JP2016224379A - 平面移動装置 - Google Patents
平面移動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016224379A JP2016224379A JP2015113446A JP2015113446A JP2016224379A JP 2016224379 A JP2016224379 A JP 2016224379A JP 2015113446 A JP2015113446 A JP 2015113446A JP 2015113446 A JP2015113446 A JP 2015113446A JP 2016224379 A JP2016224379 A JP 2016224379A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezo
- connecting member
- piezo stage
- stage
- moving device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
Description
10…ボトムテーブル(第一テーブル)
20…ピエゾステージ
21…基部
22…移動部
30…トップテーブル(第二テーブル)
40…連結部材
50…駆動力伝達手段
51…ピエゾ駆動伝達プレート(板状部材)
52…ストッパ(係止部材)
G…間隙
Claims (7)
- 第一テーブルと、
前記第一テーブルの上方に配置された基部及び移動部を有し、前記移動部は、ピエゾ素子の駆動力により前記基部に対して水平移動するように構成されるピエゾステージと、
前記ピエゾステージの上方に配置された第二テーブルと、
前記第一テーブルと前記第二テーブルとを連結するとともに、前記第一テーブルに対する前記第二テーブルの水平移動を許容するように構成される連結部材と、
前記ピエゾステージの前記ピエゾ素子の駆動力を前記第二テーブルに伝達して、前記第二テーブルを前記ピエゾステージの前記移動部に連動させる駆動力伝達手段と、を備え、
前記ピエゾステージの上面と前記第二テーブルの下面との間に、間隙が形成されている、
平面移動装置。 - 前記ピエゾステージは、前記基部の上面と前記移動部の上面とが略面一になるように構成されており、
前記駆動力伝達手段は、前記ピエゾステージの前記移動部の上面に固定されかつ前記第二テーブルの下方に配置された板状部材と、前記第二テーブルの下面に固定されかつ前記板状部材の側面に係止するように構成された係止部材と、を有し、
前記板状部材の上面と前記第二テーブルの下面との間に、間隙が形成されている、請求項1に記載の平面移動装置。 - 前記連結部材は、鉛直方向に延在するように立設された柱状部材である、請求項1又は2に記載の平面移動装置。
- 前記柱状部材は、軸方向中央部の断面形状が円形又は四角形以上の多角形とされている、請求項3に記載の平面移動装置。
- 前記連結部材は、球状部材である、請求項1又は2に記載の平面移動装置。
- 前記連結部材は、銅合金で構成されている、請求項1から5の何れか一項に記載の平面移動装置。
- 前記連結部材は、制振合金で構成されている、請求項1から5の何れか一項に記載の平面移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015113446A JP6437884B2 (ja) | 2015-06-03 | 2015-06-03 | 平面移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015113446A JP6437884B2 (ja) | 2015-06-03 | 2015-06-03 | 平面移動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016224379A true JP2016224379A (ja) | 2016-12-28 |
JP6437884B2 JP6437884B2 (ja) | 2018-12-12 |
Family
ID=57748097
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015113446A Active JP6437884B2 (ja) | 2015-06-03 | 2015-06-03 | 平面移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6437884B2 (ja) |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61146440A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-04 | Hitachi Ltd | Xy微動位置決め装置 |
JPS6395383A (ja) * | 1986-10-09 | 1988-04-26 | オムロン株式会社 | 微小位置決め装置 |
JPH11195578A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-21 | Nikon Corp | 定盤支持装置および露光装置 |
JPH11251409A (ja) * | 1998-03-02 | 1999-09-17 | Nikon Corp | 位置決め装置、及び露光装置 |
JP2003264974A (ja) * | 2002-03-11 | 2003-09-19 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 精密加工用ステージ装置 |
JP2004071909A (ja) * | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Tokyo Electron Ltd | 載置台の駆動装置及びプローブ装置 |
JP2004301830A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-28 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 移動ステージ、xyステージ、ヘッドキャリッジおよび、磁気ヘッドあるいは磁気ディスクのテスタ |
WO2008129762A1 (ja) * | 2007-03-05 | 2008-10-30 | Nikon Corporation | 移動体装置、パターン形成装置及びパターン形成方法、デバイス製造方法、移動体装置の製造方法、並びに移動体駆動方法 |
WO2014013733A1 (ja) * | 2012-07-18 | 2014-01-23 | 株式会社ニコン | 支持装置、移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2014098732A (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Nikon Corp | 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
-
2015
- 2015-06-03 JP JP2015113446A patent/JP6437884B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61146440A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-04 | Hitachi Ltd | Xy微動位置決め装置 |
JPS6395383A (ja) * | 1986-10-09 | 1988-04-26 | オムロン株式会社 | 微小位置決め装置 |
JPH11195578A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-21 | Nikon Corp | 定盤支持装置および露光装置 |
JPH11251409A (ja) * | 1998-03-02 | 1999-09-17 | Nikon Corp | 位置決め装置、及び露光装置 |
JP2003264974A (ja) * | 2002-03-11 | 2003-09-19 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 精密加工用ステージ装置 |
JP2004071909A (ja) * | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Tokyo Electron Ltd | 載置台の駆動装置及びプローブ装置 |
JP2004301830A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-28 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 移動ステージ、xyステージ、ヘッドキャリッジおよび、磁気ヘッドあるいは磁気ディスクのテスタ |
WO2008129762A1 (ja) * | 2007-03-05 | 2008-10-30 | Nikon Corporation | 移動体装置、パターン形成装置及びパターン形成方法、デバイス製造方法、移動体装置の製造方法、並びに移動体駆動方法 |
WO2014013733A1 (ja) * | 2012-07-18 | 2014-01-23 | 株式会社ニコン | 支持装置、移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2014098732A (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Nikon Corp | 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6437884B2 (ja) | 2018-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9212691B2 (en) | Cross blade flexure pivot and methods of use thereof | |
US7243571B2 (en) | Ultra-precision positioning system | |
EP2694838B1 (de) | Vorrichtung zur mechanischen schwingungsentkopplung | |
US20060244342A1 (en) | Ultrasonic float-up device | |
JP6437884B2 (ja) | 平面移動装置 | |
JP2008025830A (ja) | 免震装置 | |
JP6680467B2 (ja) | 構造物の柱脚構造およびベースプレート | |
JP4842594B2 (ja) | 構造物減衰装置 | |
JP3205201U (ja) | 制振金物 | |
JP4395419B2 (ja) | 制震間柱 | |
JP2008291915A (ja) | 免震装置 | |
JP2004232324A (ja) | 制震システム | |
US10844590B2 (en) | Column base structure for construction, and base plate | |
US9956862B2 (en) | Engine unit support structure and engine unit mounting method | |
WO2011129207A1 (ja) | ばね | |
JP2014137071A (ja) | 摩擦ダンパー | |
KR20170129046A (ko) | 스테이지장치 | |
JP4660722B2 (ja) | 制振装置 | |
JP2010185260A (ja) | 制振建物、建物の制振方法 | |
JP4711055B2 (ja) | 水平移動装置又は免震装置及びその組立方法 | |
JP7475296B2 (ja) | 滑り支承装置 | |
JPS60211143A (ja) | 上下方向免震機構 | |
CN116837983B (zh) | 一种具有动态全域线性负刚度的恒准零刚度震振双控装置 | |
JP5713962B2 (ja) | 制振装置 | |
KR101411190B1 (ko) | 갠트리 스테이지 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180306 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6437884 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |