JPS6395383A - 微小位置決め装置 - Google Patents
微小位置決め装置Info
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- JPS6395383A JPS6395383A JP61240861A JP24086186A JPS6395383A JP S6395383 A JPS6395383 A JP S6395383A JP 61240861 A JP61240861 A JP 61240861A JP 24086186 A JP24086186 A JP 24086186A JP S6395383 A JPS6395383 A JP S6395383A
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 56
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 15
- 241000256247 Spodoptera exigua Species 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
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- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、例えば半導体製造装置、高精度加工機、精
密測定器等に適用する微小位置決め装置に関する。
密測定器等に適用する微小位置決め装置に関する。
〈従来の技術〉
従来の微小位置決め装置としては第７図に示すものがあ
る。この装置は、鉛直支柱４の上端に、２枚の弾性ばね
を重合した平行ばね５の中央ボス部５１を取付け、平行
板ばね５の外周部には、等角位置に、平行ばねの下方に
水平に突出したアーマチャと称する金属板６を配設し、
鉛直支柱４には、各アーマチャの上下にそれぞれアーマ
チャギャップを介して電磁アクチュエータ７．７ａを配
設してなり、各電磁アクチュエータを制御して平行ばね
５の弾性変形量を可変調整し、平行ばね上に配設したワ
ークテーブル８の微小位置決めを行っている。
る。この装置は、鉛直支柱４の上端に、２枚の弾性ばね
を重合した平行ばね５の中央ボス部５１を取付け、平行
板ばね５の外周部には、等角位置に、平行ばねの下方に
水平に突出したアーマチャと称する金属板６を配設し、
鉛直支柱４には、各アーマチャの上下にそれぞれアーマ
チャギャップを介して電磁アクチュエータ７．７ａを配
設してなり、各電磁アクチュエータを制御して平行ばね
５の弾性変形量を可変調整し、平行ばね上に配設したワ
ークテーブル８の微小位置決めを行っている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
ところが、ワークテーブル８を定位置に静止させてその
状態を保持する場合、電磁アクチュエータ７．７ａには
電流を流し続けているため、励磁コイルから高熱が発熱
して周辺部材に熱膨張を生じ、位置決め精度の劣化を引
き起こすという問題があった。
状態を保持する場合、電磁アクチュエータ７．７ａには
電流を流し続けているため、励磁コイルから高熱が発熱
して周辺部材に熱膨張を生じ、位置決め精度の劣化を引
き起こすという問題があった。
そこで、この発明は微小位置決めのアクチュエータとし
て、発熱の無い圧電素子を用いることにより、上記の問
題を解消し、高速且つ高精度位置決めを実現し得る新規
な微小位置決め装置を提供することを目的とする。
て、発熱の無い圧電素子を用いることにより、上記の問
題を解消し、高速且つ高精度位置決めを実現し得る新規
な微小位置決め装置を提供することを目的とする。
〈問題点を解決するための手段〉
上記の目的を達成するだめの、この発明の詳細な説明す
ると、この発明の微小位置決め装置は、電圧印加によっ
て伸縮する圧電素子を具えてステップ状に上昇または下
降する粗動機構と、粗動機構の可動体に配設され、電圧
印加により伸縮する圧電素子を具え、それぞれ粗動機構
と同方向に微動する複数の微動機構と、各微動機構の可
動部に支持されたワークテーブルとから構成してなるも
のである。
ると、この発明の微小位置決め装置は、電圧印加によっ
て伸縮する圧電素子を具えてステップ状に上昇または下
降する粗動機構と、粗動機構の可動体に配設され、電圧
印加により伸縮する圧電素子を具え、それぞれ粗動機構
と同方向に微動する複数の微動機構と、各微動機構の可
動部に支持されたワークテーブルとから構成してなるも
のである。
く作用〉
ワークテーブルの位置決めに際し、粗動機構の圧電素子
に電圧を印加することにより、可動体はステップ状に上
昇、または下降する。可動体には微動機構を介してワー
クテーブルが支持されているため、テーブルは所定の粗
動位置に変位し、定位する。次いで、微動機構の圧電素
子に電圧を印加するとき、ワークテーブルは圧電素子の
