト９が被駆動磁石６の磁極面に近接して個別に配設され
ている。この制動用プレート９は前述した固定プレート
８側に固着装備されている。

【００４０】以下、これを更に詳細に説明する。〔可動テーブルと補助テーブル〕まず、図１乃至図４に
おいて、可動テーブル１は円形状に形成され、補助テー
ブル５は四角形状に形成されている。この補助テーブル
５は、可動テーブル１に対向し且つ所定間隔を隔てて平
行に配置され、その中心部の連結支柱１０を介して前述
した可動テーブル１に一体的に連結されている。このた
め、この可動テーブルは、補助テーブル５と平行状態を
維持しつつ一体的に移動し且つ一体的に回転し得るよう
になっている。

【００４１】連結支柱１０は、前述したように可動テー
ブル１と補助テーブル５とを連結する連結部材であっ
て、両端部に鍔部１０Ａ，１０Ｂを備えた断面工字状に
形成され、その両端部外側中央には、可動テーブル１と
補助テーブル５との各中心部に形成された位置決め孔１
ａ，５ａに係合する突起１０ａ，１０ｂが設けられてい
る。

【００４２】そして、可動テーブル１と補助テーブル５
とは、この突起１０ａ，１０ｂと鍔部１０Ａ，１０Ｂと
によって位置決めされ当該連結支柱１０に固着され一体
化されている。この一体化に際しては本実施形態では接
着剤が用いられているが、溶接にて部分的に接合して
も、或いは突起１０ａ，１０ｂ部分を位置決め孔１ａ，
５ａに圧入し他の部分を接着剤又は溶接等によって一体
化してもよい。

【００４３】又、可動テーブル１或いは補助テーブル５
の何れか一方をネジ止めにて前述した連結支柱１０の鍔
部１０Ａ又は１０Ｂに着脱自在に固着してもよい。この
場合、ネジ止め後に、数本のノックピンを位置決め固定
用として係合する両者間に打ち込むとよい（図示せ
ず）。このようにすると、可動テーブル１と補助テーブ
ル５との一体化を更に有効に実現することができて都合
がよい。

【００４４】〔テーブル保持機構〕前述したテーブル保
持機構２は、本実施形態にあっては可動テーブル１を保
持しつつ当該可動テーブル１をその高さ位置を変えるこ
となく同一面上のいずれの方向へも自在に移動可能とす
る機能を備えたものであり、補助テーブル５を介してこ
れを実行するようにしたものである。

【００４５】このテーブル保持機構２は、全体的にはリ
ンク機構を三次元空間に応用したもので、所定間隔を隔
てて設置される二本のピアノ線（可動テーブル１および
補助テーブル５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒
状弾性線材であれば他の部材であってもよい）を一組と
して予め補助テーブル５の端部周囲のコーナー部分に対
応して四組準備し、この四組のピアノ線を組毎に、四角
形状の中継プレート２Ｇの各四隅部分に分けてそれぞれ
上方向に向けて植設する。そして、内側に位置する四本
のピアノ線２Ａで補助テーブル５を下方から保持し、外
側に位置する四本のピアノ線２Ｂで中継プレート２Ｇを
本体部３から揺動自在に吊り下げたような構成とした。

【００４６】これにより、補助テーブル５（即ち、可動
テーブル１）が中継プレート２Ｇと各四本のピアノ線２
Ａ，２Ｂとによって空中で安定した様態で保持され、そ
の水平面内での移動は、後述するように同一の高さ位置
を維持しつつ何れの方向にも自在に移動可能となってい
る。同一面内での回転動作もほぼ同様に可能となる。

【００４７】これを更に詳述する。前述したテーブル保
持機構２は、補助テーブル５の周端部の四隅部分からそ
れぞれ図１の下方に向けて植設された四本のテーブル側
ピアノ線２Ａと、この各テーブル側ピアノ線２Ａの図１
における下端部に装備された中継プレート２Ｇと、この
中継プレート２Ｇを本体部側から吊り下げるように構成
され前述したテーブル側ピアノ線２Ａの外側に装備され
た本体側ピアノ線２Ｂとを備えている。

【００４８】この四本のテーブル側ピアノ線２Ａは、図
１における上端部が補助テーブル５に固着され、下端部
が中継プレート２Ｇに固着されている。符号５Ａ，５Ｂ
は補助テーブル５の下面側の二箇所に設けられた下方突
出部を示す。この下方突出部５Ａ，５Ｂによってテーブ
ル側ピアノ線２Ａの固定位置が設定されている。

【００４９】又、この四本の各テーブル側ピアノ線２Ａ
の外側には、所定間隔Ｓを隔てて本体側ピアノ線２Ｂが
それぞれ個別に且つ平行に配設されている。この本体側
ピアノ線２Ｂは、その下端部が前述したテーブル側ピア
ノ線２Ａと同様に中継プレート２Ｇに固着され、その上
端部がケース本体３の内壁部に設けられた本体側突出部
３Ｂに固着されている。これらの各ピアノ線２Ａ，２Ｂ
は、前述したように可動テーブル１および補助テーブル
５を支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材に
よって形成されている。

【００５０】これにより、前述した可動テーブル１は、
まず、補助テーブル５と共に中継プレート２Ｇ上にて内
側の４本のテーブル側ピアノ線２Ａによって支持され、
当該４本のテーブル側ピアノ線２Ａの弾性限界内におい
てリンク機構の原理に従ってその平行移動および面内で
の回転が許容された状態となっている。

【００５１】一方、中継プレート２Ｇは、当該中継プレ
ート２Ｇ上の外側の４本のテーブル側ピアノ線２Ｂによ
って本体側突出部３Ｂに吊持されていることから、ケー
ス本体３に対してはその平行移動および面内での回転が
同様に許容された状態となっている。

【００５２】このため、補助テーブル５（即ち、可動テ
ーブル１）が、外力に付勢されてその面内で移動し又は
回転すると、後述する図１７に示すようにテーブル側お
よびケース本体側の各ピアノ線２Ａ，２Ｂが同時に弾性
変形して中継プレート２Ｇが平行状態を維持しつつ上下
動する。即ち、補助テーブル５（即ち、可動テーブル
１）が外力によってその面内で移動し又は回転すると、
その高さ位置の変動は中継プレート２Ｇによって吸収さ
れる。これにより、可動テーブル１は、外力に付勢され
て移動しても、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性限界内にお
いて何れの方向へも同一高さを維持しつつ移動すること
が可能となっている。

【００５３】ここで、テーブル側およびケース本体側の
各ピアノ線２Ａ，２Ｂは同一の直径を備え同一の弾性を
備えたものが使用され、その露出部分の長さＬはそれぞ
れ全く同一に設定されている。又、各ピアノ線２Ａ，２
Ｂは、例えば図１，図３に示すように本実施形態では左
右方向に沿って配設されているが、ＸーＹ面上における
Ｘ軸およびＹ軸に対してそれぞれ線対称に成る位置に配
設されておれば、図２に示す位置以外の位置に配設して
もよい。

【００５４】そして、上述したように各ピアノ線２Ａ，
２Ｂを配置することにより、可動テーブル１の移動に際
して各ピアノ線２Ａ，２Ｂには弾性応力がそれぞれ均一
に生じることから、可動テーブル１の元位置復帰を含め
て可動テーブル１を円滑に移動し得るという利点を得る
ことができる。

【００５５】このように、上述したテーブル保持機構２
では、例えば補助テーブル５が全体的に同一方向にスラ
イド移動すると、各組の各ピアノ線２Ａ，２Ｂは全て同
一に変形をすることとなる。この場合、本体側ピアノ線
２Ｂは端部が保持された状態で弾性変形することから、
同様に弾性変形するテーブル側ピアノ線２Ａの変形動作
により補助テーブル５の高さ位置は不変となり、代わっ
て、両ピアノ線２Ａ，２Ｂに共通に支持された中継プレ
ート２Ｇの高さ位置が変動する。

【００５６】換言すると、この中継プレート２Ｇが両ピ
アノ線２Ａ，２Ｂの変形で生じる高さ位置の変動を吸収
することになり、これにより、補助テーブル５（即ち可
動テーブル１）は全体的に高さ変動することなく同一面
内でスライド移動することとなる。この場合、補助テー
ブル５から駆動力を開放すると、当該補助テーブル５は
各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用によって一直線に元位
置に復帰する。

【００５７】また、補助テーブル５（即ち、可動テーブ
ル１）が同一面内で回転駆動された場合にも、同等の理
由から補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）は全体
的にほぼ同一の高さを維持しつつ同一面内で回転動作す
ることとなる。そして、この場合も駆動力を開放する
と、補助テーブル５は各ピアノ線２Ａ，２Ｂのばね作用
により一直線に元位置に復帰する。

【００５８】〔電磁駆動手段〕可動テーブル１と補助テ
ーブル５との間には、前述したように、補助テーブル５
を介して可動テーブル１に対し所定の移動力を付勢する
電磁駆動手段４が装備されている（図１参照）。

【００５９】この電磁駆動手段４は、前述したように、
本実施形態では補助テーブル５上に装備された四個の被
駆動磁石（本実施形態では永久磁石が使用されている）
６と、この各被駆動磁石６を介して可動テーブル１に所
定の移動方向に向けて所定の電磁力を付勢する四個の田
形状駆動コイル７と、この各田形状駆動コイル７を保持
する固定プレート８とを備えている。

【００６０】この内、固定プレート８は、図１に示すよ
うに、補助テーブル５の可動テーブル１側（補助テーブ
ル５と可動テーブル１との間）に装備され、その周囲が
ケース本体３に固着装備されている。ここで、この固定
プレート８については、図１の左右両端部のみがケース
本体３に固定装備されるように構成してもよい。この固
定プレート８の中央部には、前述した連結支柱１０の所
定範囲内での平行移動を許容する貫通穴８Ａが形成され
ている。この貫通穴８Ａは、本実施形態では円形のもの
が形成されているが、四角形であっても或いはその他の
形状であってもよい。

【００６１】前述した固定プレート８は、前述したよう
にその周囲全体が本体側突出部３に保持されている。こ
の場合、固定プレート８と本体側突出部３Ａとは、その
一体化を堅牢にするため、ネジ止め後にノックピン等で
一体化しても或いは溶接等で一体化してもよい。このよ
うにすると、可動テーブルのミクロン（μ）単位の変位
や移動に対しても、固定プレート８がケース本体３に対
して位置ずれを生じることなく円滑にこれに対応するこ
とができるという利点が生じる。

【００６２】前述した四個の被駆動磁石６は、本実施形
態では図２，図３に示すように、駆動コイルとの対向面
が四角形状の永久磁石が使用され、補助テーブル５の上
面における直交するＸ軸，Ｙ軸からなるＸーＹ面上で、
中心部から等距離の位置のＸ軸上およびＹ軸上にそれぞ
れ配設され固着されている。この四個の被駆動磁石６に
対向する位置には、中央部に十字状のコイル辺を有し且
つ当該各被駆動磁石６を介して前述した可動テーブル１
に所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を付勢
する田形状駆動コイル７が、前述した四個の被駆動磁石
６に個別に対応して固定プレート８上の定位置に、固着
装備されている。

【００６３】この場合、四個の被駆動磁石６の向きは、
田形状駆動コイル７に面する側の磁極が、本実施形態で
はＸ軸上のものはＮ極に、Ｙ軸上のものはＳ極に、それ
ぞれ設定されている（図２，図３参照）。

【００６４】このため、十字状のコイル辺の縦方向又は
横方向に生じる電流と被駆動磁石６とのあいだに発生す
る電磁力は、常にＸ軸方向又はＹ軸方向に統一され、そ
の合力が常に最大値となるように設定されている。この
ため、発生する電磁力を効率良く可動テーブル１に対す
る駆動力として出力することが出来て都合がよい。

【００６５】また、前述した、田形状駆動コイル７につ
いては、その大きさは内側に有する十字状コイル辺の領
域が前述した被駆動磁石６の最大移動範囲を許容する大
きさに設定されている。

【００６６】このため、四個の被駆動磁石６との間に生
じる電磁力は、田形状駆動コイル７が固定プレート８上
の定位置に固定されていることにより、当該被駆動磁石
６を介して補助テーブル５に対する所定方向への移動力
として確実に出力されることとなる。

【００６７】〔田形状駆動コイル〕電磁駆動手段４の主
要部を成す田形状駆動コイル７は、例えば図５に示すよ
うに、実際にはそれぞれ独立して通電可能な四個の角形
小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄにより構成されてい
る。

【００６８】このため、各角形小コイル７ａ〜７ｄの通
電方向を後述する動作制御系によって外部から切り換え
制御することにより、例えば田形状駆動コイル７の内部
の十字状部分に流れる電流を図中の縦方向又は横方向の
何れか一方に限定して通電（正又は逆方向を含めて）す
ることが可能となり、これにより対応して配置された被
駆動磁石６に対しては、フレミングの左手の法則に従っ
て当該各被駆動磁石６を所定の方向へ押圧する電磁力
（反力）を出力することができる。

【００６９】この四個の角形小コイル７ａ〜７ｄに生じ
る電磁力の方向を組み合わせることにより、前述した田
形状駆動コイル７の内側に位置する十字状のコイル辺部
分に、縦方向又は横方向等の何れか一方への通電状態が
設定され、これによって、対応する被駆動磁石６に所定
方向への電磁駆動力が出力される。そして、前述した四
個の被駆動磁石６に生じる電磁駆動力の合力によって、
前述した補助テーブル５に対してＸーＹ軸上で回転動作
を含む任意の方向に向けて移動力が付勢されるようにな
っている。

【００７０】これら四個の角形小コイル７ａ〜７ｄに対
する一連の通電制御の手法については、後述するプログ
ラム記憶部２２の説明箇所（図６，図８）で詳述する。
又、この四個の角形小コイル７ａ〜７ｄは中空のコイル
もよいが、内側にフェライト等の被導電性磁性部材を充
填したものであってもよい。符号９は、被駆動磁石６に
近接対向して田形状駆動コイル７側に固定装備された制
動用プレートを示す。

【００７１】〔位置検出センサ機構〕前述した電磁駆動
手段４によって駆動される補助テーブル５（即ち、可動
テーブル１）の移動状態は、位置検出センサ機構２５に
よって検出される。

【００７２】この位置検出センサ機構２５は、図６に示
すように、本実施形態では静電容量型の複数の検出電極
（本実施形態では８個）を備えた容量センサ群２６と、
この容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分
を電圧変換すると共に所定の演算をして位置変化情報と
して後述するテーブル駆動制御手段２１に送り込む位置
情報演算回路２７とを備えた構成となっている。

【００７３】この内、位置情報演算回路２７は、前述し
た容量センサ群２６で検出される複数の容量変化成分を
個別に電圧変換する信号変換回路部２７Ａと、この信号
変換回路部２７で変換された複数の容量変化成分にかか
る電圧信号を所定の演算によりＸーＹ座標上の位置を示
すＸ方向位置信号Ｖ_X及びＹ方向位置信号Ｖ_Yに変換
し、更には回転角信号θを演算して出力する位置信号演
算回路部２７Ｂとにより構成されている。

【００７４】前述した複数の容量センサ群２６は、図１
乃至図４に示すように、補助テーブル５の周囲の下面部
分に対向して且つ前述した本体側突出部３Ｂの上面に所
定間隔を隔てて配設された８個の角形の容量検出電極２
６Ｘ₁，２６Ｘ₂，２６Ｘ₃，２６Ｘ₄，２６Ｙ₁，２
６Ｙ₂，２６Ｙ₃，２６Ｙ₄と、これに対応して前述し
た補助テーブル５の周囲の下面部分に設定された比較的
幅の広い共通電極（図示せず）とにより構成されてい
る。

【００７５】そして、上記各容量検出電極２６Ｘ₁，２
６Ｘ₂，２６Ｘ₃，２６Ｘ₄，２６Ｙ₁，２６Ｙ₂，２
６Ｙ₃，２６Ｙ₄の内、容量検出電極２６Ｘ₁，２６Ｘ
₂が図２，図３の右端部に上下に沿って所定間隔を隔て
て装備され、これに対して容量検出電極２６Ｘ₃，２６
Ｘ₄が図２，図３の左端部に上下に沿って所定間隔を隔
てて装備されている。

【００７６】また、上記各容量検出電極２６Ｘ₁，２６
Ｘ₂，２６Ｘ₃，２６Ｘ₄，２６Ｙ ₁，２６Ｙ₂，２６
Ｙ₃，２６Ｙ₄の内、容量検出電極２６Ｙ₁，２６Ｙ₂
が図２，図３の上端部に左右に沿って所定間隔を隔てて
装備され、容量検出電極２６Ｙ₃，２６Ｙ₄が図２，図
３の下端部に左右に沿って所定間隔を隔てて装備されて
いる。

【００７７】そして、例えば前述した補助テーブル５
（即ち、可動テーブル１）が電磁駆動手段４に付勢され
て図７（Ａ）に示すように矢印Ｆの方向（図中、右上方
向）に移動動作した場合、本実施形態では、補助テーブ
ル５の両側に（及び上下方向に）位置する一方の容量検
出電極２６Ｘ₁，２６Ｘ₂（２６Ｙ₁，２６Ｙ₂）と他
方の２６Ｘ₃，２６Ｘ₄（２６Ｙ₃，２６Ｙ₄）で検出
される容量変化成分が、信号変換回路２７Ａで電圧変換
された後に位置信号演算回路２７Ｂに送り込まれ、この
位置信号演算回路２７Ｂで前述した各変換電圧を入力し
てＸ方向位置信号Ｖ_X，Ｙ方向位置信号Ｖ_Yとして差動
出力するように構成されている。

【００７８】又、前述した補助テーブル５が電磁駆動手
段４に付勢されて図７（Ｂ）に示すように矢印方向に回
転動作した場合、本実施形態では、上述した場合と同様
に各部が作動し同様に機能し、変化成分が電圧変換され
て所定の回転角信号θとして差動出力されるように構成
されている。

【００７９】このため、本実施形態にあっては、図３の
左右（及び上下）の各容量検出電極に同時に印加される
ノイズを差動出力（例えば、Ｘ軸方向の一端部と他端部
に配置された容量検出電極に検知される容量変化の差を
とること：外部雑音排除機能）によって打ち消すことが
でき、同時に測定値が電圧変換された後にその変化分が
合算されて出力されるので（減少した分がマイナス分と
して引き算されること、例えばＡ−（−Ａ）＝２Ａの如
きもの）、これにより補助テーブル５（可動テーブル
１）の位置情報を高感度に出力することができるという
利点がある。

【００８０】〔動作制御系〕本実施形態にあっては、前
述した電磁駆動手段４には、前述した複数の田形状駆動
コイル７を個別に駆動制御して前述した可動テーブル１
の移動若しくは回転動作を規制する動作制御系２０が併
設されている（図６参照）。

【００８１】この動作制御系２０は、図６に示すよう
に、前述した電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動コイ
ル７を所定の制御モードに従って個別に駆動し前述した
可動テーブル１を所定の方向に移動制御するテーブル駆
動制御手段２１と、このテーブル駆動制御手段２１に併
設され前述した可動テーブル１の移動方向，回転方向，
およびその動作量等が特定された複数の制御モードにか
かる複数の制御プログラムが記憶されたプログラム記憶
部２２と、これら各制御プログラムの実行に際して使用
される所定のデータ等を記憶したデータ記憶部２３とを
備えている。

【００８２】テーブル駆動制御手段２１には、複数の各
田形状駆動コイル７に対する所定の制御動作を指令する
動作指令入力部２４が併設されている。又、このテーブ
ル駆動制御手段２１には、前述した可動テーブル１の移
動中および移動後の位置情報が、前述した位置検出セン
サ機構２５によって検出され後述するように高感度に演
算処理されて送り込まれるようになっている。

【００８３】上述したテーブル駆動制御手段２１は、本
実施形態にあっては、動作指令入力部２４からの指令に
基づいて作動し所定の制御モードをプログラム記憶部２
２から選択し前述した複数の各田形状駆動コイル７に所
定の電流を通電制御する主制御部２１Ａと、この主制御
部２１Ａにて設定される制御モードに従って所定の四個
の各田形状駆動コイル７，７……を同時に且つ個別に駆
動制御するコイル選択駆動制御部２１Ｂとを備えてい
る。

【００８４】又、主制御部２１Ａは、テーブル位置を検
出する位置検出センサ機構２５からの入力情報に基づい
て前述した可動テーブル１の位置を算定し或いはその他
の種々の演算を行う機能も同時に兼ね備えている。符号
４Ｇは、前述した電磁駆動手段４の複数の各田形状駆動
コイル７に所定の電流を通電する電源回路部を示す。

【００８５】更に、上記テーブル駆動制御手段２１は、
前述した位置検出センサ機構２５からの情報を入力して
所定の演算を行いこれに基づいて予め動作指令入力部２
４で設定した移動先の基準位置情報とのズレを算定する
位置ずれ演算機能と、この算定された位置ずれ情報に基
づいて電磁駆動手段４を駆動し予め設定された移動先の
基準位置に当該可動テーブル１を移送制御するテーブル
位置補正機能とを備えている。

【００８６】このため、本実施形態にあっては、可動テ
ーブル１の移動方向が外乱等によってずれた場合には当
該ずれを修正しながら可動テーブル１を所定の方向に移
送制御することとなり、これにより当該可動テーブル１
は迅速且つ高精度に予め設定した目標位置に移送される
こととなる。

【００８７】〔プログラム記憶部〕前述したテーブル駆
動制御手段２１は、プログラム記憶部２２に予め記憶さ
れた所定の制御プログラム（所定の通電パターンおよび
その選択組合せである所定の制御モード）に従って前述
した電磁駆動手段４の四個の田形状駆動コイル７を個別
に駆動制御するように構成されている。

【００８８】即ち、前述したプログラム記憶部２２に
は、本実施形態にあっては前述した四個の各田形状駆動
コイル７，７，……に対する基本的な四つの通電パター
ンを実行するためのプログラムが記憶されている（図
６，図８参照）。

【００８９】図８は、田形状駆動コイル７（固定子側）
の四個の角形小コイル７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに対する
四種類の通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと、その時に各田
形状駆動コイルの十字辺部分に生じる電流の向き、及び
これに対応して可動子側の被駆動磁石（永久磁石）６に
生じる電磁駆動力（推力）の向きを、それぞれ示す。

【００９０】この図８において、通電パターンＡの場合
は、角形小コイル７ａ，７ｂに対しては左回りの電流
が，又角形小コイル７ｃ，７ｄに対しては右回りの電流
がそれぞれ通電制御され、これによって中央部に位置す
る十字状のコイル辺部分では、外部に出力される磁束が
全体的に加算又は相殺され、その結果としてＸ軸の正方
向の電流Ｉ_Aのみが通電されたのと同等の状態となる。

【００９１】又、通電パターンＢでは、それぞれ図示の
如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御され、
これによってＸ軸の負方向の電流Ｉ_Bのみが通電された
のと同等の状態となる。通電パターンＣでは、それぞれ
図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが個別に通電制御
され、これによってＹ軸の正方向の電流Ｉ_Cのみが通電
されたのと同等の状態となる。同様に、通電パターンＤ
では、それぞれ図示の如く各角形小コイル７ａ〜７ｃが
個別に通電制御され、これによって、Ｙ軸の負方向の電
流Ｉ_Dのみが通電されたのと同等の状態となる。この上
記四つの通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、プログラム記
憶部２２に予め記憶された所定の制御プログラムに基づ
いて実行されるようになっている。

【００９２】又、図８に開示した白抜き矢印は、これら
の通電パターンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄに対応して可動子側の被
駆動磁石（永久磁石）６との間に発生する電磁駆動力
（推力）の向きを、それぞれ示す。

【００９３】この場合、対応する各電磁力は田形状駆動
コイル７の通電コイル辺部分にフレミングの左手の法則
によって発生するが、当該田形状駆動コイル７が固定プ
レート８上に固定されていることからその反力が電磁駆
動力（推力）として被駆動磁石（永久磁石）６側に向け
て発生する。図８に開示した白抜き矢印は、その反力
（電磁駆動力）を示すものである。このため、この反力
（電磁駆動力）は、被駆動磁石６の磁極Ｎ，Ｓの種類に
よってその向きが反転する。

【００９４】更に、このプログラム記憶部２２には、前
述した固定プレート８上の中央部を原点として想定され
るＸーＹ平面上にて可動テーブル１をＸ軸の正負二方向
およびＹ軸の正負二方向にそれぞれ移動せしめる第１乃
至第４の制御モードと、ＸーＹ平面上に設定される各象
限内の所定方向に可動テーブル１を移動せしめる第５乃
至第８の制御モードと、可動テーブル１を所定位置にて
時計方向又は反時計方向に回転動作せしめる第９乃至第
１０の各制御モードにかかる各動作プログラムが記憶さ
れている。

【００９５】図９乃至図１３に、それぞれ前述した第１
乃至第１０の各制御モードにかかる動作プログラムを実
行した場合に生じる各田形状駆動コイル７の機能および
補助テーブル（可動テーブル１）の動作状態の一例をそ
れぞれ示す。