伸縮に応じて上昇または下降し、微小変位および位置決
めが達成される。かかる粗動機構、微動機構の作動時、
圧電素子は発熱せず、以て、周辺部材の熱膨張等による
位置決め精度の劣化問題を解消できる。また、複数の微
動機構を同時または個々に制御することにより、ワーク
テーブルは水平乃至傾斜する。
に電圧を印加することにより、可動体はステップ状に上
昇、または下降する。可動体には微動機構を介してワー
クテーブルが支持されているため、テーブルは所定の粗
動位置に変位し、定位する。次いで、微動機構の圧電素
子に電圧を印加するとき、ワークテーブルは圧電素子の
伸縮に応じて上昇または下降し、微小変位および位置決
めが達成される。かかる粗動機構、微動機構の作動時、
圧電素子は発熱せず、以て、周辺部材の熱膨張等による
位置決め精度の劣化問題を解消できる。また、複数の微
動機構を同時または個々に制御することにより、ワーク
テーブルは水平乃至傾斜する。
〈実施例〉
図面はこの発明の一実施例にかかる微小位置決め装置を
示す。
示す。
微小位置決め装置は、電圧印加によって伸縮する圧電素
子１３． １７ ａ、 １７ ｂを具えてステップ状
に上昇または下降する粗動機構１と、粗動機構１の可動
体１ｂに配設され、電圧印加によって伸縮する圧電素子
２５を具え、それぞれ粗動機構１と同方向に微動する複
数の微動機構２と、各微動機構２の可動部に支持された
ワークテーブル３とから構成される。
子１３． １７ ａ、 １７ ｂを具えてステップ状
に上昇または下降する粗動機構１と、粗動機構１の可動
体１ｂに配設され、電圧印加によって伸縮する圧電素子
２５を具え、それぞれ粗動機構１と同方向に微動する複
数の微動機構２と、各微動機構２の可動部に支持された
ワークテーブル３とから構成される。
前記粗動機構１は、ベース１１上に縦設固定される支持
体１ａと、この支持体１ａに支持せられ、尺取虫の移動
と同様にステップ状に移動する可動体１ｂとからなる。
体１ａと、この支持体１ａに支持せられ、尺取虫の移動
と同様にステップ状に移動する可動体１ｂとからなる。
上記支持体１ａは、ベース１１上に固定部材１２、この
固定部材１２の上面へ、電圧印加によって伸縮するピエ
ゾ素子等の積層型圧電素子１３、この圧電素子１３の上
面に可動部材１４を一体に結合してなり、前記圧電素子
１３が所定の電圧印加によって積層方向に伸長し、可動
部材１４を上昇変位させる。
固定部材１２の上面へ、電圧印加によって伸縮するピエ
ゾ素子等の積層型圧電素子１３、この圧電素子１３の上
面に可動部材１４を一体に結合してなり、前記圧電素子
１３が所定の電圧印加によって積層方向に伸長し、可動
部材１４を上昇変位させる。
可動体１ｂは、前記支持体１ａに嵌挿した微動筒体１５
に対し、支持体１ａの固定部材１２および可動部材１４
に対応し且つこれを押圧する一対の加圧レバー１６ａ、
１６ｂを配備し、各レバー１６ａ、１６ｂには、それぞ
れ電圧印加によって伸縮する積層型圧電素子１７ａ。
に対し、支持体１ａの固定部材１２および可動部材１４
に対応し且つこれを押圧する一対の加圧レバー１６ａ、
１６ｂを配備し、各レバー１６ａ、１６ｂには、それぞ
れ電圧印加によって伸縮する積層型圧電素子１７ａ。
１７ｂを連繋してなり、支持体１ａの圧電素子１３、可
動体１ｂの両圧電素子１７ａ、１７ｂに対する印加電圧
を順次切換えることにより、両前圧レバー１６ａ、１６
ｂが固定部材１２、可動部材１４を圧電素子１３の伸縮
に合わせて交互に閲み、以て、可動体１ｂは支持体１ａ
に対し、尺取虫と同様な動作でステップ状に上昇または
下降する。
動体１ｂの両圧電素子１７ａ、１７ｂに対する印加電圧
を順次切換えることにより、両前圧レバー１６ａ、１６
ｂが固定部材１２、可動部材１４を圧電素子１３の伸縮
に合わせて交互に閲み、以て、可動体１ｂは支持体１ａ
に対し、尺取虫と同様な動作でステップ状に上昇または
下降する。
上記可動体１ｂには、筒体上部にプレート１８が水平に
取付けられ、このプレート上面に微動機構２が配設され
る。
取付けられ、このプレート上面に微動機構２が配設され
る。
微動機構２は、粗動機構１の軸中心に対し１２０度等角
位置に配設されており、各々、可動体１ｂのプレート１
８に固定する取付壁２１、この取付壁２１の両端部に対
向して設けられそれぞれ対称位置に弾性ひんじ部２２を
有す伸縮壁２３、両伸縮壁２３の上端間に可動壁２４を
一体に形成したホルダー２０と、取付壁２１の上面に下
部を支持して縦設された積層型圧電素子２５と、この圧
電素子２５の上面と可動壁２４との間に介装され圧電素
子２５の伸縮動作を可動壁２４に伝える球体等の伝動部
材２６とからなるものである。
位置に配設されており、各々、可動体１ｂのプレート１
８に固定する取付壁２１、この取付壁２１の両端部に対
向して設けられそれぞれ対称位置に弾性ひんじ部２２を
有す伸縮壁２３、両伸縮壁２３の上端間に可動壁２４を
一体に形成したホルダー２０と、取付壁２１の上面に下
部を支持して縦設された積層型圧電素子２５と、この圧