【００９６】図９（Ａ）（Ｂ）は、第１の制御モードを
実行した場合の状態を示すものである。この図に示すよ
うに、この第１の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形
状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で
通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７
はそれぞれ電流パターンＣの手法で通電制御される。図
９（Ａ）において、記号Ｎ，Ｓは、各被駆動磁石（永久
磁石）６の磁極の種類を示す。

【００９７】その結果、この第１の制御モードでは、各
被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印Ｆ_X1，
Ｆ_X2，Ｆ_X3，Ｆ_X4の方向に電磁駆動力が発生し、これに
よって、Ｘ軸上の正の方向（矢印＋Ｆ_X）に向けて補
助テーブル５が駆動されることとなる。

【００９８】図９（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，７
……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸーＹ
座標上に例示したものである。これより、Ｘ軸上の正の
方向に補助テーブル５を移送する場合には、特に、Ｙ軸
上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさの駆動力
を発生させることが重要となる。

【００９９】第２の制御モードの場合は、Ｘ軸上の負の
方向（図示せず）に補助テーブル５を移送する場合であ
るから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流
パターンを上述した第１の制御モードの場合に比較して
全く逆に設定すればよい。即ち、この第２の制御モード
では、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞ
れ電流パターンＣの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つ
の田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの
手法で通電制御される。これより、Ｘ軸上の負の方向に
補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せ
ず）。

【０１００】図１０（Ａ）（Ｂ）は、第３の制御モード
を実行した場合の状態を示すものである。この図に示す
ように、この第３の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田
形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの手法
で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，
７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるよ
うになっている。

【０１０１】その結果、この第３の制御モードでは、各
被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印Ｆ_Y1，
Ｆ_Y2，Ｆ_Y3，Ｆ_Y4の方向に電磁駆動力が発生し、これに
よって、Ｙ軸上の正の方向（矢印＋Ｆ_Y）に向けて補助
テーブル５が駆動されることとなる。

【０１０２】図１０（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，
７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向き
をＸーＹ座標上に例示したものである。これより、Ｙ軸
上の正の方向に補助テーブル５を移送する場合には、特
に、Ｘ軸上の各田形状駆動コイル７，７に同一の大きさ
の駆動力を発生させることが重要となる。

【０１０３】第４の制御モードの場合は、Ｙ軸上の負の
方向に補助テーブル５を移送する場合（図示せず）であ
るから、各田形状駆動コイル７，７……に通電する電流
パターンを上述した第３の制御モードの場合に比較して
全く逆に設定すればよい。即ち、この第２の制御モード
では、Ｘ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７はそれぞ
れ電流パターンＢの手法で通電制御され、Ｙ軸上の二つ
の田形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＡの
手法で通電制御される。これより、Ｙ軸上の負の方向に
補助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せ
ず）。

【０１０４】図１１（Ａ）（Ｂ）は、第５の制御モード
を実行した場合の状態を示すものである。この図に示す
ように、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田
形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法
で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，
７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるよ
うになっている。

【０１０５】その結果、この第５の制御モードでは、Ｘ
軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢
印Ｆ_X1，Ｆ_X3の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上の二
つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印Ｆ_Y2，
Ｆ_Y4の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸーＹ
軸上の中心点から第１象限方向に向けて（矢印Ｆ_XY）に
向けて補助テーブル５が駆動されることとなる。

【０１０６】図１１（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，
７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向き
をＸーＹ座標上に例示したものである。これより、Ｘー
Ｙ軸上の中心点から第１象限方向に向かう方向（矢印Ｆ
_XY）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形
状駆動コイル７，７……に通電される電流値の大きさを
適当に設定することによって、その移動方向を変化させ
ることができる。かかる通電電流の大きさは前述した主
制御部２１Ａで設定制御される。

【０１０７】第６の制御モードの場合は、ＸーＹ軸上の
中心点から第３象限方向（図示せず）に向けて補助テー
ブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル
７，７……に通電する電流パターンを上述した第５の制
御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。即
ち、この第５の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状
駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法で通
電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７は
それぞれ電流パターンＢの手法で通電制御される。これ
より、ＸーＹ軸上の中心点から第３象限方向に向けて補
助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せ
ず）。

【０１０８】図１２（Ａ）（Ｂ）は、第７の制御モード
を実行した場合の状態を示すものである。この図に示す
ように、この第７の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田
形状駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＣの手法
で通電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，
７はそれぞれ電流パターンＢの手法で通電制御されるよ
うになっている。

【０１０９】その結果、この第７の制御モードでは、Ｘ
軸上の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢
印−Ｆ_X1，−Ｆ_X3の方向に電磁駆動力が発生し、Ｙ軸上
の二つの被駆動磁石（永久磁石）６に対しては、矢印Ｆ
_Y2，Ｆ_Y4の方向に電磁駆動力が発生し、これによってＸ
ーＹ軸上の中心点から第２象限方向に向けて（矢印
Ｆ _YX）に向けて補助テーブル５が駆動されることとな
る。

【０１１０】図１２（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，
７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の合力の向き
をＸーＹ座標上に例示したものである。これより、Ｘー
Ｙ軸上の中心点から第２象限方向に向かう方向（矢印Ｆ
_YX）に向けて補助テーブル５を駆動する場合には各田形
状駆動コイル７，７……に通電される電流値の大きさを
適当に設定することによって、その移動方向を変化させ
ることができる。かかる通電電流の大きさは、前述した
主制御部２１Ａで設定制御される。

【０１１１】第８の制御モードの場合は、ＸーＹ軸上の
中心点から第４象限方向（図示せず）に向けて補助テー
ブル５を移送する場合であるから、各田形状駆動コイル
７，７……に通電する電流パターンを上述した第７の制
御モードの場合に比較して全く逆に設定すればよい。即
ち、この第８の制御モードでは、Ｘ軸上の二つの田形状
駆動コイル７，７はそれぞれ電流パターンＤの手法で通
電制御され、Ｙ軸上の二つの田形状駆動コイル７，７は
それぞれ電流パターンＡの手法で通電制御される。これ
より、ＸーＹ軸上の中心点から第４象限方向に向けて補
助テーブル５は円滑に移送されることとなる（図示せ
ず）。

【０１１２】図１３（Ａ）（Ｂ）は、第９の制御モード
を実行した場合の状態を示すものである。この図に示す
ように、この第９の制御モードでは、補助テーブル５
（即ち、可動テーブル１）を所定角度θ分、回転動作さ
せるためのもので、この制御動作では、所定の許容範囲
内において中心軸を有しない補助テーブル５を左回りの
円運動をさせ所定位置での静止動作が可能としたもので
ある。

【０１１３】即ち、この図１３（Ａ）に示す第９の制御
モードでは、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７は電流
パターンＡの手法によって、Ｘ軸の負軸上の田形状駆動
コイル７は電流パターンＢの手法によって、Ｙ軸の正軸
上の田形状駆動コイル７は電流パターンＤの手法によっ
て、又Ｙ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パター
ンＣの手法によって、それぞれ通電制御される。

【０１１４】その結果、この第９の制御モードでは、各
田形状駆動コイル７，７，……に対応した各被駆動磁石
（永久磁石）６には、図１１に示すようにそれぞれ左回
りの方向に沿って各軸に直交する方向Ｆ_Y1，−Ｆ_X2，−
Ｆ_Y3，又はＦ_X4に向けてそれぞれ電磁駆動力が発生す
る。

【０１１５】このため、図１３（Ａ）に開示したよう
に、当該各被駆動磁石（永久磁石）６に生じる電磁駆動
力の大きさをそれぞれ同一の大きさＰに設定制御するこ
とにより、補助テーブル５は所定の許容範囲内において
中心軸を有しない状態でも左回りの円運動をし所定位置
での静止動作が可能となる。

【０１１６】この場合、円運動後の停止位置は、全体の
電磁駆動力と前述したテーブル保持機構２のバネ作用に
よる元位置復帰力とのバランス点（所定角度θ分、回転
した位置）となり、かかる位置は設定回転角度と上述し
た電磁駆動力との関係として予め実験的に特定され、検
索可能に図表化（マップ化）されて前述したデータ記憶
部２３に記憶されるようになっている。

【０１１７】図１３（Ｂ）は、各田形状駆動コイル７，
７……に同一の電磁駆動力が発生した場合の向きをＸー
Ｙ座標上に例示したものである。これより、ＸーＹ軸上
の中心点Ｏを回転中心として補助テーブル５（即ち、可
動テーブル１）は所定角度θだけ左回りに回転し停止す
ることとなる。この場合、回転後の停止位置を設定する
回転角度θの大きさは、各田形状駆動コイル７，７・・
に通電される同一の電流値の大きさを適当に設定制御す
ることにより、その回転角度θが定められる。かかる通
電電流の大きさは前述した主制御部２１Ａで設定制御さ
れる。

【０１１８】第１０の制御モードの場合は、補助テーブ
ル５（即ち、可動テーブル１）を右回りに回転させる場
合である。このため、この第１０の制御モードでは、前
述した各田形状駆動コイル７，７……に通電される同一
の電流の向きを逆方向に設定すればよい。

【０１１９】即ち、Ｘ軸の正軸上の田形状駆動コイル７
は電流パターンＢの手法により、Ｘ軸の負軸上の田形状
駆動コイル７は電流パターンＡの手法により、Ｙ軸の正
軸上の田形状駆動コイル７は電流パターンＣの手法によ
り、そしてＹ軸の負軸上の田形状駆動コイル７は電流パ
ターンＤの手法により、それぞれ通電制御される。これ
より、ＸーＹ軸上で、補助テーブル５は右回りに所定角
度θ分だけ、円滑に回転制御されることとなる（図示せ
ず）。

【０１２０】これらの各通電パターンおよび各制御動作
にかかる動作プログラムは、テーブル駆動制御手段２１
に併設された動作プログラム記憶部２２に出力可能に記
憶されている。そして、テーブル駆動制御手段２１は、
動作指令入力部２４からの指令に基づいて前述した各動
作プログラムの何れかを選択し、これに基づいて前述し
た電磁駆動手段４を駆動制御するようになっている。

【０１２１】〔制動用プレート〕前述した四個の各田形
状駆動コイル７の被駆動磁石６に対向した側の端面部分
には、図１４に示すように、非磁性部材からなる金属製
の制動用プレート９が、周囲から絶縁された状態で各被
駆動磁石６の磁極面に対向し且つ近接してそれぞれ固着
装備されている。

【０１２２】この各制動用プレート９は、補助テーブル
５（可動テーブル１）の急激な移動動作に対してこれを
抑制しつつ当該補助テーブル５（可動テーブル１）を緩
やかに移動させる機能を備えている。ここで、図１４
（Ａ）は、図１の制動用プレート９部分を示す部分断面
図である。また、図１４（Ｂ）は、図１４（Ａ）の矢印
ＡーＡ線に沿って見た平面図を示す。

【０１２３】即ち、四個の被駆動磁石６が装備された補
助テーブル５又は可動テーブル１が急激な移動動作をし
た場合には、当各該被駆動磁石６とこれに対応した各制
動用プレート９との間に、電磁制動（うず電流ブレー
キ）が働く。これにより、補助テーブル５（即ち、可動
テーブル１）は急激な移動動作が抑制されて徐々に移動
することとなる。

【０１２４】図１５（Ａ）（Ｂ）に、上記電磁制動（う
ず電流ブレーキ）の発生について示す。この図におい
て、制動用プレート９は、被駆動磁石６のＮ極に対向し
て田形状駆動コイル７の端部に固着されている。いま、
補助テーブル５が図の右方向に速度ｖ₁で急激に移動す
ると、金属製の制動用プレート９は（固定されているた
め）、相対的に図の左方向に同一の速度ｖ₂（＝ｖ₁）
で急激に移動することになる。これにより、制動用プレ
ート９内にはフレミングの右手の法則に従って速度ｖ₂
に比例した大きさの起電力Ｅ_Vが図１５（Ｂ）に示す方
向（図中、上向き）に発生し、これにより同矢印の方向
に左右対象の渦電流が流れる。

【０１２５】次に、起電力Ｅ_Vの発生領域にはＮ極から
の磁束が存在することから、この被駆動磁石６の磁束と
制動用プレート９内の（起電力Ｅ_V方向の）渦電流との
間にフレミングの左手の法則に従って所定の移動力ｆ₁
が、制動用プレート９内に（図の右方向に向けて）発生
する。一方、制動用プレート９は固定プレート８上で固
定されているため、移動力ｆ ₁の反力ｆ₂が被駆動磁石
６上に制動力として発生し、その向きは移動力ｆ₁の向
きとは逆の向きになる。即ち、この制動力ｆ₂は、被駆
動磁石６（即ち補助テーブル５）の最初の急激な移動方
向とは逆の方向となり、しかもその大きさは当該補助テ
ーブル５の移動速度に比例した大きさとなることから、
当該補助テーブル５はその急激な移動が適度の制動力ｆ
₂によって抑制され、安定した状態で円滑に移動するこ
ととなる。他の制動用プレート９の箇所でも全く同様に
所定の制動力ｆ₂が発生する。

【０１２６】このため、被駆動磁石６を備えた補助テー
ブル５では、例えば急激な停止動作に際しては当該停止
箇所にて往復動作が生じ易いが、これに対してはその動
作が適度に抑制されて円滑に緩やかに移動することとな
る。このため、全体的にはこの各制動用プレート９が有
効に機能して、補助テーブル５（可動テーブル１）を安
定した状態で移動させることができる。又、外部からの
振動によって補助テーブル５が往復微小振動した場合に
も、同様に機能してかかる往復微小振動は有効に抑制さ
れる。

【０１２７】この各田形状駆動コイルの端面部分に装備
された非磁性部材からなる金属製の各制動用プレート９
は、図１６に示すように、各田形状駆動コイル７との関
係ではトランスの二次側回路を構成し、且つ所定の低抵
抗ｒ（うず電流損を生じる）を介して短絡された形態を
構成する。

【０１２８】図１６において、Ｋ₁は田形状駆動コイル
７を表す一次側巻線を示し、Ｋ₂は制動用プレート９に
相当する二次側巻線を示す。図１６（Ａ）は、制動用プ
レート９内の電気抵抗成分（低抵抗ｒ：うず電流損を生
じる）を介して当該二次側巻線部分が短絡された状態を
示す。この場合、制動用プレート９内には、二次側巻線
の短絡状態と同等の電流（即ち、駆動コイル７の磁束の
大小に比例したうず電流）が流れる。他の制動用プレー
ト９が付された箇所も全く同様の状態となっている。
又、図１６（Ｂ）は、制動用プレート９が無い状態（二
次側巻線部分が開放された状態）を示す。

【０１２９】このため、この場合の一次側回路を構成す
る各田形状駆動コイル７は、起動時の立ち上がり時（過
渡状態）におけるコイルのインダクタンス成分による大
きな抵抗が存在してもに二次側短絡によりその影響を有
効に低減することができ、この点において、起動時から
比較的大きい電流を通電することができ、これがため、
前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレート９が
無い場合に比較して電磁駆動力を迅速に出力することが
できる。

【０１３０】又、上記各制動用プレート９は、各田形状
駆動コイル７の駆動時に生じる熱を放熱する機能を兼ね
備えている。かかる点において駆動コイルの連続運転に
伴って生じる高温下での抵抗増加と通電電流値の低下
（即ち、電磁駆動力の低下）を有効に抑制して通電電流
を長時間ほぼ一定レベルに設定することができ、このた
め、電磁駆動手段から出力される電磁駆動力に対する外
部からの電流制御を安定した状態にて継続することがで
き、径年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑制するこ
とができ、装置全体の耐久性を、ひいては装置全体の信
頼性を高めることができる。

【０１３１】尚、上述した制動用プレート９について
は、本実施形態では各田形状駆動コイル７毎に装備した
場合を例示したが、二個以上の田形状駆動コイル７を対
象としてこれを一枚の制動用プレートで覆うように構成
したものであってもよい。

【０１３２】〔上記実施形態の全体的な動作〕次に、上
記第１の実施形態の全体的な動作について説明する。図
６において、まず動作指令入力部２４から、可動テーブ
ル１を所定位置へ移動させるための動作指令が入力され
ると、テーブル駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直
ちに作動し、当該動作指令に基づいてデータ記憶部２３
から移動先の基準位置情報を選択し、同時に動作プログ
ラム記憶部２２からこれに対応した所定の制御モードに
かかる制御プログラムを選択し、続いて、コイル選択駆
動制御部２１Ｂを付勢し、電磁駆動手段４の四つの田形
状駆動コイル７を所定の制御モードに基づいて駆動制御
する。

【０１３３】図１７，図１８に、可動テーブル１をＸ軸
の正方向への所定位置へ移動する旨の指令が動作指令入
力部２４から入力され、これに基づいて装置全体が作動
した状態を示す。この事例では、制御モードとしては図
９に示す第１の制御モードが選択され、これに従って各
四つの田形状駆動コイル７に対してはそれぞれ図９に示
す状態に通電パターンが選択され、これに従って動作し
たことを示す。

【０１３４】この場合、前述したステージ保持機構４で
は、補助テーブル５が電磁駆動手段４によって図の右方
に付勢されると、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性力（元位
置復帰力）に抗して当該補助テーブル５が移動する。そ
して、この補助テーブル５（即ち、可動テーブル１）
は、各ピアノ線２Ａ，２Ｂの弾性復帰力と当該補助テー
ブル５に印加される電磁駆動手段４の電磁駆動力とのバ
ランス点（移動目標位置）において停止する。

【０１３５】図１７，図１８において、符号Ｔは移動し
た距離を示す。又、図１８において、斜線部分は補助テ
ーブル５の移動によって前述した他方の容量検出電極２
６Ｘ₃，２６Ｘ₄の容量成分が減少した部分を示し、交
差斜線部分は前述した一方の容量検出電極２６Ｘ₁，２
６Ｘ₂の容量成分が増加した部分を示す。尚、この図１
８にあっては、Ｙ軸方向への位置ずれが無い場合が示さ
れている。

【０１３６】そして、動作中に、外乱等によって補助テ
ーブル５の移動位置が目標位置からずれた場合には、こ
の容量検出電極２６Ｘ₁，２６Ｘ₂，２６Ｘ₃，２６Ｘ
₄の容量成分の増加減少の情報に基づいて前述したよう
に実際の移動後の位置が検出され、位置ずれ防止用のフ
ィードバック制御か行われるようになっている。一方、
かかる状態から補助テーブル５に印加されている電磁駆
動力が開放されると、補助テーブル５はピアノ線２Ａ，
２Ｂの弾性復帰力に付勢されて元位置に復帰する。

【０１３７】かかる一連の動作にあって、補助テーブル
５の移動動作は、通常は電磁駆動力の印加制御又は開放
制御が何れの場合でも急激に行われる。このため、かか
る場合、補助テーブル５（又は可動テーブル１）には、
移動先での停止時又は元位置復帰に際しての停止位置に
おいて、慣性力及びばね力に起因した繰り返し動作（往
復動作）が生じる。しかしながら、本実施形態にあって
は、かかる繰り返し動作（往復動作）は前述したように
制動用プレートと被駆動磁石との間に生じる電磁制動
（うず電流ブレーキ）によって抑制され、所定位置に向
けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。

【０１３８】動作指令入力部２４から、可動テーブル１
を上記以外の他の所定位置へ移動させるための動作指令
が入力された場合にも、上述した場合と同様にテーブル
駆動制御手段２１の主制御部２１Ａが直ちに作動し、当
該動作指令に基づいてデータ記憶部２３から移動先の基
準位置情報を選択し、同時に動作プログラム記憶部２２
からこれに対応した所定の制御モードにかかる制御プロ
グラムを選択する。続いて、コイル選択駆動制御部２１
Ｂを付勢し、電磁駆動手段４の四つの田形状駆動コイル
７を所定の制御モードに基づいて駆動制御する。

【０１３９】そして、この場合も、上述した場合と同様
の制御動作および制動用プレートによる制動動作が実行
され、補助テーブル５（可動テーブル１）は所定位置に
向けて円滑に移動し、安定した状態で停止制御される。

【０１４０】このように、上記第１の実施形態にあって
は、従来より必要としていた重厚な二重構造のＸーＹ軸
移動保持機構を用いることなく、補助テーブル５（可動
テーブル１）を、中心位置から（所定範囲内において）
同一の高さ位置を維持しつつＸーＹ平面上のいずれの方
向に対しても円滑に移動させ或いは同一面内での回転駆
動を実行させることができる。

【０１４１】これがため、上記第１の実施形態による
と、構造が簡単なので、装置全体の小型化軽量化が可能
となり、かかる点において可搬性を著しく改善すること
ができ、従来例に比較して部品点数も少なくなり、かか
る点において耐久性を著しく向上させることができ、組
立て時の調整に熟練を必要としないため生産性を高める
ことができる。

【０１４２】又、被駆動磁石が装備された補助テーブル
５（可動テーブル１）が急激に動作変化しても、前述し
たように当該被駆動磁石６と非磁性金属部材からなる制
動用プレート９との間に急激な変化に比例した大きさの
電磁制動（うず電流ブレーキ）力が働くことから、これ
により、可動テーブル１はその急激な動作が抑制され、
所定方向に安定した状態で円滑に移動することができ
る。

【０１４３】この制動用プレート９については各被駆動
磁石６に対向した状態で個別に田形状駆動コイル７に装
備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生さ
せる電磁駆動手段４も補助テーブル５に装備した被駆動
磁石６とこれに対向して固定プレート８に田形状駆動コ
イル７を装備するという簡単な構成であることから、か
かる点においても、装置全体の小型化および軽量化が可
能となり、可搬性が良好となるばかりでなく、組立作業
に際しても特に熟練を要することが無いことから、作業
性も良好となる。

【０１４４】更に、駆動コイルの前述した被駆動磁石６
側の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の
制動用プレートは、駆動コイルとの関係ではトランスの
二次側回路と同等の回路を構成し、且つ制動用プレート
の電気抵抗成分（うず電流損を生じる）を介して短絡さ
れた形態を構成する。

【０１４５】このため、この場合の一次側回路を構成す
る田形状駆動コイル７は、二次側回路が開放状態の場合
に較べて比較的大きい電流を通電することができ、これ
がため、前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレ
ートが無い場合に比較して比較的大きい電磁力を出力す
ることが可能となっている。

【０１４６】又、この制動用プレート９は、放熱板とし
ても機能し、かかる点において田形状駆動コイル７の連
続運転に伴う径年変化（熱による絶縁破壊）を有効に抑
制することができ、かかる点においても装置全体の耐久
性を増大することができ、その結果、装置全体の信頼性
を高めることができる。

【０１４７】尚、上記第１の実施形態にあっては、被駆
動磁石６を補助テーブル５に装備した場合を例示した
が、被駆動磁石６を可動テーブル１側に装備すると共
に、これに対向して固定テーブル８上の所定位置に前述
した各田形状駆動コイル７を配設してもよい。この場
合、固定テーブル８を貫通した状態で各田形状駆動コイ
ル７を装備すると共に、この各田形状駆動コイル７の対
向して、被駆動磁石６を可動テーブル１側と補助テーブ
ル５側の両方に装備してもよい。

【０１４８】更に、上記第１の実施形態では、駆動コイ
ルとして田形状駆動コイル７を装備した場合を例示した
が、本発明では駆動コイルを必ずしも田形状駆動コイル
に限定するものではなく、同等に機能するものであれ
ば、他の形態の駆動コイルであってもよい。

【０１４９】

【第２の実施の形態】図１９〜図２０にこれを示す。こ
の図１９〜図２０に示す第２の実施形態は、前述した第
１の実施形態において装備した補助テーブル５を削除
し、可動テーブル３１をテーブル保持機構２で直接保持
すると共に、テーブル駆動制御手段２１によって可動テ
ーブル３１を直接駆動するように構成した点に特徴を備
えている。

【０１５０】この図１９至図２０において、符号３１は
四角形状の可動テーブルを示す。この可動テーブル３１
は、上面に円形の平坦作業面３１Ａを備えている。符号
２は前述した第１実施形態におけるテーブル保持機構と
同一のテーブル保持機構を示す。このテーブル保持機構
２は、前述した第１実施形態と同様に図１９の下方部分
に配設され、可動テーブル３１の同一面内での任意方向
への移動を許容すると共に、当該可動テーブル３１に元
位置復帰力を付加し得る状態で当該可動テーブル３１を
保持している。