電素子２５の上面と可動壁２４との間に介装され圧電素
子２５の伸縮動作を可動壁２４に伝える球体等の伝動部
材２６とからなるものである。
尚、前記粗動機構１、微動機構２の形状および微動機構
の数、配置等は、位置決め装置の用途、ワークの形状、
大きさ等に応じ本発明の技術範囲内において変更する。
の数、配置等は、位置決め装置の用途、ワークの形状、
大きさ等に応じ本発明の技術範囲内において変更する。
また、図示例では、上下方向に微動位置決めする一例を
示したが、水平方向或いは斜め方向の位置決めに適用す
ることも勿論可能である。
示したが、水平方向或いは斜め方向の位置決めに適用す
ることも勿論可能である。
更に図示例の粗動機構１では、可動体１ｂに一対の加圧
レバーを設け、このレバーを圧電素子１７ａ、１７ｂに
て駆動させることにより支持体１ａの固定部材１２、可
動部材１４を把持または解放する構成としたが、これに
限らず、第３図の如く、可動部材１４および固定部材１
２の両側に対向してそれぞれ一対の積層型圧電素子１７
ａ、１７ａ、１７ｂ、１７ｂを配備し、直接把持、解放
する構成をなす等、選択実施する。
レバーを設け、このレバーを圧電素子１７ａ、１７ｂに
て駆動させることにより支持体１ａの固定部材１２、可
動部材１４を把持または解放する構成としたが、これに
限らず、第３図の如く、可動部材１４および固定部材１
２の両側に対向してそれぞれ一対の積層型圧電素子１７
ａ、１７ａ、１７ｂ、１７ｂを配備し、直接把持、解放
する構成をなす等、選択実施する。
次に、微小位置決め装置の動作について説明する。
ワークテーブル３の静止状態では、粗動機構ｌにおける
可動体１ｂの両電圧素子１７ａ。
可動体１ｂの両電圧素子１７ａ。
１７ｂに電圧を印加する。このとき、両圧電素子１７ａ
、１７ｂは互いに伸長してレバー１６ａ。
、１７ｂは互いに伸長してレバー１６ａ。
１６ｂを押圧し、対応する固定部材１２、可動部材１４
を押圧固定し７、テーブル３の静止状態を保持する。
を押圧固定し７、テーブル３の静止状態を保持する。
次に、テーブル３を上昇させ位置決めする場合、固定部
材１２に対応した圧電素子１７ａの印加電圧を下げて固
定部材１２を解放した後、その状態において、支持体１
ａの圧電素子１３に電圧を印加して伸長させる。このと
き、テーブル３を含む可動部材１４は圧電素子１３の伸
長により上方へ変位する。次に固定部材１２に対応した
圧電素子１７ａに電圧を加えて固定部材１２を把持固定
した後、可動側圧電素子１７ｂの電圧を下げて可動部材
１４を解放し、この状態において支持体１ａの圧電素子
１３の印加電圧を下げることにより、圧電素子１３が縮
小して可動部材１４を下方へ変位させ、再び圧電素子１
７ｂに電圧を印加して可動部材１４を把持し、圧電素子
１７ａの印加電圧を下げて固定部材１２を解放した後、
支持体１ａの圧電素子１３に電圧を印加して伸長させる
動作を繰返すことにより、可動体１ｂは支持体１ａの圧
電素子Ｉ３の変位量を１ステツプとして尺取虫の動作の
如く粗動変位する。
材１２に対応した圧電素子１７ａの印加電圧を下げて固
定部材１２を解放した後、その状態において、支持体１
ａの圧電素子１３に電圧を印加して伸長させる。このと
き、テーブル３を含む可動部材１４は圧電素子１３の伸
長により上方へ変位する。次に固定部材１２に対応した
圧電素子１７ａに電圧を加えて固定部材１２を把持固定
した後、可動側圧電素子１７ｂの電圧を下げて可動部材
１４を解放し、この状態において支持体１ａの圧電素子
１３の印加電圧を下げることにより、圧電素子１３が縮
小して可動部材１４を下方へ変位させ、再び圧電素子１
７ｂに電圧を印加して可動部材１４を把持し、圧電素子
１７ａの印加電圧を下げて固定部材１２を解放した後、
支持体１ａの圧電素子１３に電圧を印加して伸長させる
動作を繰返すことにより、可動体１ｂは支持体１ａの圧
電素子Ｉ３の変位量を１ステツプとして尺取虫の動作の
如く粗動変位する。
粗動機構１により長ストローク変位の後、各微動機構２
の圧電素子２５に電圧を印加し、この印加電圧を制御す
ることによって、圧電素子２５はμｍ単位で変位し、ワ
ークテーブル３の微小変位、および位置決めを実現する
。かかる位置決め時、各圧電素子１３．１７ａ、１７ｂ
。
の圧電素子２５に電圧を印加し、この印加電圧を制御す
ることによって、圧電素子２５はμｍ単位で変位し、ワ
ークテーブル３の微小変位、および位置決めを実現する
。かかる位置決め時、各圧電素子１３．１７ａ、１７ｂ
。
２５は発熱がなく、以て、周辺部材の熱膨張による問題
を解消し、高速且つ高精度な位置決めを実現する。
を解消し、高速且つ高精度な位置決めを実現する。
尚、圧電素子の変位１１１３は１０μｍ前後であって、
微小位置決め装置として要求される変位量の例えば１０
０μｍに達しないため、粗動機構１によってステップ状
に所定の変位を得、ステップ間の微小変位を微動機構２
によって達成する。
微小位置決め装置として要求される変位量の例えば１０