【０１５１】即ち、この第２の実施形態にあっては、可
動テーブル３１は、本体部としてのケース本体３３の内
側に配設されたこのテーブル保持機構２を介して、上述
したようにケース本体３３に支持されている。又、上記
可動テーブル３１とケース本体３３の後述する駆動手段
保持部（本体側突出部）３３Ａとの間に、可動テーブル
３１の移動位置を常時検出する容量型の位置検出センサ
が前述した第１の実施形態の場合と同様に装備されてい
る。即ち、可動テーブル３１の図１９における下面（底
面）の端部周囲には、所定幅の平坦面を備えた口字状の
スペーサ３１Ｂが装備され、その下面部分に、容量型の
位置検出センサの共通電極３１Ｂａが設けられている。
又、この共通電極３１Ｂａに対向して前述した第１実施
形態における容量検出電極と同一の容量検出電極２６Ｘ
₁，２６Ｘ₂，２６Ｘ₃，２６Ｘ₄，２６Ｙ₁，２６Ｙ
₂，２６Ｙ₃，２６Ｙ₄が、前述した第１の実施形態の
場合と同様に設けられ、後述する駆動手段保持部（本体
側突出部）３３Ａの上面に装備されている。

【０１５２】テーブル保持機構２は、前述した第１実施
形態におけるテーブル保持機構２と同様に、所定間隔を
隔てて設置される二本のピアノ線（可動テーブル３１を
支えるに充分な適度の剛性を備えた棒状弾性線材であれ
ば他の部材であってもよい）２Ａ，２Ｂを一組として予
め可動テーブル３１の周端部に対応して四組準備し、こ
の四組のピアノ線２Ａ，２Ｂを組毎に、四角形状の中継
部材２Ｇの各四隅部分に分けてそれぞれ上方向に向けて
植設する。

【０１５３】そして、内側に位置する四本のテーブル側
ピアノ線２Ａで可動テーブル３１を下方から保持し、外
側に位置する本体側の四本のピアノ線２Ｂで中継部材２
Ｇをケース本体３３から揺動自在に吊り下げたような構
造となっている。

【０１５４】これにより、可動テーブル３１は、前述し
た第１実施形態の場合と同様に高さ位置を変えることな
く同一面内においていずれの方向へも移動することがで
き、同時に許容された範囲内での回転動作も可能となっ
ている。

【０１５５】ケース本体（本体部）３３は、本実施形態
では図１９に示すように上方および下方が開放された箱
体状に形成されている。付号３４は電磁駆動手段を示
す。この電磁駆動手段３４は、前述した第１の実施形態
における電磁駆動手段４と同一に形成され、可動テーブ
ル３１の図１９における下側に配置されてケース本体３
３側に保持され、前述した可動テーブル３１に移動力を
付勢する機能を備えている。又、符号３３Ａは、ケース
本体３３の内壁部周囲に突設された本体側突出部として
の駆動手段保持部を示す。電磁駆動手段３４は、この駆
動手段保持部３３Ａを介してケース本体３３に保持され
ている。この駆動手段保持部３３Ａの図１９における上
面は前述したように平坦面を成し、この平坦面上に、可
動テーブル３１の位置情報を外部出力する容量検出電極
２６Ｘ₁，２６Ｘ₂，２６Ｘ₃，２６Ｘ₄，２６Ｙ₁，
２６Ｙ₂，２６Ｙ₃，２６Ｙ₄が前述した第１の実施形
態の場合と同様に装備され、同様に機能するようになっ
ている。

【０１５６】前述した電磁駆動手段３４は、前述した第
１実施形態の場合と同様に、可動テーブル３１の図１９
における下面部分の所定位置に固定装備された四個の被
駆動磁石６と、この各被駆動磁石６に対向して配置され
た十字状コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石６に対し
て前述した可動テーブル３１の所定の移動方向に沿って
電磁的に所定の駆動力を付勢する田形状駆動コイル７
と、この田形状駆動コイル７を定位置にて保持する固定
プレート３８とを備えている。

【０１５７】この固定プレート３８は、前述した可動テ
ーブル３１に所定間隔を隔てて平行に設定され、可動テ
ーブル３１の図１９における下方に配設されてその周囲
がケース本体３３の駆動手段保持部３３Ａに保持されて
いる。

【０１５８】更に、田形状駆動コイル７の前述した被駆
動磁石６側の端面側には、前述した第１の実施形態の場
合と同様に、非磁性金属部材からなる制動用プレート９
が被駆動磁石６の磁極面に近接して個別に配設されてい
る。

【０１５９】この制動用プレート９は、本実施形態では
田形状駆動コイル７の端面部分に固着され、この田形状
駆動コイル７を介して前述した固定プレート３８側に固
定された状態となっている。尚、この制動用プレート９
については、田形状駆動コイル７の端面部分に当接した
た状態を維持しつつ、他のスペーサ部材（図示せず）を
介して固定プレート３８に固定するように構成してもよ
い。この点は前述した第１実施形態の場合も同様であ
る。

【０１６０】可動テーブル３１は、前述したように、内
側に位置する四本のテーブル側ピアノ線２Ａによって保
持されている。符号３１Ｃは、この四本のテーブル側ピ
アノ線２Ａに係合するために可動テーブル３１の図１９
における下面から下方に向けて突設された四本のテーブ
ル側脚部を示す。この四本のテーブル側脚部３１Ｃを介
して、前述した可動テーブル３１が四本のテーブル側ピ
アノ線２Ａに連結され保持されている。

【０１６１】ここで、この四本のテーブル側脚部３１Ｃ
の長さは、前述した内側に位置する四本のテーブル側ピ
アノ線２Ａが外側に位置する四本のピアノ線２Ｂとその
露出長さＬを同一にし得る長さに設定されている。

【０１６２】前述した固定プレート３８の四隅部分に
は、所定の大きさの貫通穴３８Ａがそれぞれ形成されて
いる。この貫通穴３８Ａは、本実施形態では四角形状に
形成されているが、前述した可動テーブル３１の動作を
許容し得る大きさであれば、その形状については、円形
等，他の形状であってもよい。

【０１６３】そして、この貫通穴３８Ａを前述した四本
のテーブル側脚部３１Ｃがそれぞれ個別に貫挿し、これ
によって、図１９の上方部分に位置する可動テーブル１
が同図の下方部分に位置するテーブル保持機構２の四本
のテーブル側ピアノ線２Ａによって保持された構造とな
っている。その他の構成及び機能は前述した第１の実施
形態の場合と同一となっている。

【０１６４】このようにしても、この第２の実施形態
は、前述した第１の実施形態とほぼ同様の作用効果を有
するほか、特に前述した第１の実施形態において装備し
た補助テーブル５を削除して可動テーブル３１をテーブ
ル保持機構２で直接保持すると共にテーブル駆動制御手
段２１によって可動テーブル３１を直接駆動するように
構成したので、構造がより一層単純化され、その分、小
型軽量化が可能となり、可動テーブル１側の重量が軽減
されるので、テーブル保持機構２の耐久性向上を図るこ
とができ、装置全体の可搬性の向上を図ることができ、
更には、補助テーブル５を可動テーブル３１に連結し且
つ組み込むという作業工程が不要となるので、生産性お
よび保守性を著しく向上させることができ、装置全体の
原価低減を図ることができるという利点がある。

【０１６５】

【第３の実施の形態】図２１に第３の実施形態の一例を
示す。この第３の実施形態は、前述した第１の実施形態
において、各被駆動磁石に対向して複数の田形状駆動コ
イルの端部に個別に装備した制動用プレート９を、一枚
の板状部材を使用して共用とした点に構造上の特徴を備
えている。

【０１６６】この図２１では、前述した第１実施形態に
装備した四枚の制動用プレート９に代えて同一材質から
なる１枚の制動用プレート３９を装備した場合を示す。
この場合、制動用プレート３９の中央部には、図１に開
示した連結支柱１０の挿通を許容し且つ当該連結支柱１
０が補助テーブル５（及び可動テーブル１）と共に図２
１の直交軸ＸーＹの平面内において移動するのを許容す
る程度の大きさの貫通穴３９Ａが形成されている。

【０１６７】尚、この制動用プレート３９は、図２１
（Ａ）では、複数の各田形状駆動コイル７の各端部に当
接した状態で当該各田形状駆動コイル７を介して固定プ
レート８に装着した場合を例示してある。一方、この制
動用プレート３９については、各田形状駆動コイル７の
端面部分に当接した状態を維持しつつ、他のスペーサ部
材（図示せず）を介して固定プレート８に固定するよう
に構成してもよい。その他の構成は前述した第１の実施
形態と同一となっている。

【０１６８】このようにしても、前述した第１の実施形
態の場合と同等の作用効果を得ることができるほか、更
に制動用プレート３９の組立作業が前述した第１実施形
態の場合に比較して著しく単純化され、制動用プレート
３９の全体の表面積が大きくなるので放熱板としても有
効に機能し、かかる点において生産性および装置の耐久
性の向上を図ることができるという利点がある。

【０１６９】尚、この第３の実施形態は、前述した前述
した第１の実施形態において複数の制動用プレート９に
代えて同一材質の一枚の板状部材を装備するように構成
した場合を例示したが、前述した第２の実施形態におい
て、同様に、複数の制動用プレート９に代えて同一材質
の一枚の板状部材を単一の制動用プレート３９として装
備するように構成してもよい。

【０１７０】又、上記第１〜第３の各実施形態にあって
は、被駆動磁石６として永久磁石を装備した場合を例示
したが、永久磁石に代えて電磁石を装備したものであっ
てもよい。この場合、この電磁石の駆動制御について
は、前述したテーブル駆動制御手段２１が担当し、前述
した各田形状駆動コイル７の動作に連動してその順方向
又は逆方向或いは通電停止状態が選択され所定の通電制
御が成されるようになっている（図示せず）。

【０１７１】このため、この被駆動磁石６として電磁石
を装備した場合にあっては、前述した請求項１，２又は
３記載の記載の発明とほぼ同等の機能を有するほか、被
駆動磁石を電磁石としたことから、可動テーブルの駆動
制御に種々変化をもたせることができる。

【０１７２】例えば、移動時の加速／減速に際しては各
駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対応し
得るので、可動テーブルの移動方向等の変化に対して迅
速に対応し得ることが可能となる。又、被駆動磁石の磁
束密度（磁石強度）を必要に応じて自由に設定し得るの
で、当該被駆動磁石の強度を使用状態に応じて変化させ
ることができるという利点がある。

【０１７３】

【第４の実施の形態】図２２に第４の実施形態を示す。
この図２２に示す第４の実施形態は、前述した図１に示
す第１の実施形態において、制動用プレート９に代えて
電磁制動機構４１を装備すると共に、この電磁制動機構
４１を前述した電磁駆動手段４から切り離して別に（独
立して）装備するように構成した点に特徴を備えてい
る。

【０１７４】即ち、図２２において、電磁制動機構４１
は固定プレート８の上面部分の同一円周上に等間隔に固
定装備された四枚の制動用プレート４９と、この各制動
用プレート４９に近接し対向して前述した可動プレート
１の下面部分に固定装備された四個の制動用磁石４６と
によって構成されている。ここで、四枚の各制動用プレ
ート４９と四個の各制動用磁石４６は、何れも、前述し
た電磁駆動手段４の四個の各田形状駆動コイル７および
各被駆動磁石６に対応した位置に装備されている。

【０１７５】この四枚の各制動用プレート４９は非磁性
材料からなる導電性部材（例えば銅製の板材）によって
形成されている。又、四個の各制動用磁石４６は、その
磁極の極性Ｎ，Ｓが、一つ置きに逆に（隣接する磁石の
極性が異なるように）配置され、これによって可動プレ
ート１と固定プレート８を介して磁気回路が円滑に形成
されるようになっている。その他の構成は前述した図１
に示す第１の実施形態とほぼ同一となっている。

【０１７６】このようにしても、その作用効果は前述し
た図１に示す第１の実施形態の場合とほぼ同等の作用効
果を得ることができ、特に電磁制動機構４１について
も、前述した図１（第１の実施形態）に開示した制動用
プレート９と被駆動磁石６との関係で生じる電磁制動
（うず電流制動）と同等若しくはそれ以上の電磁制動を
得ることができる。

【０１７７】更に、本実施形態にあっては、制動用プレ
ート９を電磁駆動手段４領域から削除したことから、各
田形状駆動コイル７と各被駆動磁石６との間の隙間（間
隔）を小さく（狭く）設定することができ、このため、
前述した第１実施形態の場合に比較して電磁駆動力を更
に大きく設定することができるという利点がある。

【０１７８】尚、上記実施形態にあっては、前述した第
１の実施形態（図１）における制動用プレート９を削除
した場合を例示したが、実際上は制動用プレート９をそ
のまま装備した状態で新たに上記電磁制動機構４１を追
加装備した状態で使用してもよい。

【０１７９】又、この電磁制動機構４１については、制
動用磁石４６の数と制動用プレート４９の数及びその装
備箇所を特定した場合を例示したが、本発明は必ずしも
これに限定するものではない。制動用磁石４６について
は三個以上の任意に数を装備しても、また制動用プレー
ト４９については各制動用磁石４６に対応した大きさで
所定形状の１枚の制動用プレートを装備してもよい。更
に、制動用磁石４６と制動用プレート４９とは、その装
備位置を入れ換えても同等に機能する電磁制動機構４１
を得ることができる。

【０１８０】

【第５の実施の形態】図２３に第５の実施形態を示す。
この図２３に示す第５の実施形態は、前述した図１９に
示す第２の実施形態において、制動用プレート９に代え
て電磁制動機構５１を装備すると共に、この電磁制動機
構５１を、前述した電磁駆動手段３４から切り離して別
に（独立して）装備した点に特徴を備えている。

【０１８１】この場合、電磁制動機構５１は、図２３に
示すように固定プレート３８の上面中央部分に装備され
た二個の制動用磁石５６と、この制動用磁石５６に近接
し且つ対向して前述した可動プレート１の下面部分に固
定装備された一枚の制動用プレート５９とによって構成
されている。

【０１８２】ここで、一枚の制動用プレート５９と二個
の各制動用磁石５６は、何れも、前述した電磁駆動手段
４の四個の各田形状駆動コイル７および各被駆動磁石６
とは全く無関係に装備されている。制動用プレート５９
は、非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅製の板
材）によって形成されている。又、二個の各制動用磁石
５６は、その磁極の極性Ｎ，Ｓが、逆に（隣接する磁石
の極性が異なるように）配置され、これによって可動プ
レート１と固定プレート３８を介して磁気回路が円滑に
形成されるようになっている。その他の構成は、前述し
た図１９に示す第２の実施形態とほぼ同一となってい
る。

【０１８３】このようにしても、前述した図１９に示す
第２の実施形態とほぼ同等の作用効果を得ることができ
るほか、更に、この第５実施形態にあっては、制動用プ
レート９を電磁駆動手段４領域から削除したので、各田
形状駆動コイル７と各被駆動磁石６との間の隙間（間
隔）を小さく（狭く）設定することができ、このため、
前述した第２実施形態の場合に比較して、電磁駆動力を
更に大きく設定することができるという利点がある。

【０１８４】尚、上記第５の実施形態にあっては、前述
した第２の実施形態（図１９）における制動用プレート
９を削除した場合を例示したが、実際上は制動用プレー
ト９をそのまま装備した状態で使用してもよい。又、電
磁制動機構５１については、制動用磁石５６の数と制動
用プレート５９の数及びその装備箇所を特定した場合を
例示したが、本発明は必ずしもこれに限定するものでは
ない。制動用磁石５６については三個以上の任意に数を
装備しても、また制動用プレート５９については各制動
用磁石５６に対応して個別に独立して装備してもよい。

【０１８５】

【第６の実施の形態】図２４に第６の実施形態の一例を
示す。この図２４に示す第６の実施形態は、前述した図
２１に示す第３の実施形態において、制動用プレート３
９に代えて、当該制動用プレート３９の周囲を大きく延
設して本体ケース３（図１参照）に固着してなる構造の
新たな制動用プレート６９を固着装備すると共に、固定
プレート８を削除した点に特徴を備えている。符号６９
Ａは制動用プレート６９の中央部に形成された貫通穴を
示す。この貫通穴６９Ａは、連結支柱１０の移行動作を
許容する大きさに形成されている。ここで、制動用プレ
ート６９は、非磁性材料からなる導電性部材（例えば銅
製の板材）によって形成されている。

【０１８６】この図２４に示す第６の実施形態では、固
定プレート８の削除によって、各田形状駆動コイル７
は、その下面側が制動用プレート６９に保持された形態
となっている。このため、この第６の実施形態では、電
磁駆動手段６４は、制動用プレート６９と、この制動用
プレート６９上に固着された各田形状駆動コイル７と、
この各田形状駆動コイル７に対応して制動用プレート６
９および所定の隙間を介して補助テーブル５上に装備さ
れた状態の各被駆動磁石６とにより構成されている。

【０１８７】更に、符号６６は四個の他の被駆動磁石を
示す。この四個の他の被駆動磁石６６は、前述した各田
形状駆動コイル７の図２４における上面（可動テーブル
１側の端面）に対向して可動テーブル１にそれぞれ固着
装備され、これによって電磁駆動手段６４の駆動力が強
化された状態となっている。ここで、新たに追加した各
被駆動磁石６６の磁極については、前述した各被駆動磁
石６に対向した面がそれぞれ異る磁極（Ｎ極とＳ極とが
対向する形態）と成るように設定されている。その他の
構成は、前述した図２１に示す第３の実施形態と同一と
なっている。

【０１８８】このようにしても、前述した図２１に示す
第３の実施形態と同一の作用効果を備えており、特に制
動用プレート６９と被駆動磁石６との位置関係は前述し
た第３実施形態（図２１）の場合と同一状態に維持され
ていることから、制動用プレート６９による制動機能も
前述した第３実施形態（図２１）の場合と全く同一とな
っている。その他の作用効果については、固定プレート
８を削除したことから、装置全体を更に小型化し軽量化
することが可能となるという利点がある。ここで、新た
に追加した被駆動磁石６６については、例えば鉄材等に
よる通常の磁性部材で構成してもよい。この場合、被駆
動磁石６６に代わる磁性部材は、磁気回路形成部材とし
て有効に機能する。尚、この第６実施形態において、前
述した新たな被駆動磁石６６については削除してもよ
い。このようにすると、装置全体の小型化および軽量化
を更に推進することができ、装置の汎用性を更に高める
ことができて都合がよい。

【０１８９】

【その他の実施形態】〔駆動コイルに関する他の実施形
態〕上述した各駆動コイル７に関する他の実施形態例を
開示し、制動プレートとの関係を示す。この場合、駆動
コイル以外の他の構成部分は、それぞれ前述した各実施
形態のものと同等に構成されており、ここではその説明
を省略する。

【０１９０】（１）．田形駆動コイルに関する他の技術
的手法上述した各実施形態にあっては、電磁駆動手段４，３
４，６４の主要部をなす駆動コイルとしての田形状駆動
コイル７をＸーＹ軸上に限定装備した場合を例示した
が、図２５に示すようにＸーＹ軸上からはずれた位置に
田形状駆動コイル７を装備したものであってもよい。

【０１９１】この場合、被駆動磁石６（又は６６）は、
田形状駆動コイル７に対応した位置で前述した田形状駆
動コイル７側に固着されている。又、この図２５の場合
を含めて、当該田形状駆動コイル７の内側に位置する十
字状コイル辺の配置については、上述した各実施形態に
あってはその縦又は横のコイル辺部分が前述したＸーＹ
軸に沿って配置された場合を例示したが、本発明は必ず
しもこれに限定されず、Ｘ軸又はＹ軸に対して所定の傾
きをもって配置したものであってもよい。

【０１９２】この田形駆動コイル７については図２５で
は四個装備した場合を例示したが、同等に機能するもの
であれば、三個であっても五個以上であってもよい。更
に、この田形駆動コイル７については、その外径が四角
形以外の形状であってもよい。

【０１９３】（２）．田形状駆動コイル以外の駆動コイ
ル（その１）上記各実施形態にあっては、電磁駆動手段の主要部をな
す駆動コイルとして田形状駆動コイル７を装備した場合
を例示したが、これは例示的記載であり、同等に機能す
るものであれば、これに代えて他の駆動コイルを装備し
たものであってもよい。

【０１９４】図２６（Ａ）は、駆動コイルとして内側の
面積が比較的大きい単一の口状駆動コイル７１を使用
し、この口状駆動コイル７１の四辺部分に対向して磁極
のＮ，Ｓが個別に可変設定（通電停止制御も含めて）可
能な全部で４個の電磁石８１を個別に配置し、これによ
って、電磁駆動手段４（又は３４）を構成した場合を示
す。

【０１９５】この事例では、口状駆動コイル７１および
各電磁石８１への通電方向および通電停止を含む所定の
電流量を適度に通電制御することにより、可動プレート
１（又は３１）の回転動作を除いて全方向への移動動作
に対する駆動制御が可能となっている。口状駆動コイル
７１の形状は矩形状であっても正方形状であってもよ
い。

【０１９６】（３）．田形状駆動コイル以外の駆動コイ
ル（その２）図２６（Ｂ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的
小さい四個の口状駆動コイル７２と八個の電磁石８２を
使用した事例を示す。

【０１９７】この図２３（Ｂ）の事例では、四個の各口
状駆動コイル７２をＸーＹ軸と交差する箇所に例えば左
右対称と成る位置に配置する。又この各口状駆動コイル
７２がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差する箇所に位置する各
口状駆動コイル７２のコイル辺部分に対向して、磁極の
Ｎ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部
で八個の電磁石８２を個別に配置し、これによって電磁
駆動手段４（又は３４）を構成する。

【０１９８】この事例でも、前述した図２６（Ａ）の場
合と同様に、各口状駆動コイル７２及び各電磁石８２へ
の通電方向および通電停止を含む所定の電流量を適度に
通電制御することにより、可動プレート１（又は３１）
の回転動作を除く全方向への移動動作に対する駆動制御
が可能となっている。この場合も、口状駆動コイル７２
の形状は矩形状であっても正方形状であってもよい。

【０１９９】（４）．田形状駆動コイル以外の駆動コイ
ル（その３）図２７（Ａ）は、駆動コイルとして内側の面積が比較的
小さい四個の口状駆動コイル７３と八個の電磁石８３を
使用した事例を示す。

【０２００】この図２７（Ａ）の事例では、四個の各口
状駆動コイル７３をＸーＹ軸と交差する箇所に例えば左
右対称と成る位置に配置する。又この各口状駆動コイル
７３がＸ軸，Ｙ軸とそれぞれ交差しない箇所に位置する
各口状駆動コイル７３のコイル辺部分に対向して、磁極
のＮ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全
部で八個の電磁石８３を個別に配置し、これによって電
磁駆動手段４又は３４を構成する。

【０２０１】この事例では、口状駆動コイル７３および
電磁石８３への通電方向および通電停止を含む所定の電
流量を適度に通電制御することにより、前述した第１乃
至第３の各実施形態の場合と同様に、回転動作および全
方向への移動動作に対する駆動制御が可能となってい
る。この場合、口状駆動コイル７３の形状は矩形状であ
っても正方形状であってもよい。

【０２０２】（５）．田形状駆動コイル以外の駆動コイ
ル（その４）図２７（Ｂ）は、駆動コイルとして単一の白抜き十字状
に形成された十字状枠型駆動コイル７４と八個の電磁石
８４とを使用した事例を示す。

【０２０３】この図２７（Ａ）の事例では、十字状枠型
駆動コイル７４の縦方向及び横方向の中心線部分がＸー
Ｙ軸上に位置する箇所に例えば左右対称と成る位置に配
置する。そして、この十字状枠型駆動コイル７４がＸ
軸，Ｙ軸とそれぞれ交差しない箇所に位置する十字状枠
型駆動コイル７４のコイル辺部分に対向して、磁極の
Ｎ，Ｓが可変設定（通電停止制御も含めて）可能な全部
で八個の電磁石８４を個別に配置し、これによって電磁
駆動手段４又は３４を構成する。

【０２０４】この事例でも、十字状枠型駆動コイル７４
および八個の電磁石８４への通電方向および通電停止を
含む所定の電流量を適度に通電制御することにより、前
述した第１乃至第３の各実施形態の場合と同様に、回転
動作及び全方向への移動動作に対する駆動制御が可能と
なっている。

【０２０５】そして、上述した（２）乃至（５）の各事
例にあって、各駆動コイル７１，７２，７３又は７４の
所定のコイル辺部分に当接し且つ対応する各被駆動磁石
６に個別に対向して前述した各制動用プレート９が各被
駆動磁石毎に前述した駆動コイル側に固着装備されてい
る。又、この場合も上述した第３の実施形態の場合（図
２１参照）と同様に、複数の各制動用プレート９に代え
て同一部材からなる単一の板状部材を制動用プレート３
９（図示せず）として装備してもよい。

【０２０６】

【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、特に精密加工用の可動テーブル
を、同一面上で（高さ位置を変化させることなく）所定
方向に自在に且つ円滑に精密移動させ若しくは元位置に
復帰させることができ、テーブル保持機構として弾性部
材を利用し同一面内で任意に方向に可動テーブルを移動
可能としたものを装備したので、従来必要としていた二
重構造の摺動機構が不要となり、このため、特別な精密
加工等が不要となったことから加工組立作業の大幅な改
善および装置全体の小型軽量化が可能となり、更に、テ
ーブル駆動用の電磁駆動手段の一部を構成する複数の磁
石に対向して非磁性部材からなる導電性の制動プレート
を装備したので、可動テーブルの停止時の往復移動動作
の繰り返しや周囲の振動等に起因して同一面内での微小
振動等が発生しても、これを有効に抑制することが可能
となり、これがため、当該可動テーブルの精密移動を円
滑になし得るという従来にない優れた精密加工用ステー
ジ装置を提供することができる。