０μｍに達しないため、粗動機構１によってステップ状
に所定の変位を得、ステップ間の微小変位を微動機構２
によって達成する。
第６図において、粗動機構１のステップ変位量ｄ以下の
微動の場合、微動機構２のみで変位を行い、ステップ変
位ｉｄを越える場合、例えは、長ストロークの変位量Ｈ
（３ａ＋ｓ）が要求された時、粗動機構１で３ステツプ
（３ｄ）微動させ、微動機構２で残り、のＳを微動する
ことにより、高速且つ高精度な微小位置決めを実現する
。
微動の場合、微動機構２のみで変位を行い、ステップ変
位ｉｄを越える場合、例えは、長ストロークの変位量Ｈ
（３ａ＋ｓ）が要求された時、粗動機構１で３ステツプ
（３ｄ）微動させ、微動機構２で残り、のＳを微動する
ことにより、高速且つ高精度な微小位置決めを実現する
。
〈発明の効果〉
上記の如く、電圧印加によって伸縮する圧電素子を具え
てステップ状に上昇または下降する粗動機構と、粗動機
構の可動部上に配設され、電圧印加により伸縮する圧電
素子を具え、それぞれ粗動機構と同方向に微動する複数
の微動機構と、各微動機構の可動体に支持されたワーク
テーブルにて微小位置決め装置を構成したから、粗動機
構により長ストローク変位させた後、微動機構により微
小変位させることにより、高速且つ高精度な位置決めを
実現し得る。
てステップ状に上昇または下降する粗動機構と、粗動機
構の可動部上に配設され、電圧印加により伸縮する圧電
素子を具え、それぞれ粗動機構と同方向に微動する複数
の微動機構と、各微動機構の可動体に支持されたワーク
テーブルにて微小位置決め装置を構成したから、粗動機
構により長ストローク変位させた後、微動機構により微
小変位させることにより、高速且つ高精度な位置決めを
実現し得る。
また、圧電素子は発熱しないため、周辺の部材に対する
熱による悪影響がなく、位置決め精度の劣化がない。し
かも、圧電素子は小型、軽量であるから、装置全体の小
型、軽量化を実現し得、且つ電磁アクチュエータの如く
、外部磁界の影響を受けないため磁場の存在する場所と
錐も使用可能となる。また逆に、磁場を発生しないため
、磁場を避ける例えば電子線露光等に好適する等、優れ
た効果を奏する。
熱による悪影響がなく、位置決め精度の劣化がない。し
かも、圧電素子は小型、軽量であるから、装置全体の小
型、軽量化を実現し得、且つ電磁アクチュエータの如く
、外部磁界の影響を受けないため磁場の存在する場所と
錐も使用可能となる。また逆に、磁場を発生しないため
、磁場を避ける例えば電子線露光等に好適する等、優れ
た効果を奏する。
第１図はこの発明の一実施例にかかる微小位置決め装置
の斜視図、第２図は平面図、第３図はこの発明の詳細な
説明するための縦断面図、第４図は粗動機構の分解斜視
図、第５図は微動機構の正面図、第６図は変位動作を説
明する概念図、第７図は従来例を示す図である。 １・・・・粗動機構 １２・・・・固定部材１３
・・・・圧電素子 １４・・・・可動部材１７ａ
、 １７ｂ・・・・圧電素子 ２・・・・微動機構 ２５・・・・圧電素子３・
・・・ワークテーブル 特許 出 願人 立石電機株式会社 Ｊ →、５）￥１ 開糾え購艷伸２ ？ 骨と； ＋Ｂ 、 ｔ４ｉ動１￥ ｅ ａｅｓｔａｍ
ａ、＋ａ、４ 動
の斜視図、第２図は平面図、第３図はこの発明の詳細な
説明するための縦断面図、第４図は粗動機構の分解斜視
図、第５図は微動機構の正面図、第６図は変位動作を説
明する概念図、第７図は従来例を示す図である。 １・・・・粗動機構 １２・・・・固定部材１３
・・・・圧電素子 １４・・・・可動部材１７ａ
、 １７ｂ・・・・圧電素子 ２・・・・微動機構 ２５・・・・圧電素子３・
・・・ワークテーブル 特許 出 願人 立石電機株式会社 Ｊ →、５）￥１ 開糾え購艷伸２ ？ 骨と； ＋Ｂ 、 ｔ４ｉ動１￥ ｅ ａｅｓｔａｍ
ａ、＋ａ、４ 動
Claims (4)
- （１）電圧印加によって伸縮する圧電素子を具えてステ
ップ状に上昇または下降する粗動機構と、粗動機構の可
動体に配設され、電圧印加により伸縮する圧電素子を具
え、それぞれ粗動機構と同方向に微動する複数の微動機
構と、各微動機構の可動部に支持されたワークテーブル
とから成るを特徴とする微小位置決め装置。 - （２）粗動機構が、電圧印加によって伸縮する圧電素子
の両端に固定部材、可動部材を一体に連設しベース上に
支持した支持体と、この支持体を囲む微動筒体に支持せ
られ、電圧印加によって伸縮する圧電素子を有し固定部
材および可動部材を把持、解放する把持部材を具えた可
動体とから構成されている特許請求の範囲第１項記載の
微小位置決め装置。 - （３）微動機構が、粗動機構の可動体に固定する取付壁
、この取付壁上の両端部に対向して設けられそれぞれ弾
性ひんじ部を有す伸縮壁、両伸縮壁の上端間に可動壁を
一体に形成したホルダーと、該ホルダーの取付壁と可動
壁との間に設けられた圧電素子とから構成されている特
許請求の範囲第１項記載の微小位置決め装置。 - （４）微動機構が、粗動機構の軸中心に対し１２０度等
角位置に配設されている特許請求の範囲第１項記載の微
小位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61240861A JPS6395383A (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | 微小位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61240861A JPS6395383A (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | 微小位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6395383A true JPS6395383A (ja) | 1988-04-26 |
Family
ID=17065800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61240861A Pending JPS6395383A (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | 微小位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6395383A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993009911A1 (en) * | 1991-11-15 | 1993-05-27 | Yotaro Hatamura | Feed screw device and precisely positioning micromotion feed system |
| JP2016224379A (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-28 | 旭化成エンジニアリング株式会社 | 平面移動装置 |
| CN113315411A (zh) * | 2021-06-01 | 2021-08-27 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 平台移动装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6052230A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-25 | Omron Tateisi Electronics Co | 微動ステ−ジ機構 |
| JPS61218986A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | 日本電信電話株式会社 | ステ−ジの微動，粗動方法及び装置 |
-
1986
- 1986-10-09 JP JP61240861A patent/JPS6395383A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6052230A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-25 | Omron Tateisi Electronics Co | 微動ステ−ジ機構 |
| JPS61218986A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | 日本電信電話株式会社 | ステ−ジの微動，粗動方法及び装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993009911A1 (en) * | 1991-11-15 | 1993-05-27 | Yotaro Hatamura | Feed screw device and precisely positioning micromotion feed system |
| US5644951A (en) * | 1991-11-15 | 1997-07-08 | Hatamura; Yotaro | Feed screw apparatus and precise positioning and fine feed system |
| JP2016224379A (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-28 | 旭化成エンジニアリング株式会社 | 平面移動装置 |
| CN113315411A (zh) * | 2021-06-01 | 2021-08-27 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 平台移动装置 |
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