【０２０７】上述したように、請求項１記載の発明で
は、同一面上にて任意の方向に移動可能に配設された可
動テーブルと、この可動テーブルの同一面内での任意の
方向への移動を許容すると共に当該可動テーブルに元位
置復帰力を付加した状態で当該可動テーブルを保持する
テーブル保持機構と、このテーブル保持機構を支持する
本体部と、この本体部側に装備され前述した可動テーブ
ルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備えている。

【０２０８】そして、電磁駆動手段は、少なくとも前述
した可動テーブル側の所定位置に固定装備された複数の
被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置された
コイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石に対して可動テー
ブルの所定の移動方向に沿って電磁的に所定の駆動力を
付勢する駆動コイルと、この駆動コイルを定位置にて保
持する固定プレートとにより構成されている。更に、駆
動コイルの前述した被駆動磁石側の端面部分には、被駆
動磁石に対向して非磁性金属部材からなる制動用プレー
トが被駆動磁石の磁極面に近接して配設され、この制動
用プレートを固定プレート側に固定する、という構成を
採っている。

【０２０９】このため、この請求項１記載の発明では、
電磁駆動手段が作動すると、まず、当該電磁駆動手段が
備えている固定プレート側の駆動コイルと被駆動磁石と
の間に電磁力が生じ、被駆動磁石が可動テーブルと共に
所定の方向に移動力が付勢される。この場合、可動テー
ブルはテーブル保持機構によって同一面内での任意の方
向への移動が許容された状態で保持されていることか
ら、上下動することなく所定の方向に円滑に移動し、前
述したテーブル保持機構の有する元位置復帰力と電磁駆
動手段の電磁力との平衡のとれた位置（即ち、所定の移
動停止位置）にて停止する。

【０２１０】一方、この可動テーブルは、その移動／停
止に際して急加速又は急減速されると、可動テーブル自
体が急発進／急停止され、特に停止に際しては前述した
テーブル保持機構の有する元位置復帰力との相互作用で
繰り返し往復移動を起こしやすい。かかる場合、可動テ
ーブルの急激な動作変化により当該被駆動磁石と制動用
プレートとの間に電磁制動（うず電流ブレーキ）が働
き、これにより、可動テーブルはその急激な動作が抑制
され、所定方向に安定した状態で徐々に円滑に移動する
ことができる。

【０２１１】又、この請求項１記載の発明では、制動用
プレートを被駆動磁石に対向した状態で固定プレートに
装備するという簡単な構成であり、又電磁駆動力を発生
させる電磁駆動手段も、可動テーブルに装備した被駆動
磁石とこれに対向して固定プレートに駆動コイルを装備
するという簡単な構成としたので、二重構造の移動機構
を備えた従来のものと比較して、装置全体の小型化およ
び軽量化が可能となり、可搬性良好であるばかりでな
く、組立作業に際しても特に熟練を要することが無いこ
とから、作業性も良好となり、生産性を高めることが可
能となる。

【０２１２】更に、駆動コイルの前述した被駆動磁石側
の端面部分に装備された非磁性部材からなる金属製の制
動用プレートは、駆動コイルとの関係ではトランスの二
次側回路と同等の回路を構成し、且つ制動用プレートの
電気抵抗成分（うず電流損を生じる）を介して短絡され
た形態を構成する。このため、この場合の一次側回路を
構成する駆動コイルは、二次側回路が開放状態の場合に
較べて比較的大きい電流を通電することができ、これが
ため、前述した被駆動磁石との間には当該制動用プレー
トが無い場合に比較して比較的大きい電磁力を出力する
ことが可能となっている。

【０２１３】又、この制動用プレートは、放熱板として
も機能し、かかる点において駆動コイルの連続運転に伴
う径年変化（熱による絶縁破壊等）を有効に抑制するこ
とができ、装置全体の耐久性および信頼性を高めること
ができる。

【０２１４】請求項２記載の発明では、前述した請求項
１記載の発明で開示した可動テーブルに対して、これに
対向し且つ所定間隔を隔てて補助テーブルを平行に一体
的に連結装備すると共に、この補助テーブル側に前述し
たテーブル保持機構を装備し、更にこの補助テーブルに
前述した被駆動磁石を装備する、という構成を採ってい
る。

【０２１５】このため、この請求項２記載の発明では、
補助テーブルを介して可動テーブルを駆動するほかは前
述した請求項１記載の発明と同等の機能を備えたものと
なっており、更に、補助テーブルに被駆動磁石を装備し
たことから、組立て作業に際しては可動テーブルの損傷
事故等の発生を有効に回避することができ、かかる点に
おいて当該装置の製造に際しての作業性および生産性の
向上を図ることができる。

【０２１６】請求項３記載の発明では、前述した請求項
１又は２記載の精密加工用ステージ装置において、駆動
コイルを複数個の田形状駆動コイルにより構成すると共
に、この田形状駆動コイルの内側に位置する十字状部分
に対応して前述した被駆動磁石を個別に配設する、とい
う構成を採っている。

【０２１７】このため、この請求項３記載の発明では、
前述した請求項１又は２記載の発明と同等の機能を有す
るほか、田形状駆動コイルの内側に設定された許容移動
範囲内において各被駆動磁石を（ひいては可動テーブ
ル）を所定の方向に自在に且つ精密に移動させることが
可能となる。この場合、田形状駆動コイルは、実際には
別に装備された駆動制御手段によって例えばＸ方向又は
Ｙ方向の駆動力を対応する各被駆動磁石との間に発生せ
しめ、全体的にこれを統一制御して当該被駆動磁石を介
して可動テーブルを所定の方向に移動させることが可能
となっている。

【０２１８】請求項４記載の発明では、前述した請求項
３記載の精密加工用ステージ装置において、複数の被駆
動磁石を永久磁石で構成する、という構成を採ってい
る。

【０２１９】このため、この請求項４記載の発明では、
前述した請求項３記載の発明と同等の機能を有するほ
か、更に、被駆動磁石を永久磁石としたことから電磁石
のような通電回路が不要となり、その分、組み立て時及
び保守点検時における作業の煩雑さを回避することがで
き、かかる点において、生産性および保守性の向上を図
り、装置全体の耐久性を増すことができて都合がよい。

【０２２０】請求項５記載の発明では、前述した請求項
１，２又は３記載の精密加工用ステージ装置において、
前述した複数の被駆動磁石を電磁石で構成すると共に、
この各被駆動磁石を前述した駆動コイルに連動して順方
向又は逆方向或いは通電停止状態に選択的に通電制御す
るように構成する、という手法を採っている。

【０２２１】このため、この請求項５記載の発明では、
前述した請求項１，２又は３記載の記載の発明とほぼ同
等の機能を有するほか、更に、被駆動磁石を電磁石で構
成したので、可動テーブルの駆動制御に種々変化をもた
せることができる。例えば、移動時の加速／減速に際し
ては駆動コイルと電磁石の両方を駆動制御してこれに対
応し得るので、可動テーブルの移動方向等の変化に対し
て迅速に対応し得ることができる。被駆動磁石の磁束密
度も自由に設定し得るので、当該被駆動磁石の強度を使
用状態に応じて変えることができる。

【０２２２】請求項６乃至７記載の各発明では、前述し
た制動用プレートを、複数の被駆動磁石に対応して個別
に装備してもよいとし（請求項６）、又制動用プレート
を各駆動コイル側の端部に固定してもよいとした（請求
項７）。更に、請求項８乃至９記載の各発明では、前述
した制動用プレートを、前述した複数の被駆動磁石全体
を対象として単一のプレート部材により構成してもよい
とし（請求項８）、更に、この単一のプレート部材を前
記各駆動コイルの各磁石側端部に固着装備してもよいと
した（請求項９）。

【０２２３】このようにしても、前述した各発明と同等
の機能を有するほか、更に請求項６乃至７記載の各発明
では、駆動コイル毎に制動用プレートが装備されるの
で、駆動コイル相互間に空間が設定されることから、保
守点検作業の円滑化，即ち保守性の向上を図り得る。

【０２２４】又、請求項８乃至９記載の各発明では、制
動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象として単一
のプレート部材により構成したので、組立作業が単純化
され、かかる点において装置全体の生産性及び耐久性の
向上および原価低減を図ることが可能となっている。

【０２２５】又、上述した請求項８乃至９記載の各発明
では、制動用プレートを複数の被駆動磁石全体を対象と
して単一のプレート部材により構成したので、組立作業
が単純化され、かかる点において装置全体の生産性の向
上および原価低減を図ることができる。

【０２２６】請求項１０乃至１１記載の各発明では、前
述した請求項１記載の発明で備えている制動用プレート
を駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と
共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇
所に装備した。

【０２２７】このため、この請求項１０乃至１１記載の
各発明は、前述した請求項１記載の発明と同等の作用効
果を有するほか、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り
離して任意の箇所に装備したので、電磁制動の強さを自
由に設定することができ、又、電磁駆動手段側では駆動
コイル（固定子側）と被駆動磁石（可動子側）との間の
隙間を更に小さく設定し得るので、駆動コイルと被駆動
磁石との間に生じる電磁駆動力を効率良く発生させるこ
とが可能となっている。

【０２２８】請求項１２乃至１３記載の各発明では、前
述した請求項２記載の発明で備えている制動用プレート
を駆動コイル側から切り離すと共に、新たに他の磁石と
共に電磁制動機構を構成し、駆動コイルとは異なった箇
所に装備した。

【０２２９】このため、この請求項１２乃至１３記載の
各発明は、前述した請求項２記載の発明と同等の作用効
果を有するほか、電磁制動機構を電磁駆動手段とは切り
離して任意の箇所に装備し得るので、前述した請求項１
０〜１１の場合と同様に電磁制動の強さを自由に設定す
ることができ、又、電磁駆動手段側では駆動コイル（固
定子側）と被駆動磁石（可動子側）との間の隙間を更に
小さく設定し得るので、駆動コイルと被駆動磁石との間
に生じる電磁駆動力を効率良く発生することが可能とな
っている。

【０２３０】請求項１４乃至１６記載の各発明では、前
述した請求項２記載の発明において、制動プレートを各
被駆動磁石に対応した単一の制動プレートで構成し、こ
の単一の制動プレートを本体部に固定し、且つこの単一
の制動プレートで前述した駆動コイルを保持するように
し、そして、前述した請求項２記載の発明における固定
プレートを削除した。

【０２３１】このため、この請求項１４乃至１６記載の
各発明は、前述した請求項２記載の発明と同等の機能を
有するほか、更に、制動用プレートにて駆動コイルを保
持すると共に固定プレートを削除したことから、装置全
体の小型軽量化をより一層促進することが可能となり、
これがためより一層の可搬性および汎用性を高めること
ができ、又構成要素の削減に伴って原価低減を図り得る
という効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態を示す一部省略した概略
断面図である。

【図２】図１の一部切り欠いた平面図である。

【図３】図１のＡーＡ線に沿った概略断面図である。

【図４】図１の下方からみた一部切り欠いた底面図であ
る。

【図５】図１に開示した田形状駆動コイルと被駆動磁石
および制動用プレートとの位置関係を示す説明図であ
る。

【図６】図１の各構成部分とその動作制御系との関係を
示すブロック図である。

【図７】図６に開示した動作制御系に付勢されて作動す
る補助プレート（可動プレート）の動作例を示す図で、
図７（Ａ）は右上４５°の方向に補助プレート（可動プ
レート）が平面移動した場合を示す説明図、図７（Ｂ）
は補助プレート（可動プレート）が角度θだけ回動した
場合を示す説明図である。

【図８】図１乃至図４に開示した田形状駆動コイルの四
つの角形小コイルに通電される四つの通電パターン（通
電プログラムは予めプログラム記憶部に記憶される）と
その機能とを示す図表である。

【図９】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆動
コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレート
（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図９（Ａ）
は第１の制御モードと補助プレート（可動プレート）の
Ｘ軸（正）方向への動作を示す説明図、図９（Ｂ）はこ
の場合の駆動力の大きさと作用点との関係を示す説明図
である。

【図１０】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆
動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレー
ト（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１０
（Ａ）は第３の制御モードと補助プレート（可動プレー
ト）のＹ軸（正）方向への動作を示す説明図、図１０
（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点との関係を
示す説明図である。

【図１１】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆
動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレー
ト（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１１
（Ａ）は第５の制御モードと補助プレート（可動プレー
ト）のＸーＹ座標上の第１象限方向への動作を示す説明
図、図１１（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点
との関係を示す説明図である。

【図１２】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆
動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレー
ト（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１２
（Ａ）は第７の制御モードと補助プレート（可動プレー
ト）のＸーＹ座標上の第２象限方向への動作を示す説明
図、図１２（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさと作用点
との関係を示す説明図である。

【図１３】図６に開示した動作制御系が四つの田形状駆
動コイルを駆動制御する場合の制御モードと補助プレー
ト（可動プレート）の動作方向とを示す図で、図１３
（Ａ）は第９の制御モードと補助プレート（可動プレー
ト）のＸーＹ座標上の原点を中心として回動する場合を
示す説明図、図１３（Ｂ）はこの場合の駆動力の大きさ
と作用点との関係を示す説明図である。

【図１４】図１に開示した制動プレートと四つの田形状
駆動コイル及び被駆動磁石との位置関係を示す図で、図
１４（Ａ）は制動プレートを含む部分の構造を示す部分
断面図、図１４（Ｂ）は図１４（Ａ）中のＡーＡ線に沿
って見た平面図である。

【図１５】図１に開示した制動プレートの制動力発生原
理を示す図で、図１５（Ａ）は図１の制動プレート部分
を示す拡大部分断面図、図１５（Ｂ）はこの場合の図１
４（Ａ）中のＡーＡ線に沿って見た制動プレートに生じ
るうず電流制動の発生状況をす説明図である。

【図１６】図１に開示した田形状駆動コイルと制動プレ
ートとの電気的な関係を示す図で、図１６（Ａ）は両者
を連結された場合の状態を示す等価回路、図１６（Ｂ）
は制動プレートが無い場合の田形状駆動コイルの状態を
示す等価回路である。

【図１７】図１に開示した第１実施形態の全体的な動作
例を示す説明図である。

【図１８】図１７の動作例を平面的に見た場合の一例を
示す説明図である。

【図１９】本発明の第２の実施形態を示す一部省略した
概略断面図である。

【図２０】図１９の一部切り欠いた平面図である。

【図２１】本発明の第３の実施形態を示す図で、図２１
（Ａ）は一部省略した概略部分断面図、図２１（Ｂ）は
図２１（Ａ）の矢印ＡーＡ線に沿ってみた一部省略した
平面図である。

【図２２】本発明の第４の実施形態を示す一部省略した
概略断面図である。

【図２３】本発明の第５の実施形態を示す一部省略した
概略断面図である。

【図２４】本発明の第６の実施形態を示す一部省略した
概略断面図である。

【図２５】本発明の各実施形態で開示した四つの田形状
駆動コイルの固定プレート上における他の配置例と被駆
動磁石との関係を示す説明図である。

【図２６】本発明における電磁駆動手段の他の例を示す
図で、図２６（Ａ）は単一の口状駆動コイルと四個の被
駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図、図２６
（Ｂ）は四個の口状駆動コイルと八個の被駆動磁石とを
備えた場合の例を示す説明図である。

【図２７】本発明における電磁駆動手段の他の例を示す
図で、図２７（Ａ）は単一の口状駆動コイルと四個の被
駆動磁石とを備えた場合の他の例を示す説明図、図２７
（Ｂ）は十字状枠型に形成されたの十字状枠形駆動コイ
ルと八個の被駆動磁石とを備えた場合の例を示す説明図
である。

【符号の説明】

１，３１可動テーブル２テーブル保持機構２Ａ，２Ｂピアノ線３，３３本体部としてのケース本体４，３４．６４電磁駆動手段５補助テーブル６，６６被駆動磁石７田形状駆動コイル８，３８固定プレート９，３９，４９，５９，６９制動用プレート４１，５１電磁制動機構４６，５６制動用磁石７１，７２，７３口状駆動コイル７４，十字枠状駆動コイル８１，８２，８３，８４被駆動磁石としての電磁石

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鹿野快男東京都北区浮間４−26−１−103 (72)発明者小野崎純一東京都練馬区東大泉１−19−43 株式会社タムラ製作所内Ｆターム(参考） 2F078 CA01 CA08 CB02 CB04 CB09 CB13 CC04 CC07 CC11 CC15 5F031 CA02 HA55 JA09 JA17 JA19 JA28 KA06 KA08 LA04 LA08 MA33 5H641 BB06 BB15 BB16 BB17 BB19 GG02 GG05 GG07 GG11 GG12 HH03 HH04 HH06 HH17 JA05 JA08 JA12 JA20 JB03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】同一面上にて任意の方向に移動可能に配
設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内
での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テー
ブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブル
を保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機構
を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動
テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備え、前記電磁駆動手段を、前記可動テーブル側の所定位置に
固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石
に対向して配置されたコイル辺を有し且つ当該各被駆動
磁石を介して前記可動テーブルに所定の移動方向に沿っ
て電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、この
駆動コイルを定位置にて保持する固定プレートとを備え
た構成とし、前記駆動コイルの前記被駆動磁石側で当該被駆動磁石に
対向する端面部分に、非磁性金属部材からなる制動用プ
レートを前記被駆動磁石の磁極面に近接して配設すると
共に、この制動用プレートを前記固定プレート側に固定
したことを特徴とする精密加工用ステージ装置。
【請求項２】同一面上にて任意の方向に移動可能に配
設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面内
での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テー
ブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブル
を保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機構
を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可動
テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備え、前記可動テーブルに対向し且つ所定間隔を隔てて当該可
動テーブルに平行に補助テーブルを連結装備すると共
に、この補助テーブル側に前記テーブル保持機構を装備
し、前記電磁駆動手段を、少なくとも前記可動テーブル又は
補助テーブルの何れか一方の所定位置に固定装備された
複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に対向して配置
されたコイル辺を有し且つ当該各被駆動磁石を介して前
記可動テーブルに所定の移動方向に沿って電磁的に所定
の駆動力を付勢する駆動コイルと、この駆動コイルを定
位置にて保持すると共に前記補助テーブルの可動テーブ
ル側に装備された固定プレートとを備えた構成とし、前記駆動コイルの前記被駆動磁石側で当該被駆動磁石に
対向する端面部分に、非磁性金属部材からなる制動用プ
レートを前記被駆動磁石の磁極面に近接して配設すると
共に、この制動用プレートを前記固定プレート側に固定
したことを特徴とする精密加工用ステージ装置。
【請求項３】前記駆動コイルを複数個の田形状駆動コ
イルにより構成すると共に、この田形状駆動コイルの内
側に位置する十字状部分に対応して前記被駆動磁石を個
別に配設したことを特徴とする請求項１又は２記載の精
密加工用ステージ装置。
【請求項４】前記複数の被駆動磁石を永久磁石で構成
したことを特徴とする請求項３記載の精密加工用ステー
ジ装置。
【請求項５】前記複数の被駆動磁石を電磁石で構成す
ると共に、この各被駆動磁石を前述した駆動コイルに連
動して順方向又は逆方向或いは通電停止状態に選択的に
通電制御するようにしたことを特徴とする請求項１，２
又は３記載の精密加工用ステージ装置。
【請求項６】前記制動用プレートを、前記複数の被駆
動磁石に対応して個別に装備したことを特徴とする請求
項１，２，３，４又は５記載の精密加工用ステージ装
置。
【請求項７】前記制動用プレートを、前記駆動コイル
の前記各被駆動磁石側の端部に個別に固定装備したこと
を特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載の精密加
工用ステージ装置。
【請求項８】前記制動用プレートを、前記複数の被駆
動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成
したことを特徴とする請求項３又は４記載の精密加工用
ステージ装置。
【請求項９】前記制動用プレートを、前記複数の被駆
動磁石全体を対象として単一のプレート部材により構成
し、この単一のプレート部材を前記各駆動コイルの各磁
石側端部に固着装備したことを特徴とする請求項３又は
４記載の精密加工用ステージ装置。
【請求項１０】同一面上にて任意の方向に移動可能に
配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面
内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テ
ーブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブ
ルを保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機
構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可
動テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備え、前記電磁駆動手段を、前記可動テーブル側の所定位置に
固定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石
に対向して配置されたコイル辺を有し且つ当該各被駆動
磁石を介して前記可動テーブルに所定の移動方向に沿っ
て電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、この
駆動コイルを定位置にて保持する固定プレートとを備え
た構成とし、前記可動テーブルの裏面側に、当該可動テーブルに所定
の制動力を付勢する電磁制動機構を装備し、この電磁制動機構を、前記可動テーブルの所定位置に装
備され被磁性部材で且つ導電性を備えた制動用プレート
と、この制動用プレートに所定の電磁制動力を付勢する
と共に前記固定プレートに固着された制動用磁石とによ
り構成したことを特徴とする精密加工用ステージ装置。
【請求項１１】前記電磁制動機構を、前記可動テーブ
ルの中央部に装備したことを特徴とする請求項１０記載
の精密加工用ステージ装置。
【請求項１２】同一面上にて任意の方向に移動可能に
配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面
内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テ
ーブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブ
ルを保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機
構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可
動テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備え、前記可動テーブルに対向し且つ所定間隔を隔てて当該可
動テーブルに平行に補助テーブルを連結装備すると共
に、この補助テーブル側に前記テーブル保持機構を装備
し、前記電磁駆動手段を、前記補助テーブルの所定位置に固
定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に
対向して配置されたコイル辺を有し且つ当該各被駆動磁
石を介して前記可動テーブルに所定の移動方向に沿って
電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、この駆
動コイルを定位置にて保持すると共に前記補助テーブル
の可動テーブル側に装備された固定プレートとを備えた
構成とし、前記駆動コイルの前記被駆動磁石側で当該被駆動磁石に
対向する端面部分に、非磁性金属部材からなる制動用プ
レートを前記被駆動磁石の磁極面に近接して配設すると
共に、この制動用プレートを前記固定プレート側に固定
し、前記可動テーブルと固定プレートとの間に、前記可動テ
ーブルに所定の制動力を付勢する電磁制動機構を配設
し、この電磁制動機構を、前記固定プレートの前記可動テー
ブル側の面上に装備され被磁性部材で且つ導電性を備え
た一又は二以上の制動用プレートと、この制動用プレー
トとの相互間に所定の電磁制動力を発生せしめる一又は
二以上の制動用磁石とにより構成すると共に、この制動
用磁石を前記可動テーブルに固着したことを特徴とする
精密加工用ステージ装置。
【請求項１３】前記制動用磁石を前記被駆動磁石に対
応して四個設けると共に、この各制動用磁石に共通に対
応する形態の制動用プレートを、前記固定プレート上に
一枚装備したことを特徴とする請求項１２記載の精密加
工用ステージ装置。
【請求項１４】同一面上にて任意の方向に移動可能に
配設された可動テーブルと、この可動テーブルの同一面
内での任意の方向への移動を許容すると共に当該可動テ
ーブルに元位置復帰力を付加した状態で当該可動テーブ
ルを保持するテーブル保持機構と、このテーブル保持機
構を支持する本体部と、この本体部側に装備され前記可
動テーブルに移動力を付勢する電磁駆動手段とを備え、前記可動テーブルに対向し且つ所定間隔を隔てて当該可
動テーブルに平行に補助テーブルを連結装備すると共
に、この補助テーブル側に前記テーブル保持機構を装備
し、前記電磁駆動手段を、前記補助テーブルの所定位置に固
定装備された複数の被駆動磁石と、この各被駆動磁石に
対向して配置されたコイル辺を有し且つ当該各被駆動磁
石を介して前記可動テーブルに所定の移動方向に沿って
電磁的に所定の駆動力を付勢する駆動コイルと、この駆
動コイルを定位置にて保持すると共に前記補助テーブル
側の各被駆動磁石に近接し且つ対向して配設された非磁
性金属部材からなる制動プレートとにより構成すると共
に、この制動プレートを、前記本体部にて保持したこと
を特徴とする精密加工用ステージ装置。
【請求項１５】前記電磁駆動手段の駆動コイルを田形
状駆動コイルにより構成したことを特徴とする請求項１
４記載の精密加工用ステージ装置。
【請求項１６】前記電磁駆動手段の複数の各被駆動磁
石の装備箇所に対応して前記可動テーブルの前記駆動コ
イル側に、前記各被駆動磁石と同等に機能する第２の被
駆動磁石をそれぞれ装備したことを特徴とする請求項１
４又は１５記載の精密加工用ステージ装置。